JP2011176962A - 駆動装置 - Google Patents
駆動装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2011176962A JP2011176962A JP2010039814A JP2010039814A JP2011176962A JP 2011176962 A JP2011176962 A JP 2011176962A JP 2010039814 A JP2010039814 A JP 2010039814A JP 2010039814 A JP2010039814 A JP 2010039814A JP 2011176962 A JP2011176962 A JP 2011176962A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electrodes
- drive
- displacement layer
- expansion
- upper electrode
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Landscapes
- General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)
Abstract
【課題】進行波により対象物を駆動する上で、十分な駆動性能を実現することができ、且つ、装置の小型化、及び低価格化に適した駆動装置を提供する。
【解決手段】高分子材料を誘電体とし、駆動電圧により伸縮する変位層を2つの電極の間に挟んだ伸縮駆動素子と、伸縮駆動素子の少なくとも一対の端部を固定するベース部材と、を有する高分子アクチュエータと、駆動電圧を前記2つの電極に印加し、変位層を伸縮させる駆動制御部と、を有する駆動装置であって、前記2つの電極のうち一方の電極は、前記少なくとも一対の端部の方向で複数の電極に分割され、駆動制御部は、変位層に進行波が形成されるように、前記複数の電極にそれぞれ電圧を印加し、変位層を伸縮させる。
【選択図】図1
【解決手段】高分子材料を誘電体とし、駆動電圧により伸縮する変位層を2つの電極の間に挟んだ伸縮駆動素子と、伸縮駆動素子の少なくとも一対の端部を固定するベース部材と、を有する高分子アクチュエータと、駆動電圧を前記2つの電極に印加し、変位層を伸縮させる駆動制御部と、を有する駆動装置であって、前記2つの電極のうち一方の電極は、前記少なくとも一対の端部の方向で複数の電極に分割され、駆動制御部は、変位層に進行波が形成されるように、前記複数の電極にそれぞれ電圧を印加し、変位層を伸縮させる。
【選択図】図1
Description
本発明は、駆動装置に関し、特に高分子アクチュエータを用いた駆動装置に関する。
従来、微小変位を発生させる為の変位素子として、静電引力型、圧電型、超音波式、形状記憶合金式等のマイクロアクチュエータが提案されている。
なかでも圧電型は体積当たりの発生力が大きい為、小型でも実用的な駆動力を発生することができ、小型の撮像装置のアクチュエータ等に用いられている。現在の圧電型の主流は、PZT(Pb(Zr、Ti)O3)を主材料とする無機アクチュエータである。
圧電型アクチュエータは、PZT等で構成される変位層を挟んで形成された2つの電極に駆動信号を印加することで、変位層に電界を印加することにより、層面に垂直な方向に伸縮するとともに、層面に沿った方向に反対の位相で伸縮するものである。
ところで、PZTは変位量が極めて小さい為、大きな変位量や大きな速度を必要とする用途には適していなかった。さらに、PZTは鉛を含んでいる為、将来的に使用が制限される懸念がある。
さらに、無機アクチュエータは焼成温度が1000℃程度もあり、例えば、MEMS(Micro Electro Mechanical Systems)化した際の回路とのハイブリッド性に問題がある。また簡便な製造方法がないこともMEMS化や微細化、集積化を妨げるといった問題がある。
また、他の無機小型アクチュエータにおいても、それぞれ動作環境に制限があったり、応答性が不十分であったり、構造が複雑であったり、また柔軟性が欠如している等の問題点があり、用途も制限される。
そこで、これらの問題点に対して、軽量で柔軟な有機材料を用いた高分子アクチュエータが研究されてきている。一般に有機材料はヤング率が低い(柔らかい)為、無機材料と比較して変位力は小さくなるが変位量は大きくなる。また作製に、インクジェット法や印刷法等のウェットプロセスが使用できるので、安価で、大面積の作製が可能であり、さらにはフレキシブル基板対応も可能となる。
高分子アクチュエータは、これらの特徴を生かし、電子カメラ、マイクポンプ、医療機器、搬送装置、ロボット等の駆動源としての応用が検討され、その用途はさらに拡大しつつある。
例えば、特許文献1では、高分子アクチュエータの中でもより大きな変位量と動作速度が得られる柔軟なポリマーを誘電体とした誘電型ポリマーアクチュエータを用いた搬送装置が提案されている。
特許文献1に記載の高分子アクチュエータは、ポリマーを誘電体とする変位層を2つの電極の間に挟んだ構成の複数の伸縮駆動素子を基板上に並設し、各伸縮駆動素子の上端をまたがってシート状の弾性部材を載せて係止した構成とする。そして、各伸縮駆動素子に電圧を順次印加し、垂直方向に順次伸縮させて、弾性部材を変形させて波打たせ、弾性部材に水平方向の進行波を形成することで、弾性部材の上に載置された対象物を弾性部材の進行波により水平方向に搬送させるものである。
しかしながら、特許文献1に記載の高分子アクチュエータにおいては、弾性部材に進行波を形成させる為に、複数の伸縮駆動素子を配設する必要がある。この為、複数の伸縮駆動素子を配置する為の十分な面積の確保が必要であり高分子アクチュエータの小型化を阻害する。また、複雑な構造により製造コストの高価格化を招くといった問題がある。
本発明は、上記課題を鑑みてなされたもので、進行波により対象物を駆動する上で、十分な駆動性能を実現することができ、且つ、装置の小型化、及び低価格化に適した駆動装置を提供することを目的とする。
上記目的は、下記の1から8の何れか1項に記載の発明によって達成される。
1.高分子材料を誘電体とし、駆動電圧により伸縮する変位層を2つの電極の間に挟んだ伸縮駆動素子と、
前記伸縮駆動素子の少なくとも一対の端部を固定するベース部材と、を有する高分子アクチュエータと、
前記駆動電圧を前記2つの電極に印加し、前記変位層を伸縮させる駆動制御部と、
を有する駆動装置であって、
前記2つの電極のうち一方の電極は、前記少なくとも一対の端部の方向で複数の電極に分割され、
前記駆動制御部は、前記変位層に進行波が形成されるように、前記複数の電極にそれぞれ電圧を印加し、前記変位層を伸縮させることを特徴とする駆動装置。
前記伸縮駆動素子の少なくとも一対の端部を固定するベース部材と、を有する高分子アクチュエータと、
前記駆動電圧を前記2つの電極に印加し、前記変位層を伸縮させる駆動制御部と、
を有する駆動装置であって、
前記2つの電極のうち一方の電極は、前記少なくとも一対の端部の方向で複数の電極に分割され、
前記駆動制御部は、前記変位層に進行波が形成されるように、前記複数の電極にそれぞれ電圧を印加し、前記変位層を伸縮させることを特徴とする駆動装置。
2.前記伸縮駆動素子は、略直交する二対の端部で前記ベース部材に固定され、
前記2つの電極のうち一方の電極は、前記二対の端部のそれぞれの方向で複数の電極に分割されていることを特徴とする前記1に記載の駆動装置。
前記2つの電極のうち一方の電極は、前記二対の端部のそれぞれの方向で複数の電極に分割されていることを特徴とする前記1に記載の駆動装置。
3.前記伸縮駆動素子は、張力が付与された状態で前記ベース部材に前記少なくとも一対の端部で固定されていることを特徴とする前記1または2に記載の駆動装置。
4.前記変位層の両面にそれぞれ設けられ電極の材料は、ゴム状の導電性樹脂であることを特徴とする前記1から3の何れか1項に記載の駆動装置。
5.前記変位層の両面にそれぞれ設けられ電極の材料は、導電性グリスであることを特徴とする前記1から3の何れか1項に記載の駆動装置。
6.前記駆動制御部は、前記複数の電極に位相の異なる電圧を印加することを特徴とする前記1から5の何れか1項に記載の駆動装置。
7.前記高分子材料は、誘電エラストマであることを特徴とする前記1から6の何れか1項に記載の駆動装置。
8.前記伸縮駆動素子は、前記変位層を前記2つの電極の間に挟んだ接合体が複数積層されて形成されていることを特徴とする前記7に記載の駆動装置。
本発明によれば、変位層を挟む2つの電極のうち一方の電極を、伸縮駆動素子を固定する少なくとも一対の端部の方向で複数の電極に分割する構成とし、駆動制御部により、変位層に進行波が形成されるように、該複数の電極にそれぞれ電圧を印加し、変位層を伸縮させるようにした。つまり、一つの伸縮駆動素子で進行波を形成できるようにした。
これにより、進行波により対象物を駆動する上で、一つの伸縮駆動素子で対象物を駆動することができ、且つ、装置の小型化、及び低価格化を図ることが可能になる。
以下図面に基づいて、本発明の実施形態に係る駆動装置を説明する。尚、本発明は該実施の形態に限られない。
(実施形態1)
本発明の実施形態1に係る駆動装置の構成を図1を用いて説明する。図1は(a)は、実施形態1による駆動装置1の概略構成を示す断面図、図1(b)は、平面図である。
本発明の実施形態1に係る駆動装置の構成を図1を用いて説明する。図1は(a)は、実施形態1による駆動装置1の概略構成を示す断面図、図1(b)は、平面図である。
駆動装置1は、高分子アクチュエータ2、及び高分子アクチュエータ2の駆動を制御する駆動制御部3等から構成される。
高分子アクチュエータ2は、変位層201、下電極202、上電極203、上電極204等から構成される伸縮駆動素子20、及び伸縮駆動素子20を固定するベース部材21等から構成される。
伸縮駆動素子20は、柔軟なゴム状のポリマーを誘電体(誘電エラストマ)とする変位層201と、変位層201の一方の面に形成された駆動電極として機能する上電極203および上電極204と、変位層201の他方の面に形成された共通電極として機能する下電極202とが積層されて構成された誘電型ポリマー駆動素子である。
ベース部材21としては、シリコンやガラス、セラミックス等の硬質の材料で形成されたものや、ポリエチレンテレフタレート(PET)等のプラスチック材料で構成されたもの等を用いることができる。
伸縮駆動素子20は、長手方向に張力が付与された状態で、一対の端部201a・201bでベース部材21に接着剤23等で固定されている。
変位層201の一方の面に形成された上電極は、一対の端部201a・201bの方向で2つに分割された電極(上電極203および上電極204)で構成されている。
伸縮駆動素子20は、上電極203および上電極204と下電極202との間に駆動制御部3より駆動電圧が印加されると、変位層201は、静電力により層面に垂直な方向に収縮するとともに、層面に沿った方向に反対の位相で伸長する。この時、伸縮駆動素子20は、前述のように、長手方向に張力が付与された状態で、一対の端部201a・201bでベース部材21に固定されているので、効率よく伸縮駆動素子20を伸縮させることができる。尚、駆動制御部3よる伸縮駆動素子20の駆動変形の態様の詳細は後述する。
上電極203、上電極204、及び下電極202は、変位層201(誘電ポリマー)の伸縮に追従して伸縮することが望ましく、その材料としては、例えば、シリコンゴムにカーボンブラック等の導電性物質を含有した導電性樹脂のような柔軟な材料や、ペースト状の導電性グリス等を用いることができる。尚、電極の材料としては、これらの材料に限定されることなく誘電ポリマーの伸縮に追従できる柔軟な材料であればよい。
電極の材料に導電性樹脂を用いた場合、電極と誘電ポリマーとの接合は、接着剤等を用いて接合してもよいが、誘電ポリマーそのものに多少の粘着性を持っていることからその粘着性で接合することが可能である。また、誘電ポリマーを製作する際、加熱して完全硬化する直前の状態、すなわち完全硬化時より粘着性が高い状態で接合したり、さらには、誘電ポリマーの表面をプライマーを用いて活性化して粘着性を高めた上で接合することもできる。
また、電極の材料に導電性グリスを用いた場合も、前述の導電性樹脂の場合と同様にして、誘電ポリマーと接合することができる。尚、この場合は、導電性グリスの電極形成領域からの流出を防止する為に、レジスト材料等を用いて電極形成領域の周縁に隔壁を設けるとよい。
駆動制御部3は、伸縮駆動素子20の変位層201に進行波が形成されるように、上電極204、上電極203と下電極202の間にそれぞれ電圧を印加し、変位層201を伸縮させる。
ここで、駆動制御部3による伸縮駆動素子20の駆動方法、及び伸縮駆動素子20の駆動変形の態様を図3、図4を用いて説明する。図3(a)〜図3(d)は、伸縮駆動素子20の駆動変形の態様を示す断面模式図である。尚、図3(b)〜図3(d)において、各電極の図示は省略してある。図4は、駆動制御部3から出力される伸縮駆動素子20を駆動する駆動電圧波形の一例を示す図である。尚、図4において、V204、V203は、それぞれ上電極204、上電極203に印加する駆動電圧波形を示す。
最初に、図3(a)、図4(区間a)に示すように、上電極204、上電極203の両方に駆動電圧V204、駆動電圧V203を印加していない状態では、変位層201は、平坦な状態を保っている。
次に、図3(b)、図4(区間b)に示すように、上電極204に駆動電圧V204を印加すると、変位層201の上電極204に対応する領域が伸長し、ベース部材21から反り上がり、変位層201の中央の点Pは、左上に向けて上昇する。
次に、図3(c)、図4(区間c)に示すように、上電極204、上電極203の両方にそれぞれ駆動電圧V204、駆動電圧V203を印加すると、変位層201の上電極204、上電極203のそれぞれに対応する領域が伸長し、ベース部材21から略均等に反り上がり、変位層201の中央の点Pは、中央に向けて戻りながらさらに上昇する。
次に、図3(d)、図4(区間d)に示すように、上電極204への駆動電圧V204の印加を停止し、上電極203のみに駆動電圧V203を印加すると、変位層201の上電極204対応する領域は収縮し、上電極203に対応する領域のみ伸長し、ベース部材21から反り上がり、変位層201の中央の点Pは、右下に向けて下降する。
次に、図4(区間e)に示すように、上電極203への駆動電圧V203の印加を停止すると、変位層201の上電極203対応する領域は収縮し、変位層201の中央の点Pは、中央に向けて戻りながらさらに下降し、変位層201は、図3(a)に示したように初期の平坦な状態に戻る。
このように、上電極204、上電極203に位相の異なる駆動電圧を順次印加する前述の一連の動作を繰り返すことにより、図5に示すように、変位層201の一点、例えば点Pのみに着目すると、P点は、楕円軌道Dを描くように変位する。すなわち、変位層201に連続的に進行波を形成させることができる。そして、変位層201により進行波が形成された伸縮駆動素子20に対象物5を載置すると、対象物5を例えば矢印X方向に搬送することができる。尚、上電極204、上電極203にそれぞれ印加する駆動電圧の相対的な位相をシフトさせると、点Pによる楕円軌道Dの周回方向を逆方向にすることができ、搬送物5の搬送方向を反転させることができる。また、駆動制御部3が出力する駆動電圧波形は、図4に示したように、矩形波としたが、これに限定されることなく正弦波や鋸状波等、変位層201に進行波を形成可能なものであればよい。
図6に、伸縮駆動素子20の配列例を示す。このように、ベース部材21上に複数の伸縮駆動素子20をマトリクス状に配列することにより、対象物をより大きな搬送力で長手方向に安定して搬送することができる。
また、このように、対象物をより大きな搬送力で安定して搬送可能とする為に、伸縮駆動素子20を複数配列した場合でも、伸縮駆動素子20は、単一で進行波を形成することができるので、伸縮駆動素子20の数を少なくすることができる。これにより、伸縮駆動素子20を配置する為の面積を小さくすることができ、高分子アクチュエータアレイ2Aを小型化することができる。
(実施形態2)
本発明の実施形態2に係る高分子アクチュエータの構成を図7を用いて説明する。図7は、実施形態2による高分子アクチュエータ2の概略構成を示す平面図である。
本発明の実施形態2に係る高分子アクチュエータの構成を図7を用いて説明する。図7は、実施形態2による高分子アクチュエータ2の概略構成を示す平面図である。
実施形態2による高分子アクチュエータ2の基本構成は、実施形態1の場合と概ね同様なのでその説明は省略し、実施形態1の場合と異なる変位層201、上電極について説明する。
本実施形態における変位層201は十字形状に形成され、x方向、y方向にそれぞれ張力が付与された状態で、二対の端部201a・201b、端部201c・201dでベース部材21に接着剤23等で固定されている。
変位層201の一方の面に形成された上電極は、一対の端部201a・201b、及び一対の端部201c・201dの方向でそれぞれ2つに分割された電極(上電極205・206、上電極207・308)で構成されている。
このような構成の伸縮駆動素子20においては、上電極205、上電極206に位相の異なる駆動電圧を印加することにより、実施形態1の場合と同様に、変位層201にx方向の進行波を形成させることができるとともに、上電極207、上電極208に位相の異なる駆動電圧を印加することにより、変位層201にy方向の進行波を形成させることができる。
また、上電極205、上電極206、及び上電極207、上電極208に位相の異なる駆動電圧を同時に印加することにより、変位層201に斜め方向(例えばR方向)の進行波を形成させることができる。
図8に、伸縮駆動素子20の配列例を示す。このように、ベース部材21上に複数の伸縮駆動素子20を千鳥格子状に配列することにより、実施形態1の場合と同様の効果を得ることができる。さらに、複数の伸縮駆動素子20間で上電極205、上電極206、及び上電極207、上電極208に印加する駆動電圧の位相をシフトさせることで、それぞれの伸縮駆動素子20で形成される進行波の方向を異ならせることができ、伸縮駆動素子20全体として、円状の進行波を形成することができる。これにより、対象物を回転することもできる。
このように、本発明の実施形態に係る駆動装置1においては、変位層201を挟む2つの電極のうち一方の電極(上電極)を、伸縮駆動素子20を固定する少なくとも一対の端部201a・201bの方向で複数の電極(例えば上電極203、上電極204)に分割する構成とし、駆動制御部3により、変位層201に進行波が形成されるように、該複数の電極にそれぞれ駆動電圧(例えばV203、V204)を印加し、変位層201を伸縮させるようにした。つまり、一つの伸縮駆動素子20で進行波を形成できるようにした。
これにより、進行波により対象物5を駆動する上で、一つの伸縮駆動素子20で対象物5を駆動することができ、且つ、駆動装置1の小型化、及び低価格化を図ることが可能になる。
以上、本発明を実施の形態を参照して説明してきたが、本発明は前述の実施の形態に限定して解釈されるべきでなく、適宜変更、改良が可能であることは勿論である。例えば、前述の実施形態1における上電極は、一対の端部201a・201bの方向で2つに分割した電極構成(上電極203および上電極204)としたが、これ以上にさらに細かく分割した構成であってもよい。この場合は、より円滑な搬送制御を行うことができる。
また、実施形態1における伸縮駆動素子20は、変位層201を上電極203、上電極204と下電極202の間に挟んだ1枚の接合体で構成したが、図2に示すように、このような接合体を絶縁層209を挟んで複数積層する構成としてもよい。この場合は、より大きな変位力を得ることができる。尚、積層する際には、シート状の1枚の接合体をロール状に巻き回して積層してもよい。
1 駆動装置
2A 高分子アクチュエータアレイ
2 高分子アクチュエータ(誘電型ポリマーアクチュエータ)
20 伸縮駆動素子
201 変位層(誘電ポリマー)
202 下電極(共通電極)
203、204、205、206、207、208 上電極(駆動電極)
209 絶縁層
21 ベース部材
23 接着剤
3 駆動制御部
5 対象物
2A 高分子アクチュエータアレイ
2 高分子アクチュエータ(誘電型ポリマーアクチュエータ)
20 伸縮駆動素子
201 変位層(誘電ポリマー)
202 下電極(共通電極)
203、204、205、206、207、208 上電極(駆動電極)
209 絶縁層
21 ベース部材
23 接着剤
3 駆動制御部
5 対象物
Claims (8)
- 高分子材料を誘電体とし、駆動電圧により伸縮する変位層を2つの電極の間に挟んだ伸縮駆動素子と、
前記伸縮駆動素子の少なくとも一対の端部を固定するベース部材と、を有する高分子アクチュエータと、
前記駆動電圧を前記2つの電極に印加し、前記変位層を伸縮させる駆動制御部と、
を有する駆動装置であって、
前記2つの電極のうち一方の電極は、前記少なくとも一対の端部の方向で複数の電極に分割され、
前記駆動制御部は、前記変位層に進行波が形成されるように、前記複数の電極にそれぞれ電圧を印加し、前記変位層を伸縮させることを特徴とする駆動装置。 - 前記伸縮駆動素子は、略直交する二対の端部で前記ベース部材に固定され、
前記2つの電極のうち一方の電極は、前記二対の端部のそれぞれの方向で複数の電極に分割されていることを特徴とする請求項1に記載の駆動装置。 - 前記伸縮駆動素子は、張力が付与された状態で前記ベース部材に前記少なくとも一対の端部で固定されていることを特徴とする請求項1または2に記載の駆動装置。
- 前記変位層の両面にそれぞれ設けられ電極の材料は、ゴム状の導電性樹脂であることを特徴とする請求項1から3の何れか1項に記載の駆動装置。
- 前記変位層の両面にそれぞれ設けられ電極の材料は、導電性グリスであることを特徴とする請求項1から3の何れか1項に記載の駆動装置。
- 前記駆動制御部は、前記複数の電極に位相の異なる電圧を印加することを特徴とする請求項1から5の何れか1項に記載の駆動装置。
- 前記高分子材料は、誘電エラストマであることを特徴とする請求項1から6の何れか1項に記載の駆動装置。
- 前記伸縮駆動素子は、前記変位層を前記2つの電極の間に挟んだ接合体が複数積層されて形成されていることを特徴とする請求項7に記載の駆動装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010039814A JP2011176962A (ja) | 2010-02-25 | 2010-02-25 | 駆動装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010039814A JP2011176962A (ja) | 2010-02-25 | 2010-02-25 | 駆動装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2011176962A true JP2011176962A (ja) | 2011-09-08 |
Family
ID=44689269
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2010039814A Pending JP2011176962A (ja) | 2010-02-25 | 2010-02-25 | 駆動装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2011176962A (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2014233190A (ja) * | 2013-05-30 | 2014-12-11 | 株式会社デンソー | 形状可変素子 |
JP2017505600A (ja) * | 2014-01-28 | 2017-02-16 | 浙江大学 | フレキシブルスマートパワー構造 |
JP2018014819A (ja) * | 2016-07-20 | 2018-01-25 | 株式会社デンソー | 高分子アクチュエータ素子および高分子アクチュエータ装置並びにそれらの製造方法 |
-
2010
- 2010-02-25 JP JP2010039814A patent/JP2011176962A/ja active Pending
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2014233190A (ja) * | 2013-05-30 | 2014-12-11 | 株式会社デンソー | 形状可変素子 |
JP2017505600A (ja) * | 2014-01-28 | 2017-02-16 | 浙江大学 | フレキシブルスマートパワー構造 |
JP2018014819A (ja) * | 2016-07-20 | 2018-01-25 | 株式会社デンソー | 高分子アクチュエータ素子および高分子アクチュエータ装置並びにそれらの製造方法 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US9836125B2 (en) | Multilayer transformable device and display device comprising the same | |
TWI729189B (zh) | 觸覺回饋產生裝置 | |
JP6464317B2 (ja) | 電気活性または光活性ポリマーをベースにしたアクチュエータデバイス | |
EP3044970B1 (en) | Microelectromechanical apparatus for generating a physical effect | |
JP5211553B2 (ja) | アクチュエータ素子、及びアクチュエータ素子の製造方法 | |
JP2007146799A (ja) | アクチュエータおよびアクチュエータモジュール製造方法 | |
KR101516112B1 (ko) | Mems 센서 | |
JP6651937B2 (ja) | 圧電アクチュエーター、圧電モーター、ロボット、ハンドおよびポンプ | |
JP2008278711A (ja) | 駆動装置 | |
CN114125111A (zh) | 电子设备 | |
JP2011176962A (ja) | 駆動装置 | |
US7394181B2 (en) | Hybrid eletromechanical actuator and actuation system | |
JP2015070110A (ja) | 圧電デバイスおよび圧電デバイスの製造方法 | |
WO2002015378A1 (fr) | Stator piezoelectrique de type a recouvrement, actionneur piezoelectrique de type a recouvrement et applications associees | |
JP5129998B2 (ja) | 電歪素子 | |
TWI631740B (zh) | 多層可變形裝置及包含該多層可變形裝置的顯示裝置 | |
JP4871593B2 (ja) | 振動子及び振動波駆動装置 | |
JP2006066655A (ja) | 電気機械エネルギー変換素子の駆動方法及び前記電気機械エネルギー変換素子の駆動装置 | |
Schaler et al. | Bidirectional, thin-film repulsive-/attractive-force electrostatic actuators for a crawling milli-robot | |
JP2017184297A (ja) | 圧電アクチュエーター、圧電モーター、ロボット、ハンドおよびポンプ | |
KR100974440B1 (ko) | 초음파 모터의 진동자 | |
JP2009284759A (ja) | 超音波モータ及び超音波モータ付き電子機器 | |
JP2001268948A (ja) | 静電アクチュエータおよびそれを用いた動作機構 | |
JP2007259665A (ja) | 捩折型静電アクチュエータ | |
US10951134B2 (en) | Repulsive-force electrostatic actuator |