JP2001253070A - インクジェット式記録ヘッド - Google Patents
インクジェット式記録ヘッドInfo
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- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
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- B41J2/14—Structure thereof only for on-demand ink jet heads
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 インク吐出のエネルギ効率に優れるインクジ
ェット式記録ヘッドを提供すること。 【解決手段】 本発明のインクジェット式記録ヘッド１
０は、対向する上面１１ｕ及び下面１１ｄを有すると共
に、全体に帯状で、一端側１１ａが他端側１１ｂ及び中
央部１１ｃよりも幅広に形成された圧力発生室１１を備
えている。圧力発生室１１の少なくとも一端側１１ａ及
び中央部１１ｃの上面には、弾性板１５を介して圧電素
子構造１２が設けられている。圧力発生室１１の一端側
１１ａの下面には、インク供給路１３が連通し、圧力発
生室１１の他端側には、ノズル開口１４が形成されてい
る。圧電素子構造１２は、圧力発生室１１の一端側１１
ａの上面に設けられた部分が、圧力発生室１１の中央部
１１ｃの上面に設けられた部分よりも幅広である。
ェット式記録ヘッドを提供すること。 【解決手段】 本発明のインクジェット式記録ヘッド１
０は、対向する上面１１ｕ及び下面１１ｄを有すると共
に、全体に帯状で、一端側１１ａが他端側１１ｂ及び中
央部１１ｃよりも幅広に形成された圧力発生室１１を備
えている。圧力発生室１１の少なくとも一端側１１ａ及
び中央部１１ｃの上面には、弾性板１５を介して圧電素
子構造１２が設けられている。圧力発生室１１の一端側
１１ａの下面には、インク供給路１３が連通し、圧力発
生室１１の他端側には、ノズル開口１４が形成されてい
る。圧電素子構造１２は、圧力発生室１１の一端側１１
ａの上面に設けられた部分が、圧力発生室１１の中央部
１１ｃの上面に設けられた部分よりも幅広である。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、インクジェット式
記録ヘッドに関し、とりわけ、インク吐出のエネルギ効
率に優れるインクジェット式記録ヘッドに関する。
記録ヘッドに関し、とりわけ、インク吐出のエネルギ効
率に優れるインクジェット式記録ヘッドに関する。
【０００２】
【従来の技術】図３（ａ）は、従来のインクジェット式
記録ヘッドの概略平面図であり、図３（ｂ）は、図３
（ａ）のＡ−Ａ線断面図である。図３（ａ）及び図３
（ｂ）に示すように、従来の記録ヘッド５０は、一定の
幅を有する断面が矩形の圧力発生室５１と、圧力発生室
５１の上面側に弾性板５５を介して設けられた圧電素子
構造５２と、圧力発生室５１の一端側に連通するインク
供給路５３と、圧力発生室５１の他端側に形成されたノ
ズル開口５４と、を備えている。
記録ヘッドの概略平面図であり、図３（ｂ）は、図３
（ａ）のＡ−Ａ線断面図である。図３（ａ）及び図３
（ｂ）に示すように、従来の記録ヘッド５０は、一定の
幅を有する断面が矩形の圧力発生室５１と、圧力発生室
５１の上面側に弾性板５５を介して設けられた圧電素子
構造５２と、圧力発生室５１の一端側に連通するインク
供給路５３と、圧力発生室５１の他端側に形成されたノ
ズル開口５４と、を備えている。
【０００３】図３（ａ）及び図３（ｂ）に示すような記
録ヘッド５０では、圧電素子構造５２の駆動による圧力
発生室５１の変形に伴って、ノズル開口５４からインク
滴が吐出される。これにより、記録紙等への記録（印
刷）が可能である。
録ヘッド５０では、圧電素子構造５２の駆動による圧力
発生室５１の変形に伴って、ノズル開口５４からインク
滴が吐出される。これにより、記録紙等への記録（印
刷）が可能である。
【０００４】また、圧電素子構造として薄膜ＰＺＴを利
用したインクジェット式記録ヘッドの製造方法が、特開
平５−２８６１３１号公報等に詳細に説明されている。
用したインクジェット式記録ヘッドの製造方法が、特開
平５−２８６１３１号公報等に詳細に説明されている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】図３（ａ）及び図３
（ｂ）に示すような従来の構造では、圧力発生室５１の
変形によって、圧力発生室５１内のインクが、ノズル開
口５４の方向とインク供給路５３の方向との両方に押し
出される。従って、ノズル開口５４からのインクの吐出
量は、圧力発生室５１の体積変化分の約５０％程度であ
る。つまり、ノズル開口５４から吐出する所望のインク
量に対して、圧力発生室５１はその約２倍の体積変化が
必要である。このような態様は、エネルギ効率が良くな
い。
（ｂ）に示すような従来の構造では、圧力発生室５１の
変形によって、圧力発生室５１内のインクが、ノズル開
口５４の方向とインク供給路５３の方向との両方に押し
出される。従って、ノズル開口５４からのインクの吐出
量は、圧力発生室５１の体積変化分の約５０％程度であ
る。つまり、ノズル開口５４から吐出する所望のインク
量に対して、圧力発生室５１はその約２倍の体積変化が
必要である。このような態様は、エネルギ効率が良くな
い。
【０００６】本発明は、このような点を考慮してなされ
たものであり、インク吐出のエネルギ効率に優れるイン
クジェット式記録ヘッドを提供することを目的とする。
たものであり、インク吐出のエネルギ効率に優れるイン
クジェット式記録ヘッドを提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明は、対向する上面
及び下面を有すると共に、断面が略矩形で一端側が他端
側及び中央部よりも幅広に形成された圧力発生室と、圧
力発生室の少なくとも一端側及び中央部の上面に弾性板
を介して設けられ、上部電極、圧電体層及び下部電極を
有する圧電素子と、圧力発生室の一端側の下面に連通す
るインク供給路と、圧力発生室の他端側に形成されたノ
ズル開口と、を備え、圧電素子は、圧力発生室の一端側
の上面に設けられた部分が、圧力発生室の中央部の上面
に設けられた部分よりも幅広であることを特徴とするイ
ンクジェット式記録ヘッドである。
及び下面を有すると共に、断面が略矩形で一端側が他端
側及び中央部よりも幅広に形成された圧力発生室と、圧
力発生室の少なくとも一端側及び中央部の上面に弾性板
を介して設けられ、上部電極、圧電体層及び下部電極を
有する圧電素子と、圧力発生室の一端側の下面に連通す
るインク供給路と、圧力発生室の他端側に形成されたノ
ズル開口と、を備え、圧電素子は、圧力発生室の一端側
の上面に設けられた部分が、圧力発生室の中央部の上面
に設けられた部分よりも幅広であることを特徴とするイ
ンクジェット式記録ヘッドである。
【０００８】本発明によれば、圧力発生室及び圧電素子
の一端側がそれぞれ幅広に形成されているため、圧電素
子の駆動による圧力発生室の変形量が当該一端側におい
て大きく、結果的にインク供給路に逆流するインクの量
を低減することができる。
の一端側がそれぞれ幅広に形成されているため、圧電素
子の駆動による圧力発生室の変形量が当該一端側におい
て大きく、結果的にインク供給路に逆流するインクの量
を低減することができる。
【０００９】好ましくは、圧力発生室の一端側の幅は、
他の部分の幅の１．２倍以上であり、圧電素子の一端側
の幅は、他の部分の幅の１．２倍以上である。
他の部分の幅の１．２倍以上であり、圧電素子の一端側
の幅は、他の部分の幅の１．２倍以上である。
【００１０】また、好ましくは、圧力発生室は、略一定
の深さを有しており、圧力発生室の一端側の上面は、圧
電素子の変形によって下方に圧力発生室の深さの１／２
以上変形する部分を有する。
の深さを有しており、圧力発生室の一端側の上面は、圧
電素子の変形によって下方に圧力発生室の深さの１／２
以上変形する部分を有する。
【００１１】また、好ましくは、圧力発生室の他端側及
び中央部は、略一定の幅となっており、圧電素子の他端
側及び中央部も、略一定の幅となっており、圧力発生室
の一端側は、中央部からテーパ状に幅広となっており、
圧電素子の一端側も、中央部からテーパ状に幅広となっ
ている。
び中央部は、略一定の幅となっており、圧電素子の他端
側及び中央部も、略一定の幅となっており、圧力発生室
の一端側は、中央部からテーパ状に幅広となっており、
圧電素子の一端側も、中央部からテーパ状に幅広となっ
ている。
【００１２】また、好ましくは、幅広に形成された圧力
発生室の一端側の長さ及び幅広に形成された圧電素子の
一端側の長さは、圧力発生室全体の長さの０．２倍以下
である。
発生室の一端側の長さ及び幅広に形成された圧電素子の
一端側の長さは、圧力発生室全体の長さの０．２倍以下
である。
【００１３】さらに、好ましくは、圧電素子の幅が変化
する部分の近傍において、少なくとも上部電極と圧電体
層とが下部電極よりそれぞれ細く形成されている。
する部分の近傍において、少なくとも上部電極と圧電体
層とが下部電極よりそれぞれ細く形成されている。
【００１４】
【発明の実施の形態】以下、図面を参照して本発明の実
施の形態について説明する。
施の形態について説明する。
【００１５】図１（ａ）は、本発明によるインクジェッ
ト式記録ヘッドの第１の実施の形態の概略平面図であ
り、図１（ｂ）は、図１（ａ）のＡ−Ａ線断面図であ
る。図１（ａ）及び図１（ｂ）に示すように、本発明の
第１の実施の形態のインクジェット式記録ヘッド１０
は、対向する上面１１ｕ及び下面１１ｄを有すると共
に、全体に帯状の圧力発生室１１を備えている。圧力発
生室１１は、一端側部分１１ａが、他端側部分１１ｂ及
び中央部１１ｃよりも幅広に形成されている。
ト式記録ヘッドの第１の実施の形態の概略平面図であ
り、図１（ｂ）は、図１（ａ）のＡ−Ａ線断面図であ
る。図１（ａ）及び図１（ｂ）に示すように、本発明の
第１の実施の形態のインクジェット式記録ヘッド１０
は、対向する上面１１ｕ及び下面１１ｄを有すると共
に、全体に帯状の圧力発生室１１を備えている。圧力発
生室１１は、一端側部分１１ａが、他端側部分１１ｂ及
び中央部１１ｃよりも幅広に形成されている。
【００１６】圧力発生室１１の一端側１１ａ、他端側１
１ｂ及び中央部１１ｃの上面には、弾性板１５を介して
薄膜ＰＺＴで構成された圧電体層１２ａを有する圧電素
子構造１２が形成されている。この場合、圧電体層１２
ａの上面側には上部電極１２ｕが設けられ、圧電体層１
２ａの下面側には下部電極１２ｄが設けられ、圧電素子
構造１２は積層された三層構造となっている。本実施の
形態の圧電素子構造１２は、圧力発生室１１の一端側１
１ａの上面に設けられた部分が、圧力発生室１１の中央
部１１ｃ及び他端部１１ｂの上面に設けられた部分より
も幅広である。また、両電極１２ｕ及び１２ｄは、図示
しない駆動回路に接続されている。
１ｂ及び中央部１１ｃの上面には、弾性板１５を介して
薄膜ＰＺＴで構成された圧電体層１２ａを有する圧電素
子構造１２が形成されている。この場合、圧電体層１２
ａの上面側には上部電極１２ｕが設けられ、圧電体層１
２ａの下面側には下部電極１２ｄが設けられ、圧電素子
構造１２は積層された三層構造となっている。本実施の
形態の圧電素子構造１２は、圧力発生室１１の一端側１
１ａの上面に設けられた部分が、圧力発生室１１の中央
部１１ｃ及び他端部１１ｂの上面に設けられた部分より
も幅広である。また、両電極１２ｕ及び１２ｄは、図示
しない駆動回路に接続されている。
【００１７】圧力発生室１１の一端側１１ａの下面に
は、インク供給路１３が連通している。一方、圧力発生
室１１の他端側１１ｂには、ノズル開口１４が形成され
ている。
は、インク供給路１３が連通している。一方、圧力発生
室１１の他端側１１ｂには、ノズル開口１４が形成され
ている。
【００１８】本実施の形態の場合、圧力発生室１１の他
端側１１ｂ及び中央部１１ｃの幅は、７０μｍで略一定
であり、圧力発生室１１の一端側１１ａは中央部１１ｃ
からテーパ状に幅広となって、最大幅は１００μｍとな
っている。すなわち、圧力発生室１１の一端側１１ａ
は、他の部分の幅の１．２倍以上の部分を有している。
端側１１ｂ及び中央部１１ｃの幅は、７０μｍで略一定
であり、圧力発生室１１の一端側１１ａは中央部１１ｃ
からテーパ状に幅広となって、最大幅は１００μｍとな
っている。すなわち、圧力発生室１１の一端側１１ａ
は、他の部分の幅の１．２倍以上の部分を有している。
【００１９】圧電素子構造１２は、図１（ａ）に示すよ
うに、圧力発生室１１の上面から一回り小さい大きさで
形成されているが、圧電素子構造１２の他端側及び中央
部も、略一定の幅となっており、圧電素子構造１２の一
端側も中央部からテーパ状に幅広となっている。その結
果、圧電素子構造１２の一端側は、他の部分の幅の１．
２倍以上の部分を有している。
うに、圧力発生室１１の上面から一回り小さい大きさで
形成されているが、圧電素子構造１２の他端側及び中央
部も、略一定の幅となっており、圧電素子構造１２の一
端側も中央部からテーパ状に幅広となっている。その結
果、圧電素子構造１２の一端側は、他の部分の幅の１．
２倍以上の部分を有している。
【００２０】本実施の形態の場合、図１（ａ）に示すよ
うに、圧力発生室１１は幅方向に対称であり、圧電素子
構造１２も幅方向に対称である。
うに、圧力発生室１１は幅方向に対称であり、圧電素子
構造１２も幅方向に対称である。
【００２１】また、図１（ｂ）に示すように、圧力発生
室１１は略一定の深さを有している。この深さは、例え
ば１μｍ（＝１０００ｎｍ）である。圧力発生室１１の
一端側１１ａの上面は、圧電素子構造１２の変形によっ
て下方に変形するが、その変形量の最大値は圧力発生室
１１の深さの１／２以上となっている。その最大の変形
量は、例えば６００〜７００ｎｍである。この場合、圧
力発生室１１の他端部１１ｂ及び中央部１１ｃにおける
変形量は、４００〜５００ｎｍである。
室１１は略一定の深さを有している。この深さは、例え
ば１μｍ（＝１０００ｎｍ）である。圧力発生室１１の
一端側１１ａの上面は、圧電素子構造１２の変形によっ
て下方に変形するが、その変形量の最大値は圧力発生室
１１の深さの１／２以上となっている。その最大の変形
量は、例えば６００〜７００ｎｍである。この場合、圧
力発生室１１の他端部１１ｂ及び中央部１１ｃにおける
変形量は、４００〜５００ｎｍである。
【００２２】その他、インク供給路１３には、図示しな
いインクカートリッジ等が連通しており、インクが絶え
ず供給されるようになっている。
いインクカートリッジ等が連通しており、インクが絶え
ず供給されるようになっている。
【００２３】次に、このような構成よりなる本実施の形
態の作用について説明する。
態の作用について説明する。
【００２４】吐出前状態においては、インク供給路１３
から供給されるインクによって圧力発生室１１が充満さ
れており、ノズル開口１４には、インクの表面張力によ
ってメニスカスが形成されている。
から供給されるインクによって圧力発生室１１が充満さ
れており、ノズル開口１４には、インクの表面張力によ
ってメニスカスが形成されている。
【００２５】図示しない駆動回路と上部電極１２ｕ及び
下部電極１２ｄとによって圧電体層１２ａが印加（駆
動）されると、圧電体層１２ａに圧電ひずみが発生し、
圧電素子構造１２が撓んで、圧力発生室１１を変形させ
る。
下部電極１２ｄとによって圧電体層１２ａが印加（駆
動）されると、圧電体層１２ａに圧電ひずみが発生し、
圧電素子構造１２が撓んで、圧力発生室１１を変形させ
る。
【００２６】この時の変形の状態は、図１（ｂ）に点線
で示すようになり、圧力発生室１１の中央部１１ｃ及び
他端部１１ｂにおける変形量が４００〜５００ｎｍであ
るのに対し、圧力発生室１１の一端側１１ａにおける変
形量は６００〜７００ｎｍであって、圧力発生室１１の
深さ１μｍ＝１０００ｎｍの１／２以上である。このた
め、圧力発生室１１の他端部１１ｂ及び中央部１１ｃ側
からインク供給路１３方向へのインクの逆流を防止する
ことができる。
で示すようになり、圧力発生室１１の中央部１１ｃ及び
他端部１１ｂにおける変形量が４００〜５００ｎｍであ
るのに対し、圧力発生室１１の一端側１１ａにおける変
形量は６００〜７００ｎｍであって、圧力発生室１１の
深さ１μｍ＝１０００ｎｍの１／２以上である。このた
め、圧力発生室１１の他端部１１ｂ及び中央部１１ｃ側
からインク供給路１３方向へのインクの逆流を防止する
ことができる。
【００２７】これにより、圧電体層１２ａの駆動によっ
て吐出されるインク量が従来構造の場合と比較して増大
するため、結果的にインク吐出のエネルギ効率が向上す
る。
て吐出されるインク量が従来構造の場合と比較して増大
するため、結果的にインク吐出のエネルギ効率が向上す
る。
【００２８】以上のように、本実施の形態によれば、圧
力発生室１１及び圧電体層１２ａの一端側の部分が幅広
に形成されているため、圧電体層１２ａの駆動による圧
力発生室１１の変形量が当該一端側において大きく、イ
ンク供給路１３に逆流するインクの量を低減することが
できる。この結果、インク吐出のエネルギ効率が向上す
る。
力発生室１１及び圧電体層１２ａの一端側の部分が幅広
に形成されているため、圧電体層１２ａの駆動による圧
力発生室１１の変形量が当該一端側において大きく、イ
ンク供給路１３に逆流するインクの量を低減することが
できる。この結果、インク吐出のエネルギ効率が向上す
る。
【００２９】なお、本件発明者は、インク吐出のエネル
ギ効率を向上するには、幅広部の長さを圧力発生室の長
さの０．２倍以下とすることがより一層好適であること
を知見した。
ギ効率を向上するには、幅広部の長さを圧力発生室の長
さの０．２倍以下とすることがより一層好適であること
を知見した。
【００３０】次に、本発明の第２の実施の形態のインク
ジェット式記録ヘッドについて、図２（ａ）及び図２
（ｂ）を用いて説明する。図２（ａ）は、第２の実施の
形態のインクジェット式記録ヘッドの概略平面図であ
り、図２（ｂ）は図２（ａ）のＡ−Ａ線断面図である。
ジェット式記録ヘッドについて、図２（ａ）及び図２
（ｂ）を用いて説明する。図２（ａ）は、第２の実施の
形態のインクジェット式記録ヘッドの概略平面図であ
り、図２（ｂ）は図２（ａ）のＡ−Ａ線断面図である。
【００３１】図２（ａ）に示すように、本実施の形態の
インクジェット式記録ヘッド１０は、少なくとも上部電
極１２ｕ及び圧電体層１２ａが、圧電素子構造１２の幅
が変化する部分の近傍、すなわち、圧電素子構造１２の
変形パターンが切替わる部分の近傍（図２（ｂ）の点線
参照）においてそれぞれ細く形成されている他は、図１
（ａ）及び図１（ｂ）に示す第１の実施の形態のインク
ジェット式記録ヘッドと略同様の構成である。第２の実
施の形態において、図１（ａ）及び図１（ｂ）に示す第
１の実施の形態と同一の部分には同一の符号を付して詳
細な説明は省略する。
インクジェット式記録ヘッド１０は、少なくとも上部電
極１２ｕ及び圧電体層１２ａが、圧電素子構造１２の幅
が変化する部分の近傍、すなわち、圧電素子構造１２の
変形パターンが切替わる部分の近傍（図２（ｂ）の点線
参照）においてそれぞれ細く形成されている他は、図１
（ａ）及び図１（ｂ）に示す第１の実施の形態のインク
ジェット式記録ヘッドと略同様の構成である。第２の実
施の形態において、図１（ａ）及び図１（ｂ）に示す第
１の実施の形態と同一の部分には同一の符号を付して詳
細な説明は省略する。
【００３２】本実施の形態においては、圧電素子構造１
２の幅が変化する部分の近傍、すなわち、圧電素子構造
１２が局所的に大きく変形する部分において、上部電極
１２ｕ及び圧電体層１２ａが細く形成されているため、
圧電素子構造１２の変形による幅が変化する部分の損傷
が防止される。
２の幅が変化する部分の近傍、すなわち、圧電素子構造
１２が局所的に大きく変形する部分において、上部電極
１２ｕ及び圧電体層１２ａが細く形成されているため、
圧電素子構造１２の変形による幅が変化する部分の損傷
が防止される。
【００３３】
【発明の効果】以上のように、本発明によれば、圧力発
生室及び圧電素子の一端側の部分が幅広に形成されてい
るため、圧電素子の駆動による圧力発生室の変形量が当
該一端側において大きくなり、インク供給路に逆流する
インクの量を低減することができる。この結果、インク
吐出のエネルギ効率が著しく向上する。
生室及び圧電素子の一端側の部分が幅広に形成されてい
るため、圧電素子の駆動による圧力発生室の変形量が当
該一端側において大きくなり、インク供給路に逆流する
インクの量を低減することができる。この結果、インク
吐出のエネルギ効率が著しく向上する。
【図１】本発明によるインクジェット式記録ヘッドの第
１の実施の形態を示す概略図。
１の実施の形態を示す概略図。
【図２】本発明によるインクジェット式記録ヘッドの第
２の実施の形態を示す概略図。
２の実施の形態を示す概略図。
【図３】従来のインクジェット式記録ヘッドの概略図。
１０ インクジェット式記録ヘッド １１ 圧力発生室 １１ａ 一端側部分 １１ｂ 他端側部分 １１ｃ 中央部 １１ｕ 上面 １１ｄ 下面 １２ 圧電素子構造 １２ａ 圧電体層 １２ｕ 上部電極 １２ｄ 下部電極 １３ インク供給路 １４ ノズル開口 １５ 弾性板
Claims (7)
- 【請求項１】対向する上面及び下面を有すると共に、断
面が略矩形で一端側が他端側及び中央部よりも幅広に形
成された圧力発生室と、 圧力発生室の少なくとも一端側及び中央部の上面に弾性
板を介して設けられ、上部電極、圧電体層及び下部電極
を有する圧電素子と、 圧力発生室の一端側の下面に連通するインク供給路と、 圧力発生室の他端側に形成されたノズル開口と、を備
え、 圧電素子は、圧力発生室の一端側の上面に設けられた部
分が、圧力発生室の中央部の上面に設けられた部分より
も幅広であることを特徴とするインクジェット式記録ヘ
ッド。 - 【請求項２】圧力発生室の一端側の幅は、他の部分の幅
の１．２倍以上であることを特徴とする請求項１に記載
のインクジェット式記録ヘッド。 - 【請求項３】圧電素子の一端側の幅は、他の部分の幅の
１．２倍以上であることを特徴とする請求項１または２
に記載のインクジェット式記録ヘッド。 - 【請求項４】圧力発生室は、略一定の深さを有してお
り、 圧力発生室の一端側の上面は、圧電素子の変形によって
下方に圧力発生室の深さの１／２以上変形する部分を有
することを特徴とする請求項１乃至３のいずれかに記載
のインクジェット式記録ヘッド。 - 【請求項５】圧力発生室の他端側及び中央部は、略一定
の幅となっており、 圧電素子の他端側及び中央部も、略一定の幅となってお
り、 圧力発生室の一端側は、中央部からテーパ状に幅広とな
っており、 圧電素子の一端側も、中央部からテーパ状に幅広となっ
ていることを特徴とする請求項１乃至４のいずれかに記
載のインクジェット式記録ヘッ - 【請求項６】幅広に形成された圧力発生室の一端側の長
さ及び幅広に形成された圧電素子の一端側の長さは、圧
力発生室全体の長さの０．２倍以下であることを特徴と
する請求項１乃至５のいずれかに記載のインクジェット
式記録ヘッド。 - 【請求項７】圧電素子の幅が変化する部分の近傍におい
て、少なくとも上部電極と圧電体層とが下部電極よりそ
れぞれ細く形成されていることを特徴とする請求項１乃
至６のいずれかに記載のインクジェット式記録ヘッド。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000063830A JP2001253070A (ja) | 2000-03-08 | 2000-03-08 | インクジェット式記録ヘッド |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000063830A JP2001253070A (ja) | 2000-03-08 | 2000-03-08 | インクジェット式記録ヘッド |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001253070A true JP2001253070A (ja) | 2001-09-18 |
Family
ID=18583626
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000063830A Withdrawn JP2001253070A (ja) | 2000-03-08 | 2000-03-08 | インクジェット式記録ヘッド |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2001253070A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007055242A (ja) * | 2005-07-27 | 2007-03-08 | Brother Ind Ltd | 液滴噴射装置及び液体移送装置 |
| JP2011066197A (ja) * | 2009-09-17 | 2011-03-31 | Konica Minolta Holdings Inc | 電気機械変換機構、インクジェットヘッドおよび超音波プローブ |
| CN108928123A (zh) * | 2017-05-29 | 2018-12-04 | 精工爱普生株式会社 | 压电器件、液体喷出头、液体喷出装置 |
| CN108928125A (zh) * | 2017-05-29 | 2018-12-04 | 精工爱普生株式会社 | 压电器件、液体喷出头、液体喷出装置 |
| CN108928126A (zh) * | 2017-05-29 | 2018-12-04 | 精工爱普生株式会社 | 压电器件、液体喷出头、液体喷出装置 |
-
2000
- 2000-03-08 JP JP2000063830A patent/JP2001253070A/ja not_active Withdrawn
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007055242A (ja) * | 2005-07-27 | 2007-03-08 | Brother Ind Ltd | 液滴噴射装置及び液体移送装置 |
| JP2011066197A (ja) * | 2009-09-17 | 2011-03-31 | Konica Minolta Holdings Inc | 電気機械変換機構、インクジェットヘッドおよび超音波プローブ |
| CN108928123A (zh) * | 2017-05-29 | 2018-12-04 | 精工爱普生株式会社 | 压电器件、液体喷出头、液体喷出装置 |
| CN108928125A (zh) * | 2017-05-29 | 2018-12-04 | 精工爱普生株式会社 | 压电器件、液体喷出头、液体喷出装置 |
| CN108928126A (zh) * | 2017-05-29 | 2018-12-04 | 精工爱普生株式会社 | 压电器件、液体喷出头、液体喷出装置 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Application deemed to be withdrawn because no request for examination was validly filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20070605 |