JP2016531836A5 - - Google Patents

Claims (10)

1. 以下の工程
   ｉ）炉殻、炉殻の外側に位置する少なくとも一つの加熱素子、及び断熱材に囲まれ炉殻内部に位置するホットゾーンを含む昇華炉を提供することであり、当該ホットゾーンが以下を含む昇華炉を提供すること、
   ａ）上部領域と下部領域を有するるつぼ；
   ｂ）るつぼを密封するるつぼカバー；
   ｃ）るつぼの下部領域に位置する実質的に固体の炭化ケイ素前駆体；及び
   ｄ）るつぼの上部領域に位置するシードモジュールであり、るつぼの上部領域に露出した上面と底面を有する炭化ケイ素シードを含み、底面が実質的に固体の炭化ケイ素前駆体に向いているシードモジュール、
   ｉｉ）実質的に固体の炭化ケイ素前駆体を昇華させるために加熱素子によってホットゾーンを加熱すること、及び
   ｉｉｉ）炭化ケイ素シードの底面の上に炭化ケイ素を形成すること
   を含む、炭化ケイ素の製造方法。
2. 実質的に固体の炭化ケイ素前駆体がソースモジュール内に含まれ、ソースモジュールがるつぼの下部領域に配置される、請求項１に記載の方法。
3. ソースモジュールが前駆体チャンバを含み、実質的に固体の炭化ケイ素前駆体が前駆体チャンバ内に含まれている、請求項２に記載の方法。
4. 実質的に固体の炭化ケイ素前駆体が多孔質である、請求項１に記載の方法。
5. シードモジュールが少なくとも一つの蒸気放出開口部を有するシードホルダーを含み、炭化ケイ素シードがシードホルダー内に配置される、請求項１に記載の方法。
6. るつぼが１又は複数の通気口を含み、ホットゾーンが１又は複数の孔を有する少なくとも一つの蒸気放出リングをさらに含み、当該蒸気放出リングがシードホルダーの頂部に配置され、少なくとも一つの孔がるつぼの通気口の少なくとも一つとそろえられている、請求項５に記載の方法。
7. 炭化ケイ素シードの上面がシード保護層を含む、請求項１に記載の方法。
8. シード保護層が少なくとも２つのコーティング層を含む、請求項７に記載の方法。
9. シード保護層が少なくとも１つの硬化したコーティング層を含む、請求項７に記載の方法。
10. るつぼの上部領域が上部直径を有する実質的に円筒の形状であり、るつぼの下部領域が下部直径を有する実質的に円筒の形状であり、ここで上部直径が下部直径よりも大きいことを特徴とする、請求項１に記載の方法。