JP2007306775A5 - - Google Patents

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  1. 互いに対して同軸的に挿入された異なる径を有し且つ円筒状の圧電素子を形成する複数の分離した円筒状の圧電層と、前記円筒状の圧電層の夫々の円周面上にある電極層とを備える積層圧電素子であって、
    前記各電極層は前記円筒状の圧電層の夫々の前記円周面に沿った複数の分離した電極層領域に分割されていることを特徴とする積層圧電素子。
  2. 同一電極層にある前記複数の電極層領域の少なくとも一つに交流電圧が印加されることによって、前記円筒状の圧電層は、その中心軸方向に対して曲げ振動を起こすことを特徴とする請求項1記載の積層圧電素子。
  3. 前記積層圧電素子の端面に設けられた複数の層間電極を更に備え、
    前記層間電極は、異なる電極層にあって前記交流電圧が印加される電極領域の一つと中心角が同一である複数の前記電極層領域を導通させることを特徴とする請求項2記載の積層圧電素子。
  4. 前記層間電極は、異なる電極層にある第1の電極層領域を導通させる第1の層間電極、異なる電極層にある第2の電極層領域を導通させる第2の層間電極、および異なる電極層にある第3の電極層領域を導通させる第3の層間電極を少なくとも備えることを特徴とする請求項3記載の積層圧電素子。
  5. 前記複数の電極層は、それぞれ前記円周面に沿って複数の分離した電極層領域に分割される第1の電極層および第2の電極層を少なくとも備え、
    前記積層圧電素子は、前記円周面に沿って一周に形成される単一の電極層領域を有する第3の電極層をさらに備えることを特徴とする請求項4記載の積層圧電素子。
  6. 前記各電極層は、前記円筒状の圧電層の夫々1つの内周上又は外周上に形成されることを特徴とする請求項1記載の積層圧電素子。
  7. 前記積層圧電素子の中心に芯材をさらに有することを特徴とする請求項1記載の積層圧電素子。
  8. 圧電材料粉末と有機ビヒクルを主成分とする圧電材料ペースト、および導電材料粉末と有機ビヒクルを主成分とする導電材料ペーストを交互に円筒状に塗布することにより、互いに対して同軸的に挿入された異なる径を有し且つ円筒状の圧電素子を形成する複数の分離した円筒状の圧電層と、前記円筒状の圧電層の夫々の円周面上にある電極層とを積層する積層工程と、
    前記積層工程で積層された圧電層及び電極層を焼成する焼成工程とを備え、
    前記導電材料ペーストは、前記円筒状の圧電層の円周面に沿った複数の分離した領域に分割して塗布されることを特徴とする積層圧電素子の製造方法。
  9. 円筒状の芯材を回転可能に支持する支持工程と、
    前記支持された芯材の外周面との接触部に前記圧電材料ペースト又は前記導電材料ペーストを塗布する塗布工程とをさらに備え、
    前記塗布工程では、前記芯材を回転させることにより、前記芯材の周りに前記圧電材料ペースト又は前記導電材料ペーストを円筒状に塗布することを特徴とする請求項8記載の積層圧電素子の製造方法。
  10. 前記芯材は前記圧電材料粉末をその主成分として含むことを特徴とする請求項9記載の積層圧電素子の製造方法。
  11. 互いに対して同軸的に挿入された異なる径を有し且つ円筒状の圧電素子を形成する複数の分離した円筒状の圧電層と、前記円筒状の圧電層の夫々の円周面上にある電極層とを交互に積層する積層工程を備え、
    前記電極層は、前記円筒状の圧電層の円周面に沿った複数の分離した領域に分割して塗布されることを特徴とする積層圧電素子の製造方法。
  12. 少なくとも2つの曲げ振動によって首振り運動を行う振動体と、
    前記振動体に接触し、前記振動体に前記振動を発生させることにより、摩擦接触により自身を移動させる接触体とを有し、
    前記振動体は、互いに対して同軸的に挿入された異なる径を有し且つ円筒状の圧電素子を形成する複数の分離した円筒状の圧電層と、前記円筒状の圧電層の夫々の円周面上にある電極層とを備える圧電素子を有し、
    前記各電極層は前記円筒状の圧電層の夫々の前記円周面に沿った複数の分離した電極層領域に分割されていることを特徴とする振動波駆動装置。
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