JP3311034B2 - 積層圧電素子、積層圧電素子の製造方法、振動波駆動装置及び振動波駆動装置を備えた機器 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、積層圧電素子、積層圧
電素子の製造方法、振動波駆動装置及び振動波駆動装置
を備えた機器に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】特公平３−４０７６７号公報や特公平３
−２８９３７５号公報等に、例えば振動波駆動装置とし
ての棒状の振動波駆動装置が記載されている。図１０は
棒状の振動波駆動装置の振動体の分解斜視図であり、図
１１は棒状の振動波駆動装置の縦断面図である。

【０００３】図１０に示す振動体は、２枚の圧電素子Ｐ
ＺＴ１，２を１群とする駆動用のＡ相圧電素子ａ１、同
様に２枚の圧電素子ＰＺＴ３，４を１群とする駆動用の
Ｂ相圧電素子ａ２、又１枚の圧電素子板からなるセンサ
用圧電素子ｓ１を図示のように積層するとともに、これ
らの圧電素子間に駆動用の交流電圧を供給するための電
極板Ａ１，Ａ２及びセンサ信号取り出し用の電極板Ｓが
ある。またそれらと共にＧＮＤ用電極板Ｇ１，Ｇ２，Ｇ
３もＧＮＤ電位を与えるためにある。そしてこれらの圧
電素子および電極板を挟持するように前後に黄銅、ステ
ンレスなどの振動減衰の比較的小さい金属製ブロックｂ
１，ｂ２を設け、締め付けボルトｃにより金属ブロック
ｂ１，ｂ２を締め付けることにより一体化し圧電素子に
圧縮応力を付与している。またこのときセンサ用圧電素
子ｓ１を一枚で済ませるためボルトｃと金属ブロックｂ
２の間に絶縁シートｄが入っている。

【０００４】このとき、Ａ相圧電素子ａ１とＢ相圧電素
子ａ２は位置的に９０度ずれて配置されており、各々が
該振動体の軸を含む直交する２つの面内方向の屈曲振動
を励振させ、かつ適当な時間的位相差を持たせることに
より、振動体の表面粒子に円あるいは楕円運動を生ぜし
め振動体上部に押圧された移動体を摩擦駆動する。

【０００５】このような振動体を棒状の振動波駆動装置
に用いた例を図１１に示す。この例では、振動体の締結
ボルトｃは、先端部に細径の支柱部ｃ２を有し、この支
柱部ｃ２の先端部に固定された固定部材ｇによりモータ
自体の固定を行えるようにし、又ロータｒなどの回転支
持の作用も兼用している。ロータｒは前金属ブロックｂ
１の先端面に接触し、加圧は固定部材ｇからベアリング
部材ｅとギヤｆを介してロータｒに内装されたバネケー
スｉのコイルバネｈを押圧することであたえられる。こ
の棒状の振動波駆動装置に使用する圧電素子についてさ
らに詳しく説明すると、１枚の圧電素子ＰＺＴ１〜４は
図１２のように粉末から焼成して作った圧電セラミック
ス５を円盤形状に機械加工し、厚さ０．５ｍｍとし、表
面にはスリットを介して２つのほぼ半円形状の電極膜８
−１，８−２を形成し、裏面には全面に電極膜１０を形
成させ、その後、半円形状の電極膜８−１，８−２の形
成された領域の極性を右左で異なる方向（＋），（−）
となるように分極処理を行い圧電特性を与えている。こ
のような１枚の圧電素子を、図１０のように、例えば、
Ａ相においてはＰＺＴ１，ＰＺＴ２が電極板Ａ１をはさ
んで分極方向の異極性が向かい合うようにし同時にスリ
ットも重なるように重ね合わせている。同様にＢ相につ
いても重ね合せている。すなわち、図１３のように、Ａ
相の圧電素子ａ１の分極の方向は矢印１４のように表わ
され、電極板Ａ１に駆動用の交流電圧を印加すると、圧
電素子ＰＺＴ１，ＰＺＴ２の右側と左側で一方が伸びる
と一方が収縮しこれを交互にくり返し振動体に屈曲振動
を起こさせることになる。Ｂ相についてもＡ相とスリッ
トの向きが９０°異なる点を除き同様の状態で屈曲振動
を起こさせる。

【０００６】

【発明が解決しようとしている課題】しかしながら、上
記従来例では１枚１枚の圧電素子をあらかじめ分極処理
を行ってから、電極板と交互に重ね積層を行っているた
め、分極処理に多大な時間を要しており、また、振動体
の組立てにも時間を要していた。さらに、圧電素子の分
極処理工程時や組立工程時のハンドリングを考慮すると
強度上、圧電セラミックスの厚さもある程度厚くする必
要があり、その結果さらに多層化しようにも、素子全体
の寸法が大きくなり、例えば鉛筆と略同径あるいはそれ
以下の超小型化を実現できる振動波駆動装置の小型化の
障害ともなっており、しいては、多層化により可能な振
動波駆動装置の大出力化や低電圧駆動化も難しくしてい
た。

【０００７】本出願に係る発明の目的は、このような従
来の問題を解決した積層圧電素子、積層圧電素子の製造
方法、振動波駆動装置及び振動波駆動装置を備えた機器
を提供することにある。

【０００８】

【課題を解決するための手段】本出願に係る発明の目的
を実現する積層圧電素子は、片面と他面に電極膜を有
し、少なくとも該片面の電極膜が非電極部によって複数
に分割されている略円盤状の複数の圧電素子を重ね合わ
せた積層圧電素子において、複数の圧電素子は各々の圧
電素子の該片面の非電極部が揃うように該片面同士およ
び該他面同士を対向した状態で積層され、少なくとも該
積層圧電素子の内径側面あるいは外径側面のいずれか
に、各々の圧電素子の該片面の電極膜を導通する導電部
と該他面の電極膜を導通する導電部とを設けたことを特
徴とする。本出願に係る発明の目的を実現する積層圧電
素子の製造方法は、片面と他面に電極膜を有し、少なく
とも片面の電極膜が非電極部によって複数に分割されて
いる略円盤状の複数の圧電素子を成形する工程と、該複
数の圧電素子を各々の圧電素子の該片面の非電極部が揃
うように該片面同士および該他面同士を対向させて積層
する工程と、積層された圧電素子の少なくとも内径側面
あるいは外径側面のいずれかに、各々の圧電素子の該片
面の電極膜を導通する導電部と該他面の電極膜を導通す
る導電部とを設ける工程と、該導電部を介して、複数の
圧電素子の該片面の電極膜と該他面の電極膜に同時に電
圧を印加して分極処理を行う工程と、を含むものであ
る。 本出願に係る発明の目的を実現する積層圧電素子の
他の製造方法は、前記分極処理を行う工程において、複
数の前記圧電素子の片面の電極膜と他面の電極膜との間
に電位差を有して直流電圧を印加し、空気中において加
熱しながら分極処理を行うことを特徴とする。本出願に
係る発明の目的を実現する振動波駆動装置は、互いの非
電極部の空間的位相を所定値だけずらした複数の上記し
た構成の積層圧電素子を金属体の間に挟持固定して構成
される振動体と、該振動体に加圧接触する移動体とを有
し、該振動体に該所定値に応じて時間的位相の異なる複
数の交番信号を印加することで該振動体の表面に形成さ
れる円または楕円運動によって該移動体を駆動すること
を特徴とする。本出願に係る発明の目的を実現する振動
波駆動装置を備えた機器は、上記した構成の振動波駆動
装置を駆動源とし、レンズを保持するレンズ保持部材を
回転駆動させて合焦動作を行うことを特徴とする。

【０００９】

【実施例】第１の実施例 図１及び図２は本発明による積層圧電素子の第１の実施
例を示し、図３はその分極処理方法を示す。図１の
（３）は（１）のＡ−Ａ断面、（２）は（３）のＢ−Ｂ
断面を示す。

【００１０】１は圧電素子４を８枚積層した積層圧電素
子で、圧電素子４は図２に示すように、予め仮焼後粉砕
した粉末から成形し焼成し、機械加工を行って円盤状に
した圧電セラミックス５に対し、図２の（１）に示す表
の面及び図２の（２）に示す裏の面に夫々銀ペーストを
スクリーン印刷して焼付け、表の面には直径部分のスリ
ット６を挟んで外周側へは全面に広がった２つの半円形
状の電極膜８−１と８−２を形成すると共に、内径部の
周囲に電極膜の非形成部分である内径側電極膜非形成部
７を形成し、一方、裏の面には外周部に沿って電極膜の
非形成部分である外径側電極膜非形成部９を形成すると
共に、内径側へは全面に広がった電極膜１０を形成した
ものを用いている。

【００１１】なお、本実施例では、圧電セラミックス５
の直径は１０ｍｍ、厚みは０．１２５ｍｍ、電極膜の厚
さは３〜５μｍとし、またスリット６の幅は０．８ｍ
ｍ、内径側電極膜非形成部７と外径側電極膜非形成部は
共に幅０．８ｍｍの一定間隔としている。

【００１２】積層圧電素子１は、圧電素子４の表の面同
士、及び裏面同士を対向させて夫々のスリット６を揃え
ながら重ね合わせて積層し、すなわち本実施例では一番
下の圧電素子４は表の面を上にし、下から２番目は裏の
面を上にし、下から３番目は表の面を上にし、というよ
うに交互に８枚の圧電素子を重ね合わせている。

【００１３】このとき重ね合わせる面には接着剤を均一
に塗布しており、重ね合わせた後、プレスにより加圧し
ながら温度を６０℃に上げ、できるだけ接着剤を薄くし
密着させ接着剤を硬化させた。

【００１４】そして、重ねた圧電素子の内径側面に接着
剤と銀からなるペーストを塗布し導電部３を設け、また
外径側面には圧電素子の２つの半円形状の電極膜に対し
て各々同様のペーストを塗布し、導電部２−１，２−２
を形成した。塗布後温度６０℃の恒温槽の中に２時間入
れ、接着剤を完全に硬化させた。

【００１５】なお、圧電素子間の接着剤は接着剤が硬化
するまえに、一度粘度が低下しその際、プレスにより加
圧しているので圧電素子４の電極膜８−１，８−２，１
０同士が接して導通がとれる。さらに内径、外径の側面
に付けた導電部２−１，２−２，３も恒温槽内で一度粘
度が下がり、各々の圧電素子の電極膜８−１，８−２や
１０と接触し、その後硬化し導通がとれる。

【００１６】つまり、内径側面の導電部３は２層おき
に、各々の圧電素子の裏面に施こされた全面電極膜１０
と導通し、外径側面の導電部２−１，２−２は各々の圧
電素子の表面に施こされた２つの半円形状の電極膜８−
１，８−２に各々導通する。

【００１７】なお、内径側面の導電部３の位置はとくに
場所を選ばないが、外径側面の導電部２−１，２−２の
位置は積層圧電素子を棒状の振動波駆動装置に組み込ん
だ場合その振動をなるべく阻害しないようにスリット６
の近傍にした。また、重ね合せた圧電素子を加圧し、接
着すると接着剤が圧電素子の内径、外径の側面にわずか
にはみだすので、内径、外径側面の導電体部を形成する
ためのペーストを塗布する前には前もって塗布部分の接
着剤を削り落しておいた。導電部２−１，２−２，３と
も厚さ１０〜２０μｍ 幅約１ｍｍとした。また電極膜
や導電部の形成方法は本例以外にも蒸着、無電解メッキ
等があるが、これらを用いてもとくに問題はないので信
頼性、生産性やコストを考慮して決めるべきであろう。

【００１８】次に、このようにして作った積層圧電素子
を図３のように１００ＭΩの高抵抗１２を２ケを用いて
分圧ができるように結線し、コンタクトピン１１を導電
部２−１，２−２および電極膜１０に接触させた。そし
て、直流電源１３により直流電圧３２０Ｖを６０分間印
加し１２０℃の恒温槽の中で分極処理を行った。図３に
示す結線では導電部２−１に導通する電極膜８−１が０
Ｖで、導電部３に導通する電極膜１０に１６０Ｖ、導電
部８−２に３２０Ｖが各々印加できる。この結果矢印１
４の方向に分極される。このような分極方向であるので
導電部３又は電極膜１０にＧＮＤを結なぎ、導電部２−
１，２−２に棒状の振動波駆動装置の駆動電圧である交
番信号としての交流電圧を印加すれば従来例でも説明し
たように図３のＡ−Ａ断面の左右が交互に伸縮がくり返
えされる。

【００１９】従来、例えば厚さ０．５ｍｍの圧電素子の
分極処理では１．０〜１．５ｋＶの電圧を印加する必要
があり、この程度の電圧になると空気中では絶縁破壊を
起こすため、通常絶縁油のなかで行なわれている。本積
層圧電素子では１枚の圧電素子の厚さが薄くなり、その
ため分極のための電圧も３００Ｖ程度と低くでき、空気
中の分極処理が可能となった。

【００２０】これは重ねた枚数の圧電素子が一度に分極
できるという大きな利点にくわえ、絶縁オイル使用後の
洗浄、乾燥などが不要となり分極処理が容易になった。
なお、分極前には内外径側面の各々の導電部間の電気抵
抗を測定電圧２５０Ｖで測定したところ２０００ＭΩ以
上あり、各導電部、電極膜間の絶縁は良好であった。さ
らに分極前後で導電部３−電極膜１０と２つの外径側面
の導電部２−１，２−２の間の静電容量（１ｋＨｚ）を
比較したところ、２０〜３０％以上の増加となっており
分極されていることも確認できた。なお、分極に際して
はコンタクトピン１１以外にも導通がとれるようにすれ
ばハンダ付等を行っておいても良い。分極条件は電圧、
温度、時間に関係し、とくに本例の条件に限定されるも
のではない。

【００２１】以上は焼成後の圧電セラミックスを使用し
て製作した例であるが、次にグリーンシートから作った
例を説明する。

【００２２】先ず、圧電セラミックスを作るための仮焼
後の粉砕した粉末と有機バインダーおよび水とを充分に
混合し、押し出し成形機によりシート状に成形した。成
形したシートを打ち抜きプレスを用いて打抜き、そし
て、打抜いたシートに図２と同様の電極パターン８−
１，８−２と１０を白金の導電ペーストによりスクリー
ン印刷して電極膜を形成した。そして、前述の様に重ね
合せ、加熱しながらプレスにより圧力を加え一体化させ
た。さらに図１と同じく、白金の導電ペーストで外周側
と内周側に導電部２−１，２−２と３を形成した。この
状態で約１２００〜１３００℃の鉛雰囲気中で焼成する
と図１と同様の焼成された積層圧電素子を作ることがで
きた。

【００２３】分極処理は前述と同条件で行った。なお、
積層後焼成により収縮を起こすのであらかじめ寸法は収
縮分を見込んでシートの厚さは０．１５０ｍｍとし電極
膜の厚さは５〜６μｍとした。以上のように製造方法に
は焼結して作った圧電セラミックスを重ね積層する方法
と焼結前のグリーンシートを重ね積層する方法とがある
が、最終的は生産時の信頼性やコストとにより方法を決
めるべきである。

【００２４】次に、以上のようにして作った積層圧電素
子を棒状の振動波駆動装置に組み込んだ例について説明
する。

【００２５】本実施例の図３に示す８枚重ねの積層圧電
素子１では、上下面の両端には導電部３で導通した圧電
素子４の裏面の電極膜１０が出ており、ＧＮＤ面（Ｇ）
を形成している。そこで、棒状の振動波駆動装置に組み
込んで使用する場合、外径側面の導電部２−１，２−２
は等電位で、駆動電圧を印加して使用するので使用前に
あらかじめ前述の接着剤と銀粉の混ざったペーストで導
電部２−１と２−２は導通させておいた。

【００２６】図５の（１）は実際に本発明による積層圧
電素子１を２ケ、振動体のＡ相とＢ相にスリットの向き
が９０°で交差するようにして振動体に組込んだ図であ
り、積層圧電素子１の両端はＧＮＤ面（Ｇ）であるので
図１０の従来例での電極板Ｇ２とＧ３は不要となった。
また駆動電圧を供給するため積層圧電素子１の外径側面
の導電部２−１にリード線１５，１６を直接ハンダ付け
した。このため電極板Ａ１，Ａ２も不要となった。

【００２７】また、予め、図５の（１）ａ１、ａ２に相
当する２個の積層圧電素子をスリットの向きが９０°で
交差する構成で重ねて圧電素子を作っておいても良い。
この場合、ａ１、ａ２に相当する導電部３は導通させ、
導電部２−１同士、２−２同士を導通させてから既に述
べたように分極処理を行うことができる。そして、モー
タとして機能させる場合には、導電部２−１同士、２−
２同士を導通状態から絶縁状態にし、今度はａ１、ａ２
に相当する各々の導電部２−１と２−２を導通させ、導
電部２−１にリード線をつなぎ、駆動電圧を印加すれば
良い。

【００２８】以上の例は８枚重ねの例であり、実際に偶
数枚重ねた積層圧電素子の場合は同様であるが、例えば
図４のように７枚重ねのような奇数枚重ねた積層圧電素
子を棒状の振動波駆動装置に組み込んで使用する場合、
図４の積層圧電素子１’の上下両端面には導電部３’で
導通した電極膜１０があるＧＮＤ面（Ｇ）と、導電部
２’−１，２’−２で導通した電極膜８−１，８−２の
ある駆動電圧を供給する駆動電位面（Ａ）を形成してい
る。

【００２９】このような積層圧電素子１’を実際に振動
体のＡ，Ｂ相に組み込んで使用すると、Ａ相とＢ相のス
リットの向きを９０°交差するようにして図５の（２）
のように絶縁シートｄ２を積層圧電素子１’の間に入
れ、２つの積層圧電素子１’のＧＮＤ面（Ｇ）が電極板
Ｇ１，Ｇ３と接触通電するようにした。一方、駆動電圧
は直接外径側面の導電部２−１にリード線１５，１６を
直接ハンダ付けし印加した。また、積層圧電素子１’の
側面にリード線で直接繋がない方法とすれば、図５
（３）のように電極板Ａ１，Ａ２を使い、さらに積層圧
電素子１’をＡ，Ｂ相に各々２ケ、合計４ケを使用して
棒状の振動波駆動装置に組み込んで使用できる。この場
合は積層圧電素子の外径側面の導電部２−１と２−２を
短絡させておく必要はない。以上のように本積層圧電素
子を用いれば従来交互に重ねていた電極板の数を減らす
ことができ、組み立ても容易となった。

【００３０】以上説明した実施例では、圧電素子間の電
極膜を繋ぐ導電部を、圧電素子の表面の２つの半円形状
の電極膜については外径側面に、裏面の電極膜について
は内径側面に設けたが、各々の導電部は内外径側面に限
定されることはない。例えば、図６（２）のように、圧
電セラミックス５に形成する電極膜を、表面には外径側
で一定の間隔の電極膜の付いていない部分７’を有し、
裏面には内径側に一定の間隔の電極膜の付いていない部
分９’を有するようにすれば、重ね合せ一体化したあと
で、表面の２つの半円形の電極膜間を各々繋ぐ導電部
２’−１，２’−２は内径側面に設け、裏面の電極膜間
を繋ぐ導電部３’は外径側面に設けても良い。

【００３１】また、別の例として、図７，図８のように
圧電素子４の裏面に各々、外径（図７の（２））、内径
側（図８の（２））の電極膜に付いていない部分に表面
のスリット６の裏側でスリット６より幅の狭い電極膜１
０’をはみ出させ、スリットの向きを揃えて圧電素子を
重ね合せ積層化し、図７の例では導電部２−１，２−
２，３’は外径側面にのみ設け、図８では導電部２’−
１，２’−２，３は内径側面にのみ設けている。いずれ
にしても各電極膜間を繋ぐ導電部は、各々の導電部間の
絶縁がとれていれば、各々の導電部の形成場所にかぎる
ことはない。また、これらの積層圧電素子を振動波駆動
装置に組み込んで使用する際にもすでに説明した素子の
外径側面にリード線を繋ぐ方法や両端面に接触させた電
極板を使用する方法が考えられ、圧電素子の裏面である
電極膜が接地され、他方の表面の２つの電極膜に駆動電
圧が印加できるなら問題はない。

【００３２】以上の説明はＡ相、Ｂ相の２層の駆動電圧
を使用してなる棒状の振動波駆動装置の場合であった。
さらに別に１２０°の位相差を持つ３相の駆動電圧で棒
状の振動波駆動装置を駆動する場合も考えられる。例え
ばすでに説明した図５の（１）において、３個の積層圧
電素子を各々スリットの向きが１２０°ずれているよう
に配置し、各々の素子をリード線にて結線し、３相駆動
電圧を印加することで２相の場合と同様に振動体の表面
粒子に円又は楕円運動を生じせしめることができる。

【００３３】３相を使用すると、２相よりも圧電素子に
印加する電圧を実質的に大きくでき、それだけ振動体の
運動を大きくでき、モータの性能も向上する。

【００３４】図９は本発明による積層圧電素子１を組み
込んだ棒状の振動波駆動装置を用いた駆動装置を示す。

【００３５】この棒状の振動波駆動装置の基本的構造は
図１０に示すものと同じであり、積層圧電素子１を用い
る点が従来例と異なっており、振動波駆動装置と一体的
に組付けられているギアｆはギア伝達機構Ｇの入力ギア
ＧＩに噛合し、その出力ギアＧＯはレンズＬ１を保持す
るレンズ保持部材Ｈに形成されたギアＨＩに噛合してい
る。このレンズ保持部材Ｈは固定筒Ｋにヘリコイド結合
し、振動波駆動装置の駆動力によりギア伝達機構Ｇを介
して回転駆動されて合焦動作が行なわれる。

【００３６】

【発明の効果】以上説明したように、本発明の積層圧電
素子によれば、積層した状態で分極処理し、振動波駆動
装置の小型化や大出力化、さらには低電圧駆動化も可能
となるばかりでなく、圧電素子の分極処理工程を容易に
し、また振動波駆動装置の組立ての際も圧電素子を短時
間で精度良く組み込めるなどの効果がある。

【００３７】また、このようにして作った積層圧電素子
は多層化のほか１枚の圧電セラミックスも薄くでき、そ
の結果静電容量も大きくなり、振動波駆動装置として使
用する際入力インピーダンスが小さくなり、それだけ入
力電力も投入できるので、低電圧駆動や大出力化に適し
た特性を有する。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の積層圧電素子の一実施例を示す図。

【図２】図１の積層圧電素子を構成する１枚の圧電素子
を示す図。

【図３】図１の積層圧電素子の分極処理方法を示す図。

【図４】本発明の積層圧電素子の他の実施例を示す図。

【図５】積層圧電素子を棒状の振動波駆動装置に組み込
んだ状態を示す図。

【図６】本発明の積層圧電素子の他の実施例を示す図。

【図７】本発明の積層圧電素子の他の実施例を示す図。

【図８】本発明の積層圧電素子の他の実施例を示す図。

【図９】図１の積層圧電素子を有する振動波駆動装置を
駆動源とするレンズ駆動機構を組み込んだレンズ鏡筒の
断面図。

【図１０】従来の棒状の振動波駆動装置の振動体の分解
斜視図。

【図１１】従来の棒状の振動波駆動装置の断面図。

【図１２】従来の振動波駆動装置用の圧電素子を示す
図。

【図１３】圧電素子の分極方向と伸縮方向との関係を示
す図。

【符号の説明】

１，１’…積層圧電素子 ２−１，２−２，３，２’−１，２’−２，３’…導電
部 ４…圧電素子 ５…圧電セラミ
ックス ６…スリット ７，９…電極膜
未形成部 ８−１，８−２，１０…電極膜

Claims (5)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 片面と他面に電極膜を有し、少なくとも
   該片面の電極膜が非電極部によって複数に分割されてい
   る略円盤状の複数の圧電素子を重ね合わせた積層圧電素
   子において、 複数の圧電素子は各々の圧電素子の該片面の非電極部が
   揃うように該片面同士および該他面同士を対向した状態
   で積層され、少なくとも該積層圧電素子の内径側面ある
   いは外径側面のいずれかに、各々の圧電素子の該片面の
   電極膜を導通する導電部と該他面の電極膜を導通する導
   電部とを設けた ことを特徴とする積層圧電素子。
2. 【請求項２】 片面と他面に電極膜を有し、少なくとも
   片面の電極膜が非電極部によって複数に分割されている
   略円盤状の複数の圧電素子を成形する工程と、 該複数の圧電素子を各々の圧電素子の該片面の非電極部
   が揃うように該片面同士および該他面同士を対向させて
   積層する工程と、 積層された圧電素子の少なくとも内径側面あるいは外径
   側面のいずれかに、各々の圧電素子の該片面の電極膜を
   導通する導電部と該他面の電極膜を導通する導電部とを
   設ける工程と、 該導電部を介して、複数の圧電素子の該片面の電極膜と
   該他面の電極膜に同時に電圧を印加して分極処理を行う
   工程と、を含む 積層圧電素子の製造方法。
3. 【請求項３】 前記分極処理を行う工程において、複数
   の前記圧電素子の片面の電極膜と他面の電極膜との間に
   電位差を有して直流電圧を印加し、空気中において加熱
   しながら分極処理を行うことを特徴とする請求項２記載
   の積層圧電素子の製造方法。
4. 【請求項４】 互いの非電極部の空間的位相を所定値だ
   けずらした複数の請求項1記載の積層圧電素子を金属体
   の間に挟持固定して構成される振動体と、該振動体に加
   圧接触する移動体とを有し、該振動体に該所定値に応じ
   て時間的位相の異なる複数の交番信号を印加することで
   該振動体の表面に形成される円または楕円運動によって
   該移動体を駆動することを特徴とする振動波駆動装置。
5. 【請求項５】 請求項４記載の振動波駆動装置を駆動源
   とし、レンズを保持 するレンズ保持部材を回転駆動させ
   て合焦動作を行うことを特徴とする振動波駆動装置を備
   えた機器。