TW201813273A - 觸覺回饋產生裝置 - Google Patents
觸覺回饋產生裝置 Download PDFInfo
- Publication number
- TW201813273A TW201813273A TW106127463A TW106127463A TW201813273A TW 201813273 A TW201813273 A TW 201813273A TW 106127463 A TW106127463 A TW 106127463A TW 106127463 A TW106127463 A TW 106127463A TW 201813273 A TW201813273 A TW 201813273A
- Authority
- TW
- Taiwan
- Prior art keywords
- reinforcing elements
- actuator
- areas
- piezoelectric actuator
- terminal
- Prior art date
Links
- 230000003014 reinforcing effect Effects 0.000 claims description 106
- 230000033001 locomotion Effects 0.000 claims description 10
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 claims description 8
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 claims description 8
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 6
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 6
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 5
- 230000005684 electric field Effects 0.000 claims description 4
- 238000009434 installation Methods 0.000 claims description 4
- 230000010287 polarization Effects 0.000 claims description 3
- 238000005728 strengthening Methods 0.000 abstract 5
- 230000007704 transition Effects 0.000 description 10
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 5
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 4
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 4
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 3
- 229910052451 lead zirconate titanate Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 230000000638 stimulation Effects 0.000 description 2
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 1
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 description 1
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 1
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- HFGPZNIAWCZYJU-UHFFFAOYSA-N lead zirconate titanate Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[Ti+4].[Zr+4].[Pb+2] HFGPZNIAWCZYJU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 238000001465 metallisation Methods 0.000 description 1
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 1
- 238000005096 rolling process Methods 0.000 description 1
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
- G06F—ELECTRIC DIGITAL DATA PROCESSING
- G06F3/00—Input arrangements for transferring data to be processed into a form capable of being handled by the computer; Output arrangements for transferring data from processing unit to output unit, e.g. interface arrangements
- G06F3/01—Input arrangements or combined input and output arrangements for interaction between user and computer
- G06F3/016—Input arrangements with force or tactile feedback as computer generated output to the user
-
- G—PHYSICS
- G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
- G06F—ELECTRIC DIGITAL DATA PROCESSING
- G06F3/00—Input arrangements for transferring data to be processed into a form capable of being handled by the computer; Output arrangements for transferring data from processing unit to output unit, e.g. interface arrangements
- G06F3/01—Input arrangements or combined input and output arrangements for interaction between user and computer
- G06F3/03—Arrangements for converting the position or the displacement of a member into a coded form
- G06F3/041—Digitisers, e.g. for touch screens or touch pads, characterised by the transducing means
-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02N—ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H02N2/00—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
- H02N2/02—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing linear motion, e.g. actuators; Linear positioners ; Linear motors
- H02N2/04—Constructional details
- H02N2/043—Mechanical transmission means, e.g. for stroke amplification
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
- H10N30/20—Piezoelectric or electrostrictive devices with electrical input and mechanical output, e.g. functioning as actuators or vibrators
- H10N30/206—Piezoelectric or electrostrictive devices with electrical input and mechanical output, e.g. functioning as actuators or vibrators using only longitudinal or thickness displacement, e.g. d33 or d31 type devices
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
- H10N30/01—Manufacture or treatment
- H10N30/05—Manufacture of multilayered piezoelectric or electrostrictive devices, or parts thereof, e.g. by stacking piezoelectric bodies and electrodes
- H10N30/053—Manufacture of multilayered piezoelectric or electrostrictive devices, or parts thereof, e.g. by stacking piezoelectric bodies and electrodes by integrally sintering piezoelectric or electrostrictive bodies and electrodes
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
- H10N30/50—Piezoelectric or electrostrictive devices having a stacked or multilayer structure
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
- H10N30/80—Constructional details
- H10N30/85—Piezoelectric or electrostrictive active materials
- H10N30/853—Ceramic compositions
- H10N30/8548—Lead-based oxides
- H10N30/8554—Lead-zirconium titanate [PZT] based
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Theoretical Computer Science (AREA)
- Human Computer Interaction (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)
- User Interface Of Digital Computer (AREA)
Abstract
本發明係關於一種觸覺回饋產生裝置(10),具有-至少一個有很多壓電層(22)的壓電致動器(11),-一個第一加強元件(13a)及一個第二加強元件(13b),壓電致動器(11)裝在加強元件(13a、13b)之間,壓電致動器(11)的設計及安裝讓它在施加電壓時會有變化往第一方向(R1)膨脹,加強元件(13a、13b)的設計及安裝讓它們因壓電致動器(11)的膨脹變化有同樣的變形,該加強元件(13a、13b)的局部區(17a、17b)相對於壓電致動器(11)往一個垂直於第一方向(R1)第二方向(R2)移動。本發明係進一步地關於具該裝置及使用該裝置之電子設備。
Description
本發明係關於一種觸覺回饋產生裝置。本發明還進一步關於一種具有觸覺回饋產生裝置的電子產品。本發明還關於作為觸覺回饋驅動之裝置的應用。
對於觸控式螢幕,期待有一種在按下虛擬按鍵時人工產生的觸覺回饋,更便於操控。這對於汽車產業尤為重要,因為使用者無法一直盯著螢幕不放。觸覺回饋可以用來告知使用者,已成功執行由其進行的設定。
然而現有產生觸覺回饋的設備大都是非常昂貴且傳動效率不彰。
一個必須解決的問題是,提出一個改良的觸覺回饋產生裝置,例如一種特別簡單,節省空間及/或便宜的裝置。
係透過依據獨立請求項之裝置來解決這個問題。
依據一個觀點說明一種觸覺回饋產生裝置。裝置是用來驅動觸覺回饋。裝置的設計是產生一種電子產 品(如觸控式螢幕)使用的觸覺回饋。裝置的設計是引發螢幕平行於螢幕表面的偏移。
螢幕及裝置(驅動)簡單來說,是配合一種振動的質量-彈簧-系統。共振頻率f0(無刺激自由振動的頻率)為:f0=1/2Π.√(D/m),D為驅動或裝置的剛性,m為螢幕的重量,m一般介於300g和400g之間。
裝置須有一個特定的最小剛性D,以此可以達到想要的螢幕偏移。f0須大於振動時間的倒數T,此外螢幕不會或僅部份會一起移動。一般偏移持續7ms及10ms之間。因此適用:Dm(2Π/T)2。在T=7ms及m=400g時,裝置(驅動)的最小剛性為0,32N/μm。剛性會受到裝置或其零件的幾何形狀及/或材料及/或厚度、或垂直膨脹的影想。
裝置至少要有一個壓電致動器。致動器有多個壓電層。在壓電層之間裝有內電極。
壓電層及內電層彼此相疊成一個疊層。疊層的高度最好小於或等於3mm。
裝置還有一個第一加強元件。裝置有一個第二加強元件。壓電致動器是裝在加強元件之間。加強元件是用來增加裝置的剛性。加強元件還用來加強偏移。
加強元件往壓電層的堆疊方向至少部份裝在致動器的一個頂面及一個底面上。裝置是繞著裝置的橫軸或縱軸對稱構成的。
壓電致動器的設計及安裝讓其在施加電壓時 往第一方向變化膨脹。在施加電壓時,壓電致動器垂直於壓電層的極性方向及電場進行膨脹(d31效應)。在施加電壓時,垂直於壓電層堆疊方向進行膨脹。
該加強元件為一體成形製造,加強元件有一個局部區。加強元件的設計及安裝讓其因壓電致動器的膨脹變化造成變形,該加強元件的局部區相對於壓電致動器往第二方向移動。第二方向垂直於第一方向。第二方向則是沿著壓電層的疊層方向行進。
如上所述,經由加強元件增強致動器的偏移。因此會有效率地驅動觸覺回饋產生。經由縮減堆疊高度,分離程序可以使用“切“來代替“鋸“。再進一步簡化致動器的接觸。兩者降低製造花費及成本。此外因高度縮減,所以空間需求降低。總之,準備一種設備,不只要提供準備用於產生觸覺回饋需要的偏移,還要簡單、便宜及小型化。
根據一項實施例,加強元件各具有至少一個終端區。每個加強元件主要有兩個終端區。該加強元件主要是為方形或是長條形。該加強元件具長度及寬度。加強元件的長度為寬度的數倍。例如長度為寬度的5倍、10倍、12倍或15倍。例如該加強元件的寬度係介於3mm及10mm之間。該加強元件的長度介於50mm和100mm之間。
終端區當時是位於加強元件的端面區域中。該終端區直接連接各自的局部區。該局部區尤其轉至兩個(端)面進入一個終端區。所以局部區是一個加強元件的中 間區。
終端區這樣的設計及配置,在壓電致動器膨脹變化時,終端區往第二方向的移動會停止。因此產生加強元件的各終端區及局部區之間的相對運動。觸覺回饋是透過各終端區至各局部區的相對運動產生的。因此提供一種簡單及有效率的裝置。
終端區是直接平置於壓電致動器上。第一加強元件的終端區平置於致動器的一個頂面,至少在頂面的局部區上。第二加強元件平置於致動器的一個底面,至少是在底面的局部區上。
該終端區及壓電致動器是透過黏接方式彼此連接。因此取得一種加強元件及致動器之間簡單、便宜及有效的連接。保證裝置必需的剛性。因此也要簡化加強元件的幾何形狀。尤其可以放棄加強元件及致動器之間形成端子連接複雜的幾何形狀。
該加強元件有一個金屬條。金屬條為輥壓製成。該加強元件可以有一個金屬板條。該加強元件為平面造形,也只有一個薄的最大厚度。加強元件的最大厚度或垂直膨脹係小於或等於1,0mm。因此取得一個非常節省空間的裝置。
該加強元件為彎曲或弓形。加強元件尤其具有不沿著一個平面走向,而是與加強元件縱軸成角度(斜段)的區域或區段。其他的區域或區段則與之相反地與縱軸平行。平行的或傾斜的區段直接或間接地合併在一起。加強 元件的特別造形是用來保證裝置必要的剛性。
根據一個實施例,該局部區與壓電致動器的表面是等距隔開裝置的。尤其在局部區及壓電致動器的頂面或底面之間有一個自由空間。因此可以讓局部區往第二方向移動。自由空間的最大高度或垂直膨脹係小於或等於2,5mm,例如1,2mm。
與此相應,裝置本身有一個小於或等於10mm的厚度。因此可以提供一個小型及節省空間的裝置。
根據一個實施例,該加強元件有至少一個打薄處,最好多個打薄處。經由打薄處點狀地降低加強元件的厚度。打薄處的深度或垂直膨脹係小於或等於0,8mm,例如0,75mm。該加強元件在移動時在打薄處往第二方向彎曲。因此取得一種簡單及穩定的加強元件。偏移經過打薄處對於致動器在活動方面及對於負載(螢幕)是不靈活的。因此會提高偏移的效率。
根據一個實施例,打薄處在該加強元件表面中有一個隆起。例如打薄處有一個切口(Kerbe)。打薄處可以位於加強元件的頂面及/或底面上。打薄處可以在頂面及/或底面中被沖製或銑製出來。膨脹可以是圓形或呈有角度形狀。
根據一個實施例,在介於加強元件的局部區及終端區之間的一個過渡區中形成一個打薄處。因此加強元件會在過渡區中彎曲。因此會減輕加強元件的終端區及致動器之間的連接負荷。
根據一個實施例,各局部區有一個中間區。該局部區還有至少一個連接區,最好有兩個連接區。連接區從兩側(端面,Stirnseiten)連接中間區。連接區連接各自局部區的中間區及兩個終端區。
中間區走向平行於壓電致動器的一個表面。連接區的走向傾斜於壓電致動器的表面。在中間區及連接區之間的一個過渡區中形成一個打薄處。藉由打薄處,加強元件在過渡區中可以彎曲。
根據另一個觀點說明一種電子產品。電子產品具有一種產生觸覺回饋的裝置。裝置尤其符合上述的裝置。所有與裝置有關的特徵,也可以在以下應用於電子產品。
裝置為一種觸覺回饋的驅動。電子產品有一個第一機械元件,如一種觸控式螢幕。電子產品有一個第二機械元件,如一種重量或一種外殼元件。第一加強元件是固定在第一機械元件上,第二加強元件則是固定在第二機械元件上,或反之亦然。加強元件以這種方式固定在機械元件上,在壓電致動器變形時,機械元件會進行相對運動。因此螢幕的偏移會與螢幕表面平行,及因此引發一種使用者的觸覺回饋。因此取得一種容易使用的電子產品。
根據另一個觀點說明裝置的應用。特別說明上述裝置的應用。所有與裝置有關的特徵,也可以在以下應用於電子產品。裝置作為汽車產品的觸控式螢幕的觸覺回饋驅動使用。經由裝置提供一種簡單、便宜、節省空間 及有效率的驅動,以此可取得一種使用者的觸覺回饋。
以下根據實施例及所屬的圖示詳細解釋本發明。
下述之圖樣並未依比例解釋。為可以更詳細說明遂放大,縮小或失真描繪個別尺寸。同一或具有同樣功能的元件以同一個標號標示。
1‧‧‧壓電致動器
1a‧‧‧壓電層
2‧‧‧外電極
3‧‧‧金屬外殼
10‧‧‧裝置
11‧‧‧壓電致動器
12‧‧‧絕緣區
13a‧‧‧第一加強元件
13b‧‧‧第二加強元件
14‧‧‧打薄處
15‧‧‧黏貼面
16‧‧‧空白區
17a,17b‧‧‧局部區/第一區段
18a,18b‧‧‧終端區/第二區段
19a,19b‧‧‧局部區第一段/中間區
20a,20b‧‧‧局部區第二區段/連接區
21‧‧‧內電極
22‧‧‧壓電層
23‧‧‧外電極
24‧‧‧端面
25‧‧‧頂面
26‧‧‧底面
h‧‧‧高度
R1‧‧‧第一方向
R2‧‧‧第二方向
S‧‧‧堆疊方向
第1圖為根據現有技術之觸覺回饋產生裝置,第2圖為觸覺回饋產生裝置之剖面圖,第3圖為根據第2圖之裝置部份區域的透視圖,第4圖為根據第2圖之裝置的透視圖,第5圖為根據另一個實施例之觸覺回饋產生裝置的透視圖。
第1圖為根據現有技術之觸覺回饋產生裝置。裝置具有一個有多個壓電層1a及裝在其間的電內極之壓電致動器11。壓電層1a是以縱向被堆疊的。在致動器1的相對外表面上各形成一個金屬化2。例如致動器1是裝在一個有助於加強偏移(Hubverstärkung)的金屬外殼3中。
現有技術已知之裝置係使用縱向壓電效應(d33 effect)。在縱向的致動器中,電場被置於平行於極化方向的陶瓷層中。因此降低往極化方向的膨脹及偏移。因此個別的壓電層1a提供相對較小的移轉。為達到技術方面 可使用的移轉值,故使用積層式致動器,在其中很多壓電層是機械式地依序及併聯式地電氣佈線。
所以壓電致動器1是非常貴,並且尺寸很大,因此裝置的體積龐大且昂貴。又致動器1的壓電層1a有一個非常僵硬及無效率的移動。
與之相反的是,第2至5圖為一種根據本發明用來產生觸覺回饋的裝置10,透過其排除上述的缺點。以下詳細研究第2至4圖。
裝置10有一個壓電致動器11。壓電致動器11為一個經過燒結,具有多個壓電層22及內電極21的結構元件。壓電致動器11尤其有很多個彼此相疊地裝到一個疊層的壓電層或作用層22。例如壓電致動器11可以有最多100個壓電層22,如70個壓電層22。壓電層22之間裝有內電極21(第2圖)。在這裡不同極性的內電極21是交錯安裝配置的。
壓電層22是一種鋯鈦酸鉛陶瓷(PZT-陶瓷)。PZT-陶瓷還可以含Nd及Ni。此外PZT還可以含有Nd、K及Cu。此外壓電層還可以是一種Pb(ZrxTi1-x)O3+y Pb(Mn1/3Nb2/3)O3的化合物。
壓電層22有一個堆疊方向S(第2圖)。層疊方向S沿著致動器11的端面或側面24延伸出去。壓電層22尤其是沿著致動器11的垂直膨脹或厚度堆疊。
致動器11的寬度或第一橫向膨脹係小於或等於10mm,例如5mm。致動器11的長度或第二橫向膨 脹係小於或等於100mm,例如60mm。致動器11可以例如有一個基本面積5mm x 60mm(寬x長)。致動器11的垂直膨脹或厚度係小於或等於3mm。各個壓電層22的厚度係小於或等於40μm,例如39μm。
致動器11有兩個絕緣區12(見第3圖)。該絕緣區12位於致動器11的一個終端區中。該絕緣區12位於致動器11的端面24區域中。該絕緣區12的長度小於或等於2mm。
在絕緣區12中只有一個極性的內電極21到達致動器11的端面24。絕緣區12可以用來接觸致動器11。例如絕緣區12可以用外電極進行電氣搭接(接電)(第2圖)。
致動器11的設計是在施加電壓時,致動器11會變形(往方向R1膨脹,見第2及3圖)。尤其將壓電層22極性化,在內電極21之間施加電壓,導致致動器11橫向收縮,此時垂直於堆疊方向S的致動器11的長度會改變。之後造成致動器11橫向往極性方向及電場膨脹(d31效應)。
為再加強往堆疊方向S縱向改變的效應,裝置有兩個加強元件13a、13b。若在致動器11上施加電壓,則加強元件13a、13b至少部份會因致動器11膨脹變化而變形,稍後詳述。
致動器11是裝在加強元件13a、13b之間。加強元件13a、13b至少有部份是平置於致動器11的一個 頂面25或底面26上。各加強元件13a、13b的寬度要符合致動器11的寬度。尤其加強元件13a、13b的基本面積係5mm x 60mm(寬x長)。
該加強元件13a、13b為一體成形。該加強元件13a、13b為方形。加強元件13a、13b為長條形。加強元件13a、13b被彎曲或翹成弓形。加強元件13a、13b為一個帶狀薄板。帶狀薄板是彎曲的,以下詳述。
每個一體成形的加強元件13a、13b分成多個區域或多個區段。各加強元件13a、13b有一個局部區或第一區段17a、17b。局部區17a、17b各有一個第一區段或中間區19a、19b(第4圖)。中間區19a、19b的長度係小於或等於4mm,尤其為3mm。
局部區17a、17b還可以有兩個第二區段或連接區20a、20b(第2及4圖)。各加強元件13a、13b的兩個連接區20a、20b直接連接到各加強元件13a、13b的中間區19a、19b。加強元件13a、13b的中間區19a、19b,換句話說從兩個連接區20a、20b繞到兩側。
加強元件13a、13b還有兩個終端區18a、18b。各終端區18a、18b的長度係小於或等於5mm,例如4.5mm。終端區18a、18b直接連接到各加強元件13a、13b的連接區20a、20b。換句話說,連接區20a、20b各以加強元件13a、13b的中間區19a、19b連接終端區18a、18b。
各加強元件的兩個終端區18a、18b直接平置於致動器11的一個表面上。第一加強元件13a的第一及第 二終端區18a是平置於致動器11的頂面25的一個局部區上。第二加強元件13b的第一及第二終端區則是平置於致動器11之底面26的局部區上。
尤其終端區18a、18b與致動器11的表面是無法分開的。終端區18a、18b與致動器11的表面是透過一個黏接方式連接在一起。終端區18a、18b的底面是和致動器11的頂面25或底面26的一個局部區形成一個黏接面15(第3及4圖)。將黏接材料塗在黏接表面上,並以這個方式將加強元件13a、13b與致動器11連接在一起。用黏接方式取代端子連接的方式,就能非常簡單地保持加強元件13a、13b的幾何形狀。
該局部區17a、17b與致動器11的表面彼此是等距隔開。各局部區17a、17b及致動器11的底面26或頂面25之間有一個自由區16(第2及3圖)。自由區16有一個高度h(第3圖)。最大高度及致動器11與局部區17a、17b之間的最大距離尤為小於或等於3mm,尤其為2.5mm。這樣裝置10的最大總厚度為10mm。
自由區16的高度h會沿著各局部區17a、17b變動。各局部區17a、17b的中間區19a、19b的走向與致動器11的表面平行。因此自由區16的高度h在中間區19a、19b的區域中係最大。各自的連接區20a、20b的走向反而傾斜於致動器11的表面。換句話說,各自的連接區20a、20b與致動器11的頂面25或底面26成一個角度。角度係小於或等於45°。因此自由區16的高度h在往中間區 19a、19b至各自加強元件13a、13b之終端區18a、18b的方向會縮減。該加強元件13a、13b會形成一個弓形。
加強元件13a、13b還至少有一個打薄處14,最好是有多個打薄處14。在第2至5圖中各自的加強元件13a、13b有四個打薄處14。打薄處14可以視為是一個區域,在其中也有一個比在其他區中較小的垂直膨脹或厚度。一個打薄處14的深度或垂直膨脹係小於或等於0.8mm,最好為0.75mm。各自的加強元件13a、13b的最大厚度為1mm。取代打薄處14,該加強元件13a、13b之剩餘厚度為0.25mm。
打薄處14有切口(Kerbe)。打薄處14可以為半圓形。然而各打薄處14的形狀對於其功能並不重要。打薄處14是位於各自加強元件13a、13b的頂面及/或底面上。例如打薄處14是在頂面及/或底面中被沖製或銑製出來的。
打薄處14可以朝外打開。這對於各自的加強元件13a、13b來說意謂著,打薄處14可以裝在加強元件13a、13b的外側,避開致動器11的頂面25或底面26。打薄處14也可以朝內打開。這對於加強元件13a、13b來說意謂著,打薄處14可以裝在加強元件13a、13b的外側,避開致動器11的頂面25或底面26。各自的加強元件13a、13b具有可以朝內及朝外打開的打薄處14。加強元件13a、13b也可以具有僅為單面的打薄處14,不是朝外就是朝內的打薄處14。
因此打薄處14是要讓加強元件13a、13b代替打薄處14在致動器11偏移時可以彎曲。
打薄處14尤其位於各個加強元件13a、13b的過渡區中。13a、13b位於連接區20a、20b及終端區18a、18b之間的過渡區中。這些在依第2至4圖之實施例中的打薄處14是朝內打開。打薄處14還可位於中間區19a、19b及連接區20a、20b之間的過渡區中。這些在依第2至4圖之實施例中的打薄處14是朝外打開。
依據另一個實施例(第5圖),打薄處14也可以被“向後轉“,以降低裝置10的總高度。所以在第5圖中位於連接區20a、20b及終端區18a、18b之間的過渡區中的打薄處14是朝外打開的。位於中間區19a、19b及連接區20a、20b之間的過渡區中的打薄處14是朝內打開的。若自由區的最大高度6是僅設定為1.16mm的話,則第5圖之裝置10的總高度僅為小於或等於7.5mm,尤其是7.36mm。
在過渡區中,加強元件13a、13b須彎曲,當致動器11變形時。打薄處14確保加強元件13a、13b必需要的彈性。因此傳動對於致動器11在行動方面及對於負荷,像是觸控式螢幕是不靈活的。因此要提高傳動的效率。
若僅在致動器11上施加電壓的話,各加強元件13a、13b的局部區17a、17b往第二方向R2與致動器11(第2及3圖)相對應。第二方向R2是垂直於第一方向R1。第二方向的走向是沿著堆疊方向S。
尤其中間區19a、19b是沿方向R2移動。因此各加強元件13a、13b在中間區19a、19b,連接區20a、20b之間及連接區20a、20b及終端區18a、18b之間的打薄區14的地方是彎曲的。
反之,因與致動器11的黏接,故阻礙了終端區18a、18b往第二方向R2移動。終端區18a、18b與致動器11更是往第一方向R1移動。因加強元件13a、13b的彈性,故黏接的負荷限制要小於或等於50Mpa。因此終端區18a、18b及局部區17a、17b之間進行一個相對運動。裝置10的觸覺回饋是該終端區18a、18b至各自局部區17a、17b的相對運動所引起的。
若裝置10是作為觸覺回饋的驅動被整合安裝在一個電子裝置中的話,則要將加強元件13a、13b固定在機械元件上(例如螢幕及重量(Gewicht))。因此機械元件在壓電致動器11變形時會彼此相對移動。換句話說,螢幕會側面(平行於螢幕表面)地移動及因此產生觸覺回饋。
可設定在100μm至150μm的範圍內移動。也可能有個別的偏差(偏移及反向偏移)。偏移一般須維持在7ms及10ms之間。會使用側面偏移,是因為在垂直偏移時(與表面垂直)由於螢幕的抗彎強度小,須在螢幕多處進行驅動(才能產生觸覺回饋)。用側面偏移的話,只要使用上述的裝置就夠了。
螢幕一般重量在300g及400g之間。螢幕及裝置10(驅動)在簡圖中是一種振動的質量-彈簧-系統。共 振頻率f0(無刺激自由振動的頻率)為:f0=1/2Π.√(D/m),其中,D為驅動的剛性及m為螢幕的重量,f0須大於振動時間的倒數T,此外螢幕不會或僅部份會一起移動。因此適用:Dm(2Π/T)2。在T=7ms及m=400g時,裝置10(驅動)的最小剛性為0,32N/μm。
對於上述根據第2至5圖的裝置10,在電壓100V時,偏移117μm,閉鎖力(Blockierkraft)46N及剛性為0,4N/μm。
與傳動的有效功率比較,會提到最大可傳動的能量Emax,在給定的致動器11有驅動控制時。Emax=(freier Weg.Blockierkraft)/2。這個數值在上述的裝置為2,7mJ。
在沒有依據本發明的打薄處14及各個加強元件13a、13b的厚度為0,5mm及高度h為1,75mm的情況下,偏移僅達到102μm及閉鎖力為40N,剛性為0,38N/μM及Emax為2,0mJ。
本發明並不限於依據實施例的說明。更確切地說,本發明包括了每個新特徵以及每個特徵的組合,尤其每個被包含在請求項中的特徵組合,即使在這個特徵或這個組合本身並未明確地在請求項或實施例中被提及時。
Claims (16)
- 觸覺回饋產生裝置(10),具有:-至少一個有多個壓電層(22)的壓電致動器(11),-一個第一加強元件(13a)及一個第二加強元件(13b),該壓電致動器(11)裝在該等加強元件(13a、13b)之間,該壓電致動器(11)的設計及安裝讓它在施加電壓時會有變化往第一方向(R1)膨脹,該等加強元件(13a、13b)的設計及安裝讓它們因該壓電致動器(11)的膨脹變化有同樣的變形,該等加強元件(13a、13b)的局部區(17a、17b)相對於該壓電致動器(11)往一個垂直於該第一方向(R1)的第二方向(R2)移動。
- 如申請專利範圍第1項所述的裝置(10),該壓電致動器(11)在施加電壓時會垂直於該壓電層(22)的極化方向及電場。
- 如申請專利範圍第1或2項所述的裝置(10),該等加強元件(13a、13b)各有至少一個終端區(18a、18b),各該等終端區(18a、18b)直接連接到各該等局部區(17a、17b),該等終端區(18a、18b)的設計及安裝,在該壓電致動器(11)的膨脹變化時,該等終端區(18a、18b)往該第二方向(R2)移動,並且經由各該等終端區(18a、18b)的相對運動至各該等局部區(17a、17b)產生觸覺回饋。
- 如申請專利範圍第3項所述的裝置(10), 該等終端區(18a、18b)各直接平放在該壓電致動器(11)上。
- 如申請專利範圍第3或4項所述的裝置(10),經由一種黏接方式將各該等終端區(18a、18b)及該壓電致動器(11)彼此連接。
- 如申請專利範圍第1至5項中任一項所述的裝置(10),各該等局部區(17a、17b)與該壓電致動器(11)的表面等距隔開配置定位。
- 如申請專利範圍第3至6項中任一項所述的裝置(10),各該等加強元件(13a、13b)有兩個終端區(18a、18b),各該等加強元件(13a、13b)的該兩個終端區(18a、18b)直接連接到各該等加強元件(13a、13b)的該等局部區(17a、17b),而該兩個終端區(18a、18b)是安裝在各該等加強元件(13a、13b)之對應的該等局部區(17a、17b)的側面上。
- 如申請專利範圍第1至7項中任一項所述的裝置(10),各該等加強元件(13a、13b)有至少一個打薄處(14),並且各該等加強元件(13a、13b)在往該第二方向移動時在該打薄處(14)彎曲。
- 如申請專利範圍第8項所述的裝置(10),該打薄處(14)在各該等加強元件(13a、13b)的表面中有一個隆起。
- 如申請專利範圍第8或9項所述的裝置(10),在各該等加強元件(13a、13b)有多個打薄處(14)。
- 如申請專利範圍第8至10項中任一項所述的裝置(10),在各該等加強元件(13a、13b)的該等局部區(17a、17b)及該等終端區(18a、18b)之間的連接區中形成一個打薄處(14)。
- 如申請專利範圍第8至11項中任一項所述的裝置(10),各該等局部區(17a、17b)有一個中間區(19a、19b)及至少一個連接區(20a、20b),該中間區(19a、19b)走向平行於該壓電致電器(11)的表面,在該中間區(19a、19b)及該連接區(20a、20b)之間形成一個打薄處(14)。
- 如申請專利範圍第1至12項中任一項所述的裝置(10),各該等加強元件(13a、13b)有一個金屬條。
- 如申請專利範圍第1至13項中任一項所述的裝置(10),各該等加強元件(13a、13b)為一體成形。
- 一種電子裝置,具有一個如申請專利範圍第1至14項中任一項所述的裝置(10)、一個第一機械元件及一個第二機械元件,其中,該第一機械元件及該第二機械元件都固定在各該等加強元件(13a、13b)上,在該壓電致動器(11)變形時,該等機械元件會相對地往彼此運動。
- 一種使用如申請專利範圍第1至14項中任一項所述的裝置(10),是用來驅動汽車產業之觸控式螢幕的觸覺回饋。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
??102016116763.0 | 2016-09-07 | ||
DE102016116763.0A DE102016116763A1 (de) | 2016-09-07 | 2016-09-07 | Vorrichtung zur Erzeugung einer haptischen Rückmeldung |
DE102016116763.0 | 2016-09-07 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
TW201813273A true TW201813273A (zh) | 2018-04-01 |
TWI729189B TWI729189B (zh) | 2021-06-01 |
Family
ID=59523128
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
TW106127463A TWI729189B (zh) | 2016-09-07 | 2017-08-14 | 觸覺回饋產生裝置 |
Country Status (8)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US11073913B2 (zh) |
EP (1) | EP3510470B1 (zh) |
JP (1) | JP6813684B2 (zh) |
KR (1) | KR102342366B1 (zh) |
CN (1) | CN109690452B (zh) |
DE (1) | DE102016116763A1 (zh) |
TW (1) | TWI729189B (zh) |
WO (1) | WO2018046201A1 (zh) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN111971642A (zh) * | 2018-04-05 | 2020-11-20 | Tdk电子股份有限公司 | 用于产生触觉反馈的装置 |
TWI780346B (zh) * | 2018-07-12 | 2022-10-11 | 德商Tdk電子股份有限公司 | 筆型輸入和/或輸出裝置以及用於生成觸覺信號的方法 |
Families Citing this family (21)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102016122610B4 (de) * | 2016-11-23 | 2019-04-18 | Tdk Electronics Ag | Vorrichtung, die einen haptischen Feedback vermittelt und Bauelement mit der Vorrichtung |
DE102018102630A1 (de) | 2018-02-06 | 2019-08-08 | Tdk Electronics Ag | Vorrichtung und Verfahren zur Erzeugung einer aktiven haptischen Rückmeldung |
US10345910B1 (en) * | 2018-06-15 | 2019-07-09 | Immersion Corporation | Haptic actuator assembly with a spring pre-load device |
US10585483B2 (en) * | 2018-06-15 | 2020-03-10 | Immersion Corporation | Haptic actuator assembly with a pre-load device |
US10409379B1 (en) * | 2018-06-15 | 2019-09-10 | Immersion Corporation | Haptic actuator assembly having a magnetic pre-load device |
DE102018115086B3 (de) | 2018-06-22 | 2019-08-29 | Physik Instrumente (Pi) Gmbh & Co. Kg | Verstellvorrichtung |
WO2020011403A1 (de) * | 2018-07-12 | 2020-01-16 | Tdk Electronics Ag | Anordnung zur erzeugung eines haptischen signals |
DE102018126473A1 (de) * | 2018-07-12 | 2020-01-16 | Tdk Electronics Ag | Anordnung |
CN112602263A (zh) | 2018-08-06 | 2021-04-02 | 贝洱海拉温控系统有限公司 | 压电驱动部、特别是作为用于车辆组件的自动的执行件 |
ES2934617T3 (es) | 2018-09-05 | 2023-02-23 | Behr Hella Thermocontrol Gmbh | Unidad de mando de vehículo con retroalimentación táctil |
US11931776B2 (en) * | 2018-12-26 | 2024-03-19 | Industrial Technology Research Institute | Actuator, method for manufacturing the actuator, and acoustic transmitter |
DE102019120720A1 (de) | 2019-07-31 | 2021-02-04 | Tdk Electronics Ag | Mechanisches Verstärkungselement |
US11632063B1 (en) * | 2019-08-27 | 2023-04-18 | Meta Platforms Technologies, Llc | Structured actuators |
DE102020111405A1 (de) * | 2020-04-27 | 2021-10-28 | Tdk Electronics Ag | Bedienelement und Fahrzeug mit Bedienelement |
KR102576730B1 (ko) | 2020-06-08 | 2023-09-12 | 한국전자통신연구원 | 압전 장치 |
WO2022006844A1 (zh) * | 2020-07-10 | 2022-01-13 | 欧菲光集团股份有限公司 | 触觉反馈单元、触觉反馈装置和电子设备 |
WO2022101248A1 (de) | 2020-11-16 | 2022-05-19 | Tdk Electronics Ag | Aktoreinheit und verfahren zur erzeugung eines verstärkten haptischen signals |
DE102021113843A1 (de) | 2021-05-28 | 2022-12-01 | Tdk Electronics Ag | Vorrichtung |
CN115733387A (zh) * | 2022-11-02 | 2023-03-03 | 瑞声光电科技(常州)有限公司 | 一种压电线性马达及电子设备 |
CN115987242A (zh) * | 2023-01-18 | 2023-04-18 | 瑞声光电科技(常州)有限公司 | 压电振动器和压电振动器组件 |
DE102023117176B3 (de) | 2023-06-29 | 2024-10-02 | Tdk Electronics Ag | Haptikbauteil |
Family Cites Families (58)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4999819A (en) * | 1990-04-18 | 1991-03-12 | The Pennsylvania Research Corporation | Transformed stress direction acoustic transducer |
US5276657A (en) | 1992-02-12 | 1994-01-04 | The Pennsylvania Research Corporation | Metal-electroactive ceramic composite actuators |
JPH06338640A (ja) | 1993-05-27 | 1994-12-06 | Omron Corp | 圧電アクチュエータ、並びに当該圧電アクチュエータを用いたマニピュレータ、光走査装置、光センサ装置、流量制御器、ステージ装置、焦点調整機構及び光学装置 |
US5729077A (en) * | 1995-12-15 | 1998-03-17 | The Penn State Research Foundation | Metal-electroactive ceramic composite transducer |
DE19739594C2 (de) | 1997-09-10 | 2001-09-06 | Daimler Chrysler Ag | Elektrostriktiver Stellantrieb |
US6465936B1 (en) | 1998-02-19 | 2002-10-15 | Qortek, Inc. | Flextensional transducer assembly and method for its manufacture |
DE10017332C2 (de) | 2000-04-07 | 2002-04-18 | Daimler Chrysler Ag | Piezoelektrische Betätigungseinrichtung zur Klappensteuerung am Rotorblatt eines Hubschraubers |
US7161276B2 (en) * | 2003-10-24 | 2007-01-09 | Face International Corp. | Self-powered, electronic keyed, multifunction switching system |
DE102005028976A1 (de) * | 2005-06-22 | 2006-12-28 | Siemens Ag | Piezoaktor mit gesteigertem Hubvermögen |
US20090002328A1 (en) * | 2007-06-26 | 2009-01-01 | Immersion Corporation, A Delaware Corporation | Method and apparatus for multi-touch tactile touch panel actuator mechanisms |
US20090303839A1 (en) * | 2007-07-31 | 2009-12-10 | Manoj Narayanan | Stress-biased cymbals incorporating a shape memory alloy |
US20090115292A1 (en) | 2007-10-25 | 2009-05-07 | Massachusetts Institute Of Technology | Strain amplification devices and methods |
US8680749B2 (en) * | 2008-09-03 | 2014-03-25 | National Institute Of Aerospace Associates | Piezoelectric multilayer-stacked hybrid actuation/transduction system |
US8339250B2 (en) * | 2008-10-10 | 2012-12-25 | Motorola Mobility Llc | Electronic device with localized haptic response |
US8362882B2 (en) * | 2008-12-10 | 2013-01-29 | Immersion Corporation | Method and apparatus for providing Haptic feedback from Haptic textile |
US8253703B2 (en) * | 2009-03-03 | 2012-08-28 | Empire Technology Development Llc | Elastomeric wave tactile interface |
DE102009015991A1 (de) * | 2009-04-02 | 2010-10-07 | Pi Ceramic Gmbh Keramische Technologien Und Bauelemente | Vorrichtung zur Erzeugung einer haptischen Rückmeldung einer tastenlosen Eingabeeinheit |
KR20110077637A (ko) * | 2009-12-30 | 2011-07-07 | 삼성전기주식회사 | 햅틱 디바이스 구동용 압전 액추에이터 |
US9870053B2 (en) * | 2010-02-08 | 2018-01-16 | Immersion Corporation | Systems and methods for haptic feedback using laterally driven piezoelectric actuators |
TWM393736U (en) | 2010-03-08 | 2010-12-01 | Emerging Display Tech Corp | Touch device with function of electrical stimulation tactile feedback |
JP5582839B2 (ja) * | 2010-03-29 | 2014-09-03 | 京セラ株式会社 | 圧電駆動装置およびこれを備えた触覚提示デバイス用振動駆動装置 |
JP5442519B2 (ja) * | 2010-04-07 | 2014-03-12 | ダイキン工業株式会社 | 透明圧電シート、それをそれぞれ含有するフレーム付透明圧電シート、タッチ位置検出用タッチパネル、ディスプレイ装置、タッチパネルおよび電子機器 |
KR101278405B1 (ko) * | 2011-03-23 | 2013-06-24 | 삼성전기주식회사 | 압전 진동 모듈 및 이를 채용한 터치스크린 |
JP5352619B2 (ja) | 2011-04-13 | 2013-11-27 | 株式会社日本自動車部品総合研究所 | 操作入力装置 |
CN202018645U (zh) * | 2011-04-27 | 2011-10-26 | 西安康弘新材料科技有限公司 | 压电触控传感器 |
KR101569231B1 (ko) * | 2011-06-30 | 2015-11-16 | 삼성전기주식회사 | 압전진동모듈 |
CN102394270A (zh) | 2011-09-14 | 2012-03-28 | 中国科学院国家天文台南京天文光学技术研究所 | 两级微位移放大机构 |
KR101216892B1 (ko) * | 2011-12-22 | 2012-12-28 | 삼성전기주식회사 | 햅틱 디바이스 구동용 압전 액추에이터 |
EP2862040B1 (en) * | 2012-06-15 | 2021-08-18 | Nokia Technologies Oy | A display suspension |
EP2870593A4 (en) * | 2012-07-05 | 2016-03-02 | Univ Northeastern | DEVICES, METHODS, AND SYSTEMS FOR HIGH-RESOLUTION TOUCH SCREENS |
US8973409B2 (en) | 2012-10-04 | 2015-03-10 | Corning Incorporated | Methods and apparatuses for cooling optical fibers |
FR2999742B1 (fr) * | 2012-12-13 | 2018-03-30 | Dav | Interface de commande tactile |
FR3000301B1 (fr) * | 2012-12-20 | 2015-02-06 | Dav | Actionneur piezo-electrique et procede de fabrication associe |
US10744060B2 (en) * | 2013-03-15 | 2020-08-18 | Sambhu Choudhury | Garment with remote controlled vibration array |
US9448628B2 (en) | 2013-05-15 | 2016-09-20 | Microsoft Technology Licensing, Llc | Localized key-click feedback |
KR20150014287A (ko) * | 2013-07-29 | 2015-02-06 | 삼성전기주식회사 | 압전 시트, 이를 포함하는 압전 소자 및 압전 소자의 제조 방법 |
EP3056977B1 (en) * | 2013-10-08 | 2019-12-18 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Tactile sense presenting device |
US9588549B2 (en) * | 2014-02-28 | 2017-03-07 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Electronic device |
JP2015170848A (ja) * | 2014-03-10 | 2015-09-28 | サムソン エレクトロ−メカニックス カンパニーリミテッド. | 圧電素子及びこれを含む圧電振動子 |
KR20150110126A (ko) * | 2014-03-24 | 2015-10-02 | 삼성전기주식회사 | 압전소자 및 이를 포함하는 압전진동자 |
CN103984411B (zh) * | 2014-04-25 | 2017-07-18 | 深圳超多维光电子有限公司 | 触觉力反馈系统和触觉力反馈系统实现方法 |
US9595659B2 (en) * | 2014-04-30 | 2017-03-14 | Jung-Hoon Kim | Piezoelectric vibration device for mobile terminal |
US9866149B2 (en) | 2014-07-28 | 2018-01-09 | Immersion Corporation | Method and apparatus for enabling floating touch screen haptics assemblies |
WO2016027708A1 (ja) | 2014-08-21 | 2016-02-25 | 株式会社村田製作所 | 電気機械変換素子および触覚提示装置 |
JP6137418B2 (ja) * | 2014-10-27 | 2017-05-31 | 株式会社村田製作所 | 振動装置 |
CN104459987A (zh) * | 2014-11-14 | 2015-03-25 | 北京智谷睿拓技术服务有限公司 | 像素密度可调的显示器及显示像素密度调整方法 |
KR102315184B1 (ko) * | 2014-11-21 | 2021-10-20 | 삼성디스플레이 주식회사 | 표시 장치 |
KR102381659B1 (ko) * | 2015-03-10 | 2022-04-04 | 삼성디스플레이 주식회사 | 플렉서블 표시장치 |
US9756702B2 (en) * | 2015-04-29 | 2017-09-05 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Display device with adjustable rigidity |
JP6276871B2 (ja) * | 2015-06-26 | 2018-02-07 | サビック グローバル テクノロジーズ ビー.ブイ. | タッチ入力および触覚フィードバック用途のための一体型圧電カンチレバーアクチュエータ・トランジスタ |
CN105094425A (zh) * | 2015-07-17 | 2015-11-25 | 苏州诺菲纳米科技有限公司 | 触控传感器及其制备方法及具有触控传感器的显示器件 |
DE102015117262B4 (de) | 2015-10-09 | 2022-09-22 | Tdk Electronics Ag | Bauelement zur Erzeugung eines aktiven haptischen Feedbacks |
US20170153703A1 (en) * | 2015-11-30 | 2017-06-01 | Microsoft Technology Licensing, Llc | Piezoelectric haptic feedback structure |
AU2016401878A1 (en) * | 2016-04-07 | 2018-11-08 | Microfine Materials Technologies Pte Ltd | Displacement connectors of high bending stiffness and piezoelectric actuators made of such |
US10591993B2 (en) * | 2016-09-21 | 2020-03-17 | Apple Inc. | Haptic structure for providing localized haptic output |
US10345910B1 (en) * | 2018-06-15 | 2019-07-09 | Immersion Corporation | Haptic actuator assembly with a spring pre-load device |
US10585483B2 (en) * | 2018-06-15 | 2020-03-10 | Immersion Corporation | Haptic actuator assembly with a pre-load device |
US11175769B2 (en) * | 2018-08-16 | 2021-11-16 | Apple Inc. | Electronic device with glass enclosure |
-
2016
- 2016-09-07 DE DE102016116763.0A patent/DE102016116763A1/de active Pending
-
2017
- 2017-08-03 WO PCT/EP2017/069708 patent/WO2018046201A1/de unknown
- 2017-08-03 US US16/331,511 patent/US11073913B2/en active Active
- 2017-08-03 EP EP17748751.9A patent/EP3510470B1/de active Active
- 2017-08-03 KR KR1020197005590A patent/KR102342366B1/ko active IP Right Grant
- 2017-08-03 CN CN201780055087.4A patent/CN109690452B/zh active Active
- 2017-08-03 JP JP2019533284A patent/JP6813684B2/ja active Active
- 2017-08-14 TW TW106127463A patent/TWI729189B/zh active
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN111971642A (zh) * | 2018-04-05 | 2020-11-20 | Tdk电子股份有限公司 | 用于产生触觉反馈的装置 |
TWI780346B (zh) * | 2018-07-12 | 2022-10-11 | 德商Tdk電子股份有限公司 | 筆型輸入和/或輸出裝置以及用於生成觸覺信號的方法 |
US11755112B2 (en) | 2018-07-12 | 2023-09-12 | Tdk Electronics Ag | Pen-shaped input and/or output device and method for generating a haptic signal |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
EP3510470A1 (de) | 2019-07-17 |
JP6813684B2 (ja) | 2021-01-13 |
US11073913B2 (en) | 2021-07-27 |
KR20190049707A (ko) | 2019-05-09 |
TWI729189B (zh) | 2021-06-01 |
WO2018046201A1 (de) | 2018-03-15 |
KR102342366B1 (ko) | 2021-12-24 |
JP2019530111A (ja) | 2019-10-17 |
DE102016116763A1 (de) | 2018-03-08 |
CN109690452B (zh) | 2022-07-26 |
CN109690452A (zh) | 2019-04-26 |
US20190196597A1 (en) | 2019-06-27 |
EP3510470B1 (de) | 2023-09-27 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
TWI729189B (zh) | 觸覺回饋產生裝置 | |
KR20120105785A (ko) | 압전 소자 | |
CN110098317B (zh) | 层叠压电陶瓷部件和压电器件 | |
US11108340B2 (en) | Piezoelectric actuator having separate frictional portions | |
JP2018531512A (ja) | 能動的触覚フィードバックを生成するためのデバイス | |
JP2018531512A6 (ja) | 能動的触覚フィードバックを生成するためのデバイス | |
KR20160026499A (ko) | 압전 소자 및 이를 포함하는 압전 진동 모듈 | |
US8159113B2 (en) | Ultrasonic actuator with power supply electrode arrangement | |
JP6323863B2 (ja) | 圧電素子、圧電アクチュエータおよび圧電素子の製造方法 | |
CN110098315B (zh) | 层叠压电陶瓷部件和压电器件 | |
WO2020152905A1 (ja) | 積層型圧電素子及び圧電アクチュエーター | |
US10770641B2 (en) | Piezoelectric element | |
CN110213704B (zh) | 振动发生器件和电子设备 | |
US8736144B2 (en) | Vibration type driving apparatus | |
KR20160007029A (ko) | 압전 소자 및 이를 포함하는 압전 진동 모듈 | |
JP6776928B2 (ja) | 振動デバイス | |
KR20150042498A (ko) | 압전소자 및 이를 포함하는 진동발생장치 | |
JP2019134035A (ja) | 積層圧電セラミック部品及び圧電デバイス | |
JP7003415B2 (ja) | 振動デバイス | |
JP2012138505A (ja) | 圧電アクチュエータ | |
JP6998223B2 (ja) | 圧電デバイス | |
JP2001068749A (ja) | 積層型圧電アクチュエータ | |
JP6961949B2 (ja) | 振動デバイス | |
JP4408721B2 (ja) | 駆動装置 | |
CN115733387A (zh) | 一种压电线性马达及电子设备 |