JP2016514771A - 室温および高温の両方におけるホルダー内のプレートのセンタリング - Google Patents
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Abstract
Description
−室温において、ホルダーの開口部の円周は、プレートの表面の円周より大きく、その結果、プレートのセンタリングされた位置によって、プレートの端縁と内部ホルダー端縁との間に所定のギャップ幅Sを有するギャップがあり、
−プレート端縁は、1つまたは複数の突出部を有し、これは、プレート端縁表面に対して半径方向に沿って延在し、かつホルダー端縁の対応する凹部において係合し、そして/またはプレート端縁は、1つまたは複数の凹部を有し、これは、プレート端縁表面に対して半径方向に沿って延在し、かつホルダー端縁の対応する突出部によって係合され、
−プレート保持システムは、少なくとも3つの互いに係合するそのような凹部/突出部の対を有し、かつ各凹部および各突出部は、プレート端縁表面に対して半径方向でそれぞれの長さ、およびそれぞれの幅を有し、かつ凹部の幅は、対応する突出部の幅より大きく、室温において各凹部/突出部の対に対して、凹部および突出部の間の最小の幅差spは、上記のギャップ幅Sより小さく、半径方向において、凹部と突出部との間の最小のギャップ幅は、上記の最小の幅差spより大きく、好ましくは、少なくとも上記のギャップ幅Sと同様の大きさであり、したがって、室温および高温の両方において、プレートが常に固定され、凹部/突出部の対がガイドレールとして機能するため、ホルダーにおいてセンタリングされるという事実が達成される。
−室温において、ホルダーの開口部の円周は、プレートの表面の円周より大きく、その結果、ホルダーの開口部においてプレートの位置がセンタリングされ、プレート端縁と内部ホルダー端縁との間に所定のギャップ幅Sを有するギャップがあり、かつ
−α2<α1であり、かつ
−プレート端縁は、1つまたは複数の突出部を有し、これは、円形表面のセンター点から見ると、半径方向でプレート端縁から突出部長さで延在し、かつ対応する凹部にてホルダー端縁の凹部長さと係合し、および/またはプレート端縁は、1つまたは複数の凹部を有し、これは、プレート端縁から見ると、円形表面のセンター点の方へ凹部長さで延在し、かつ対応する突出部によってホルダー端縁での突出部長さと係合され、
−システム「プレートホルダー」は、少なくとも3つのそのような凹部/突出部の対を有し、かつ凹部/突出部の対に関して、対応する半径方向の長さは、室温において、最大でdの半径方向の間隔を除いて、凹部がそれぞれ突出部によって半径方向で係合され、半径方向の間隔dの径がギャップ幅Sの径に対応するように互いに適合され、かつ接線方向の凹部/突出部の対に関して、対応する幅プロフィールは、凹部が、対応する突出部のためのガイドレールとして機能することができ、接線方向のその遊びspがS未満であるように、互いに適合し、
そしてその結果、プレートがホルダーよりも膨張する室温および高温の両方において、膨張するプレートは、それが、最大で遊びspを除いて、ホルダーにおいて常にセンタリングされるように固定される、ホルダーを備えたディスク形状のプレートが開示される。
Claims (16)
- システム「プレートホルダー」を共に構成するホルダーを備えたディスク形状のプレートであって、該プレートが、その円周の広範囲の領域に渡って延在する円形表面を有し、かつ外部プレート端縁を有し、かつ前記プレートの材料が第1の熱膨張係数α1を有し、ホルダーが、その円周の広範囲の領域に渡って延在し、内部ホルダー端縁によって区切られる円形開口部を有し、かつ前記ホルダーの材料が第2の熱膨張係数α2を有する、ホルダーを備えたディスク形状のプレートにおいて、
−室温にて、前記ホルダーの前記開口部の円周が、前記プレートの前記表面の円周より大きく、その結果、前記ホルダーの前記開口部における前記プレートの位置がセンタリングされ、前記プレート端縁と前記内部ホルダー端縁との間に所定のギャップ幅Sを有するギャップがあり、かつ
−α2<α1であり、かつ
−前記プレート端縁が、1つまたは複数の突出部を有し、これは、前記円形表面のセンター点から見て、半径方向で前記プレート端縁から突出部長さで延在し、かつ対応する凹部にて前記ホルダー端縁の凹部長さと係合し、および/または、前記プレート端縁が、1つまたは複数の凹部を有し、これは、前記プレート端縁から見て、前記円形表面のセンター点の方へ凹部長さで延在し、かつ対応する突出部によってホルダー端縁での突出部長さと係合され、
−前記システム「プレートホルダー」が、少なくとも3つのそのような凹部/突出部の対を有し、かつ前記凹部/突出部の対に関して、長さは、室温にて、最大でdの半径方向の間隔を除いて、前記凹部がそれぞれ半径方向で前記突出部によって係合され、そのサイズが前記ギャップ幅Sのサイズに対応するように選択され、かつ接線方向での前記凹部/突出部の対に関して、幅プロフィールは、前記凹部が、前記対応する突出部のためのガイドレールとして機能することができ、接線方向のその遊びspがS未満であるように、互いに適合し、
そしてそれによって、前記プレートが前記ホルダーよりも膨張する室温およびより高温の両方で、膨張するプレートは、それが、最大で前記遊びspを除いて、前記ホルダーにおいて常にセンタリングされるように固定されることを特徴とする、ホルダーを備えたプレート。 - 前記プレートが少なくとも450℃、好ましくは少なくとも500℃、さらに好ましくは少なくとも650℃の温度まで前記ホルダー内で自由に膨張することができるように前記ギャップ幅S、前記半径方向の間隔dおよび前記遊びspが選択される、請求項1に記載のホルダーを備えたプレート。
- 前記プレートの前記凹部および/または突出部が互いに等距離で分配される、請求項2に記載のホルダーを備えたプレート。
- 前記ホルダーが、前記プレートを収容するために環状であるか、または環状部分を有する、請求項1〜3のいずれか一項に記載のホルダーを備えたプレート。
- 4つの凹部/突出部の対が設けられる、請求項1〜4のいずれか一項に記載のホルダーを備えたプレート。
- 前記プレートがPVDプロセスに用いられるターゲットであり、かつ前記システム「プレートホルダー」が、対応するコーティング供給源の一部分である、請求項1〜5のいずれか一項に記載のホルダーを備えたプレート。
- 前記コーティング供給源に、電圧源に接続するための手段が設けられ、それによって、電極に対して前記ターゲットに負のポテンシャルを印加することが可能で、前記ターゲットをカソードとして使用することができ、かつ前記電極をアノードとして使用することができる、請求項6に記載のホルダーを備えたプレート。
- 前記ホルダーの少なくとも一部分が、冷却デバイスの少なくとも一部分を構成することができる、請求項7または8に記載のホルダーを備えたプレート。
- 前記ホルダーがスペーサー環として具体化される、請求項8に記載のホルダーを備えたプレート。
- 前記冷却デバイスが、ホイル冷却プレート型のデバイスである、請求項8または9のいずれか一項に記載のホルダーを備えたプレート。
- 前記アノードが前記ターゲットの周囲に配置され、かつアノード環として具体化される、請求項7〜10のいずれか一項に記載のホルダーを備えたプレート。
- 前記遊びspが、最大で前記ギャップ幅Sの径の半分であり、かつ前記ギャップ幅Sより好ましくは桁単位で小さい、請求項1〜11のいずれか一項に記載のホルダーを備えたプレート。
- 軸方向において前記突出部の少なくとも1つ、好ましくは前記突出部のいくつか、特に好ましくは前記突出部の全ての前記ガイド領域の前記幅プロフィールが、i)端縁を有さず、それによって、前記対応する凹部によって形成される前記ガイドレールで妨害が生じることが可能となるか、またはii)前記凹部が導かれる少なくとも前記半径方向の小区分で、平行の直線の壁を有する、請求項1〜12のいずれか一項に記載のホルダーを備えたプレート。
- 少なくとも1つの凹部、好ましくはいくつかの凹部、特に好ましくは全ての前記凹部の前記幅プロフィールが、前記凹部が前記ガイド作用を実行する少なくとも前記半径方向の小区分にて、i)平行の直線の壁を有するか、またはii)端縁を有さず、それによって、前記対応する凹部によって形成される前記ガイドレールで妨害が生じることが可能となる、請求項1〜13のいずれか一項に記載のホルダーを備えたプレート。
- 少なくとも凹部/突出部の対、好ましくはいくつかの凹部/突出部の対、特に好ましくは全ての凹部/突出部の対に関して、請求項13および14の前記選択肢i)または請求項13および14の前記選択肢ii)が実施されることを特徴とする、請求項13または14に記載のホルダーを備えたプレート。
- 請求項6〜11のいずれか一項に記載の少なくとも1つのコーティング供給源によるPVDシステム。
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