RU2019100431A - Приводное устройство, содержащее привод на основе электроактивного полимера, и способ возбуждения - Google Patents
Приводное устройство, содержащее привод на основе электроактивного полимера, и способ возбуждения Download PDFInfo
- Publication number
- RU2019100431A RU2019100431A RU2019100431A RU2019100431A RU2019100431A RU 2019100431 A RU2019100431 A RU 2019100431A RU 2019100431 A RU2019100431 A RU 2019100431A RU 2019100431 A RU2019100431 A RU 2019100431A RU 2019100431 A RU2019100431 A RU 2019100431A
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- electroactive polymer
- piezoelectric
- piezoelectric transducer
- secondary side
- actuator
- Prior art date
Links
- 229920001746 electroactive polymer Polymers 0.000 title claims 24
- 230000005284 excitation Effects 0.000 title 1
- 239000000463 material Substances 0.000 claims 3
- 239000002033 PVDF binder Substances 0.000 claims 2
- 229920002981 polyvinylidene fluoride Polymers 0.000 claims 2
- 229920002595 Dielectric elastomer Polymers 0.000 claims 1
- 239000002861 polymer material Substances 0.000 claims 1
- 229920000131 polyvinylidene Polymers 0.000 claims 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
- H10N30/40—Piezoelectric or electrostrictive devices with electrical input and electrical output, e.g. functioning as transformers
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N39/00—Integrated devices, or assemblies of multiple devices, comprising at least one piezoelectric, electrostrictive or magnetostrictive element covered by groups H10N30/00 – H10N35/00
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C08—ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
- C08L—COMPOSITIONS OF MACROMOLECULAR COMPOUNDS
- C08L27/00—Compositions of homopolymers or copolymers of compounds having one or more unsaturated aliphatic radicals, each having only one carbon-to-carbon double bond, and at least one being terminated by a halogen; Compositions of derivatives of such polymers
- C08L27/02—Compositions of homopolymers or copolymers of compounds having one or more unsaturated aliphatic radicals, each having only one carbon-to-carbon double bond, and at least one being terminated by a halogen; Compositions of derivatives of such polymers not modified by chemical after-treatment
- C08L27/12—Compositions of homopolymers or copolymers of compounds having one or more unsaturated aliphatic radicals, each having only one carbon-to-carbon double bond, and at least one being terminated by a halogen; Compositions of derivatives of such polymers not modified by chemical after-treatment containing fluorine atoms
- C08L27/16—Homopolymers or copolymers or vinylidene fluoride
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
- H10N30/50—Piezoelectric or electrostrictive devices having a stacked or multilayer structure
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
- H10N30/80—Constructional details
- H10N30/802—Circuitry or processes for operating piezoelectric or electrostrictive devices not otherwise provided for, e.g. drive circuits
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
- H10N30/80—Constructional details
- H10N30/87—Electrodes or interconnections, e.g. leads or terminals
- H10N30/872—Interconnections, e.g. connection electrodes of multilayer piezoelectric or electrostrictive devices
- H10N30/874—Interconnections, e.g. connection electrodes of multilayer piezoelectric or electrostrictive devices embedded within piezoelectric or electrostrictive material, e.g. via connections
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
- H10N30/80—Constructional details
- H10N30/85—Piezoelectric or electrostrictive active materials
- H10N30/857—Macromolecular compositions
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Medicinal Chemistry (AREA)
- Polymers & Plastics (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)
Claims (21)
1. Приводное устройство, содержащее:
привод (35) на основе электроактивного полимера; и
пьезоэлектрический преобразователь (30), имеющий первичную сторону (32) и вторичную сторону (34),
причем приводное устройство содержит слой (36) пьезоэлектрического электроактивного полимера, содержащий первый участок (36a) и второй участок (36b),
причем первый участок (36a) слоя электроактивного полимера образует часть вторичной стороны (34) пьезоэлектрического преобразователя, а второй участок (36b) слоя электроактивного полимера образует часть привода (35) на основе электроактивного полимера,
причем первичная сторона (32) и вторичная сторона (34) пьезоэлектрического преобразователя образованы из разных электроактивных полимерных материалов.
2. Устройство по п.1, в котором электроактивный полимерный материал первичной стороны (32) пьезоэлектрического преобразователя содержит предварительно деформированный диэлектрический эластомер.
3. Устройство по п.1 или 2, в котором слой пьезоэлектрического электроактивного полимера первичной стороны имеет первую молекулярную ориентацию, а слой пьезоэлектрического электроактивного полимера вторичной стороны имеет другую молекулярную ориентацию.
4. Устройство по п.3, в котором первая молекулярная ориентация находится в продольном направлении, простирающемся между пьезоэлектрическим преобразователем и приводом на основе электроактивного полимера, а вторая молекулярная ориентация перпендикулярна плоскости слоя пьезоэлектрического электроактивного полимера.
5. Устройство по любому предыдущему пункту, в котором первичная сторона (32) пьезоэлектрического преобразователя и/или привод (35) на основе электроактивного полимера содержит многослойный пакет.
6. Устройство по любому предыдущему пункту, содержащее диодную структуру (46), электрически подключенную между вторичной стороной (34) пьезоэлектрического преобразователя и приводом (35) на основе электроактивного полимера.
7. Устройство по любому предыдущему пункту, содержащее изоляционную область (50), предусмотренную в слое пьезоэлектрического электроактивного полимера между вторичной стороной (34) пьезоэлектрического преобразователя и приводом на основе электроактивного полимера.
8. Устройство по п.7, в котором изоляционная область (50) содержит одно или более отверстий (52) в слое пьезоэлектрического электроактивного полимера и/или дополнительный промежуточный материал.
9. Устройство по любому предыдущему пункту, в котором пьезоэлектрический преобразователь (30) содержит набор компланарных элементов (60, 60b, 60c, 60d) преобразователя.
10. Устройство по п.9, в котором упомянутые элементы преобразователя электрически подключены параллельно, причем их входы параллельны и их выходы параллельны, или последовательно, или в виде комбинации параллельных и последовательных элементов преобразователя.
11. Устройство по любому предыдущему пункту, в котором пьезоэлектрический преобразователь (30) является гибким.
12. Устройство по любому предыдущему пункту, в котором слой (36) пьезоэлектрического электроактивного полимера содержит поливинилиденфторид (ПВДФ) или поливинилиденфторид-трифторэтилен (ПВДФ-ТФЭ).
13. Способ возбуждения привода (35) на основе электроактивного полимера, включающий этапы, на которых:
подают сигнал возбуждения на пьезоэлектрический преобразователь (30), имеющий первичную сторону (32) и вторичную сторону (34), причем первичная сторона (32) и вторичная сторона (34) пьезоэлектрического преобразователя образованы из разных электроактивных полимерных материалов;
соединяют вторичную сторону (34) пьезоэлектрического преобразователя с приводом (35) на основе электроактивного полимера, используя общий слой (36) пьезоэлектрического электроактивного полимера таким образом, что первый участок (36a) слоя электроактивного полимера образует часть вторичной стороны (34) пьезоэлектрического преобразователя, а второй участок (36b) слоя электроактивного полимера образует часть привода (35) на основе электроактивного полимера; и
возбуждают привод (35) на основе электроактивного полимера, используя выходной сигнал от пьезоэлектрического преобразователя (30).
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
EP16174294 | 2016-06-14 | ||
EP16174294.5 | 2016-06-14 | ||
PCT/EP2017/063745 WO2017215984A1 (en) | 2016-06-14 | 2017-06-07 | Electroactive polymer actuator device and driving method |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
RU2019100431A true RU2019100431A (ru) | 2020-07-14 |
RU2019100431A3 RU2019100431A3 (ru) | 2020-09-09 |
RU2736071C2 RU2736071C2 (ru) | 2020-11-11 |
Family
ID=56131399
Family Applications (2)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
RU2019100431A RU2736071C2 (ru) | 2016-06-14 | 2017-06-07 | Приводное устройство, содержащее привод на основе электроактивного полимера, и способ возбуждения |
RU2019100446A RU2737790C2 (ru) | 2016-06-14 | 2017-06-12 | Устройство привода, имеющее в своем составе электроактивный полимерный привод, и способ управления |
Family Applications After (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
RU2019100446A RU2737790C2 (ru) | 2016-06-14 | 2017-06-12 | Устройство привода, имеющее в своем составе электроактивный полимерный привод, и способ управления |
Country Status (7)
Country | Link |
---|---|
US (2) | US11538980B2 (ru) |
EP (2) | EP3469630B1 (ru) |
JP (2) | JP6770590B2 (ru) |
CN (2) | CN109314128B (ru) |
BR (2) | BR112018075684A2 (ru) |
RU (2) | RU2736071C2 (ru) |
WO (2) | WO2017215984A1 (ru) |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP3469630B1 (en) * | 2016-06-14 | 2020-01-22 | Koninklijke Philips N.V. | Electroactive polymer actuator device and driving method |
EP3472874B1 (en) * | 2016-06-20 | 2019-10-09 | Koninklijke Philips N.V. | Friction control device and method |
JP2020513561A (ja) * | 2016-12-13 | 2020-05-14 | コーニンクレッカ フィリップス エヌ ヴェKoninklijke Philips N.V. | フロー制御装置 |
EP4232131A1 (en) * | 2020-10-23 | 2023-08-30 | Vicora, Inc. | Actuated thrombectomy device |
Family Cites Families (53)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
SU1823918A3 (ru) * | 1989-12-05 | 1993-06-23 | Mikhail E Markushin | Пьезоэлектрический клапан |
JP3070200B2 (ja) | 1991-11-01 | 2000-07-24 | オムロン株式会社 | 圧電素子駆動装置 |
US6404107B1 (en) * | 1994-01-27 | 2002-06-11 | Active Control Experts, Inc. | Packaged strain actuator |
DE69724437T2 (de) | 1996-07-12 | 2004-07-15 | Taiheiyo Cement Corp. | Piezoelektrische transformatoranordnung |
DE69721220T2 (de) | 1996-10-10 | 2004-02-05 | Philips Intellectual Property & Standards Gmbh | Piezoelektrischer transformator |
US6882086B2 (en) * | 2001-05-22 | 2005-04-19 | Sri International | Variable stiffness electroactive polymer systems |
DE19802302A1 (de) * | 1998-01-22 | 1999-07-29 | Bosch Gmbh Robert | Piezoelektrischer Aktor |
DK176073B1 (da) | 1998-03-03 | 2006-04-03 | Limiel Aps | Piezoelektrisk transformer |
JP3319413B2 (ja) * | 1998-12-01 | 2002-09-03 | 株式会社村田製作所 | 圧電アクチュエータ、圧電アクチュエータの製造方法及びインクジェットヘッド |
TW432731B (en) * | 1998-12-01 | 2001-05-01 | Murata Manufacturing Co | Multilayer piezoelectric part |
US6583534B1 (en) * | 1999-06-07 | 2003-06-24 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Piezoelectric transformer, piezoelectric transformer drive circuit, piezoelectric transformer drive method and cold cathode tube drive apparatus using piezoelectric transformer |
DE60044940D1 (de) | 1999-07-20 | 2010-10-21 | Stanford Res Inst Int | Elektroaktive polymere |
WO2001054208A2 (en) | 2000-01-20 | 2001-07-26 | Koninklijke Philips Electronics N.V. | Piezoelectric transformer and assembly including such a transformer |
US6911764B2 (en) | 2000-02-09 | 2005-06-28 | Sri International | Energy efficient electroactive polymers and electroactive polymer devices |
WO2001065615A2 (en) * | 2000-02-23 | 2001-09-07 | Sri International | Biologically powered electroactive polymer generators |
FR2817604B1 (fr) * | 2000-12-01 | 2004-04-23 | Biomerieux Sa | Vannes activees par des polymeres electro-actifs ou par des materiaux a memoire de forme, dispositif contenant de telles vannes et procede de mise en oeuvre |
US6617757B2 (en) | 2001-11-30 | 2003-09-09 | Face International Corp. | Electro-luminescent backlighting circuit with multilayer piezoelectric transformer |
WO2005010931A2 (en) | 2003-05-12 | 2005-02-03 | Alfredo Vazquez Carazo | Mutilayer piezoelectric transformer |
DE102005047368A1 (de) | 2005-10-04 | 2007-04-05 | Epcos Ag | Piezoelektrischer Transformator und Verfahren zu dessen Herstellung |
US7794063B2 (en) | 2006-03-15 | 2010-09-14 | Brother Kogyo Kabushiki Kaisha | Liquid-droplet jetting head and liquid-droplet jetting apparatus |
US7951186B2 (en) * | 2006-04-25 | 2011-05-31 | Boston Scientific Scimed, Inc. | Embedded electroactive polymer structures for use in medical devices |
US7719167B2 (en) * | 2007-05-14 | 2010-05-18 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Electroactive polymer actuator and manufacturing method thereof |
US7741979B2 (en) * | 2007-07-06 | 2010-06-22 | Pacinian Corporation | Haptic keyboard systems and methods |
FR2936650B1 (fr) * | 2008-09-26 | 2011-03-11 | Commissariat Energie Atomique | Transducteur a polymere electroactif |
WO2011005123A1 (en) * | 2009-07-07 | 2011-01-13 | Auckland Uniservices Limited | Transformer and priming circuit therefor |
KR101908113B1 (ko) * | 2009-11-16 | 2018-10-15 | 삼성전자 주식회사 | 전기활성 폴리머 엑츄에이터 및 그 제조방법 |
EP2385562A1 (en) * | 2010-05-04 | 2011-11-09 | Koninklijke Philips Electronics N.V. | Actuator device with improved tactile characteristics |
CN103119741B (zh) * | 2010-09-09 | 2015-05-20 | 皇家飞利浦电子股份有限公司 | 电活性聚合物致动器 |
JP5288417B2 (ja) | 2010-12-17 | 2013-09-11 | 国立大学法人信州大学 | 収縮型ゲルアクチュエータの制御方法 |
US20140167571A1 (en) | 2011-08-09 | 2014-06-19 | Noliac A/S | Piezoelectric transformer with high effective electromechanical coupling factors |
US9705068B2 (en) * | 2012-06-19 | 2017-07-11 | Novasentis, Inc. | Ultra-thin inertial actuator |
JP6433114B2 (ja) * | 2012-08-01 | 2018-12-05 | キヤノン株式会社 | 電源装置、画像形成装置及びic |
WO2014066576A1 (en) * | 2012-10-24 | 2014-05-01 | Bayer Intellectual Property Gmbh | Polymer diode |
DE102014005851B4 (de) | 2014-04-22 | 2018-10-18 | Festo Ag & Co. Kg | Verfahren und Vorrichtung zur Herstellung von Elastomer-Aktuatoren |
DE102014213717A1 (de) * | 2014-07-15 | 2016-01-21 | Robert Bosch Gmbh | Vorrichtung und Verfahren zum Betreiben eines elektro-aktiven Polymeraktuators, Bremssystem |
US10099253B2 (en) * | 2014-12-10 | 2018-10-16 | uBeam Inc. | Transducer with mesa |
CN107923811B (zh) * | 2015-08-31 | 2020-10-30 | 皇家飞利浦有限公司 | 电活性聚合物传感器以及感测方法 |
US11189779B2 (en) * | 2016-06-07 | 2021-11-30 | Koninklijke Philips N.V. | Electroactive polymer actator |
EP3469630B1 (en) * | 2016-06-14 | 2020-01-22 | Koninklijke Philips N.V. | Electroactive polymer actuator device and driving method |
CN109417121A (zh) * | 2016-06-29 | 2019-03-01 | 皇家飞利浦有限公司 | Eap致动器和驱动方法 |
WO2018054665A1 (en) * | 2016-09-22 | 2018-03-29 | Koninklijke Philips N.V. | Sensor positioning using electroactive polymers |
JP7000428B2 (ja) * | 2016-11-28 | 2022-02-10 | コーニンクレッカ フィリップス エヌ ヴェ | 流量を測定するフロー・センサー及び方法 |
EP3367450A1 (en) * | 2017-02-22 | 2018-08-29 | Koninklijke Philips N.V. | Actuator and sensor device based on electroactive polymer |
EP3420894A1 (en) * | 2017-06-28 | 2019-01-02 | Koninklijke Philips N.V. | Invasive medical device |
EP3432372A1 (en) * | 2017-07-20 | 2019-01-23 | Koninklijke Philips N.V. | Actuator structure and actuation method thereof |
EP3451397A1 (en) * | 2017-08-28 | 2019-03-06 | Koninklijke Philips N.V. | Actuator device and method |
EP3462507A1 (en) * | 2017-09-29 | 2019-04-03 | Koninklijke Philips N.V. | Actuator member and method for forming the same |
EP3462575A1 (en) * | 2017-09-29 | 2019-04-03 | Koninklijke Philips N.V. | Wirelessly controllable device and system and wireless control method |
EP3544070A1 (en) * | 2018-03-21 | 2019-09-25 | Koninklijke Philips N.V. | Actuator device and actuation method |
US10962844B1 (en) * | 2019-03-26 | 2021-03-30 | Facebook Technologies, Llc | Actively tunable optical element with full or partial transparency |
US11175521B2 (en) * | 2019-06-04 | 2021-11-16 | Facebook Technologies, Llc | Drive schemes for transparent tunable optical elements |
US11598012B2 (en) * | 2019-08-28 | 2023-03-07 | Massachusetts Institute Of Technology | Electrochemically mediated gas capture, including from low concentration streams |
US11624962B2 (en) * | 2019-10-02 | 2023-04-11 | Gentex Corporation | Electro-optic elements and method of forming |
-
2017
- 2017-06-07 EP EP17728197.9A patent/EP3469630B1/en active Active
- 2017-06-07 US US16/305,430 patent/US11538980B2/en active Active
- 2017-06-07 CN CN201780036811.9A patent/CN109314128B/zh active Active
- 2017-06-07 BR BR112018075684-9A patent/BR112018075684A2/pt not_active Application Discontinuation
- 2017-06-07 RU RU2019100431A patent/RU2736071C2/ru active
- 2017-06-07 WO PCT/EP2017/063745 patent/WO2017215984A1/en unknown
- 2017-06-07 JP JP2018564246A patent/JP6770590B2/ja active Active
- 2017-06-12 CN CN201780036812.3A patent/CN109314129A/zh active Pending
- 2017-06-12 US US16/306,691 patent/US11195985B2/en active Active
- 2017-06-12 JP JP2018564243A patent/JP6770589B2/ja active Active
- 2017-06-12 WO PCT/EP2017/064246 patent/WO2017216086A1/en unknown
- 2017-06-12 EP EP17729126.7A patent/EP3469631B1/en active Active
- 2017-06-12 RU RU2019100446A patent/RU2737790C2/ru active
- 2017-06-12 BR BR112018075709-8A patent/BR112018075709A2/pt not_active Application Discontinuation
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP6770590B2 (ja) | 2020-10-14 |
EP3469631A1 (en) | 2019-04-17 |
RU2736071C2 (ru) | 2020-11-11 |
RU2019100446A (ru) | 2020-07-14 |
EP3469630A1 (en) | 2019-04-17 |
US11538980B2 (en) | 2022-12-27 |
US20200321517A1 (en) | 2020-10-08 |
RU2019100446A3 (ru) | 2020-09-03 |
JP2019521515A (ja) | 2019-07-25 |
EP3469631B1 (en) | 2020-01-08 |
RU2737790C2 (ru) | 2020-12-03 |
CN109314128B (zh) | 2023-04-18 |
RU2019100431A3 (ru) | 2020-09-09 |
JP6770589B2 (ja) | 2020-10-14 |
WO2017215984A1 (en) | 2017-12-21 |
BR112018075684A2 (pt) | 2019-04-02 |
EP3469630B1 (en) | 2020-01-22 |
WO2017216086A1 (en) | 2017-12-21 |
JP2019521516A (ja) | 2019-07-25 |
CN109314129A (zh) | 2019-02-05 |
US11195985B2 (en) | 2021-12-07 |
US20190123258A1 (en) | 2019-04-25 |
BR112018075709A2 (pt) | 2019-04-02 |
CN109314128A (zh) | 2019-02-05 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
RU2019100431A (ru) | Приводное устройство, содержащее привод на основе электроактивного полимера, и способ возбуждения | |
JP2016040992A5 (ru) | ||
TW201813273A (zh) | 觸覺回饋產生裝置 | |
US8680749B2 (en) | Piezoelectric multilayer-stacked hybrid actuation/transduction system | |
EP2587563A3 (en) | Multi-layer piezoelectric element and injection apparatus using the same | |
CN104956584A (zh) | 促动器用弹性体及压电促动器 | |
EP1928036A3 (en) | Ultrasonic motor and microscope stage | |
EP3382765A3 (en) | Piezoelectric element, piezoelectric actuator, ultrasonic probe, ultrasonic apparatus, electronic apparatus, liquid jet head, and liquid jet apparatus | |
CN108389958A (zh) | 超声波振动元件和超声波传感器 | |
JP2015070110A (ja) | 圧電デバイスおよび圧電デバイスの製造方法 | |
US20110031848A1 (en) | Multilayered piezoelectric element and ultrasonic motor | |
JP4826660B2 (ja) | 圧電発電装置 | |
JP5993330B2 (ja) | 積層型超音波振動デバイス、積層型超音波振動デバイスの製造方法および超音波医療装置 | |
JP2006066655A (ja) | 電気機械エネルギー変換素子の駆動方法及び前記電気機械エネルギー変換素子の駆動装置 | |
JP2015091069A (ja) | 圧電スピーカ | |
JP4063301B2 (ja) | 電歪ポリマーアクチュエータの製造方法 | |
JP2006286774A (ja) | 積層型圧電アクチュエータおよび積層型圧電アクチュエータ接着体 | |
JP2011176962A (ja) | 駆動装置 | |
WO2016089681A1 (en) | Multiple Electrode Plane Wave Generator | |
JP2016154417A (ja) | 振動型アクチュエータ、超音波モータおよび制御方法 | |
JP2005012192A5 (ru) | ||
JP5491719B2 (ja) | 超音波モータ | |
KR102016024B1 (ko) | 하이브리드 타입 압전 센서 | |
JP2010004625A (ja) | 圧電振動子およびその駆動方法 | |
JP4818853B2 (ja) | 超音波モータ素子 |