JP2007252132A - アクチュエータ - Google Patents

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Abstract

【課題】容易に複数層積層可能であって、かつ構造を簡素化できるアクチュエータを提供する。
【解決手段】極性が異なる電極3,4間にエラストマー層2を挟み、当該電極3,4を介してエラストマー層2を積層した積層体5を有するアクチュエータ1であって、積層体5は、同一極性の電極3,4同士が重なるように折り重ねられて形成されることとした。
【選択図】図1

Description

本発明は、エラストマー層を積層してなる積層体を有するアクチュエータに関する。
従来、人工筋肉等に用いられるアクチュエータとしてエラストマーを用いたものが知られている。当該アクチュエータにおいては、アクリルゴムやシリコーンゴムなどをシート状に加工したエラストマー層の両面に電極を配置する構成をしている。このアクチュエータは、電極に電圧を印加すると電極間方向に縮み、電極間方向と直交する方向に伸びる性質を有している。そして、この種のアクチュエータでは、伸縮量を増加させるためにエラストマー層を積層した構造とされており、その積層方法としてはエラストマー層の両面に電極を配置したものを複数個用意し、順に積層していく方法が一般的である。このような積層方法は、例えば特許文献1や特許文献2で開示されている。また、この種のアクチュエータとして、特許文献3で開示されるようなシリコーンゴムなどの伸縮部と電極を渦巻き状にしたものもある。
特開2004−282053号公報 特開2004−360841号公報 特開2003−199365号公報
ところで、前述のようにエラストマー層の両面に電極を配置したものを複数積層してアクチュエータを製造する場合には、その積層作業が煩雑である。また、このように製造したアクチュエータは、各層の電極が分離した状態となっている。このため、アクチュエータの製造においては、各電極に配線を施す必要があることからその作業が煩雑であり、また配線量も多くアクチュエータの構造が複雑化している。
本発明は、上記課題に鑑みてなされたものであり、容易に複数層積層可能であって、かつ構造を簡素化できるアクチュエータを提供することにある。
上記課題を解決するために、請求項1に記載の発明は、極性が異なる電極間にエラストマー層を挟み、当該電極を介して前記エラストマー層を積層した積層体を有するアクチュエータであって、前記積層体は、同一極性の電極同士が重なるように折り重ねられることにより形成されてなることを要旨とする。
また、請求項2に記載の発明は、極性が異なる電極間にエラストマー層を挟み、当該電極を介して前記エラストマー層を積層した積層体を有するアクチュエータであって、前記積層体を収納する容器を備え、前記積層体は、同一極性の電極同士が重なるように折り重ねられることにより形成されており、その折り返し部位が前記容器の内面と接するように収納されていることを要旨とする。
請求項1及び請求項2に記載の発明によれば、折り重ねられて積層された電極が連続しているため、伸縮部の両面の各電極に対し配線を接続するだけ各層毎に電圧を印加することができ、従来のように積層された各層の電極ごとに配線する作業を行う必要がない。また、折り重ねる際には、極性が異なる電極同士が重ならないので、従来のように絶縁層を設ける必要もない。従って、容易に複数層積層可能であって、かつ構造を簡素化できる。
また、請求項2に記載の発明によれば、電極に電圧を印加した場合、伸縮部は積層方向と直交する方向に伸びようとするが、当該方向への伸びは筒体の内面によって規制されるため、伸縮部は積層方向に伸び、大きな変位量を得られる。
本発明のアクチュエータは容易に複数層積層可能であって、かつ構造を簡素化できる。
以下、本発明を具体化した実施形態を図1及び図2に基づき説明する。
図1(c)に示すように、エラストマーを用いたアクチュエータ1は、アクリルゴム等の絶縁性伸縮材料により形成されたエラストマー層としての伸縮部2を備えている。伸縮部2は絶縁性伸縮材料を溶媒に溶かした後に、当該溶媒をスピンコート法により塗布して液膜を形成し、この液膜を焼成することにより形成されている。また、伸縮部2の両面には、カーボン等が分散されているエラストー等の導電性伸縮材料から形成された電極3,4が形成されている。電極3には、プラス側が接続されているとともに、電極4にはマイナス側が接続されている。
アクチュエータ1は、伸縮部2が複数層(本実施形態では6層)に積層された積層体5を有し、各層の伸縮部2は極性が異なる電極3,4で挟まれている。そして、アクチュエータ1の各層の伸縮部2及び電極3,4は、屈曲部5aを介して積層方向に沿って繋がっている。すなわち、本実施形態のアクチュエータ1は、積層体5の最外層のみに端部5bが形成されていることになる。なお、本実施形態のアクチュエータ1は、伸縮部2の矢印Y1方向の厚みが約0.1mmとされているとともに、電極3,4の矢印Y1方向の厚みが夫々約0.05mmとされており、電極3,4は、伸縮部2よりも薄く形成されている。
以下、本実施形態のアクチュエータ1を製造する手順を説明する。
まず、図1(a)に示すシート体6を形成する。シート体6は、シート状に形成した伸縮部2を挟むように同じくシート状に形成した電極3,4を配置して構成されたものである。
そして、アクチュエータ1は、図1(b)に示すように、シート体6を折り重ねて積層体5とすることにより構成される。より具体的には、シート体6を折り重ねる際には、電極3同士が重なる(接する)ように折られる工程と、電極4同士が重なる(接する)ように折られる工程とを交互に繰り返し行う。これらの工程を経て、伸縮部2は同一方向に積層されるとともに、積層された各層は屈曲部5aを介して繋げられる。その後、折り重ねられたシート体6を80度で加熱し、かつ積層方向(矢印Y1の方向)に圧着することによって積層体5を有するアクチュエータ1が完成する。
このように構成されたアクチュエータ1の電極3,4に電圧を印加すると、伸縮部2は矢印Y2の方向及び矢印Y3(図1(a)参照)方向(電圧の方向と直交する方向)に伸長する。積層構造を有するアクチュエータ1においては、単層構造とされたアクチュエータ1よりも伸縮部2の積層方向(電極3,4間方向)における断面積が増加し、伸長する際の発生力が大きくなる。
図2には、折り重ねにより形成した積層体5を有するダイアフラム型のアクチュエータ10を示している。
ダイアフラム型のアクチュエータ10は、有底円筒状の容器としての筒体11を備えており、筒体11には、折り重ねることにより形成した積層体5が配置されている。積層体5は、屈曲部1aが筒体11の内面としての内周面11aと接触するように配置されるとともに、鉛直方向上向きに曲付けされている上向き層1bと鉛直方向下向きに曲付けされている下向き層1cとが交互に配置されるように構成されている。
このようなダイアフラム型のアクチュエータ10の電極に電圧を印加すると、伸縮部2が矢印Y2方向に伸長しようとするが、矢印Y2方向の伸長は筒体11の内周面11aにより規制されるため、伸縮部2は伸長が規制されていない矢印Y1方向に伸長する。
本実施形態によれば、以下に示す効果を得ることができる。
(1)アクチュエータ1が有する積層体5を、伸縮部2の両面に電極3,4を積層してなるシート体6を用いて同一極性の電極3,4同士が重なるように折り重ねることにより形成した。従って、折り重ねられて積層された電極3,4が連続しているため、伸縮部2の両面の各電極3,4に対し配線を接続するだけ各層毎に電圧を印加することができ、従来のように積層した各層の電極ごとに配線する作業を行う必要がない。また、折り重ねる際には、極性が異なる電極同士が重ならないので、従来のように絶縁層を設ける必要もない。従って、容易に複数層積層可能であって、かつ構造を簡素化できる。
(2)ダイアフラム型のアクチュエータ10は、折り重ねられた積層体5を筒体11内に屈曲部1aが筒体11の内周面11aと接触するように配置することにより形成した。このようなダイアフラム型のアクチュエータ10においては、電極3,4に電圧を印加した場合、伸縮部2は積層方向と直交する方向に伸びようとするが、この方向への伸長は筒体11の内周面11aによって規制されるため、伸縮部2は積層方向に伸び、大きな変位量を得られる。従って、積層体5を用いることにより、ダイアフラム型のアクチュエータ10を容易に製造することができる。
本実施形態のアクチュエータ1の構成は以下のように変更してもよい。
・伸縮部2の材料は本実施形態のものに限定されず、例えばシリコーンゴム等に変更してもよい。
・電極3,4の材料は本実施形態のものに限定されず、例えば、銀、金等の金属材料に変更してもよい。
・伸縮部2はスピンコート法によって形成したが、例えばスクリーン印刷等により形成してもよい。
次に、上記実施形態およびその態様の変更から把握できる技術的思想について以下に追記する。
(イ)極性が異なる電極間にエラストマー層を挟み、当該電極を介して前記エラストマー層を積層した積層体を有するアクチュエータであって、
前記エラストマー層及び前記電極は、同一極性の電極同士が重なるように折り返された屈曲部を介して連続していることを特徴とするアクチュエータ。
(a)はシート体の模式図、(b)は折り重ねられたシート体の模式図、(c)はアクチュエータを示す模式図。 ダイアフラム型のアクチュエータを示す模式図。
符号の説明
1,10…アクチュエータ、2…伸縮部、3,4…電極、5…積層体、5a…屈曲部、11…筒体、11a…内周面。

Claims (2)

  1. 極性が異なる電極間にエラストマー層を挟み、当該電極を介して前記エラストマー層を積層した積層体を有するアクチュエータであって、
    前記積層体は、同一極性の電極同士が重なるように折り重ねられることにより形成されてなることを特徴とするアクチュエータ。
  2. 極性が異なる電極間にエラストマー層を挟み、当該電極を介して前記エラストマー層を積層した積層体を有するアクチュエータであって、
    前記積層体を収納する容器を備え、
    前記積層体は、同一極性の電極同士が重なるように折り重ねられることにより形成されており、その折り返し部位が前記容器の内面と接するように収納されていることを特徴とするアクチュエータ。
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Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2011087423A (ja) * 2009-10-16 2011-04-28 Murata Mfg Co Ltd アクチュエータ及びアクチュエータを製造する方法
JP2012029419A (ja) * 2010-07-22 2012-02-09 Nippon Signal Co Ltd:The アクチュエータ
US8458889B2 (en) 2010-09-15 2013-06-11 Toyoda Gosei Co., Ltd. Actuator manufacturing method
WO2015107878A1 (ja) * 2014-01-16 2015-07-23 株式会社デンソー 摩擦帯電現象を利用する折り重ね式発電機

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0215378A (ja) * 1988-03-23 1990-01-19 Du Pont Pixel Syst Ltd グラフィックス処理システムおよびその方法

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0215378A (ja) * 1988-03-23 1990-01-19 Du Pont Pixel Syst Ltd グラフィックス処理システムおよびその方法

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2011087423A (ja) * 2009-10-16 2011-04-28 Murata Mfg Co Ltd アクチュエータ及びアクチュエータを製造する方法
JP2012029419A (ja) * 2010-07-22 2012-02-09 Nippon Signal Co Ltd:The アクチュエータ
US8458889B2 (en) 2010-09-15 2013-06-11 Toyoda Gosei Co., Ltd. Actuator manufacturing method
WO2015107878A1 (ja) * 2014-01-16 2015-07-23 株式会社デンソー 摩擦帯電現象を利用する折り重ね式発電機

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