JP2018006919A5 - - Google Patents

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特開２００１−２４４７６号公報 特開２０１３−３８６５８号公報 特開２０１４−１６１００１号公報 特開２００８−８５９８９号公報 特開２００９−１０９３２号公報
まず、圧電薄膜共振器の２次歪みを抑制する例について説明する。図１（ａ）および図１（ｂ）は、圧電薄膜共振器の断面図を示す図である。図１（ａ）に示すように、圧電膜１４は下部電極１２と上部電極１６との間に挟まれている。圧電薄膜共振器８０では、共振周波数の波長λの１／２がほぼ圧電膜１４の厚さに相当する。つまり、圧電薄膜共振器８０は、１／２λ厚み共振を用いている。このため、例えば下部電極１２が−のとき、上部電極１６は＋となる。圧電膜１４内の上下の面はそれぞれ＋および−のいずれかとなる。
（実施例１の変形例１１）
図１８（ａ）は、実施例１の変形例１１に係る弾性波デバイスの平面図、図１８（ｂ）は、共振領域付近の平面図である。図１８（ａ）および図１８（ｂ）に示すように、分断領域６２は長軸および短軸から傾いている。分断領域６２に沿った挿入膜２８は長軸および短軸から傾いている。その他の構造は実施例１と同じであり説明を省略する。分断領域６２を曲線状とすることで、スプリアスを抑制できる。
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