JP2021021636A5 - - Google Patents

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Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP7251383B2 (ja) * 2019-07-29 2023-04-04 セイコーエプソン株式会社 振動デバイス、電子機器および移動体
JP7251385B2 (ja) * 2019-07-30 2023-04-04 セイコーエプソン株式会社 振動デバイス、電子機器および移動体
JP7415444B2 (ja) * 2019-10-30 2024-01-17 セイコーエプソン株式会社 振動デバイス、電子機器および移動体

Family Cites Families (17)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3969459B1 (ja) * 2006-04-26 2007-09-05 株式会社村田製作所 振動ジャイロ
JP2010223774A (ja) * 2009-03-24 2010-10-07 Seiko Epson Corp 物理量検出装置
JP5838749B2 (ja) * 2011-11-16 2016-01-06 セイコーエプソン株式会社 振動子、振動デバイスおよび電子機器
JP2013156127A (ja) * 2012-01-30 2013-08-15 Seiko Epson Corp 振動片、振動デバイス、物理量検出装置、および電子機器
DE102012201486B4 (de) * 2012-02-02 2020-08-06 Robert Bosch Gmbh Dämpfungsvorrichtung für eine mikromechanische Sensoreinrichtung
JP2014089049A (ja) 2012-10-29 2014-05-15 Tdk Corp 角速度センサ
JP2015087251A (ja) * 2013-10-30 2015-05-07 セイコーエプソン株式会社 振動素子、物理量検出装置、電子機器、および移動体
JP6357758B2 (ja) * 2013-11-25 2018-07-18 セイコーエプソン株式会社 物理量センサー、電子機器および移動体
US9568313B2 (en) * 2014-10-28 2017-02-14 Seiko Epson Corporation Electronic device, electronic apparatus, and moving object
JP6488640B2 (ja) * 2014-10-28 2019-03-27 セイコーエプソン株式会社 電子デバイス、電子機器および移動体
JP2017015584A (ja) * 2015-07-02 2017-01-19 セイコーエプソン株式会社 電子デバイス、電子デバイスの製造方法、電子機器、および移動体
JP6668626B2 (ja) * 2015-07-16 2020-03-18 セイコーエプソン株式会社 電子デバイス、電子機器、および移動体
JP6680079B2 (ja) * 2016-05-25 2020-04-15 セイコーエプソン株式会社 電子デバイス、電子デバイスの製造方法、物理量センサー、電子機器および移動体
JP6834581B2 (ja) * 2017-02-23 2021-02-24 セイコーエプソン株式会社 物理量センサー、電子機器及び移動体
JP6957921B2 (ja) 2017-03-23 2021-11-02 セイコーエプソン株式会社 振動デバイス、角速度センサー、電子機器および移動体
JP6855961B2 (ja) * 2017-06-30 2021-04-07 セイコーエプソン株式会社 振動素子の周波数調整方法、振動素子、振動子、電子機器および移動体
JP7251383B2 (ja) * 2019-07-29 2023-04-04 セイコーエプソン株式会社 振動デバイス、電子機器および移動体

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