JP6981046B2 - 圧電デバイス、液体吐出ヘッド、液体吐出装置 - Google Patents
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Description
図1は、本発明の第1実施形態に係る液体吐出装置10を例示する構成図である。第1実施形態の液体吐出装置10は、液体の例示であるインクを媒体12に吐出するインクジェット方式の印刷装置である。媒体12は、典型的には印刷用紙であるが、樹脂フィルムまたは布帛等の任意の印刷対象が媒体12として利用され得る。図1に示すように、液体吐出装置10には、インクを貯留する液体容器14が固定される。例えば液体吐出装置10に着脱可能なカートリッジ、可撓性のフィルムで形成された袋状のインクパック、またはインクを補充可能なインクタンクが液体容器14として利用される。色彩が相違する複数種のインクが液体容器14には貯留される。
図2は、任意の1個の液体吐出ヘッド26の分解斜視図であり、図3は、図2におけるIII−III断面図である。図2に示すように、液体吐出ヘッド26は、Y方向に配列された複数のノズルNを具備する。第1実施形態の複数のノズルNは、第1列L1と第2列L2とに区分される。第1列L1と第2列L2との間でノズルNのY方向の位置を相違させること(すなわち千鳥配置またはスタガ配置)も可能であるが、第1列L1と第2列L2とでノズルNのY方向の位置を一致させた構成が図3では便宜的に例示されている。図2に示すように液体吐出ヘッド26は、第1列L1の複数のノズルNに関連する要素と第2列L2の複数のノズルNに関連する要素とが略線対称に配置された構造である。
図4は、圧電デバイス39を拡大した断面図および平面図である。図4の断面図(図4の上側の図)は、圧電デバイス39をX−Z平面で切断したものであり、図4の平面図(図4の下側の図)は、圧電デバイス39をZ方向から見たものである。図5は、図4に示す圧電デバイス39のV−V断面図である。
=3×F×d2×(1−v)/(h2×Y)=H ・・・(3)
本発明の第2実施形態について説明する。以下に例示する各形態において作用や機能が第1実施形態と同様である要素については、第1実施形態の説明で使用した符号を流用して各々の詳細な説明を適宜に省略する。第2実施形態では、第1実施形態に係る圧電デバイス39の圧電素子37についての具体的な構成例を説明する。図9および図10は、図4の圧電素子37の具体的な構成例である。図9は、第2実施形態に係る圧電デバイス39をZ方向から見た場合の平面図である。図10は、図4に示す圧電デバイス39のXVII−XVII断面図である。
以上に例示した態様および実施形態は多様に変形され得る。具体的な変形の態様を以下に例示する。以下の例示や上述の態様から任意に選択された2以上の態様は、相互に矛盾しない範囲で適宜に併合され得る。
Claims (6)
- 圧力室と、
圧電素子と、
前記圧力室と前記圧電素子との間に配置される振動板と、を具備し、
前記振動板は、単結晶シリコン基材の結晶面{110}を有し、
前記振動板は、前記圧力室に平面視で重なる振動領域を有し、
前記圧電素子は、前記振動領域に平面視で重なり、
前記振動領域を周方向において、前記結晶面内の結晶方位〈−111〉から〈1−12〉までの第1領域、前記〈1−12〉から〈1−1−1〉までの第2領域、前記〈1−1−1〉から〈−11−2〉までの第3領域、前記〈−11−2〉から前記〈−111〉までの第4領域に分けたとき、前記振動領域の形状は、前記〈−111〉の方向の直径と前記〈1−12〉の方向の直径を共通にする仮想の真円形と比較すると、前記第2領域と前記第4領域では前記仮想の真円形よりも内側にあり、前記第1領域と前記第3領域では少なくとも一部が前記仮想の真円形よりも外側にある
圧電デバイス。 - 前記第1領域において、前記結晶方位〈−111〉から〈1−12〉側に59度の方位までの領域で、前記振動領域が前記仮想の真円形の外側にあり、
前記第3領域において、前記結晶方位〈1−1−1〉から〈−11−2〉側に59度の方位までの領域で、前記振動領域が前記仮想の真円形の外側にある
請求項1に記載の圧電デバイス。 - 前記振動領域の形状は、前記第1領域と前記第3領域において前記振動領域の中心に対して点対称であり、前記第2領域と前記第4領域において前記振動領域の中心に対して点対称である
請求項1または請求項2に記載の圧電デバイス。 - 圧力室と、
圧電素子と、
前記圧力室と前記圧電素子との間に配置される振動板と、を具備し、
前記振動板は、結晶方向によってヤング率とポアソン比が異なる単結晶シリコン基材の結晶面を有し、
前記振動板は、前記圧力室に平面視で重なる振動領域を有し、
前記圧電素子は、前記振動領域に平面視で重なり、
前記振動領域の所定の方位の直径をd1、前記所定の方位のヤング率をY1とすると共にポアソン比をv1とし、前記振動領域の任意の方位のヤング率をYとすると共にポアソン比をvとすると、前記振動領域の任意の方位の直径dは、d=√{(d1)2×(1−v1)×Y/Y1×(1−v)}の関係を有する
圧電デバイス。 - 請求項1から請求項4の何れかに記載の圧電デバイスを備え、
前記圧電素子によって前記振動板を振動させることで前記圧力室の圧力を変動することよって、前記圧力室に充填された液体をノズルから吐出する
液体吐出ヘッド。 - 請求項1から請求項4の何れかに記載の圧電デバイスを備え、
前記圧電素子によって前記振動板を振動させることで前記圧力室の圧力を変動することよって、前記圧力室に充填された液体をノズルから吐出する
液体吐出装置。
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