JP7429506B2 - 振動パネル及び電子機器 - Google Patents

振動パネル及び電子機器 Download PDF

Info

Publication number
JP7429506B2
JP7429506B2 JP2019156552A JP2019156552A JP7429506B2 JP 7429506 B2 JP7429506 B2 JP 7429506B2 JP 2019156552 A JP2019156552 A JP 2019156552A JP 2019156552 A JP2019156552 A JP 2019156552A JP 7429506 B2 JP7429506 B2 JP 7429506B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
main surface
region
piezoelectric actuator
internal member
external member
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
JP2019156552A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2021034995A (ja
Inventor
茂雄 石井
文久 伊藤
幸弘 松井
浩 浜田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Taiyo Yuden Co Ltd
Original Assignee
Taiyo Yuden Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Taiyo Yuden Co Ltd filed Critical Taiyo Yuden Co Ltd
Priority to JP2019156552A priority Critical patent/JP7429506B2/ja
Priority to CN202010869466.0A priority patent/CN112445334B/zh
Priority to US17/007,355 priority patent/US11571712B2/en
Publication of JP2021034995A publication Critical patent/JP2021034995A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP7429506B2 publication Critical patent/JP7429506B2/ja
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • GPHYSICS
    • G06COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
    • G06FELECTRIC DIGITAL DATA PROCESSING
    • G06F3/00Input arrangements for transferring data to be processed into a form capable of being handled by the computer; Output arrangements for transferring data from processing unit to output unit, e.g. interface arrangements
    • G06F3/01Input arrangements or combined input and output arrangements for interaction between user and computer
    • G06F3/016Input arrangements with force or tactile feedback as computer generated output to the user
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B06GENERATING OR TRANSMITTING MECHANICAL VIBRATIONS IN GENERAL
    • B06BMETHODS OR APPARATUS FOR GENERATING OR TRANSMITTING MECHANICAL VIBRATIONS OF INFRASONIC, SONIC, OR ULTRASONIC FREQUENCY, e.g. FOR PERFORMING MECHANICAL WORK IN GENERAL
    • B06B1/00Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency
    • B06B1/02Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency making use of electrical energy
    • B06B1/06Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency making use of electrical energy operating with piezoelectric effect or with electrostriction
    • B06B1/0603Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency making use of electrical energy operating with piezoelectric effect or with electrostriction using a piezoelectric bender, e.g. bimorph
    • HELECTRICITY
    • H04ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
    • H04RLOUDSPEAKERS, MICROPHONES, GRAMOPHONE PICK-UPS OR LIKE ACOUSTIC ELECTROMECHANICAL TRANSDUCERS; DEAF-AID SETS; PUBLIC ADDRESS SYSTEMS
    • H04R1/00Details of transducers, loudspeakers or microphones
    • H04R1/02Casings; Cabinets ; Supports therefor; Mountings therein
    • H04R1/028Casings; Cabinets ; Supports therefor; Mountings therein associated with devices performing functions other than acoustics, e.g. electric candles
    • GPHYSICS
    • G08SIGNALLING
    • G08BSIGNALLING OR CALLING SYSTEMS; ORDER TELEGRAPHS; ALARM SYSTEMS
    • G08B6/00Tactile signalling systems, e.g. personal calling systems
    • HELECTRICITY
    • H04ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
    • H04RLOUDSPEAKERS, MICROPHONES, GRAMOPHONE PICK-UPS OR LIKE ACOUSTIC ELECTROMECHANICAL TRANSDUCERS; DEAF-AID SETS; PUBLIC ADDRESS SYSTEMS
    • H04R17/00Piezoelectric transducers; Electrostrictive transducers
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10NELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N30/00Piezoelectric or electrostrictive devices
    • H10N30/704Piezoelectric or electrostrictive devices based on piezoelectric or electrostrictive films or coatings
    • H10N30/706Piezoelectric or electrostrictive devices based on piezoelectric or electrostrictive films or coatings characterised by the underlying bases, e.g. substrates
    • H10N30/708Intermediate layers, e.g. barrier, adhesion or growth control buffer layers
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B06GENERATING OR TRANSMITTING MECHANICAL VIBRATIONS IN GENERAL
    • B06BMETHODS OR APPARATUS FOR GENERATING OR TRANSMITTING MECHANICAL VIBRATIONS OF INFRASONIC, SONIC, OR ULTRASONIC FREQUENCY, e.g. FOR PERFORMING MECHANICAL WORK IN GENERAL
    • B06B1/00Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency
    • B06B1/02Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency making use of electrical energy
    • B06B1/06Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency making use of electrical energy operating with piezoelectric effect or with electrostriction
    • B06B1/0607Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency making use of electrical energy operating with piezoelectric effect or with electrostriction using multiple elements
    • B06B1/0611Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency making use of electrical energy operating with piezoelectric effect or with electrostriction using multiple elements in a pile
    • HELECTRICITY
    • H04ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
    • H04RLOUDSPEAKERS, MICROPHONES, GRAMOPHONE PICK-UPS OR LIKE ACOUSTIC ELECTROMECHANICAL TRANSDUCERS; DEAF-AID SETS; PUBLIC ADDRESS SYSTEMS
    • H04R17/00Piezoelectric transducers; Electrostrictive transducers
    • H04R17/005Piezoelectric transducers; Electrostrictive transducers using a piezoelectric polymer
    • HELECTRICITY
    • H04ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
    • H04RLOUDSPEAKERS, MICROPHONES, GRAMOPHONE PICK-UPS OR LIKE ACOUSTIC ELECTROMECHANICAL TRANSDUCERS; DEAF-AID SETS; PUBLIC ADDRESS SYSTEMS
    • H04R2400/00Loudspeakers
    • H04R2400/03Transducers capable of generating both sound as well as tactile vibration, e.g. as used in cellular phones
    • HELECTRICITY
    • H04ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
    • H04RLOUDSPEAKERS, MICROPHONES, GRAMOPHONE PICK-UPS OR LIKE ACOUSTIC ELECTROMECHANICAL TRANSDUCERS; DEAF-AID SETS; PUBLIC ADDRESS SYSTEMS
    • H04R2499/00Aspects covered by H04R or H04S not otherwise provided for in their subgroups
    • H04R2499/10General applications
    • H04R2499/15Transducers incorporated in visual displaying devices, e.g. televisions, computer displays, laptops
    • HELECTRICITY
    • H04ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
    • H04RLOUDSPEAKERS, MICROPHONES, GRAMOPHONE PICK-UPS OR LIKE ACOUSTIC ELECTROMECHANICAL TRANSDUCERS; DEAF-AID SETS; PUBLIC ADDRESS SYSTEMS
    • H04R7/00Diaphragms for electromechanical transducers; Cones
    • H04R7/02Diaphragms for electromechanical transducers; Cones characterised by the construction
    • H04R7/04Plane diaphragms
    • H04R7/06Plane diaphragms comprising a plurality of sections or layers
    • H04R7/10Plane diaphragms comprising a plurality of sections or layers comprising superposed layers in contact
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10NELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N30/00Piezoelectric or electrostrictive devices
    • H10N30/20Piezoelectric or electrostrictive devices with electrical input and mechanical output, e.g. functioning as actuators or vibrators
    • H10N30/204Piezoelectric or electrostrictive devices with electrical input and mechanical output, e.g. functioning as actuators or vibrators using bending displacement, e.g. unimorph, bimorph or multimorph cantilever or membrane benders
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10NELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N30/00Piezoelectric or electrostrictive devices
    • H10N30/50Piezoelectric or electrostrictive devices having a stacked or multilayer structure
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10NELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N30/00Piezoelectric or electrostrictive devices
    • H10N30/80Constructional details
    • H10N30/85Piezoelectric or electrostrictive active materials
    • H10N30/853Ceramic compositions
    • H10N30/8536Alkaline earth metal based oxides, e.g. barium titanates
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10NELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N30/00Piezoelectric or electrostrictive devices
    • H10N30/80Constructional details
    • H10N30/85Piezoelectric or electrostrictive active materials
    • H10N30/853Ceramic compositions
    • H10N30/8548Lead-based oxides
    • H10N30/8554Lead-zirconium titanate [PZT] based
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10NELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N30/00Piezoelectric or electrostrictive devices
    • H10N30/80Constructional details
    • H10N30/87Electrodes or interconnections, e.g. leads or terminals
    • H10N30/875Further connection or lead arrangements, e.g. flexible wiring boards, terminal pins
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10NELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N30/00Piezoelectric or electrostrictive devices
    • H10N30/80Constructional details
    • H10N30/87Electrodes or interconnections, e.g. leads or terminals
    • H10N30/877Conductive materials
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10NELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N30/00Piezoelectric or electrostrictive devices
    • H10N30/80Constructional details
    • H10N30/88Mounts; Supports; Enclosures; Casings

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Acoustics & Sound (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Signal Processing (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Theoretical Computer Science (AREA)
  • Human Computer Interaction (AREA)
  • Piezo-Electric Transducers For Audible Bands (AREA)
  • Diaphragms For Electromechanical Transducers (AREA)
  • Details Of Audible-Bandwidth Transducers (AREA)
  • Telephone Set Structure (AREA)

Description

本発明は、本発明は、圧電アクチュエータにより振動を発生させる振動パネル及び電子機器に関する。
逆圧電効果により振動を生じる圧電アクチュエータをパネルに接合した振動パネルは、触感提示やフォースフィードバック、発音等に利用することが可能である。圧電アクチュエータのパネルへの接合方法は各種のものが検討されている。
例えば特許文献1には、パネルに溝を形成し、その溝に圧電アクチュエータを貼り付けた振動パネルが開示されている。この構成では、溝に圧電アクチュエータを貼り付けることで振動パネルの厚みを厚くすることなく実装でき、振動を効率よくパネルへ伝達することが可能とされている。
特開2012-203895号公報
しかしながら、特許文献1に記載の構成では、パネルに溝を形成する必要があり加工が難しい。また、圧電素子は長期間の使用により、湿気によるIRの低下や電気的接続部の断線が発生するおそれがある。
以上のような事情に鑑み、本発明の目的は、信頼性及び振動効率に優れた振動パネル及び電子機器を提供することにある。
上記目的を達成するため、本発明の一形態に係る振動パネルは、内部部材と、第1の外部部材と、第2の外部部材と、圧電アクチュエータと、アクチュエータ接合層と、充填体とを具備する。
上記内部部材は、平板状であり、第1の主面と、上記第1の主面の反対側の第2の主面を有する。
上記第1の外部部材は、平板状であり、上記内部部材側の第3の主面と、上記第3の主面と反対側の第4の主面を有し、上記第3の主面は上記内部部材に対向し、上記第1の主面に接合される第1の領域と、上記内部部材から突出し、上記内部部材に接合されない第2の領域とを有する。
上記第2の外部部材は、平板状であり、上記内部部材側の第5の主面と、上記第5の主面と反対側の第6の主面を有し、上記第5の主面は上記内部部材に対向し、上記第2の主面に接合される第3の領域と、上記内部部材から突出し、上記内部部材に接合されず、上記第2の領域と対向する第4の領域とを有する。
上記圧電アクチュエータは、逆圧電効果による振動を生じる。
上記アクチュエータ接合層は、上記圧電アクチュエータと上記第2の領域の間に配置され、上記圧電アクチュエータを上記第2の領域に接合する。
上記充填体は、上記第2の領域と上記第4の領域の間に充填され、上記圧電アクチュエータを覆い、上記圧電アクチュエータと上記第1の外部部材と上記第2の外部部材を互いに接合する
この構成によれば、目的とする周波数に応じて接合層及び充填体の材料を選択し、振動特性を制御することが可能であり、高い振動効率を実現することが可能である。また、圧電アクチュエータの周囲には充填体が充填されているため、圧電アクチュエータへの電気的接続部が保護され、振動パネル信頼性を向上させることが可能である。
上記アクチュエータ接合層は第1の樹脂材料からなり、
上記充填体は上記第1の樹脂材料よりヤング率が小さい第2の樹脂材料からなるものであってもよい。
上記第1の樹脂材料はエポキシ樹脂であり、
上記第2の樹脂材料はシリコンであってもよい。
上記第1の外部部材及び上記第2の外部部材はガラスからなるものであってもよい。
上記目的を達成するため、本発明の一形態に係る電子機器は、振動パネルを具備する。上記振動パネルは、平板状であり、第1の主面と、上記第1の主面の反対側の第2の主面を有する内部部材と、平板状であり、上記内部部材側の第3の主面と、上記第3の主面と反対側の第4の主面を有し、上記第3の主面は上記内部部材に対向し、上記第1の主面に接合される第1の領域と、上記内部部材から突出し、上記内部部材に接合されない第2の領域とを有する第1の外部部材と、平板状であり、上記内部部材側の第5の主面と、上記第5の主面と反対側の第6の主面を有し、上記第5の主面は上記内部部材に対向し、上記第2の主面に接合される第3の領域と、上記内部部材から突出し、上記内部部材に接合されず、上記第2の領域と対向する第4の領域とを有する第2の外部部材と、逆圧電効果による振動を生じる圧電アクチュエータと、上記圧電アクチュエータと上記第2の領域の間に配置され、上記圧電アクチュエータを上記第2の領域に接合するアクチュエータ接合層と、上記第2の領域と上記第4の領域の間に充填され、上記圧電アクチュエータを覆い、上記圧電アクチュエータと上記第1の外部部材と上記第2の外部部材を互いに接合する充填体とを備える。
以上のように本発明によれば、信頼性及び振動効率に優れた振動パネル及び電子機器を提供することが可能である。
本発明の実施形態に係る振動パネルの斜視図である。 上記振動パネルの拡大斜視図である。 上記振動パネルの断面図である。 上記振動パネルを分解した状態の断面図である。 上記振動パネルが備える第1外部部材の平面図である。 上記振動パネルが備える第2外部部材の平面図である。 上記振動パネルの一部構成の断面図である。 上記振動パネルが備える圧電アクチュエータの断面図である。 上記振動パネルの一部構成の断面図である。 上記振動パネルの平面図である。 上記振動パネルを供える電子機器の模式図である。 上記振動パネルの、アクチュエータ接合層及び充填体の材料及びヤング率を示す表である。 上記振動パネルにおける圧電アクチュエータ周波数が100Hzの場合の固定状態と変位量の関係を示す表である。 上記振動パネルにおける圧電アクチュエータ周波数が100Hzの場合の固定状態と変位量の関係を示すグラフである。 上記振動パネルにおける圧電アクチュエータ周波数が30kHzの場合の固定状態と変位量の関係を示す表である。 上記振動パネルにおける圧電アクチュエータ周波数が30kHzの場合の固定状態と変位量の関係を示すグラフである。
本発明の実施形態に係る振動パネルについて説明する。
[振動パネルの構成]
図1は、本実施形態に係る振動パネル100の斜視図であり、図2は振動パネル100の一部を拡大して示す斜視図である。図3は、振動パネル100の断面図であり、図1のA-A線での断面図である。図4は、図3に示す振動パネル100の構成を分解して示す断面図である。
各図において、相互に直交する3方向をそれぞれX方向、Y方向及びZ方向とする。振動パネル100は平板状であり、振動パネル100の厚み方向をZ方向、長辺方向をX方向、短辺方向をY方向とする。
図1乃至図4に示すように、振動パネル100は、内部部材101、第1外部部材102、第2外部部材103、圧電アクチュエータ104、アクチュエータ接合層105、充填体106、パネル接合層107及びパネル接合層108を備える。
内部部材101は、平板状部材であり、例えばガラス板である。図4に示すように内部部材101の一方の主面を第1主面101aとし、第1主面101aの反対側の主面を第2主面101bとする。内部部材101の厚み(Z方向)は例えば1mmである。また、内部部材101は、ガラス板に限られず、液晶ディスプレイの液晶表示モジュールやタッチパネルのタッチ検知モジュールを内蔵する部材であってもよい。
第1外部部材102は、平板状部材であり、例えばガラス板である。図5は第1外部部材102の、内部部材101側から見た平面図である。第1外部部材102は、図3に示すように、パネル接合層107によって内部部材101の第1主面101aに接合される。図4に示すように第1外部部材102の主面のうち、内部部材101側の主面を第3主面102aとし、第3主面102aの反対側の主面を第4主面102bとする。
第1外部部材102は、長辺方向(X方向)の長さが内部部材101より大きく、長辺方向の両端において内部部材101から突出する。このため、第3主面102aのX方向における中央部のみが第1主面101aに接合され、両端部は第1主面101aに接合されない。
以下、図4及び図5に示すように、第3主面102aのうち、内部部材101に対向し、パネル接合層107を介して第1主面101aに接合される領域を第1領域102cとし、内部部材101から突出し、内部部材101に接合されない領域を第2領域102dとする。第1外部部材102の厚み(Z方向)は例えば0.3mmである。
第2外部部材103は、平板状部材であり、例えばガラス板である。図6は第2外部部材103の、内部部材101側から見た平面図である。第2外部部材103は、図3に示すように、パネル接合層107によって内部部材101の第2主面101bに接合される。図4に示すように第2外部部材103の主面のうち、内部部材101側の主面を第5主面103aとし、第5主面102aの反対側の主面を第6主面103bとする。
第2外部部材103は、第1外部部材102と同様に長辺方向(X方向)の長さが内部部材101より大きく、長辺方向の両端において内部部材101から突出する。このため、第5主面102aのX方向における中央部のみが第2主面101bに接合され、両端部は第2主面101bに接合されない。
以下、図4及び図6に示すように、第5主面103aのうち、内部部材101に対向し、第2主面101bに接合される領域を第3領域103cとし、内部部材101から突出し、内部部材101に接合されない領域を第4領域103dとする。第4領域103dは第1外部部材102の第2領域102dに対向する領域である。第2外部部材103の厚み(Z方向)は例えば0.3mmである。
図7は、振動パネル100の一部構成を示す断面図である。同図に示すように、振動パネル100の長手方向(X方向)両端部には、第1外部部材102と第2外部部材103の間に内部部材101が存在しない領域が存在する。以下、この領域を端部領域100aとする。端部領域100aは、上記のように第1外部部材102の第2領域102dと第2外部部材103の第4領域103dの間の領域である。
圧電アクチュエータ104は、逆圧電効果により伸縮運動を生じる。図8は、圧電アクチュエータ104の断面図である。同図に示すように圧電アクチュエータ104は、圧電材料層111、第1内部電極112及び第2内部電極113を備える。
圧電材料層111は、チタン酸ジルコン酸鉛(PZT)、アルカリ金属含有ニオブ酸化物、チタン酸ビスマスナトリウム/チタン酸バリウム混晶(BNBT)等の圧電材料からなる。第1内部電極112と第2内部電極113はNi、Cu、Pd、Pt、Ag及びAu等の金属又はこれらの合金等の導電性材料からなり、圧電材料層111を介して交互に積層されている。
なお、第1内部電極112と第2内部電極113の数は特に限定されず、それぞれ1つ以上であればよい。圧電アクチュエータ104は、上述の圧電材料からなるシートを第1内部電極112及び第2内部電極113と共に積層し、焼成したものとすることができる。
図9は、振動パネル100の一部構成を示す断面図であり、図10は振動パネル100の平面図である。これらの図に示すように、圧電アクチュエータ104は、振動パネル100の2つの端部領域100aに1つずつが配置される。
図9に示すように、圧電アクチュエータ104には、導通部114を介して配線115が接続されている。導通部114は例えば銅箔及び導電ペーストからなる。配線115は、第1内部電極112と第2内部電極113にそれぞれ接続され、第1内部電極112と第2内部電極113の間に電圧を印加することができる。
第1内部電極112と第2内部電極113の間に電流を印加すると逆圧電効果により圧電材料層111に変形が生じ、圧電アクチュエータ104に伸縮運動が生じる。なお、圧電アクチュエータ104はバイモルフ型のものであってもよく、ユニモルフ型のものであってもよい。さらに、圧電アクチュエータ104の構成はここに示すのものに限られず、逆圧電効果による振動を生じるものであればよい。
アクチュエータ接合層105は、図2に示すように、圧電アクチュエータ104と第2領域102dの間に配置され、圧電アクチュエータ104を第2領域102dに接合する。アクチュエータ接合層105の材料については後述する。
充填体106は、端部領域100aにおいて圧電アクチュエータ104の周囲に充填されて形成され、圧電アクチュエータ104を覆い、圧電アクチュエータ104と第1外部部材102及び第2外部部材103を互いに接合する。充填体106の材料については後述する。
パネル接合層107は、図2に示すように、内部部材101と第1外部部材102の間に配置され、内部部材101と第1外部部材102を接合する。パネル接合層108は、図2に示すように、内部部材101と第2外部部材103の間に配置され、内部部材101と第2外部部材103を接合する。パネル接合層107及びパネル接合層108は、接着性を有する材料からなり、例えばエラストマー及び両面テープからなる。エラストマーとしてはモビロン(熱可塑性ポリウレタンエラストマー、登録商標)を用いることができる。
振動パネル100は以上のような構成を有する。上記のように圧電アクチュエータ104に電圧を印加すると、圧電アクチュエータ104は伸縮運動を生じる。圧電アクチュエータ104は、アクチュエータ接合層105によって第1外部部材102に接合されており、圧電アクチュエータ104の伸縮運動は屈曲運動に変わる。これにより、振動パネル100において振動や音が発生し、触覚提示デバイスやスピーカーとして機能する。
図11は、振動パネル100を搭載する電子機器150の分解斜視図である。電子機器150は例えばスマートフォンである。振動パネル100は、内部部材101に液晶モジュールやタッチ検知モジュールを実装し、同図に示すように筐体160に搭載することにより、電子機器150のディスプレイとして用いることができる。他にも振動パネル100はディスプレイ、触覚提示デバイス又はスピーカーとして各種電子機器に搭載することができる。
[アクチュエータ接合層及び充填体の材料について]
振動パネル100では、アクチュエータ接合層105及び充填体106の材料によって振動特性を制御することが可能である。
アクチュエータ接合層105は、樹脂材料からなり、例えばエラストマー又はエポキシ樹脂からなるものとすることができる。エラストマーとしてはモビロン(熱可塑性ポリウレタンエラストマー、登録商標)を用いることができる。
充填体106は、樹脂材料からなり、例えばシリコン又はエポキシ樹脂からなるものとすることができる。充填体106の材料はアクチュエータ接合層105の材料とヤング率が同等のものであってもよいが、充填体106の材料がアクチュエータ接合層105の材料よりヤング率が小さいものが好適である。
図12は、アクチュエータ接合層105と充填体106の材料及びヤング率を示す表である。同図に示すように、アクチュエータ接合層105がエラストマーからなり、充填体106がシリコンからなる振動パネル100を「柔軟固定」とする。また、アクチュエータ接合層105がエポキシ樹脂からなり、充填体106がシリコンからなる振動パネル100を「中硬度固定」とする。さらに、アクチュエータ接合層105がエポキシ樹脂からなり、充填体106もエポキシ樹脂からなる振動パネル100を「強固固定」とする。
なお、図12に示すヤング率は、アクチュエータ接合層105と充填体106の材料のうち、ヤング率が高い方の材料のヤング率である。
図13は、圧電アクチュエータ104の周波数が100Hzの場合の固定状態と変位量(μm)の関係を示す表であり、図14はそのグラフである。変位量は第1外部部材102の中央部の変位量である。
図13及び図14に示すように、圧電アクチュエータ104の周波数が100Hzの場合、「中硬度固定」、「柔軟固定」、「強固固定」の順で同電圧における変位量が大きく、即ち振動効率に優れる。
図15は、圧電アクチュエータ104の周波数が30kHzの場合の固定状態と変位量(μm)の関係を示す表であり、図16はそのグラフである。変位量は第1外部部材102の中央部の変位量である。
図15及び図16に示すように、圧電アクチュエータ104の周波数が30kHzの場合、「中硬度固定」、「強固固定」、「柔軟固定」の順で同電圧における変位量が大きく、即ち振動効率に優れる。
このように、振動パネル100では、アクチュエータ接合層105及び充填体106の材料によって、目的とする周波数に応じて振動効率を調整することが可能である。特に「中硬度固定」では、低周波数と高周波数の両方で高い振動効率を実現することができる。
[振動パネルによる効果]
振動パネル100では上記のように、目的とする周波数に応じてアクチュエータ接合層105及び充填体106の材料を選択し、振動特性を制御することが可能である。
また、圧電アクチュエータ104の周囲には充填体106が充填されており、圧電アクチュエータ104が空気から遮断されるため、湿気によるIRの低下や電気的接続部への負荷を防止することが可能であり、落下衝撃の緩和が可能である。これにより振動パネル100は高い信頼性を備えるものとすることが可能である。
さらに、振動パネル100は圧電アクチュエータ104等の各構成が第1外部部材102及び第2外部部材103の間に配置されており、表裏両面はフラットである。これにより、基板等を貼付することが容易であり、電子機器等への実装性に優れる。
[変形例]
上記実施形態において、振動パネル100は、長辺方向(X方向)両端部に2つの圧電アクチュエータ104を備えるものとしたが、振動パネル100は1つの圧電アクチュエータ104のみを備えるものであってもよい。また、振動パネル100の形状も矩形形状に限られず、円形形状等とすることも可能である。
100…振動パネル
101…内部部材
101a…第1主面
101b…第2主面
102…第1外部部材
102a…第3主面
102b…第4主面
102c…第1領域
102d…第2領域
103…第2外部部材
103a…第5主面
103b…第6主面
103c…第3領域
103d…第4領域
104…圧電アクチュエータ
105…アクチュエータ接合層
106…充填体
107、108…パネル接合層
108…パネル接合層
114…導通部
115…配線
150…電子機器

Claims (5)

  1. 平板状であり、第1の主面と、前記第1の主面の反対側の第2の主面を有する内部部材と、
    平板状であり、前記内部部材側の第3の主面と、前記第3の主面と反対側の第4の主面を有し、前記第3の主面は前記内部部材に対向し、前記第1の主面に接合される第1の領域と、前記内部部材から突出し、前記内部部材に接合されない第2の領域とを有する第1の外部部材と、
    平板状であり、前記内部部材側の第5の主面と、前記第5の主面と反対側の第6の主面を有し、前記第5の主面は前記内部部材に対向し、前記第2の主面に接合される第3の領域と、前記内部部材から突出し、前記内部部材に接合されず、前記第2の領域と対向する第4の領域とを有する第2の外部部材と、
    逆圧電効果による振動を生じる圧電アクチュエータと、
    前記圧電アクチュエータと前記第2の領域の間に配置され、前記圧電アクチュエータを前記第2の領域に接合するアクチュエータ接合層と、
    前記第2の領域と前記第4の領域の間に充填され、前記圧電アクチュエータを覆い、前記圧電アクチュエータと前記第1の外部部材と前記第2の外部部材を互いに接合する充填体と
    を具備する振動パネル。
  2. 請求項1に記載の振動パネルであって、
    前記アクチュエータ接合層は第1の樹脂材料からなり、
    前記充填体は前記第1の樹脂材料よりヤング率が小さい第2の樹脂材料からなる
    振動パネル。
  3. 請求項2に記載の振動パネルであって、
    前記第1の樹脂材料はエポキシ樹脂であり、
    前記第2の樹脂材料はシリコンである
    振動パネル。
  4. 請求項1から3のうちいずれか1項に記載の振動パネルであって、
    前記第1の外部部材及び前記第2の外部部材はガラスからなる
    振動パネル。
  5. 平板状であり、第1の主面と、前記第1の主面の反対側の第2の主面を有する内部部材と、平板状であり、前記内部部材側の第3の主面と、前記第3の主面と反対側の第4の主面を有し、前記第3の主面は前記内部部材に対向し、前記第1の主面に接合される第1の領域と、前記内部部材から突出し、前記内部部材に接合されない第2の領域とを有する第1の外部部材と、平板状であり、前記内部部材側の第5の主面と、前記第5の主面と反対側の第6の主面を有し、前記第5の主面は前記内部部材に対向し、前記第2の主面に接合される第3の領域と、前記内部部材から突出し、前記内部部材に接合されず、前記第2の領域と対向する第4の領域とを有する第2の外部部材と、逆圧電効果による振動を生じる圧電アクチュエータと、前記圧電アクチュエータと前記第2の領域の間に配置され、前記圧電アクチュエータを前記第2の領域に接合するアクチュエータ接合層と、前記第2の領域と前記第4の領域の間に充填され、前記圧電アクチュエータを覆い、前記圧電アクチュエータと前記第1の外部部材と前記第2の外部部材を互いに接合する充填体とを備える振動パネル
    を具備する電子機器。
JP2019156552A 2019-08-29 2019-08-29 振動パネル及び電子機器 Active JP7429506B2 (ja)

Priority Applications (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2019156552A JP7429506B2 (ja) 2019-08-29 2019-08-29 振動パネル及び電子機器
CN202010869466.0A CN112445334B (zh) 2019-08-29 2020-08-26 振动面板和电子设备
US17/007,355 US11571712B2 (en) 2019-08-29 2020-08-31 Vibration panel and electronic apparatus

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2019156552A JP7429506B2 (ja) 2019-08-29 2019-08-29 振動パネル及び電子機器

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2021034995A JP2021034995A (ja) 2021-03-01
JP7429506B2 true JP7429506B2 (ja) 2024-02-08

Family

ID=74677828

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2019156552A Active JP7429506B2 (ja) 2019-08-29 2019-08-29 振動パネル及び電子機器

Country Status (3)

Country Link
US (1) US11571712B2 (ja)
JP (1) JP7429506B2 (ja)
CN (1) CN112445334B (ja)

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2023142038A1 (zh) * 2022-01-29 2023-08-03 京东方科技集团股份有限公司 振动面板及其驱动方法、触觉反馈装置
JP2024047432A (ja) * 2022-09-26 2024-04-05 太陽誘電株式会社 触覚生成装置

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2013186816A1 (ja) 2012-06-14 2013-12-19 三菱電機株式会社 表示装置
JP2014027568A (ja) 2012-07-27 2014-02-06 Kyocera Corp 電子機器
JP2014143649A (ja) 2013-01-25 2014-08-07 Kyocera Corp 音響発生器およびそれを用いた電子機器
JP2016100861A (ja) 2014-11-26 2016-05-30 京セラ株式会社 電子機器

Family Cites Families (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP5597583B2 (ja) * 2011-03-28 2014-10-01 太陽誘電株式会社 タッチパネル装置及び電子機器
US9431926B2 (en) * 2013-05-23 2016-08-30 Mplus Co., Ltd. Vibration generating apparatus and electronic apparatus including the same
KR20150097276A (ko) * 2014-02-18 2015-08-26 삼성전기주식회사 압전 진동 액츄에이터와 이의 제작 방법
CN105027581B (zh) * 2014-02-27 2018-01-05 京瓷株式会社 压电致动器及具备其的压电振动装置、便携式终端、声音发生器、声音发生装置、电子设备
US10487821B2 (en) * 2016-01-29 2019-11-26 Microjet Technology Co., Ltd. Miniature fluid control device
JP2018129629A (ja) * 2017-02-07 2018-08-16 セイコーエプソン株式会社 圧電センサー及び圧電デバイス
TWI689664B (zh) * 2017-08-25 2020-04-01 研能科技股份有限公司 致動氣體導流裝置

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2013186816A1 (ja) 2012-06-14 2013-12-19 三菱電機株式会社 表示装置
JP2014027568A (ja) 2012-07-27 2014-02-06 Kyocera Corp 電子機器
JP2014143649A (ja) 2013-01-25 2014-08-07 Kyocera Corp 音響発生器およびそれを用いた電子機器
JP2016100861A (ja) 2014-11-26 2016-05-30 京セラ株式会社 電子機器

Also Published As

Publication number Publication date
CN112445334B (zh) 2024-07-12
US20210060611A1 (en) 2021-03-04
JP2021034995A (ja) 2021-03-01
US11571712B2 (en) 2023-02-07
CN112445334A (zh) 2021-03-05

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP5605433B2 (ja) 圧電振動装置
JP6140731B2 (ja) 圧電アクチュエータ、圧電振動装置および携帯端末
KR20120105785A (ko) 압전 소자
US10069440B2 (en) Vibrator and ultrasonic motor
JP6933054B2 (ja) 振動デバイス
JP7110570B2 (ja) 振動ユニット
JP7429506B2 (ja) 振動パネル及び電子機器
WO2015129061A1 (ja) 圧電アクチュエータおよびこれを備えた圧電振動装置、携帯端末、音響発生器、音響発生装置、電子機器
US9590162B2 (en) Piezoelectric vibration component and portable terminal
WO2012090893A1 (ja) 圧電振動装置及びタッチパネル装置
JP2019134033A (ja) 積層圧電セラミック部品及び圧電デバイス
JP2019147084A (ja) 非音響用の振動発生装置及び電子機器
WO2019087922A1 (ja) 振動デバイス
JP5730452B1 (ja) 圧電アクチュエータおよびこれを備えた圧電振動装置、携帯端末、音響発生器、音響発生装置、電子機器
JP2015216373A (ja) 圧電素子及びこれを含む圧電振動モジュール
JP3535111B2 (ja) 圧電アクチュエータ
JP6224841B2 (ja) 圧電素子、音響発生器、音響発生装置、電子機器
WO2020100828A1 (ja) 振動デバイス及び電子機器
WO2017057656A1 (ja) 振動装置および触覚提示装置
JP2019147122A (ja) 振動発生装置及び電子機器
JP2004087662A (ja) 圧電素子
JP2019134035A (ja) 積層圧電セラミック部品及び圧電デバイス
JP6998223B2 (ja) 圧電デバイス
JP6733641B2 (ja) 振動デバイス
JP2017118424A (ja) 音響発生器、音響発生装置および電子機器

Legal Events

Date Code Title Description
RD01 Notification of change of attorney

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7421

Effective date: 20220707

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20220715

A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20220727

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20230530

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20230606

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20230721

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20231003

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20240123

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20240129

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 7429506

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150