JP2007306775A5 - - Google Patents
Download PDFInfo
- Publication number
- JP2007306775A5 JP2007306775A5 JP2006135598A JP2006135598A JP2007306775A5 JP 2007306775 A5 JP2007306775 A5 JP 2007306775A5 JP 2006135598 A JP2006135598 A JP 2006135598A JP 2006135598 A JP2006135598 A JP 2006135598A JP 2007306775 A5 JP2007306775 A5 JP 2007306775A5
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electrode layer
- piezoelectric element
- cylindrical
- electrode
- piezoelectric
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000010410 layer Substances 0.000 claims 42
- 239000011162 core material Substances 0.000 claims 6
- 239000011229 interlayer Substances 0.000 claims 6
- 239000004020 conductor Substances 0.000 claims 5
- 239000000463 material Substances 0.000 claims 5
- 238000010030 laminating Methods 0.000 claims 3
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims 3
- 239000000843 powder Substances 0.000 claims 3
- 238000005452 bending Methods 0.000 claims 2
- 238000010304 firing Methods 0.000 claims 2
- 238000003475 lamination Methods 0.000 claims 2
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 claims 1
- 238000000576 coating method Methods 0.000 claims 1
- 238000000034 method Methods 0.000 claims 1
- 230000002093 peripheral Effects 0.000 claims 1
Claims (12)
- 互いに対して同軸的に挿入された異なる径を有し且つ円筒状の圧電素子を形成する複数の分離した円筒状の圧電層と、前記円筒状の圧電層の夫々の円周面上にある電極層とを備える積層圧電素子であって、
前記各電極層は前記円筒状の圧電層の夫々の前記円周面に沿った複数の分離した電極層領域に分割されていることを特徴とする積層圧電素子。 - 同一電極層にある前記複数の電極層領域の少なくとも一つに交流電圧が印加されることによって、前記円筒状の圧電層は、その中心軸方向に対して曲げ振動を起こすことを特徴とする請求項1記載の積層圧電素子。
- 前記積層圧電素子の端面に設けられた複数の層間電極を更に備え、
前記層間電極は、異なる電極層にあって前記交流電圧が印加される電極領域の一つと中心角が同一である複数の前記電極層領域を導通させることを特徴とする請求項2記載の積層圧電素子。 - 前記層間電極は、異なる電極層にある第1の電極層領域を導通させる第1の層間電極、異なる電極層にある第2の電極層領域を導通させる第2の層間電極、および異なる電極層にある第3の電極層領域を導通させる第3の層間電極を少なくとも備えることを特徴とする請求項3記載の積層圧電素子。
- 前記複数の電極層は、それぞれ前記円周面に沿って複数の分離した電極層領域に分割される第1の電極層および第2の電極層を少なくとも備え、
前記積層圧電素子は、前記円周面に沿って一周に形成される単一の電極層領域を有する第3の電極層をさらに備えることを特徴とする請求項4記載の積層圧電素子。 - 前記各電極層は、前記円筒状の圧電層の夫々1つの内周上又は外周上に形成されることを特徴とする請求項1記載の積層圧電素子。
- 前記積層圧電素子の中心に芯材をさらに有することを特徴とする請求項1記載の積層圧電素子。
- 圧電材料粉末と有機ビヒクルを主成分とする圧電材料ペースト、および導電材料粉末と有機ビヒクルを主成分とする導電材料ペーストを交互に円筒状に塗布することにより、互いに対して同軸的に挿入された異なる径を有し且つ円筒状の圧電素子を形成する複数の分離した円筒状の圧電層と、前記円筒状の圧電層の夫々の円周面上にある電極層とを積層する積層工程と、
前記積層工程で積層された圧電層及び電極層を焼成する焼成工程とを備え、
前記導電材料ペーストは、前記円筒状の圧電層の円周面に沿った複数の分離した領域に分割して塗布されることを特徴とする積層圧電素子の製造方法。 - 円筒状の芯材を回転可能に支持する支持工程と、
前記支持された芯材の外周面との接触部に前記圧電材料ペースト又は前記導電材料ペーストを塗布する塗布工程とをさらに備え、
前記塗布工程では、前記芯材を回転させることにより、前記芯材の周りに前記圧電材料ペースト又は前記導電材料ペーストを円筒状に塗布することを特徴とする請求項8記載の積層圧電素子の製造方法。 - 前記芯材は前記圧電材料粉末をその主成分として含むことを特徴とする請求項9記載の積層圧電素子の製造方法。
- 互いに対して同軸的に挿入された異なる径を有し且つ円筒状の圧電素子を形成する複数の分離した円筒状の圧電層と、前記円筒状の圧電層の夫々の円周面上にある電極層とを交互に積層する積層工程を備え、
前記電極層は、前記円筒状の圧電層の円周面に沿った複数の分離した領域に分割して塗布されることを特徴とする積層圧電素子の製造方法。 - 少なくとも2つの曲げ振動によって首振り運動を行う振動体と、
前記振動体に接触し、前記振動体に前記振動を発生させることにより、摩擦接触により自身を移動させる接触体とを有し、
前記振動体は、互いに対して同軸的に挿入された異なる径を有し且つ円筒状の圧電素子を形成する複数の分離した円筒状の圧電層と、前記円筒状の圧電層の夫々の円周面上にある電極層とを備える圧電素子を有し、
前記各電極層は前記円筒状の圧電層の夫々の前記円周面に沿った複数の分離した電極層領域に分割されていることを特徴とする振動波駆動装置。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006135598A JP4881062B2 (ja) | 2006-05-15 | 2006-05-15 | 積層圧電素子、その製造方法および振動波駆動装置 |
US11/748,701 US7531948B2 (en) | 2006-05-15 | 2007-05-15 | Stacked piezoelectric element, manufacturing method thereof and vibration wave driving apparatus |
US12/417,220 US8371005B2 (en) | 2006-05-15 | 2009-04-02 | Stacked piezoelectric element, manufacturing method thereof and vibration wave driving apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006135598A JP4881062B2 (ja) | 2006-05-15 | 2006-05-15 | 積層圧電素子、その製造方法および振動波駆動装置 |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007306775A JP2007306775A (ja) | 2007-11-22 |
JP2007306775A5 true JP2007306775A5 (ja) | 2011-01-13 |
JP4881062B2 JP4881062B2 (ja) | 2012-02-22 |
Family
ID=38684481
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006135598A Expired - Fee Related JP4881062B2 (ja) | 2006-05-15 | 2006-05-15 | 積層圧電素子、その製造方法および振動波駆動装置 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (2) | US7531948B2 (ja) |
JP (1) | JP4881062B2 (ja) |
Families Citing this family (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20060112870A (ko) * | 2005-04-28 | 2006-11-02 | 삼성전자주식회사 | 압전 소자 및 이를 갖는 프린터 헤드 |
JP4956929B2 (ja) * | 2005-07-25 | 2012-06-20 | 富士ゼロックス株式会社 | アクチュエータ、液滴吐出ヘッド、液滴吐出装置、及びアクチュエータ製造方法 |
US7732998B2 (en) * | 2006-08-03 | 2010-06-08 | The United States Of America As Represented By The Administrator Of The National Aeronautics And Space Administration | Telescoping cylindrical piezoelectric fiber composite actuator assemblies |
DE102008042863A1 (de) | 2008-10-15 | 2010-04-22 | Robert Bosch Gmbh | Piezoelektrischer Aktor |
DE102008042864A1 (de) | 2008-10-15 | 2010-04-22 | Robert Bosch Gmbh | Piezoelektrischer Aktor |
JP6046416B2 (ja) * | 2011-08-23 | 2016-12-14 | 日本碍子株式会社 | ハニカム構造体の製造方法 |
US9390676B2 (en) * | 2011-09-21 | 2016-07-12 | International Business Machines Corporation | Tactile presentation of information |
JP5932402B2 (ja) * | 2012-03-07 | 2016-06-08 | キヤノン株式会社 | 振動波駆動装置 |
JP5963603B2 (ja) * | 2012-08-03 | 2016-08-03 | オリンパス株式会社 | 超音波振動デバイス、超音波振動デバイスの製造方法および超音波医療装置 |
TW201545828A (zh) * | 2014-06-10 | 2015-12-16 | Ya-Yang Yan | 一種放電加工切割線及該放電加工切割線之製造方法 |
US11248692B2 (en) * | 2016-03-11 | 2022-02-15 | Deere & Company | Composite gears and methods of manufacturing such gears |
KR101871974B1 (ko) * | 2016-11-17 | 2018-08-02 | 한국과학기술원 | 전단형 압전 액츄에이터 |
Family Cites Families (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3102216A (en) * | 1959-12-23 | 1963-08-27 | Western Electric Co | Metallized capacitor |
JP2961545B2 (ja) * | 1988-12-12 | 1999-10-12 | 株式会社トーキン | 圧電楕円運動振動子 |
JP2837722B2 (ja) * | 1990-01-30 | 1998-12-16 | 日本無線株式会社 | 圧電型超音波振動子 |
JPH0698568A (ja) * | 1991-07-08 | 1994-04-08 | Piezo Tec Kk | 単相可逆回転型電歪公転子モータ |
JP3311034B2 (ja) | 1992-08-25 | 2002-08-05 | キヤノン株式会社 | 積層圧電素子、積層圧電素子の製造方法、振動波駆動装置及び振動波駆動装置を備えた機器 |
JP3313782B2 (ja) | 1992-10-06 | 2002-08-12 | キヤノン株式会社 | 積層圧電素子及びその製造方法並びに分極方法、及び振動波駆動装置、振動波駆動装置を備えた機器 |
JP3432321B2 (ja) | 1995-01-31 | 2003-08-04 | 太平洋セメント株式会社 | 積層セラミックス圧電体素子 |
JP2001160637A (ja) * | 1999-09-20 | 2001-06-12 | Denso Corp | 圧電素子および圧電素子の製造方法 |
JP3397753B2 (ja) * | 1999-09-30 | 2003-04-21 | ティーディーケイ株式会社 | 積層型圧電素子およびその製造方法 |
JP2001135873A (ja) * | 1999-11-08 | 2001-05-18 | Minolta Co Ltd | 圧電変換素子 |
JP2001352768A (ja) * | 2000-06-05 | 2001-12-21 | Canon Inc | 積層電気−機械エネルギー変換素子および振動波駆動装置 |
JP2003009555A (ja) * | 2001-06-25 | 2003-01-10 | Canon Inc | 積層電気−機械エネルギー変換素子および振動波駆動装置 |
JP2003033055A (ja) * | 2001-07-09 | 2003-01-31 | Minolta Co Ltd | 圧電変換素子及びそれを使用した装置 |
JP4422973B2 (ja) * | 2002-08-27 | 2010-03-03 | 京セラ株式会社 | 積層圧電体、アクチュエータ及び印刷ヘッド |
-
2006
- 2006-05-15 JP JP2006135598A patent/JP4881062B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2007
- 2007-05-15 US US11/748,701 patent/US7531948B2/en not_active Expired - Fee Related
-
2009
- 2009-04-02 US US12/417,220 patent/US8371005B2/en not_active Expired - Fee Related
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP2007306775A5 (ja) | ||
JP2011181976A5 (ja) | ||
JP4881062B2 (ja) | 積層圧電素子、その製造方法および振動波駆動装置 | |
TW200746197A (en) | Multilayer capacitor | |
US20150231802A1 (en) | Method of metallizing dielectric film | |
JP2013528817A5 (ja) | ||
WO2007084796A3 (en) | Ionic polymer devices and methods of fabricating the same | |
JP2015528686A5 (ja) | ||
EP1808908A3 (en) | Multilayer piezoelectric devices and method of producing the same | |
JP2013538429A5 (ja) | ||
JP2007279724A5 (ja) | ||
TW200641935A (en) | Multilayer capacitor | |
WO2009112995A3 (en) | Multi-element piezoelectric transducers | |
JP2016040993A5 (ja) | ||
JP2001352768A (ja) | 積層電気−機械エネルギー変換素子および振動波駆動装置 | |
JP5406947B2 (ja) | 発電装置及び発電方法 | |
WO2011089803A1 (ja) | 圧電発電素子、圧電発電装置及び圧電発電素子の製造方法 | |
JP2005108989A5 (ja) | ||
JP2017220560A5 (ja) | ||
JP2014143398A5 (ja) | ||
JP2007185049A (ja) | 振動子及び振動波駆動装置 | |
US8963534B2 (en) | Triaxial piezoelectric sensor | |
JP5465274B2 (ja) | 積層圧電素子の製造方法 | |
JP2011172466A (ja) | 圧電アクチュエータ | |
JP2008130767A5 (ja) |