JP2013201407A5 - 圧電素子、液体噴射ヘッド、液体噴射装置、超音波デバイス及びセンサー並びに圧電素子の製造方法 - Google Patents
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Description
上記課題を解決する本発明の態様は、圧電体層と前記圧電体層を挟む第１電極と第２電極とを備えた圧電素子であって、前記圧電体層は、前記第１電極上に設けられた、ビスマスと、鉄と、亜鉛及びニッケルの少なくとも一方と、を含むペロブスカイト構造のバッファー層と、該バッファー層上に設けられたビスマス、鉄、バリウム及びチタンを含むペロブスカイト構造の複合酸化物層とからなることを特徴とする圧電素子にある。
かかる態様では、ビスマスと、鉄と、亜鉛及びニッケルの少なくとも一方とを含むペロブスカイト構造のバッファー層と、該バッファー層上に設けられたビスマス、鉄、バリウム及びチタンを含むペロブスカイト構造の複合酸化物層との積層構造の圧電体層とすることにより、クラックの発生が抑制された圧電体層を有する圧電素子とすることができる。また、非鉛又は鉛の含有量を抑えられるため、環境への負荷を低減することができる。
かかる態様では、ビスマスと、鉄と、亜鉛及びニッケルの少なくとも一方とを含むペロブスカイト構造のバッファー層と、該バッファー層上に設けられたビスマス、鉄、バリウム及びチタンを含むペロブスカイト構造の複合酸化物層との積層構造の圧電体層とすることにより、クラックの発生が抑制された圧電体層を有する圧電素子とすることができる。また、非鉛又は鉛の含有量を抑えられるため、環境への負荷を低減することができる。
本発明の他の態様は、上記記載の圧電素子を具備することを特徴とする液体噴射ヘッド、及び当該液体噴射ヘッドを具備することを特徴とする液体噴射装置にある。
かかる態様では、環境への負荷を低減し、クラックの発生が抑制された圧電体層を有する液体噴射ヘッド及び液体噴射装置を実現することができる。
かかる態様では、環境への負荷を低減し、クラックの発生が抑制された圧電体層を有する液体噴射ヘッド及び液体噴射装置を実現することができる。
本発明の他の態様は、上記圧電素子を具備することを特徴とする超音波デバイス、あるいは、上記圧電素子を具備するセンサーにある。
かかる態様では、環境への負荷を低減し、クラックの発生が抑制された圧電体層を有する圧電素子を具備する超音波デバイスあるいはセンサーとすることができる。
かかる態様では、環境への負荷を低減し、クラックの発生が抑制された圧電体層を有する圧電素子を具備する超音波デバイスあるいはセンサーとすることができる。
Claims (7)
- 圧電体層と前記圧電体層を挟む第１電極と第２電極とを備えた圧電素子であって、
前記圧電体層は、
前記第１電極上に設けられた、ビスマスと、鉄と、亜鉛及びニッケルの少なくとも一方と、を含むペロブスカイト構造のバッファー層と、
該バッファー層上に設けられたビスマス、鉄、バリウム及びチタンを含むペロブスカイト構造の複合酸化物層とからなることを特徴とする圧電素子。 - 前記バッファー層は、さらにチタンを含むことを特徴とする請求項１に記載の圧電素子。
- 請求項１又は２に記載の圧電素子を具備することを特徴とする液体噴射ヘッド。
- 請求項３に記載の液体噴射ヘッドを具備することを特徴とする液体噴射装置。
- 請求項１又は２に記載の圧電素子を具備することを特徴とする超音波デバイス。
- 請求項１又は２に記載の圧電素子を具備することを特徴とするセンサー。
- 圧電体層と、前記圧電体層を挟む第１電極及び第２電極とを備えた圧電素子の製造方法において、
前記第１電極上に、ビスマスと、鉄と、亜鉛及びニッケルの少なくとも一方とを含むペロブスカイト構造のバッファー層を形成する工程と、
前記バッファー層上に、ビスマス、鉄、バリウム及びチタンを含むペロブスカイト構造の複合酸化物層を形成する工程と、
を具備することを特徴とする圧電素子の製造方法。
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