RU2015147497A - Центрирование пластины в держателе при комнатных температурах и при более высоких температурах - Google Patents

Claims (24)

1. Дискообразная пластина с держателем, которые вместе составляют систему "пластина-держатель", в которой пластина имеет круглую поверхность, проходящую через широкие области ее окружности, и имеет внешний край пластины, причем материал пластины имеет первый коэффициент теплового расширения α1, а держатель имеет круглое отверстие, проходящее через широкие области его окружности, которое ограничено внутренним краем держателя, причем материал держателя имеет второй коэффициент теплового расширения α2,

отличающаяся тем, что

- при комнатной температуре окружность отверстия держателя больше, чем окружность поверхности пластины, в результате чего при центральном положении пластины в отверстии держателя имеется зазор с определенной шириной зазора S между краем пластины и внутренним краем держателя, и

- α2<α1, и

- край пластины имеет один или более выступов, которые, если смотреть от центральной точки круглой поверхности, проходят на длины выступов от края пластины в радиальном направлении и входят в соответствующие углубления с длинами углублений края держателя, и/или край пластины имеет одно или более углублений, которые, если смотреть от края пластины, проходят на длины углублений к центральной точке круглой поверхности, и в которые входят соответствующие выступы с длинами выступов на краю держателя,

- причем система "пластина-держатель" имеет по меньшей мере три таких пары углубление/выступ, и

для пар углубление/выступ длины выбраны так, что при комнатной температуре, за исключением радиального интервала, составляющего максимум d, каждое углубление входит в радиальном направлении в зацепление с выступом, размер которого соответствует размеру ширины зазора S, и

для пар углубление/выступ в тангенциальном направлении профили ширины соответствуют друг другу с обеспечением возможности выполнения углублением функции направляющего рельса для соответствующего выступа, зазор sp которого в тангенциальных направлении составляет меньше чем S,

и в результате, как при комнатной температуре, так и при более высоких температурах, при которых пластина расширяется больше чем держатель, расширяющаяся пластина закреплена так, что она всегда отцентрирована в держателе, за исключением, самое большее, зазора sp.

2. Пластина с держателем по п. 1, в которой ширина зазора S, радиальный интервал d и зазор sp выбраны с обеспечением возможности свободного расширения пластины в держателе вплоть до температуры по меньшей мере 450°C, предпочтительно по меньшей мере 500°C, еще более предпочтительно по меньшей мере 650°C.

3. Пластина с держателем по п. 2, в которой углубления и/или выступы в пластине распределены равноудалено друг от друга.

4. Пластина с держателем по одному из пп. 1-3, в которой держатель является кольцевым или имеет кольцевую часть для размещения пластины.

5. Пластина с держателем по п. 1, в которой предусмотрены четыре пары углубление/выступ.

6. Пластина с держателем по п. 1, в которой пластина является мишенью для использования в процессе физического осаждения из газовой фазы (PVD), а система "пластина-держатель" является частью соответствующего источника покрытия.

7. Пластина с держателем по п. 6, в которой источник покрытия снабжается средством для присоединения к источнику напряжения, которое позволяет применить отрицательный потенциал к мишени относительно электрода с обеспечением возможности использования мишени в качестве катода, а электрода в качестве анода.

8. Пластина с держателем по п. 7, в которой по меньшей мере части держателя выполнены с возможностью составлять по меньшей мере часть охлаждающего устройства.

9. Пластина с держателем по п. 8, в которой держатель выполнен в виде распорного кольца.

10. Пластина с держателем по п. 8, в которой охлаждающее устройство является устройством типа пленочной охлаждающей пластины.

11. Пластина с держателем по одному из пп. 7-10, в которой анод размещен вокруг мишени и выполнен в виде анодного кольца.

12. Пластина с держателем по п. 1, в которой зазор sp составляет самое большее половину размера ширины зазора S и предпочтительно имеет величину на порядок меньше, чем ширина зазора S.

13. Пластина с держателем по п. 1, в которой ширина профиля в направляющих областях по меньшей мере одного из выступов, предпочтительно нескольких из выступов, и особенно предпочтительно всех выступов в осевом направлении i) не имеет никаких краев, что делает невозможным заедание в направляющем рельсе, который формируется соответствующим углублением, или ii) имеет параллельные, прямые стенки по меньшей мере в той радиальной части, в которой проходит углубление.

14. Пластина с держателем по п. 1, в которой ширина профиля по меньшей мере одного углубления, предпочтительно нескольких углублений, и особенно предпочтительно всех углублений, по меньшей мере в той радиальной части, в которой углубление выполняет направляющую функцию, i) имеет параллельные, прямые стенки или ii) не имеет никаких краев, что делает невозможным заедание соответствующим выступа в направляющем рельсе, который формируется углублением.

15. Пластина с держателем по п. 13 или 14, отличающаяся тем, что в случае по меньшей мере одной пары углубление/выступ, предпочтительно для нескольких пар углубление/выступ, и особенно предпочтительно для всех из них, осуществляется альтернатива i) по п. 13 и 14 или альтернатива ii) по п. 13 и 14.

16. Система физического осаждения из газовой фазы (PVD) по меньшей мере с одним источником покрытия по одному из пп. 6-11.