JP2017076886A5 - - Google Patents

Description

一方、端子電極７及びリード電極６に関しては、前記励振部４からベース部３に至る段差に沿って形成されているので、この段差が水晶結晶のエッチング方向性から見てエッジとなる。このため、前記励振電極５の厚みを当初から厚くして形成しておかないと、前記エッジに当たる部分の励振電極５が薄くなってしまうといった問題があった。さらに、前記励振電極５の厚みによって周波数微調整を行う際、前記エッジ部分にイオンビームが集中することでエッジが優先的に減少していき、その結果、電極抵抗及び等価直列抵抗の上昇を引き起こす一因となっていた。なお、特許文献１に開示されているように、エッジが生じないように前記励振部４及び端子電極７を形成することも可能であるが、この形成方法では励振部４における励振電極５の形成面が狭まるため、これによって等価直列抵抗が上昇するといった問題があった。

Claims (8)

1. 両面にそれぞれ形成された厚肉状の励振部と、この励振部の外縁に沿って一体に形成された薄肉状のベース部と、前記励振部に形成された励振電極とを有し、前記励振部が曲面形状の外縁部を含むことを特徴とする圧電振動片。
2. 前記励振部が平面視で矩形状に形成され、この励振部の外縁の少なくとも一辺が曲面形状に形成され、前記一辺の両端が振動の節に設定されている請求項１に記載の圧電振動片。
3. 前記励振部が平面視で矩形状に形成され、この励振部の外縁の四辺が曲面形状に形成され、各辺の両端が振動の節に設定されている請求項１に記載の圧電振動片。
4. 前記励振部に形成された励振電極は、その外縁形状が前記励振部の外縁に沿って設けられている請求項１乃至３のいずれかに記載の圧電振動片。
5. 前記ベース部は、前記励振部と同一の厚みで一体に形成されたリード部を有し、このリード部に前記励振電極から引き出されたリード電極が前記励振電極と同一高さに形成されている請求項１に記載の圧電振動片。
6. 前記励振部を挟んで前記リード部が延びる方向とは反対側に励振部から延びるＴ字形状の突出部を有し、この突出部が前記励振部と同一の厚みで形成されている請求項５に記載の圧電振動片。
7. 前記ベース部が平面視で矩形状に形成され、四隅が面取りされている請求項１に記載の圧電振動片。
8. 前記リード部は、最少幅が０．０６ｍｍ以下に形成される請求項５に記載の圧電振動片。