CN109690452A - 用于产生触觉反馈的设备 - Google Patents

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Abstract

本发明涉及一种用于产生触觉反馈的设备(10),具有:至少一个压电执行器(11),所述压电执行器具有多个压电层(22);第一加强元件(13a)和第二加强元件(13b),其中压电执行器(11)设置在加强元件(13a,13b)之间,其中压电执行器(11)构成为和设置为用于,其延展在施加电压时沿第一方向(R1)改变,并且其中加强元件(13a,13b)构成为和设置为用于,由于压电执行器(11)的延展的改变而变形,使得相应的加强元件(13a,13b)的子区域(17a,17b)相对于压电执行器(11)沿垂直于第一方向(R1)的第二方向(R2)运动。本发明还涉及一种电子仪器,所述电子仪器具有所述设备,以及涉及所述设备的应用。

Description

用于产生触觉反馈的设备
技术领域
本发明涉及一种用于产生触觉反馈的设备。本发明还涉及一种电子仪器,所述电子仪器具有用于产生触觉反馈的设备。本发明还涉及一种所述设备作为用于触觉反馈的驱动器的应用。
背景技术
在触敏屏幕中,在按压虚拟键盘时期望人工产生的触觉反馈,以便改进可操作性。这尤其在汽车领域中是重要的,因为在那里用户不能够持久地关注屏幕。触觉反馈例如能够用于,通知用户,由其执行的设定成功地实现。
然而,用于产生触觉反馈的现有设备通常是非常耗费的并且具有无效的转换。
发明内容
要实现的目的在于,提出一种用于产生触觉反馈的改进的设备,例如设备是特别简单、节约空间和/或低成本的。
所述目的通过根据独立权利要求所述的设备来实现。
根据一个方面,提出一种用于产生触觉反馈的设备。所述设备用作为用于触觉反馈的驱动器。所述设备构成用于:产生用于电子仪器、例如用于触敏屏幕的触觉反馈。例如,所述设备应构成用于,引起屏幕的平行于屏幕表面的偏移。
屏幕和设备(驱动器)在简化的视图中对应于能振荡的质点-弹簧系统。谐振频率f0(无激励的自由振荡的频率)在此为:f0=1/2Π·√(D/m)。D是驱动器或设备的刚性。m是屏幕的质量。m通常在300g和400g之间。
设备必须具有特定的最小刚性D,借此能够实现屏幕的期望的偏移。f0必须大于波动持续时间(Ausschlagdauer)T,在其他情况下,屏幕并不会一起运动或仅部分地一起运动。偏移通常应在7ms和10ms之间持续。因此适用的是:D≥m(2Π/T)2。在T=7ms并且m=400g的情况下,得出用于设备(驱动器)的为0.32N/μm的最小刚性。刚性例如受到设备或其部件的几何形状和/或材料和或厚度或竖直延展的影响。
设备具有至少一个压电执行器。执行器具有多个压电层。在压电层之间设置有内部电极。压电层和内部电极上下相叠地设置成堆叠。优选地,堆叠高度小于或等于3mm。
设备还具有第一加强元件。设备具有第二加强元件。压电执行器设置在加强元件之间。加强元件用于增大设备的刚性。加强元件还用于增大设备的刚性。加强元件还用于加强行程。
加强元件沿压电层的堆叠方向至少部分地设置在执行器的上侧和下侧上。设备围绕设备的水平轴线或纵轴线对称地构成。
压电执行器构成和设置用于,其延展在施加电压时沿第一方向改变。优选地,压电执行器的延展在施加电压时横向于压电层的极化方向和电场进行(d31效应)。优选地,延展在施加电压时横向于压电层的堆叠方向进行。
相应的加强元件一件式地构成。优选地,相应的加强元件具有子区域。加强元件构成和设置用于,由于压电执行器的延展的改变而变形,使得相应的加强元件的子区域相对于压电执行器沿第二方向运动。第二方向垂直于第一方向。第二方向优选沿着压电层的堆叠方向伸展。
如在上文中提到的,通过加强元件来加强执行器的行程。借此,提供用于产生触觉反馈的有效的驱动器。通过小的堆叠高度,作为分离工艺能够使用“切割”来代替“锯割”。此外,简化执行器的接触。二者都降低制造耗费从而降低成本。此外,由于小的高度仅需要小的空间需求。整体上提供如下设备,所述设备不仅提供用于产生触觉反馈所需要的偏转,而且也是简单的、低成本的和紧凑的。
根据一个实施例,加强元件分别具有至少一个端部区域。优选地,每个加强元件具有两个端部区域。相应的加强元件优选矩形地或条带形地构成。相应的加强元件具有长度和宽度。长度比加强元件的宽度大数倍。例如,长度为宽度的5倍、10倍、12倍或15倍。例如,相应的加强元件的宽度在3mm和10mm之间。例如,相应的加强元件的长度在50mm和100mm之间。
端部区域分别处于加强元件的端面的区域中。相应的端部区域直接连接于相应的子区域。尤其,相应的子区域朝向两个(端)侧过渡到端部区域中。子区域因此为加强元件的中间区域。
端部区域构成和设置成,使得在压电执行器的延展改变时,不发生端部区域沿第二方向的运动。因此,在加强元件的子区域和相应的端部区域之间发生相对运动。触觉反馈通过相应的端部区域相对于相应的子区域的相对运动产生。借此,提供简单的和有效的设备。
优选地,端部区域分别直接置于压电执行器上。优选地,第一加强元件的端部区域置于执行器的上侧上,至少置于上侧的子区域上。优选地,第二加强元件的端部区域置于执行器的下侧上,至少置于下侧的子区域上。
优选地,相应的端部区域和压电执行器通过粘接连接彼此连接。借此,实现在加强元件和执行器之间的简单的、低成本的和有效的连接。设备的需要的刚性得以确保。由此也简化加强元件的几何形状。尤其能够放弃用于构成加强元件和执行器之间的夹紧连接的复杂的几何形状。
优选地,相应的加强元件具有金属条带。金属条带优选是轧制的。相应的加强元件优选具有金属板条。相应的加强元件优选扁平地构成,即仅具有小的最大厚度。加强元件的最大厚度或竖直延展优选小于或等于1.0mm。借此实现特别节约空间的设备。
相应的加强元件弯曲地或弯折地构成。尤其,加强元件具有如下区域或部段,所述区域或部段不沿着平面伸展,而是与加强元件的纵轴线形成一定角度(倾斜的部段)。而其他区域或部段平行于纵轴线伸展。平行的和倾斜的部段直接地或非间接地过渡到彼此中。加强元件的特定的造型用于确保设备的需要的刚性。
根据一个实施例,相应的子区域与压电执行器的表面间隔开地设置。尤其,在执行器的上侧或下侧与子区域之间存在自由空间。由此,能够实现子区域沿第二方向的运动。自由空间的最大高度或竖直延展例如总计为小于或等于2.5mm,例如为1.2mm。与此相应地,设备本身具有小于或等于10mm的厚度。由此能够提供紧凑的且节约空间的设备。
根据一个实施例,相应的加强元件具有至少一个打薄部,优选多个打薄部。通过打薄部,加强元件的厚度逐点地减小。打薄部具有小于或等于0.8mm、例如为0.75mm的深度或竖直延展。相应的加强元件在沿第二方向运动时在打薄部的部位处弯折。由此实现简单的且稳定的加强元件。转换通过打薄部对于执行器可移动并且对于负载(屏幕)刚性。由此提高转换的效率。
根据一个实施例,打薄部在相应的加强元件的表面中具有凸面。例如,打薄部具有切口。打薄部能够在相应的加强元件的上侧和/或下侧上构成。打薄部能够冲制或铣切到加强元件的表面中。延展能够具有圆形的或有棱角的轮廓。
根据一个实施例,打薄部在相应的加强元件的端部区域和子区域之间的过渡区域中构成。由此,加强元件在过渡区域中能够弯曲。由此能够减小在加强元件的端部区域和执行器之间的连接的负荷。
根据一个实施例,相应的子区域具有中间区域。相应的子区域还具有至少一个连接区域,优选两个连接区域。连接区域从两侧(端侧)连接到中间区域上。连接区域将相应的子区域的中间区域与两个端部区域连接。
中间区域平行于压电执行器的表面伸展。连接区域倾斜于压电执行器的表面伸展。在中间区域和连接区域之间的过渡区域中构成打薄部。通过打薄部,加强元件能够在过渡区域中弯曲。
根据另一方面,提出一种电子仪器。电子仪器具有用于产生触觉反馈的设备。设备尤其对应于在上文中描述的设备。结合设备描述的全部特征也在下文中用于电子仪器。
设备为用于触觉反馈的驱动器。电子仪器具有第一机械元件,例如触敏屏幕。电子仪器具有第二机械元件,例如重物或壳体元件。第一加强元件固定在第一机械元件上,并且第二加强元件固定在第二机械元件上或者反之。尤其,加强元件固定在机械元件上,使得在压电执行器变形时,机械元件相对于彼此运动。借此引起屏幕平行于屏幕表面的偏移,从而引起对于用户的触觉反馈。借此,实现特别用户友好的电气仪器。
根据另一方面,描述设备的应用。尤其给出上述设备的应用。结合设备描述的全部特征也适用于所述应用。尤其,设备用作为汽车领域中的在触敏屏幕中用于触觉反馈的驱动器。通过设备提供更简单的、更低成本的并且更有效的驱动器,借助所述驱动器能够实现对于用户的触觉反馈。
附图说明
下面根据实施例和所附的附图详细阐述本发明。
下面描述的附图不解释成符合比例的。更确切地说,为了更好的显示放大、缩小或者也扭曲个别尺寸。
彼此相同或承担相同功能的元件用相同的附图标记表示。
图1示出根据现有技术的用于产生触觉反馈的设备,
图2示出用于产生触觉反馈的设备的剖面图,
图3示出根据图2的设备的子区域的立体图,
图4示出根据图2的设备的立体图,
图5示出根据另一实施例的用于产生触觉反馈的设备的立体图。
具体实施方式
图1示出根据现有技术的用于产生触觉反馈的设备。设备具有压电执行器1,所述压电执行器具有多个压电层1a和在所述压电层之间设置的内部电极。压电层1a沿纵向方向堆叠。在执行器1的相对置的外面上分别构成有金属化部2。执行器1例如设置在金属壳体3中,所述金属壳体用于加强行程。
根据现有技术已知的设备利用纵向压电效应(d33效应)。在纵向执行器中,在陶瓷层中平行于极化的方向施加电场。由此,感生沿极化的方向的应变或偏转。各个压电层1a在此提供相对小的偏转。为了实现技术上可用的偏转值,因此使用堆叠执行器,在所述堆叠执行器中,多个压电层1a机械地串联连接和电并联地连接。
因此,压电执行器1是非常耗费的并且以大的尺寸制成,由此设备变得体积庞大且昂贵。因此,执行器1的压电层1a具有非常刚性的、并且无效率的转换。
与此相反地,图2至图5示出根据本发明的用于产生触觉反馈的设备10,通过所述设备消除上述缺点。首先,在下文中详细地观察图2至图4。
设备10具有压电执行器11。压电执行器11是具有多个压电层22和内部电极21的烧结的器件。压电执行器11尤其具有多个压电层或有源层22,所述压电层或有源层上下相叠地设置成堆叠。例如,压电执行器11能够具有直至100个压电层22,例如70个压电层22,。在压电层22之间设置有内部电极21(图2)。在此,不同极性的内部电极21交替地设置。
压电层22能够为锆钛酸铅陶瓷(PZT陶瓷)。PZT陶瓷还能够附加地包含Nd和Ni。替选地,PZT陶瓷还能够附加地具有Nd、K和可能的Cu。替选地,压电层能够具有包含Pb(ZrxTi1-x)O3+yPb(Mn1/3Nb2/3)O3的组分。
压电层22具有堆叠方向S(图2)。堆叠方向S沿着执行器11的端面或侧面24延伸。尤其,压电层22沿着执行器11的竖直延展或厚度堆叠。
执行器11具有小于或等于10mm、例如为5mm的宽度或第一水平延展。执行器11具有小于或等于100mm、例如为60mm的长度或第二水平延展。执行器11例如能够具有5mm×60mm的基本面积(宽度×长度)。执行器11优选具有竖直延展或厚度,所述竖直延展或厚度小于或等于3mm。例如,相应的压电层22具有小于或等于40μm、例如为39μm的厚度。
执行器11具有两个绝缘区域12(参见图3)。相应的绝缘区域12在执行器11的端部区域中构成。尤其,相应的绝缘区域12在执行器11的端面24的区域中构成。相应的绝缘区域12具有小于或等于2mm的长度。
在绝缘区域12中,仅一个极性的内部电极21伸展直至执行器11的端面24。绝缘区域12能够用于接触执行器11。例如,相应的绝缘区域12能够设有用于电接触的外部电极23(图2)。
执行器11构成为,使得在施加电压时发生执行器1的变形(沿方向R1的延展,参见图2和图3)。尤其,压电层22被极化成,使得在内部电极21之间施加电压引起执行器11的横向收缩,其中执行器11的长度垂直于堆叠方向S改变。因此,执行器1的延展横向于极化方向和电场进行(d31效应)。
为了进一步地加强沿堆叠方向S的长度变化的效应,设备具有两个加强元件13a、13b。如果在执行器11上施加电压,那么加强元件13a、13b至少部分地由于执行器11的延展的改变而变形,如在更下文中详细描述的那样。
执行器11设置在加强元件13a、13b之间。加强元件13a、13b至少部分地置于执行器11的上侧25或下侧26上。相应的加强元件13a、13b优选具有如下宽度,所述宽度对应于执行器11的宽度。相同内容优选适用于加强元件13a、13b的长度。优选地,相应的加强元件13a、13b具有5mm×60mm(宽度×长度)的基本面积。
相应的加强元件13a、13b一件式地构成。相应的加强元件13a、13b具有矩形形状。相应的加强元件13a、13b条带状地构成。相应的加强元件13a、13b弯曲地或弯折地构成。例如,相应的加强元件具有金属板条。金属板条是弯曲的,如在下文中详细阐述的那样。
每个一件式的加强元件13a、13b分成多个区域或部段。因此,相应的加强元件13a、13b具有子区域或第一区域17a、17b。子区域17a、17b分别具有第一部段或中间区域19a、19b(图4)。中间区域19a、19b具有小于或等于4mm、优选3mm的长度。
子区域17a、17b还分别具有两个第二部段或连接区域20a、20b(图2和图4)。相应的加强元件13a、13b的两个连接区域20a、20b直接连接于相应的加强元件13a、13b的中间区域19a、19b。换言之,相应的加强元件13a、13b的中间区域19a、19b由两个连接区域20a、20b在两侧包围。
相应的加强元件13a、13b还具有两个端部区域18a、18b。相应的端部区域18a、18b优选具有小于或等于5mm、例如为4.5mm的厚度。端部区域18a、18b直接连接于相应的加强元件13a、13b的连接区域20a、20b。换言之,各一个连接区域20a、20b将端部区域18a、18b与加强元件13a、13b的中间区域19a、19b连接。
相应的加强元件的两个端部区域18a、18b直接置于执行器11的表面上。因此,第一加强元件13a的第一和第二端部区域18a置于执行器11的上侧25的子区域上。此外,第二加强元件13b的第一和第二端部区域18b置于执行器11的下侧26的子区域上。
端部区域18a、18b优选不可松开地与执行器11的表面连接。尤其,端部区域18a、18b与执行器11的表面通过粘接连接来连接。相应的端部区域18a、18b的下侧连同执行器11的上侧25或下侧26的子区域一起形成粘接面15(图3和4)。在粘接面15上施加粘接材料,并且加强元件13a、13b以这种方式与执行器11连接。通过在例如夹紧连接的部位上使用粘接连接,能够将加强元件13a、13b的几何形状保持为非常简单的。
相应的子区域17a、17b与执行器11的表面间隔开。尤其,在相应的子区域17a、17b和执行器11的下侧26或上侧25之间存在自由区域16(图2和图3)。自由区域16具有高度h(图3)。在执行器11和自由区域17a、17b之间的最大高度h从而最大间距优选小于或等于3mm,优选为2.5mm。借此得到设备10的优选为10mm的最大总厚度。
自由区域16的高度h沿着相应的子区域17a、17b改变。因此,相应的子区域17a、17b的中间区域19a、19b构成为,使得所述中间区域平行于执行器11的表面伸展。借此,自由区域16的高度h在中间区域19a、19b的区域中是最大的。而相应的连接区域20a、20b倾斜于执行器11的表面伸展。换言之,相应的连接区域20a、20b与执行器11的上侧25或下侧26成一定角度。角度优选小于或等于45°。借此,自由区域16的高度h在从中间区域19a、19b到相应的加强元件13a、13b的端部区域18a、18b的方向上减小。因此,相应的加强元件13a、13b具有弯曲的形状。
相应的加强元件13a、13b还具有至少一个打薄部14,优选多个打薄部14。在图2至图5中,相应的加强元件13a、13b具有四个打薄部14。打薄部14在此能够视作为如下区域,在所述区域中相应的加强元件13a、13b更薄,即具有比在其余区域中更小的竖直延展或厚度。打薄部14优选具有小于或等于0.8mm、优选为0.75mm的深度或竖直延展。相应的加强元件13a、13b的最大厚度优选为1mm。在打薄部14的部位处,相应的加强元件13a、13b因此具有0.25mm的剩余厚度。
打薄部14例如具有切口。打薄部14能够具有半圆形的形状。然而,相应的打薄部14的形状对于其功能是不重要的。打薄部14在相应的加强元件13a、13b的上侧和/或下侧上构成。例如,打薄部14冲制或铣切到上侧和/或下侧中。
打薄部14能够向外敞开。对于相应的加强元件13a、13b,这表示,打薄部14能够设置在加强元件13a、13b的外侧上,所述外侧背离执行器11的上侧25或下侧26。打薄部14也能够向内敞开。对于相应的加强元件13a、13b,这表示,打薄部14能够设置在加强元件13a、13b的外侧上,所述外侧朝向执行器11的上侧25或下侧26。相应的加强元件13a、13b能够具有向内和向外敞开的打薄部14。相应的加强元件13a、13b也能够仅具有单侧的打薄部14,即向外或向内敞开的打薄部14。
打薄部14设为用于,加强元件13a、13b在打薄部14的部位处在执行器11偏转时能够弯曲。
优选地,打薄部14在相应的加强元件13a、13b的过渡区域中构成。打薄部14在此分别在位于连接区域20a、20b和端部区域18a、18b之间的过渡区域中构成。所述打薄部14在根据图2至图4的实施例中向内敞开。此外,各一个打薄部14位于在中间区域19a、19b和连接区域20a、20b之间的过渡区域中。所述打薄部14在根据图2至图4的实施例中向外敞开。
但是根据另一实施例(图5),打薄部14也能够“翻转”,以便降低设备10的总高度。因此在图5中,打薄部14在位于连接区域20a、20b和端部区域18a、18b之间的过渡区域中向外敞开。打薄部14在位于中间区域19a、19b和连接区域20a、20b之间的过渡区域中向内敞开。如果自由区域16的最大高度6仅设为1.16mm,那么图5中的设备10的总高度仅小于或等于7.5mm,优选为7.36mm。
在过渡区域中,当执行器11变形时,加强元件13a、13b必须弯曲。打薄部14确保加强元件13a、13b的需要的柔性。转换由此对于执行器11可移动,并且对于负载、例如触敏屏幕是刚性的。由此,提高转换的效率。
如果现在在执行器11上施加电压,那么相应的加强元件13a、13b的子区域17a、17b相对于执行器11沿第二方向R2运动(图2和图3)。第二方向R2垂直于第一方向R1。第二方向R2沿着堆叠方向S伸展。
尤其,中间区域19a、19b沿方向R2运动。在此,相应的加强元件13a、13b在中间区域19a、19b、连接区域20a、20b之间以及在连接区域20a、20b和端部区域18a、18b之间在打薄部14的部位处弯曲。
而端部区域18a、18b沿第二方向R2的运动受到与执行器11的粘接连接妨碍。更确切地说,端部区域18a、18b连同执行器11一起沿第一方向R1运动。由于加强元件13a、13b的柔性,切口的负荷在此限制于小于或等于50MPa。因此,在端部区域18a、18b和子区域17a、17b之间发生相对运动。设备10的触觉反馈通过相应的端部区域18a、18b相对于相应的子区域17a、17b的相对运动引起。
如果设备10作为用于触觉反馈的驱动器集成到电子仪器中,那么加强元件13a、13b优选固定在机械元件(例如屏幕或重物)上。借此,机械元件在压电执行器11变形时相对于彼此运动。换言之,屏幕侧向地(平行于屏幕表面)偏移从而产生触觉反馈。
能够考虑在100μm至150μm的范围中的移位。可能会有多个波动值(偏移和向回偏移)。偏移通常应在7ms和10ms之间持续。使用侧向偏移,因为在竖直偏移(垂直于表面)的情况下由于屏幕的小的弯曲强度,必定会在多个部位处驱动屏幕。在侧向偏移的情况下,使用如在上文中描述的设备10是足够的。
屏幕通常具有在300g和400g之间的质量。屏幕和设备10(驱动器)在简化的视图中是能振荡的质点-弹簧系统。谐振频率f0(无激励的自由振荡的频率)在此为:f0=1/2Π·√(D/m)。在此,D是驱动器的刚性,并且m是屏幕的质量。f0必须大于振幅持续时间T,否则屏幕不一起运动或仅部分地一起运动。因此适用的是:D≥m(2Π/T)2。在T=7ms并且m=400g的情况下,借此得出用于设备10(驱动器)的为0.32N/μm的最小刚性。
对于在上文中描述的根据图2至图5的设备10,在电压为100V时得到117μm的行程、46N的阻挡力从而0.4N/μm的刚性。
为了比较转换的功率能力,能够使用可传递的最大能量Emax,在给定的具有操控装置的执行器11中,Emax=(自由路径·阻挡力)/2。所述值在上述设备中为2.7mJ。
在缺少根据本发明的打薄部14和相应的加强元件13a、13b的假设的为0.5mm的厚度和为1.75mm的高度h的情况下,实现仅102μm的偏转和40N的阻挡力。这将会得出0.38N/μM的刚性和Emax 2.0mJ。
本发明不局限于根据实施例进行的描述。更确切地说,本发明包括任意特征以及特征的任意组合,这尤其包含专利权利要求中的特征的任意组合,即使所述特征或所述组合本身没有明确地在专利权利要求或实施例中说明时也如此。
附图标记列表:
1 压电执行器
1a 压电层
2 外部电极
3 金属壳体
10 设备
11 压电执行器
12 绝缘区域
13a 第一加强元件
13b 第二加强元件
14 打薄部
15 粘接面
16 自由区域
17a,17b 子区域/第一区域
18a,18b 端部区域/第二区域
19a,19b 子区域的第一部段/中间区域
20a,20b 子区域的第二部段/连接区域
21 内部电极
22 压电层
23 外部电极
24 端面
25 上侧
26 下侧
h 高度
R1 第一方向
R2 第二方向
S 堆叠方向

Claims (16)

1.一种用于产生触觉反馈的设备(10),所述设备具有:
-至少一个压电执行器(11),所述压电执行器具有多个压电层(22),
-第一加强元件(13a)和第二加强元件(13b),其中所述压电执行器(11)设置在所述加强元件(13a,13b)之间,
其中所述压电执行器(11)构成为和设置为用于,所述压电执行器的延展在施加电压时沿第一方向(R1)改变,并且所述加强元件(13a,13b)构成为和设置为用于,由于所述压电执行器(11)的延展的改变而变形,使得相应的所述加强元件(13a,13b)的子区域(17a,17b)相对于所述压电执行器(11)沿垂直于所述第一方向(R1)的第二方向(R2)运动。
2.根据权利要求1所述的设备(10),
其中所述压电执行器(11)的延展在施加电压时横向于所述压电层(22)的极化方向和电场进行。
3.根据权利要求1或2所述的设备(10),
其中所述加强元件(13a,13b)分别具有至少一个端部区域(18a,18b),其中相应的所述端部区域(18a,18b)直接连接于相应的所述子区域(17a,17b),其中所述端部区域(18a,18b)构成为和设置为用于,在所述压电执行器(11)的延展改变时,不发生所述端部区域(18a,18b)沿所述第二方向(R2)的运动,并且其中所述触觉反馈通过相应的所述端部区域(18a,18b)相对于相应的所述子区域(17a,17b)的相对运动产生。
4.根据权利要求3所述的设备(10),
其中所述端部区域(18a,18b)分别直接置于所述压电执行器(11)上。
5.根据权利要求3或4所述的设备(10),
其中相应的所述端部区域(18a,18b)和所述压电执行器(11)通过粘接连接彼此连接。
6.根据权利要求1至5中任一项所述的设备(10),
其中相应的所述子区域(17a,17b)与所述压电执行器(11)的表面间隔开地设置。
7.根据权利要求3至6中任一项所述的设备(10),
其中相应的所述加强元件(13a,13b)具有两个端部区域(18a,18b),其中相应的所述加强元件(13a,13b)的这两个端部区域(18a,18b)直接连接于相应的所述加强元件(13,13b)的所述子区域(17a,17b),并且其中这两个端部区域(18a,18b)设置在相应的所述加强元件(13,13b)的所述子区域(17a,17b)的相对置的侧上。
8.根据上述权利要求中任一项所述的设备(10),
其中相应的所述加强元件(13a,13b)具有至少一个打薄部(14),并且其中相应的所述加强元件(13a,13b)在沿所述第二方向(R2)运动时在所述打薄部(14)的部位处弯曲。
9.根据权利要求8所述的设备(10),
其中所述打薄部(14)在相应的所述加强元件(13a,13b)的表面中具有凸面。
10.根据权利要求8或9所述的设备(10),
其中相应的所述加强元件(13a,13b)具有多个打薄部(14)。
11.根据权利要求8至10中任一项和权利要求3所述的设备(10),
其中打薄部(14)在位于相应的所述加强元件(13a,13b)的所述端部区域(18a,18b)和所述子区域(17a,17b)之间的过渡区域中构成。
12.根据权利要求8至11中任一项所述的设备(10),
其中相应的所述子区域(17a,17b)具有中间区域(19a,19b)和至少一个连接区域(20a,20b),其中所述中间区域(19a,19b)平行于所述压电执行器(11)的表面伸展,并且其中在位于所述中间区域(19a,19b)和所述连接区域(20a,20b)之间的过渡区域中构成有打薄部(14)。
13.根据上述权利要求中任一项所述的设备(10),
其中相应的所述加强元件(13a,13b)具有金属条带。
14.根据上述权利要求中任一项所述的设备(10),
其中相应的所述加强元件(13a,13b)一件式地构成。
15.一种电子仪器,所述电子仪器具有根据上述权利要求中任一项所述的设备(10)、第一机械元件和第二机械元件,其中所述第一机械元件和所述第二机械元件固定在相应的所述加强元件(13a,13b)上,使得在所述压电执行器(11)变形时,所述机械元件相对于彼此运动。
16.一种根据权利要求1至14中任一项所述的设备(10)的应用,所述设备用作为汽车领域中的触敏屏幕中的用于触觉反馈的驱动器。
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2022006844A1 (zh) * 2020-07-10 2022-01-13 欧菲光集团股份有限公司 触觉反馈单元、触觉反馈装置和电子设备

Families Citing this family (18)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102016122610B4 (de) * 2016-11-23 2019-04-18 Tdk Electronics Ag Vorrichtung, die einen haptischen Feedback vermittelt und Bauelement mit der Vorrichtung
DE102018102630A1 (de) 2018-02-06 2019-08-08 Tdk Electronics Ag Vorrichtung und Verfahren zur Erzeugung einer aktiven haptischen Rückmeldung
DE102018108061A1 (de) * 2018-04-05 2019-10-10 Tdk Electronics Ag Vorrichtung zur Erzeugung einer haptischen Rückmeldung
US10585483B2 (en) 2018-06-15 2020-03-10 Immersion Corporation Haptic actuator assembly with a pre-load device
US10409379B1 (en) * 2018-06-15 2019-09-10 Immersion Corporation Haptic actuator assembly having a magnetic pre-load device
US10345910B1 (en) * 2018-06-15 2019-07-09 Immersion Corporation Haptic actuator assembly with a spring pre-load device
DE102018115086B3 (de) 2018-06-22 2019-08-29 Physik Instrumente (Pi) Gmbh & Co. Kg Verstellvorrichtung
DE102018126473A1 (de) * 2018-07-12 2020-01-16 Tdk Electronics Ag Anordnung
WO2020011403A1 (de) * 2018-07-12 2020-01-16 Tdk Electronics Ag Anordnung zur erzeugung eines haptischen signals
DE102018120760B4 (de) * 2018-07-12 2022-11-17 Tdk Electronics Ag Stiftförmiges Eingabe- und/oder Ausgabegerät und Verfahren zur Erzeugung eines haptischen Signals
CN112602263A (zh) 2018-08-06 2021-04-02 贝洱海拉温控系统有限公司 压电驱动部、特别是作为用于车辆组件的自动的执行件
US20210323408A1 (en) 2018-09-05 2021-10-21 Behr-Hella Thermocontrol Gmbh Vehicle operating unit with tactile feedback
US11931776B2 (en) * 2018-12-26 2024-03-19 Industrial Technology Research Institute Actuator, method for manufacturing the actuator, and acoustic transmitter
DE102019120720A1 (de) * 2019-07-31 2021-02-04 Tdk Electronics Ag Mechanisches Verstärkungselement
US11632063B1 (en) * 2019-08-27 2023-04-18 Meta Platforms Technologies, Llc Structured actuators
DE102020111405A1 (de) 2020-04-27 2021-10-28 Tdk Electronics Ag Bedienelement und Fahrzeug mit Bedienelement
KR102576730B1 (ko) 2020-06-08 2023-09-12 한국전자통신연구원 압전 장치
DE102021113843A1 (de) 2021-05-28 2022-12-01 Tdk Electronics Ag Vorrichtung

Citations (18)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6294859B1 (en) * 1997-09-10 2001-09-25 Eads Deutschland Gmbh Electrostrictive or piezoelectric actuator device with a stroke amplifying transmission mechanism
US6465936B1 (en) * 1998-02-19 2002-10-15 Qortek, Inc. Flextensional transducer assembly and method for its manufacture
CN101228643A (zh) * 2005-06-22 2008-07-23 西门子公司 提高了行程能力的压电执行器
US20100090813A1 (en) * 2008-10-10 2010-04-15 Richard Je Electronic Device with Localized Haptic Response
US20100141407A1 (en) * 2008-12-10 2010-06-10 Immersion Corporation Method and Apparatus for Providing Haptic Feedback from Haptic Textile
CN101825967A (zh) * 2009-03-03 2010-09-08 斯凯佩布尔联合有限责任公司 弹性波触觉界面
US20110156539A1 (en) * 2009-12-30 2011-06-30 Dong Sun Park Piezoelectric actuator for actuating haptic device
CN202018645U (zh) * 2011-04-27 2011-10-26 西安康弘新材料科技有限公司 压电触控传感器
CN102388351A (zh) * 2009-04-02 2012-03-21 Pi陶瓷有限责任公司 用于从无键输入单元产生触觉反馈的设备
US20120242593A1 (en) * 2011-03-23 2012-09-27 Samsung Electro-Mechanics Co.,Ltd. Piezoelectric vibration module and touch screen using the same
CN102857189A (zh) * 2011-06-30 2013-01-02 三星电机株式会社 压电振动模块
US20130027340A1 (en) * 2010-04-07 2013-01-31 Ideal Star Inc. Transparent piezoelectric sheet, and transparent piezoelectric sheet-with-a-frame, touch panel, and electronic device each having the transparent piezoelectric sheet
CN103984411A (zh) * 2014-04-25 2014-08-13 深圳超多维光电子有限公司 触觉力反馈系统和触觉力反馈系统实现方法
US20150028726A1 (en) * 2013-07-29 2015-01-29 Samsung Electro-Mechanics Co., Ltd. Piezoelectric sheet, piezoelectric device including the same, and method of fabricating piezoelectric device
US20150255704A1 (en) * 2014-03-10 2015-09-10 Samsung Electro-Mechanics Co., Ltd. Piezoelectric element and piezoelectric vibrator having the same
US20150270476A1 (en) * 2014-03-24 2015-09-24 Samsung Electro-Mechanics Co., Ltd. Piezoelectric element and piezoelectric vibrator having the same
CN105094425A (zh) * 2015-07-17 2015-11-25 苏州诺菲纳米科技有限公司 触控传感器及其制备方法及具有触控传感器的显示器件
CN105706029A (zh) * 2013-10-08 2016-06-22 株式会社村田制作所 触觉提示装置

Family Cites Families (40)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4999819A (en) * 1990-04-18 1991-03-12 The Pennsylvania Research Corporation Transformed stress direction acoustic transducer
US5276657A (en) 1992-02-12 1994-01-04 The Pennsylvania Research Corporation Metal-electroactive ceramic composite actuators
JPH06338640A (ja) * 1993-05-27 1994-12-06 Omron Corp 圧電アクチュエータ、並びに当該圧電アクチュエータを用いたマニピュレータ、光走査装置、光センサ装置、流量制御器、ステージ装置、焦点調整機構及び光学装置
US5729077A (en) * 1995-12-15 1998-03-17 The Penn State Research Foundation Metal-electroactive ceramic composite transducer
DE10017332C2 (de) 2000-04-07 2002-04-18 Daimler Chrysler Ag Piezoelektrische Betätigungseinrichtung zur Klappensteuerung am Rotorblatt eines Hubschraubers
WO2005041464A2 (en) * 2003-10-24 2005-05-06 Face Bradbury R Self-powered, electronic keyed, multifunction switching system
US20090002328A1 (en) * 2007-06-26 2009-01-01 Immersion Corporation, A Delaware Corporation Method and apparatus for multi-touch tactile touch panel actuator mechanisms
US20090303839A1 (en) * 2007-07-31 2009-12-10 Manoj Narayanan Stress-biased cymbals incorporating a shape memory alloy
US20090115292A1 (en) 2007-10-25 2009-05-07 Massachusetts Institute Of Technology Strain amplification devices and methods
US8680749B2 (en) * 2008-09-03 2014-03-25 National Institute Of Aerospace Associates Piezoelectric multilayer-stacked hybrid actuation/transduction system
US9870053B2 (en) * 2010-02-08 2018-01-16 Immersion Corporation Systems and methods for haptic feedback using laterally driven piezoelectric actuators
TWM393736U (en) 2010-03-08 2010-12-01 Emerging Display Tech Corp Touch device with function of electrical stimulation tactile feedback
JP5582839B2 (ja) * 2010-03-29 2014-09-03 京セラ株式会社 圧電駆動装置およびこれを備えた触覚提示デバイス用振動駆動装置
JP5352619B2 (ja) 2011-04-13 2013-11-27 株式会社日本自動車部品総合研究所 操作入力装置
CN102394270A (zh) * 2011-09-14 2012-03-28 中国科学院国家天文台南京天文光学技术研究所 两级微位移放大机构
KR101216892B1 (ko) 2011-12-22 2012-12-28 삼성전기주식회사 햅틱 디바이스 구동용 압전 액추에이터
WO2013186597A1 (en) * 2012-06-15 2013-12-19 Nokia Corporation A display suspension
WO2014008401A1 (en) * 2012-07-05 2014-01-09 Northeastern University Devices, methods, and systems for high-resolution tactile displays
US8973409B2 (en) 2012-10-04 2015-03-10 Corning Incorporated Methods and apparatuses for cooling optical fibers
FR2999742B1 (fr) * 2012-12-13 2018-03-30 Dav Interface de commande tactile
FR3000301B1 (fr) 2012-12-20 2015-02-06 Dav Actionneur piezo-electrique et procede de fabrication associe
US10744060B2 (en) * 2013-03-15 2020-08-18 Sambhu Choudhury Garment with remote controlled vibration array
US9448628B2 (en) 2013-05-15 2016-09-20 Microsoft Technology Licensing, Llc Localized key-click feedback
US9588549B2 (en) * 2014-02-28 2017-03-07 Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. Electronic device
US9595659B2 (en) * 2014-04-30 2017-03-14 Jung-Hoon Kim Piezoelectric vibration device for mobile terminal
US9866149B2 (en) 2014-07-28 2018-01-09 Immersion Corporation Method and apparatus for enabling floating touch screen haptics assemblies
JP6132075B2 (ja) 2014-08-21 2017-05-24 株式会社村田製作所 電気機械変換素子および触覚提示装置
JP6137418B2 (ja) * 2014-10-27 2017-05-31 株式会社村田製作所 振動装置
CN104459987A (zh) * 2014-11-14 2015-03-25 北京智谷睿拓技术服务有限公司 像素密度可调的显示器及显示像素密度调整方法
KR102315184B1 (ko) * 2014-11-21 2021-10-20 삼성디스플레이 주식회사 표시 장치
KR102381659B1 (ko) * 2015-03-10 2022-04-04 삼성디스플레이 주식회사 플렉서블 표시장치
US9756702B2 (en) * 2015-04-29 2017-09-05 Samsung Electronics Co., Ltd. Display device with adjustable rigidity
WO2016207751A1 (en) * 2015-06-26 2016-12-29 Sabic Global Technologies B.V. Integrated piezoelectric cantilever actuator and transistor for touch input and haptic feedback applications
DE102015117262B4 (de) * 2015-10-09 2022-09-22 Tdk Electronics Ag Bauelement zur Erzeugung eines aktiven haptischen Feedbacks
US20170153703A1 (en) * 2015-11-30 2017-06-01 Microsoft Technology Licensing, Llc Piezoelectric haptic feedback structure
SG11201807944SA (en) * 2016-04-07 2018-10-30 Microfine Materials Tech Pte Ltd Displacement connectors of high bending stiffness and piezoelectric actuators made of such
US10591993B2 (en) * 2016-09-21 2020-03-17 Apple Inc. Haptic structure for providing localized haptic output
US10585483B2 (en) * 2018-06-15 2020-03-10 Immersion Corporation Haptic actuator assembly with a pre-load device
US10345910B1 (en) * 2018-06-15 2019-07-09 Immersion Corporation Haptic actuator assembly with a spring pre-load device
US11175769B2 (en) * 2018-08-16 2021-11-16 Apple Inc. Electronic device with glass enclosure

Patent Citations (19)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6294859B1 (en) * 1997-09-10 2001-09-25 Eads Deutschland Gmbh Electrostrictive or piezoelectric actuator device with a stroke amplifying transmission mechanism
US6465936B1 (en) * 1998-02-19 2002-10-15 Qortek, Inc. Flextensional transducer assembly and method for its manufacture
CN101228643A (zh) * 2005-06-22 2008-07-23 西门子公司 提高了行程能力的压电执行器
US20100090813A1 (en) * 2008-10-10 2010-04-15 Richard Je Electronic Device with Localized Haptic Response
US20100141407A1 (en) * 2008-12-10 2010-06-10 Immersion Corporation Method and Apparatus for Providing Haptic Feedback from Haptic Textile
US8362882B2 (en) * 2008-12-10 2013-01-29 Immersion Corporation Method and apparatus for providing Haptic feedback from Haptic textile
CN101825967A (zh) * 2009-03-03 2010-09-08 斯凯佩布尔联合有限责任公司 弹性波触觉界面
CN102388351A (zh) * 2009-04-02 2012-03-21 Pi陶瓷有限责任公司 用于从无键输入单元产生触觉反馈的设备
US20110156539A1 (en) * 2009-12-30 2011-06-30 Dong Sun Park Piezoelectric actuator for actuating haptic device
US20130027340A1 (en) * 2010-04-07 2013-01-31 Ideal Star Inc. Transparent piezoelectric sheet, and transparent piezoelectric sheet-with-a-frame, touch panel, and electronic device each having the transparent piezoelectric sheet
US20120242593A1 (en) * 2011-03-23 2012-09-27 Samsung Electro-Mechanics Co.,Ltd. Piezoelectric vibration module and touch screen using the same
CN202018645U (zh) * 2011-04-27 2011-10-26 西安康弘新材料科技有限公司 压电触控传感器
CN102857189A (zh) * 2011-06-30 2013-01-02 三星电机株式会社 压电振动模块
US20150028726A1 (en) * 2013-07-29 2015-01-29 Samsung Electro-Mechanics Co., Ltd. Piezoelectric sheet, piezoelectric device including the same, and method of fabricating piezoelectric device
CN105706029A (zh) * 2013-10-08 2016-06-22 株式会社村田制作所 触觉提示装置
US20150255704A1 (en) * 2014-03-10 2015-09-10 Samsung Electro-Mechanics Co., Ltd. Piezoelectric element and piezoelectric vibrator having the same
US20150270476A1 (en) * 2014-03-24 2015-09-24 Samsung Electro-Mechanics Co., Ltd. Piezoelectric element and piezoelectric vibrator having the same
CN103984411A (zh) * 2014-04-25 2014-08-13 深圳超多维光电子有限公司 触觉力反馈系统和触觉力反馈系统实现方法
CN105094425A (zh) * 2015-07-17 2015-11-25 苏州诺菲纳米科技有限公司 触控传感器及其制备方法及具有触控传感器的显示器件

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2022006844A1 (zh) * 2020-07-10 2022-01-13 欧菲光集团股份有限公司 触觉反馈单元、触觉反馈装置和电子设备

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