JP2007055242A - 液滴噴射装置及び液体移送装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】インクジェットヘッドにおいて、圧電アクチュエータは、複数の圧力室10を覆うように流路ユニットの上面に配置された導電性基材42と導電性基材42の上面に形成された絶縁層43とを有する振動板40と、振動板40の上面の圧力室10に対向する領域に圧力室10の幅方向の一方の縁から、圧力室10の幅方向に延びた圧電層41が形成されている。振動板40の下面には、圧力室10の幅方向の他方の縁から幅方向に延びた凹部42aが形成されている。圧電層41の上面には個別電極45が形成され、下面には共通電極44が形成されている。振動板40の上面のうち、圧電層41が形成されていない部分には個別電極45に接続された配線50が形成されている。
【選択図】図5
Description
図12に示すように、振動板60の導電性基材62の下面に凹部が形成されておらず、導電性基材62の厚みが均一であってもよい。この場合でも、図7、図9に示されたシミュレーションの結果によれば、個別電極45と共通電極44との間に電位差を発生させることにより、振動板60を変形させて圧力室10の容積を増加させることができるため、予め個別電極45と共通電極44との間に電位差を発生させて振動板60を変形させておくことなく、引き打ちを行うことができる。
図13に示すように振動板65が絶縁性材料から構成されていてもよい。この場合でも、振動板65の表面の圧力室10と重なる領域のうち、圧電層41に重ならない部分に配線50を形成することができるので、配線50を高密度に配置することができる。また、この場合には、振動板65の下面の圧力室10と重なる領域において、圧力室10の幅方向の、圧電層41と重なる側と反対側の縁から、圧力室10の幅方向中央側に向かって延在する凹部65aが形成されており、この凹部65が形成された部分が変形しやすくなっている。さらに、振動板65の共通電極44と重なる部分にはスルーホール65bが形成され、スルーホール65bに充填された導電性材料69により共通電極44とキャビティプレート20とが電気的に接続されている。そして、キャビティプレート20をグランド電位に保持することによって共通電極44がグランド電位に保持されている。
15 ノズル
31 流路ユニット
32 圧電アクチュエータ
40 振動板
41 圧電層
42 導電性基材
42a 凹部
43 絶縁層
44 共通電極
45 個別電極
Claims (16)
- 液滴を噴射する液滴噴射装置であって、
ノズルに連通する圧力室を含む流路ユニットと、
前記圧力室を覆うように前記流路ユニットの一表面に配置された板材、この板材の前記圧力室と反対側の面の、前記圧力室と重なる領域において、前記圧力室の所定の方向の一方の縁からその所定の方向に延びるように配置された圧電層、この圧電層の一方の面に配置された個別電極、及び、前記圧電層の他方の面に配置された共通電極とを有し、前記圧力室の容積を変化させて前記圧力室内の液体に圧力を付与する圧電アクチュエータとを備え、
この圧電層の前記圧力室と対向する部分の前記所定の方向における長さは前記圧力室の前記所定の方向における長さの半分よりも短い液滴噴射装置。 - 前記圧力室は、前記板材の面方向に直交する方向から見て、前記圧力室の重心を通り前記所定の方向と直交する直線に関して対称な形状を有している請求項1に記載の液滴噴射装置。
- 前記圧力室は細長い形状を有しており、前記所定の方向は、前記圧力室の短手方向である請求項1に記載の液滴噴射装置。
- 液滴を噴射する液滴噴射装置であって、
ノズルに連通する圧力室を含む流路ユニットと、
前記圧力室を覆うように前記流路ユニットの一表面に配置され、前記圧力室と反対側の面は絶縁性を有する板材、この板材の前記圧力室と反対側の面の、前記圧力室と重なる領域において、前記圧力室の所定の方向の一方の縁からその所定の方向に延びるように配置された圧電層、この圧電層の一方の面に配置された個別電極、及び、前記圧電層の他方の面に配置された共通電極とを有し、前記圧力室の容積を変化させて前記圧力室内の液体に圧力を付与する圧電アクチュエータとを備え、
この圧電層の前記圧力室と対向する部分の前記所定の方向における長さは前記圧力室の前記所定の方向における長さの半分よりも短く、
前記板材の前記圧力室と反対側の面の、前記圧電層が配置されていない領域に、前記個別電極に接続された配線が形成されている液滴噴射装置。 - 前記圧力室は、前記板材の面方向に直交する方向から見て、前記圧力室の重心を通り前記所定の方向と直交する直線に関して対称な形状を有している請求項4に記載の液滴噴射装置。
- 前記圧力室は細長い形状を有しており、前記所定の方向は、前記圧力室の短手方向である請求項4に記載の液滴噴射装置。
- 前記板材は、
前記流路ユニットの一表面に配置された板状の導電性基材と、
この導電性基材の前記圧力室と反対側の面に形成された絶縁層とを有する請求項4に記載の液滴噴射装置。 - 前記板材は、絶縁性材料により構成されている請求項4に記載の液滴噴射装置。
- 前記圧電層の前記圧力室と対向する部分の前記所定の方向における長さは、前記圧力室の前記所定の方向における長さの12分の1〜3分の1である請求項4に記載の液滴噴射装置。
- 前記圧電層の前記圧力室と対向する部分の前記所定の方向における長さが、前記圧力室の前記所定の方向における長さの4分の1である請求項9に記載の液滴噴射装置。
- 前記板材の前記圧力室に対向する部分に、他の部分よりも厚さが薄い薄肉部が形成され、
この薄肉部は、前記圧電層と重ならない領域を有する請求項4に記載の液滴噴射装置。 - 前記薄肉部が、前記圧力室の前記所定の方向における他方の縁から前記所定の方向に延びており、且つ、前記圧電層に重ならない請求項11に記載の液滴噴射装置。
- 前記薄肉部の前記所定の方向における長さは、前記圧電層の前記所定の方向における長さよりも長い請求項12に記載の液滴噴射装置。
- 前記薄肉部の前記所定の方向における長さは、前記圧力室の前記所定の方向における長さの半分以上である請求項13に記載の液滴噴射装置。
- 液体を移送する液体移送装置において、
圧力室を含む流路ユニットと、
前記圧力室を覆うように前記流路ユニットの一表面に配置された板材、この板材の前記圧力室と反対側の面の前記圧力室と対向する領域において、所定の方向における一方の縁のみからその所定の方向に延びるように配置された圧電層、この圧電層の一方の面に配置された個別電極、及び、前記圧電層の他方の面に配置された共通電極とを有し、前記圧力室の容積を変化させて前記圧力室内の液体に圧力を付与する圧電アクチュエータとを備え、
この圧電層の前記圧力室と対向する部分の前記所定の方向の長さは前記圧力室の前記所定の方向の長さの半分よりも短い液体移送装置。 - 液体を移送する液体移送装置において、
圧力室を含む流路ユニットと、
前記圧力室を覆うように前記流路ユニットの一表面に配置された板材、この板材の前記圧力室と反対側の面の前記圧力室と対向する領域において、所定の方向における一方の縁のみからその所定の方向に延びるように配置された圧電層、この圧電層の一方の面に配置された個別電極、及び、前記圧電層の他方の面に配置された共通電極とを有し、前記圧力室の容積を変化させて前記圧力室内の液体に圧力を付与する圧電アクチュエータとを備え、
この圧電層の前記圧力室と対向する部分の前記所定の方向の長さは前記圧力室の前記所定の方向の長さの半分よりも短く、
前記板材の前記圧力室と反対側の面の、前記圧電層が配置されていない領域に、前記個別電極に接続された配線が形成されている液体移送装置。
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JP2012179785A (ja) * | 2011-03-01 | 2012-09-20 | Seiko Epson Corp | 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置 |
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- 2006-07-18 JP JP2006195195A patent/JP5134218B2/ja active Active
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