JP2015070110A - 圧電デバイスおよび圧電デバイスの製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】圧電デバイス10は、主体部100を備える。主体部100は、1枚の電極付き圧電性フィルム20DPを複数回折り返すことで、層状化した構造からなる。電極付き圧電性フィルム20DPは、d31を有する圧電性フィルム20と、該圧電性フィルム20の第1主面に形成された第1電極膜31と、第2主面に形成された第2電極膜32からなる。主体部100の第1電極膜31が露出する側面には、第1補強電極41が形成されている。主体部10の第2電極膜32が露出する側面には、第2補強電極42が形成されている。
【選択図】 図1
Description
20:圧電性フィルム
20DP:電極付き圧電性フィルム
31:第1電極膜
32:第2電極膜
41:第1補強電極
42:第2補強電極
51:金型
52:プレス部材
90:スピーカ
91:エキサイタフィルム
92:振動板
93:固定部材
100:主体部
310,320,321,322:電極非形成部
Claims (6)
- 互いに対向する第1主面と第2主面とを有し一方向に伸長する圧電性フィルムと、
該圧電性フィルムの前記第1主面に形成された第1電極膜および前記第2主面に形成された第2電極膜と、を備え、前記圧電性フィルムを前記伸長の方向の途中で少なくとも一回折り曲げて、該折り曲げ部が側面となる主体部と、
該主体部における前記第1電極膜が露出する側面に形成された第1補強電極、または、前記主体部における前記第2電極膜が露出する側面に形成された第2補強電極の少なくとも一方と、
を備える、圧電デバイス。 - 前記圧電性フィルムは、d31圧電定数を有する圧電材料からなる、
請求項1に記載の圧電デバイス。 - 前記圧電性フィルムは、ポリフッ化ビニルデンを材料に含む、
請求項2に記載の圧電デバイス。 - 前記圧電性フィルムは、ポリ乳酸を材料に含む、
請求項2に記載の圧電デバイス。 - 前記圧電性フィルムの前記伸長の方向の両端における外部に露出する面には、前記第1電極膜および前記第2電極膜が形成されない電極非形成部を備える、
請求項1乃至請求項4のいずれかに記載の圧電デバイス。 - 1枚の圧電性フィルムの第1主面に第1電極膜を形成し、第2主面に第2電極膜を形成する工程と、
前記第1電極膜および前記第2電極膜が形成された前記圧電性フィルムを折り曲げながら各層の主面が平行になるように積層して層状にする工程と、
前記層状にされた圧電性フィルムをプレスして主体部を形成する工程と、
前記主体部の前記第1電極膜が露出する側面に第1補強電極を形成し、前記主体部の前記第2電極膜が露出する側面に第2補強電極を形成する工程と、
を有する圧電デバイスの製造方法。
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