RU2016131410A - Микромеханический компонент с раздельной, гальванически изолированной активной структурой и способ эксплуатации такого компонента - Google Patents

Микромеханический компонент с раздельной, гальванически изолированной активной структурой и способ эксплуатации такого компонента Download PDF

Info

Publication number
RU2016131410A
RU2016131410A RU2016131410A RU2016131410A RU2016131410A RU 2016131410 A RU2016131410 A RU 2016131410A RU 2016131410 A RU2016131410 A RU 2016131410A RU 2016131410 A RU2016131410 A RU 2016131410A RU 2016131410 A RU2016131410 A RU 2016131410A
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
electrode
axis
along
substrate
voltage
Prior art date
Application number
RU2016131410A
Other languages
English (en)
Other versions
RU2653112C2 (ru
RU2016131410A3 (ru
Inventor
Гюнтер ШПАХЛИНГЕР
Original Assignee
Нортроп Грумман Литеф Гмбх
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Нортроп Грумман Литеф Гмбх filed Critical Нортроп Грумман Литеф Гмбх
Publication of RU2016131410A publication Critical patent/RU2016131410A/ru
Publication of RU2016131410A3 publication Critical patent/RU2016131410A3/ru
Application granted granted Critical
Publication of RU2653112C2 publication Critical patent/RU2653112C2/ru

Links

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B81—MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY
    • B81B—MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICROMECHANICAL DEVICES
    • B81B3/00—Devices comprising flexible or deformable elements, e.g. comprising elastic tongues or membranes
    • B81B3/0035—Constitution or structural means for controlling the movement of the flexible or deformable elements
    • B81B3/004—Angular deflection
    • B81B3/0045—Improve properties related to angular swinging, e.g. control resonance frequency
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B81—MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY
    • B81B—MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICROMECHANICAL DEVICES
    • B81B7/00—Microstructural systems; Auxiliary parts of microstructural devices or systems
    • B81B7/02—Microstructural systems; Auxiliary parts of microstructural devices or systems containing distinct electrical or optical devices of particular relevance for their function, e.g. microelectro-mechanical systems [MEMS]
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B81—MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY
    • B81B—MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICROMECHANICAL DEVICES
    • B81B3/00—Devices comprising flexible or deformable elements, e.g. comprising elastic tongues or membranes
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B81—MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY
    • B81B—MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICROMECHANICAL DEVICES
    • B81B3/00—Devices comprising flexible or deformable elements, e.g. comprising elastic tongues or membranes
    • B81B3/0064—Constitution or structural means for improving or controlling the physical properties of a device
    • B81B3/0086—Electrical characteristics, e.g. reducing driving voltage, improving resistance to peak voltage
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B81—MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY
    • B81B—MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICROMECHANICAL DEVICES
    • B81B3/00—Devices comprising flexible or deformable elements, e.g. comprising elastic tongues or membranes
    • B81B3/0018—Structures acting upon the moving or flexible element for transforming energy into mechanical movement or vice versa, i.e. actuators, sensors, generators
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B81—MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY
    • B81B—MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICROMECHANICAL DEVICES
    • B81B3/00—Devices comprising flexible or deformable elements, e.g. comprising elastic tongues or membranes
    • B81B3/0035—Constitution or structural means for controlling the movement of the flexible or deformable elements
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01C—MEASURING DISTANCES, LEVELS OR BEARINGS; SURVEYING; NAVIGATION; GYROSCOPIC INSTRUMENTS; PHOTOGRAMMETRY OR VIDEOGRAMMETRY
    • G01C19/00—Gyroscopes; Turn-sensitive devices using vibrating masses; Turn-sensitive devices without moving masses; Measuring angular rate using gyroscopic effects
    • G01C19/56—Turn-sensitive devices using vibrating masses, e.g. vibratory angular rate sensors based on Coriolis forces
    • G01C19/5719—Turn-sensitive devices using vibrating masses, e.g. vibratory angular rate sensors based on Coriolis forces using planar vibrating masses driven in a translation vibration along an axis
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B81—MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY
    • B81B—MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICROMECHANICAL DEVICES
    • B81B2201/00—Specific applications of microelectromechanical systems
    • B81B2201/02—Sensors
    • B81B2201/0228—Inertial sensors
    • B81B2201/0242—Gyroscopes
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B81—MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY
    • B81B—MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICROMECHANICAL DEVICES
    • B81B2203/00—Basic microelectromechanical structures
    • B81B2203/01—Suspended structures, i.e. structures allowing a movement
    • B81B2203/0127—Diaphragms, i.e. structures separating two media that can control the passage from one medium to another; Membranes, i.e. diaphragms with filtering function
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B81—MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY
    • B81B—MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICROMECHANICAL DEVICES
    • B81B2203/00—Basic microelectromechanical structures
    • B81B2203/04—Electrodes

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Radar, Positioning & Navigation (AREA)
  • Remote Sensing (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Micromachines (AREA)
  • Gyroscopes (AREA)
  • Pressure Sensors (AREA)
  • Force Measurement Appropriate To Specific Purposes (AREA)
  • Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
  • Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Electric Means (AREA)

Claims (114)

1. Микромеханический компонент (1), включающий в себя:
подложку (11, 15) и
активную структуру (20), которая выполнена с возможностью отклонения относительно подложки (11, 15) по меньшей мере в одном направлении и которая имеет по меньшей мере один первый участок (22) и второй участок (23), причем первый участок (22) и второй участок (23) электропроводны и физически жестко соединены друг с другом вдоль первой оси (X) и электрически изолированы друг от друга посредством изолирующего участка (24), компонент по п. 1, включающий в себя, кроме того:
первый электрод (221), который проходит наружу от первого участка (22) вдоль второй оси (Y) в первом направлении, и второй электрод (222), который проходит наружу от первого участка (22) вдоль второй оси (Y) во втором направлении, причем вторая ось (Y) расположена перпендикулярно первой оси (Х), а второе направление противоположно первому направлению, и
третий электрод (231), который проходит наружу от второго участка (23) вдоль второй оси (Y) в первом направлении, и четвертый электрод (232), который проходит наружу от второго участка (23) вдоль второй оси (Y) во втором направлении.
2. Компонент по п. 1, включающий в себя, кроме того:
пятый электрод (41), прочно соединенный с подложкой (11, 15) и проходящий наружу от подложки (11, 15) вдоль второй оси (Y) во втором направлении и расположенный между первым электродом (221) и третьим электродом (231).
3. Компонент по п. 2, отличающийся тем, что
пятый электрод (41) соединен с усилителем (60) заряда.
4. Компонент по одному из пп. 1-3, дополнительно включающий в себя:
шестой электрод (51), прочно соединенный с подложкой (11, 15) и проходящий наружу от подложки (11, 15) вдоль второй оси (Y) в первом направлении и расположенный между вторым электродом (222) и четвертым электродом (232).
5. Компонент по п. 4, дополнительно включающий в себя:
седьмой электрод (52) и
восьмой электрод (53),
причем седьмой электрод (52) и восьмой электрод (53) прочно соединены с подложкой (11, 15) и проходят наружу от подложки (11, 15) вдоль второй оси (Y) в первом направлении и
причем седьмой электрод (52) и восьмой электрод (53) расположены таким образом, что второй электрод (222) расположен между шестым электродом (51) и седьмым электродом (52), а четвертый электрод (232) расположен между шестым электродом (51) и восьмым электродом (53).
6. Компонент по п. 5, отличающийся тем, что
компонент содержит блок (80) управления, который соединен с шестым электродом (51), седьмым электродом (52) и восьмым электродом (53) и который предназначен для расчета сигналов управления вторым напряжением (U1), приложенным к шестому электроду (51), и управления третьим напряжением (U2), приложенным к седьмому электроду (52) и восьмому электроду (53), исходя от первого напряжения (U0), приложенного к первому участку (22), из заданной возвратной силы (F) и из заданного коэффициента (К) жесткости пружины.
7. Компонент по п. 5, отличающийся тем, что
между вторым электродом (222) и четвертым электродом (232) расположены первый шестой электрод (511) и второй шестой электрод (512),
причем второй электрод (222) расположен между первым шестым электродом (511) и седьмым электродом (52), а четвертый электрод (232) расположен между вторым шестым электродом (512) и восьмым электродом (53).
8. Компонент по одному из пп. 2-3 и 5-7, отличающийся тем, что
между первым электродом (221) и третьим электродом (231) расположены первый пятый электрод (411) и второй пятый электрод (412),
компонент дополнительно содержит девятый электрод (42) и десятый электрод (43), причем девятый электрод (42) и десятый электрод (43) прочно соединены с подложкой (11, 15) и проходят наружу от подложки (11, 15) во втором направлении вдоль второй оси (Y) и расположены таким образом, что первый электрод (221) находится между первым пятым электродом (411) и девятым электродом (42), а третий электрод (231) находится между вторым пятым электродом (412) и десятым электродом (43).
9. Компонент по п. 8, отличающийся тем, что
первый пятый электрод (411) и девятый электрод (42) соединены с первым блоком (71) обработки сигнала и
второй пятый электрод (412) и десятый электрод (43) соединены со вторым блоком (72) обработки сигнала.
10. Компонент по п. 1, отличающийся тем, что
активная структура (20) дополнительно имеет третий участок (250) и четвертый участок (260), причем третий участок (250) и четвертый
участок (260) электропроводны и физически жестко соединены вдоль первой оси (X) с первым участком (22) и со вторым участком (23), причем первый участок (22) электрически изолирован от второго участка (23) первым изолирующим участком (24а) и третий участок (250) электрически изолирован от второго участка (23) вторым изолирующим участком (24b), а от четвертого участка (260) - третьим изолирующим участком (24с).
11. Компонент по п. 10, отличающийся тем, что
третий электрод (231) проходит наружу от второго участка (23) вдоль второй оси (Y) в первом направлении, а четвертый электрод (232) проходит наружу от второго участка (23) вдоль второй оси (Y) во втором направлении,
пятый электрод (251) проходит наружу от третьего участка (250) вдоль второй оси (Y) в первом направлении, а шестой электрод (252) проходит наружу от третьего участка (250) вдоль второй оси (Y) во втором направлении, и
седьмой электрод (261) проходит наружу от четвертого участка (260) вдоль второй оси (Y) в первом направлении, а восьмой электрод (262) проходит наружу от четвертого участка (260) вдоль второй оси (Y) во втором направлении.
12. Компонент по п. 11, дополнительно включающий в себя:
девятый электрод (44), прочно соединенный с подложкой (11, 15) и проходящий наружу от подложки (11, 15) вдоль второй оси (Y) во втором направлении и расположенный между первым электродом (221) и третьим электродом (231),
десятый электрод (45), прочно соединенный с подложкой (11, 15) и проходящий наружу от подложки (11, 15) вдоль второй оси (Y) во втором направлении и расположенный между пятым электродом (251) и седьмым электродом (261),
одиннадцатый электрод (54), прочно соединенный с подложкой (11, 15) и проходящий наружу от подложки (11, 15) вдоль второй оси (Y) в первом направлении и расположенный между вторым электродом (222) и четвертым электродом (232), и
двенадцатый электрод (55), прочно соединенный с подложкой (11, 15) и проходящий наружу от подложки (11, 15) вдоль второй оси (Y) в первом направлении и расположенный между шестым электродом (252) и восьмым электродом (262).
13. Компонент по п. 12, отличающийся тем, что
девятый электрод (44) и десятый электрод (45) соединены каждый с соответствующим усилителем (60а, 60b) заряда.
14. Способ эксплуатации микромеханического компонента (1), содержащего
подложку (11, 15) и
активную структуру (20), которая выполнена с возможностью отклонения относительно подложки (11, 15) по меньшей мере в одном направлении и которая имеет по меньшей мере один первый участок (22) и второй участок (23), причем первый участок (22) и второй участок (23) электропроводны и физически жестко соединены друг с другом вдоль первой оси (X) и электрически изолированы друг от друга посредством изолирующего участка (24),
согласно которому:
прикладывают первое напряжение (U0) к первому участку (22), причем первое напряжение (U0) представляет собой постоянное напряжение, и
прикладывают отрицательное первое напряжение (-U0) ко второму участку (23).
15. Способ по п. 14, отличающийся тем, что
компонент дополнительно включает в себя:
первый электрод (221), который проходит наружу от первого участка (22) вдоль второй оси (Y) в первом направлении, и второй электрод (222), который проходит наружу от первого участка (22) вдоль второй оси (Y) во втором направлении, причем вторая ось (Y) расположена перпендикулярно первой оси (X), а второе направление противоположно первому направлению, и
третий электрод (231), который проходит наружу от второго участка (23) вдоль второй оси (Y) в первом направлении, и четвертый электрод (232), который проходит наружу от второго участка (23) вдоль второй оси (Y) во втором направлении, и
пятый электрод (41), прочно соединенный с подложкой (11, 15) и проходящий наружу от подложки (11, 15) вдоль второй оси (Y) во втором направлении и расположенный между первым электродом (221) и третьим электродом (231); и
способ включает в себя определение заряда (q), создаваемого на пятом электроде (41).
16. Способ по п. 15, отличающийся тем, что
для определения заряда используют усилитель (60) заряда, который соединен с пятым электродом.
17. Способ по п. 15 или 16, отличающийся тем, что
компонент дополнительно включает в себя шестой электрод (51), прочно соединенный с подложкой (11, 15) и проходящий наружу от подложки (11, 15) вдоль второй оси (Y) в первом направлении и расположенный между вторым электродом (222) и четвертым электродом (232); и
к шестому электроду (51) прикладывают второе напряжение (U1), которое воздействует на активную структуру (20) с усилием,
пропорциональным первому напряжению (U0) и второму напряжению (U1).
18. Способ по п. 17, отличающийся тем, что
компонент дополнительно включает в себя седьмой электрод (52) и восьмой электрод (53),
причем седьмой электрод (52) и восьмой электрод (53) прочно соединены с подложкой (11, 15) и проходят наружу от подложки (11, 15) вдоль второй оси (Y) в первом направлении и
причем седьмой электрод (52) и восьмой электрод (53) расположены таким образом, что второй электрод (222) находится между шестым электродом (51) и седьмым электродом (52), а четвертый электрод (232) находится между шестым электродом (51) и восьмым электродом (53); и
к седьмому и восьмому электродам (52, 53) прикладывают третье напряжение (U2), служащее для компенсации коэффициентов жесткости пружин (25, 26), посредством которых активная структура (20) подвижно соединена с подложкой (11, 15).
19. Способ по п. 18, характеризующийся тем, что
вторым напряжением (U1) и третьим напряжением (U2) управляют посредством управляющей схемы, причем управляющая схема включает в себя блок (80) управления, который на основе первого напряжения (U0), заданной возвратной силы (F) и заданного коэффициента (К) жесткости пружины рассчитывает сигналы для управления вторым напряжением (U1) и третьим напряжением (U2).
20. Способ эксплуатации микромеханического компонента (1), содержащего
подложку (11, 15) и
активную структуру (20), которая выполнена с возможностью отклонения относительно подложки (11, 15) по меньшей мере в одном направлении и которая имеет по меньшей мере один первый участок (22) и второй участок (23), причем первый участок (22) и второй участок (23) электропроводны и физически жестко соединены друг с другом вдоль первой оси (X) и электрически изолированы друг от друга посредством изолирующего участка (24),
согласно которому:
прикладывают к первому участку (22) первое напряжение (U0·cos((ω0·t)), причем первое напряжение (U0) представляет собой переменное напряжение, и
прикладывают ко второму участку (23) второе напряжение (U0·sin(ω0·t)), равное первому напряжению (U0*cos(ω0*t)) по величине, однако смещенное по времени.
21. Способ по п. 20, отличающийся тем, что
компонент дополнительно включает в себя:
первый электрод (221), который проходит наружу от первого участка (22) вдоль второй оси (Y) в первом направлении, и второй электрод (222), который проходит наружу от первого участка (22) вдоль второй оси (Y) во втором направлении, причем вторая ось (Y) расположена перпендикулярно первой оси (X), а второе направление противоположно первому направлению,
третий электрод (231), который проходит наружу от второго участка (23) вдоль второй оси (Y) в первом направлении, и четвертый электрод (232), который проходит наружу от второго участка (23) вдоль второй оси (Y) во втором направлении,
первый пятый электрод (411) и второй пятый электрод (412), которые прочно соединены с подложкой (11, 15) и проходят наружу от подложки (11, 15) вдоль второй оси (Y) во втором направлении и расположены между первым электродом (221) и третьим электродом (231),
первый шестой электрод (511) и второй шестой электрод (512), которые прочно соединены с подложкой (11, 15) и проходят наружу от подложки (11, 15) вдоль второй оси (Y) в первом направлении и расположены между вторым электродом (222) и четвертым электродом (232),
седьмой электрод (52) и восьмой электрод (53), которые прочно соединены с подложкой (11, 15) и проходят наружу от подложки (11, 15) вдоль второй оси (Y) в первом направлении и расположены таким образом, что второй электрод (222) находится между первым шестым электродом (511) и седьмым электродом (52), а четвертый электрод (232) находится между вторым шестым электродом (512) и восьмым электродом (53), и
девятый электрод (42) и десятый электрод (43), которые прочно соединены с подложкой (11, 15) и проходят наружу от подложки (11, 15) вдоль второй оси (Y) во втором направлении и расположены таким образом, что первый электрод (221) находится между первым пятым электродом (411) и девятым электродом (42), а третий электрод (231) находится между вторым пятым электродом (412) и десятым электродом (43);
к седьмому электроду (52) прикладывают третье напряжение (UR), причем третье напряжение (UR) представляет собой постоянное напряжение;
к первому шестому электроду (511) прикладывают отрицательное третье напряжение (-UR);
ко второму шестому электроду (512) прикладывают четвертое напряжение (UI), причем четвертое напряжение (UI) представляет собой постоянное напряжение; и
к восьмому электроду (53) прикладывают отрицательное четвертое напряжение (-UI).
22. Способ по п. 21, отличающийся тем, что
первый пятый электрод (411) и девятый электрод (42) соединены с первым блоком (71) обработки сигнала и
второй пятый электрод (412) и десятый электрод (43) соединены со вторым блоком (72) обработки сигнала,
причем в первом блоке (71) обработки сигнала и во втором блоке (72) обработки сигнала определяют разность (ΔQ) соответствующих им зарядов, которая является мерой отклонения активной структуры (20).
23. Способ эксплуатации микромеханического компонента (1),
содержащего подложку (11, 15) и
активную структуру (20), которая выполнена с возможностью отклонения относительно подложки (11, 15) по меньшей мере в одном направлении и которая имеет один первый участок (22), второй участок (23), третий участок (250) и четвертый участок (260), причем первый участок (22), второй участок (23), третий участок (250) и четвертый участок (260) электропроводны и физически жестко соединены друг с другом вдоль первой оси (X) и электрически изолированы друг от друга посредством изолирующих участков (24а, 24b, 24с),
согласно которому:
прикладывают к первому участку (22) первое напряжение (U0·cos(ω0·t)), причем первое напряжение (U0) представляет собой переменное напряжение,
прикладывают ко второму участку (23) отрицательное первое напряжение (-U0·cos(ω0t)),
прикладывают к третьему участку (250) второе напряжение (U0·sin(ω0t)), равное первому напряжению (U0·cos(ω0t)) по величине, однако смещенное по времени, и
прикладывают к четвертому участку (260) отрицательное второе напряжение (-U0·sin(ω0t)).
24. Способ по п. 23, отличающийся тем, что
компонент дополнительно включает в себя:
первый электрод (221), который проходит наружу от первого участка (22) вдоль второй оси (Y) в первом направлении, и второй электрод (222), который проходит наружу от первого участка (22) вдоль второй оси (Y) во втором направлении, причем вторая ось (Y) расположена перпендикулярно первой оси (X), а второе направление противоположно первому направлению,
третий электрод (231), который проходит наружу от второго участка (23) вдоль второй оси (Y) в первом направлении, и четвертый электрод (232), который проходит наружу от второго участка (23) вдоль второй оси (Y) во втором направлении,
пятый электрод (251), который проходит наружу от третьего участка (250) вдоль второй оси (Y) в первом направлении, и шестой электрод (252), который проходит наружу от третьего участка (250) вдоль второй оси (Y) во втором направлении,
седьмой электрод (261), который проходит наружу от четвертого участка (260) вдоль второй оси (Y) в первом направлении, и восьмой электрод (262), который проходит наружу от четвертого участка (260) вдоль второй оси (Y) во втором направлении,
девятый электрод (44), прочно соединенный с подложкой (11, 15) и проходящий наружу от подложки (11, 15) вдоль второй оси (Y) во втором направлении и расположенный между первым электродом (221) и третьим электродом (231),
десятый электрод (45), прочно соединенный с подложкой (11, 15) и проходящий наружу от подложки (11, 15) вдоль второй оси (Y) во втором направлении и расположенный между пятым электродом (251) и седьмым электродом (261),
способ для определения первого заряда (QR), создаваемого на девятом электроде (44), и второго заряда (QI), создаваемого на десятом электроде (45).
25. Способ по п. 24, характеризующийся тем, что
первый заряд (QR) определяют посредством первого усилителя (60а) заряда, и
второй заряд (QI) определяют посредством второго усилителя (60b) заряда.
26. Способ по п. 24 или 25, отличающийся тем, что
компонент дополнительно включает в себя:
одиннадцатый электрод (54), прочно соединенный с подложкой (11, 15) и проходящий наружу от подложки (11, 15) вдоль второй оси (Y) в первом направлении и расположенный между вторым электродом (222) и четвертым электродом (232), и
двенадцатый электрод (55), прочно соединенный с подложкой (11, 15) и проходящий наружу от подложки (11, 15) вдоль второй оси (Y) в первом направлении и расположенный между шестым электродом (252) и восьмым электродом (262);
к одиннадцатому электроду (54) прикладывают третье напряжение (UR), причем третье напряжение (UR) представляет собой постоянное напряжение, и
к двенадцатому электроду (55) прикладывают четвертое напряжение (UI), причем четвертое напряжение (UI) представляет собой постоянное напряжение.
RU2016131410A 2014-02-25 2015-02-11 Микромеханический компонент с раздельной, гальванически изолированной активной структурой и способ эксплуатации такого компонента RU2653112C2 (ru)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE102014002823.2A DE102014002823B4 (de) 2014-02-25 2014-02-25 Mikromechanisches bauteil mit geteilter, galvanisch isolierter aktiver struktur und verfahren zum betreiben eines solchen bauteils
DE102014002823.2 2014-02-25
PCT/EP2015/000303 WO2015128062A1 (de) 2014-02-25 2015-02-11 Mikromechanisches bauteil mit geteilter, galvanisch isolierter aktiver struktur und verfahren zum betreiben eines solchen bauteils

Publications (3)

Publication Number Publication Date
RU2016131410A true RU2016131410A (ru) 2018-03-29
RU2016131410A3 RU2016131410A3 (ru) 2018-03-29
RU2653112C2 RU2653112C2 (ru) 2018-05-07

Family

ID=52472277

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2016131410A RU2653112C2 (ru) 2014-02-25 2015-02-11 Микромеханический компонент с раздельной, гальванически изолированной активной структурой и способ эксплуатации такого компонента

Country Status (13)

Country Link
US (1) US20160362291A1 (ru)
EP (1) EP3110746B1 (ru)
JP (1) JP6267357B2 (ru)
KR (1) KR101869629B1 (ru)
CN (1) CN106061889B (ru)
AU (1) AU2015222511B2 (ru)
BR (1) BR112016017998B1 (ru)
CA (1) CA2939173C (ru)
DE (1) DE102014002823B4 (ru)
IL (1) IL247017A (ru)
RU (1) RU2653112C2 (ru)
WO (1) WO2015128062A1 (ru)
ZA (1) ZA201605623B (ru)

Families Citing this family (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102014002824A1 (de) * 2014-02-25 2015-08-27 Northrop Grumman Litef Gmbh Verfahren zur Herstellung eines Bauteils
DE102014215038A1 (de) * 2014-07-31 2016-02-04 Robert Bosch Gmbh Mikromechanischer Sensor und Verfahren zur Herstellung eines mikromechanischen Sensors
RU192953U1 (ru) * 2018-12-20 2019-10-08 федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования "Санкт-Петербургский национальный исследовательский университет информационных технологий, механики и оптики" (Университет ИТМО) Мэмс-акселерометр
US11788840B2 (en) 2021-11-08 2023-10-17 Northrop Grumman Systems Corporation Vibrating-mass sensor system

Family Cites Families (31)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6705151B2 (en) * 1995-05-30 2004-03-16 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Angular velocity sensor
US5992233A (en) * 1996-05-31 1999-11-30 The Regents Of The University Of California Micromachined Z-axis vibratory rate gyroscope
GB2320571B (en) * 1996-12-20 2000-09-27 Aisin Seiki Semiconductor micromachine and manufacturing method thereof
US5959516A (en) * 1998-01-08 1999-09-28 Rockwell Science Center, Llc Tunable-trimmable micro electro mechanical system (MEMS) capacitor
DE19719779A1 (de) * 1997-05-10 1998-11-12 Bosch Gmbh Robert Beschleunigungssensor
DE19827056A1 (de) * 1998-06-18 1999-12-23 Bosch Gmbh Robert Mikromechanischer Magnetfeldsensor
US6291875B1 (en) * 1998-06-24 2001-09-18 Analog Devices Imi, Inc. Microfabricated structures with electrical isolation and interconnections
JP2000018952A (ja) * 1998-07-01 2000-01-21 Aisin Seiki Co Ltd 角速度センサ
JP2000065855A (ja) * 1998-08-17 2000-03-03 Mitsubishi Electric Corp 半導体加速度スイッチ、半導体加速度スイッチの製造方法
US6611168B1 (en) * 2001-12-19 2003-08-26 Analog Devices, Inc. Differential parametric amplifier with physically-coupled electrically-isolated micromachined structures
WO2003059805A2 (en) * 2002-01-16 2003-07-24 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Micro device
JP4292746B2 (ja) * 2002-02-15 2009-07-08 株式会社デンソー 角速度センサ
DE10350037A1 (de) * 2003-10-27 2005-05-25 Robert Bosch Gmbh Drehratensensor
KR100513346B1 (ko) * 2003-12-20 2005-09-07 삼성전기주식회사 보정전극을 갖는 정전용량형 가속도계
JP4161950B2 (ja) * 2004-02-27 2008-10-08 セイコーエプソン株式会社 マイクロメカニカル静電アクチュエータ
JP4524571B2 (ja) * 2004-03-25 2010-08-18 株式会社デンソー 振動型角速度センサ
US7444868B2 (en) * 2006-06-29 2008-11-04 Honeywell International Inc. Force rebalancing for MEMS inertial sensors using time-varying voltages
JP2008193638A (ja) * 2007-02-08 2008-08-21 Seiko Epson Corp Ｍｅｍｓ振動子
JP5099121B2 (ja) * 2007-02-19 2012-12-12 富士通株式会社 Ｍｅｍｓデバイスおよび光スイッチ
JP5105949B2 (ja) * 2007-04-27 2012-12-26 キヤノン株式会社 センサ
DE102007030121A1 (de) * 2007-06-29 2009-01-02 Litef Gmbh Verfahren zur Herstellung eines Bauteils und Bauteil
JP5432440B2 (ja) * 2007-07-04 2014-03-05 キヤノン株式会社 揺動体装置
JP5191939B2 (ja) * 2009-03-31 2013-05-08 スタンレー電気株式会社 光偏向器用アクチュエータ装置
DE102009029095B4 (de) * 2009-09-02 2017-05-18 Robert Bosch Gmbh Mikromechanisches Bauelement
US8373522B2 (en) * 2010-02-03 2013-02-12 Harris Corporation High accuracy MEMS-based varactors
US20110198202A1 (en) * 2010-02-18 2011-08-18 Harris Corporation Mems-based ultra-low power devices
US8726717B2 (en) * 2011-04-27 2014-05-20 Honeywell International Inc. Adjusting a MEMS gyroscope to reduce thermally varying bias
US9496886B2 (en) * 2011-06-16 2016-11-15 Spatial Digital Systems, Inc. System for processing data streams
DE102012200740B4 (de) * 2011-10-27 2024-03-21 Robert Bosch Gmbh Mikromechanisches Bauelement und Verfahren zur Herstellung eines mikromechanischen Bauelements
JP2014011531A (ja) * 2012-06-28 2014-01-20 Seiko Epson Corp 振動デバイス、電子機器
US9046547B2 (en) * 2012-08-13 2015-06-02 Pgs Geophysical As Accelerometer having multiple feedback systems operating on a given proof mass

Also Published As

Publication number Publication date
BR112016017998B1 (pt) 2021-11-23
KR20160112003A (ko) 2016-09-27
RU2653112C2 (ru) 2018-05-07
KR101869629B1 (ko) 2018-06-20
DE102014002823A1 (de) 2015-08-27
DE102014002823B4 (de) 2017-11-02
ZA201605623B (en) 2017-09-27
CN106061889A (zh) 2016-10-26
US20160362291A1 (en) 2016-12-15
JP2017509878A (ja) 2017-04-06
AU2015222511B2 (en) 2017-05-25
JP6267357B2 (ja) 2018-01-24
AU2015222511A1 (en) 2016-09-22
RU2016131410A3 (ru) 2018-03-29
EP3110746A1 (de) 2017-01-04
CN106061889B (zh) 2017-12-22
CA2939173A1 (en) 2015-09-03
CA2939173C (en) 2017-03-07
IL247017A (en) 2017-02-28
WO2015128062A1 (de) 2015-09-03
BR112016017998A2 (pt) 2017-08-08
EP3110746B1 (de) 2019-07-03

Similar Documents

Publication Publication Date Title
RU2016131410A (ru) Микромеханический компонент с раздельной, гальванически изолированной активной структурой и способ эксплуатации такого компонента
AU2011212653B2 (en) Coriolis gyroscope having correction units and method for reducing the quadrature bias
KR20070109922A (ko) Ｍｅｍｓ형 자이로스코프 및 자이로스코프에서 오차를감소시키는 방법
US8381570B2 (en) Method for adjusting an acceleration sensor
US10670428B2 (en) Circuit device, physical quantity detection device, electronic apparatus, and vehicle
CN109579810B (zh) 物理量测量装置、电子设备和移动体
JP2017523396A (ja) 加速度計
WO2015156069A1 (ja) 曲げ量計測装置
US20190113327A1 (en) Sensor misalignment measuring method and device
EP2824066A1 (en) Reducing the effect of glass charging in mems devices
JP7391382B2 (ja) イオン濃度計測装置
JP2016085180A5 (ru)
JP2009053074A (ja) 電界検出装置
JP2007108072A (ja) 力学量検出素子及び力学量検出装置
EP2985567B1 (en) Systems and methods for improving mems gyroscope start time
JP6509644B2 (ja) 圧電センサ
US9702696B2 (en) Angular velocity sensor
JP6282414B2 (ja) 振動センサ
RU2490650C1 (ru) Микроакселерометр
RU2423712C1 (ru) Электростатический акселерометр
FR3042905B1 (fr) Dispositif et systeme microelectromecanique avec transducteur resistif a faible impedance
JP2016085182A5 (ru)
RU2556334C1 (ru) Чувствительный элемент микросистемного гироскопа
CN113167582A (zh) 具有衬底和布置在衬底上的机电结构的微机电惯性传感器
JP2010185798A (ja) 静電容量センサ