JP2016025099A - 薄膜キャパシタ - Google Patents
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Abstract
Description
100mm×100mmの大きさのNi金属箔上に誘電体層(BaTiO3系誘電体)をスパッタリング法により800nmの厚みで成膜した。その後アニールし、Ni金属箔上の誘電体層を結晶化させた。
凹部の最外部から凹部底部中心までの最短距離が32μm(誘電体層厚みの40倍)で700mJのパワー、50μmのスポット径でレーザー加工した以外は実施例1と同様に作製、測定を実施した。その結果、テーパー断面角度は18度であり、凹部の誘電体層厚みは584nm(凹部以外の73%)、測定点の93%(93/100pcs)で、容量値2.5×10−7F以上、絶縁抵抗値5×10+8Ω以上の良品が得られた。
凹部の最外部から凹部底部中心までの最短距離が56μm(誘電体層厚みの70倍)で700mJのパワー、100μmのスポット径でレーザー加工した以外は実施例1と同様に作製、測定を実施した。その結果、テーパー断面角度は12度であり、凹部の誘電体層厚みは544nm(凹部以外の68%)、測定点の97%(97/100pcs)で、容量値2.5×10−7F以上、絶縁抵抗値5×10+8Ω以上の良品が得られた。
凹部の最外部から凹部底部中心までの最短距離が80μm(誘電体層厚みの100倍)で700mJのパワー、130μmのスポット径でレーザー加工した以外は実施例1と同様に作製、測定を実施した。その結果、テーパー断面角度は18度であり、凹部の誘電体層厚みは520nm(凹部以外の65%)、測定点の99%(99/100pcs)で、容量値2.5×10−7F以上、絶縁抵抗値5×10+8Ω以上の良品が得られた。
凹部の最外部から凹部底部中心までの最短距離が104μm(誘電体層厚みの130倍)で700mJのパワー、150μmのスポット径でレーザー加工した以外は実施例1と同様に作製、測定を実施した。その結果、テーパー断面角度は18度であり、凹部の誘電体層厚みは480nm(凹部以外の60%)、測定点の98%(98/100pcs)で、容量値2.5×10−7F以上、絶縁抵抗値5×10+8Ω以上の良品が得られた。
凹部の最外部から凹部底部中心までの最短距離が120μm(誘電体層厚みの150倍)で400mJのパワー、200μmのスポット径でレーザー加工した以外は実施例1と同様に作製、測定を実施した。その結果、テーパー断面角度は10度であり、凹部の誘電体層厚みは512nm(凹部以外の64%)、測定点の94%(94/100pcs)で、容量値2.5×10−7F以上、絶縁抵抗値5×10+8Ω以上の良品が得られた。
凹部の最外部から凹部底部中心までの最短距離が120μm(誘電体層厚みの150倍)で100mJのパワー、200μmのスポット径でレーザー加工した以外は実施例1と同様に作製、測定を実施した。その結果、テーパー断面角度は2度であり、凹部の誘電体層厚みは680nm(凹部以外の85%)、測定点の90%(90/100pcs)で、容量値2.5×10−7F以上、絶縁抵抗値5×10+8Ω以上の良品が得られた。
凹部の最外部から凹部底部中心までの最短距離が64μm(誘電体層厚みの80倍)で300mJのパワー、100μmのスポット径でレーザー加工した以外は実施例1と同様に作製、測定を実施した。その結果、テーパー断面角度は12度であり、凹部の誘電体層厚みは480nm(凹部以外の60%)、測定点の93%(93/100pcs)で、容量値2.5×10−7F以上、絶縁抵抗値5×10+8Ω以上の良品が得られた。
凹部の最外部から凹部底部中心までの最短距離が64μm(誘電体層厚みの80倍)で250mJのパワー、100μmのスポット径でレーザー加工した以外は実施例1と同様に作製、測定を実施した。その結果、テーパー断面角度は7度であり、凹部の誘電体層厚みは616nm(凹部以外の77%)、測定点の79%(79/100pcs)で、容量値2.5×10−7F以上、絶縁抵抗値5×10+8Ω以上の良品が得られた。
凹部の最外部から凹部底部中心までの最短距離が64μm(誘電体層厚みの80倍)で100mJのパワー、100μmのスポット径でレーザー加工した以外は実施例1と同様に作製、測定を実施した。その結果、テーパー断面角度は3度であり、凹部の誘電体層厚みは720nm(凹部以外の90%)、測定点の83%(83/100pcs)で、容量値2.5×10−7F以上、絶縁抵抗値5×10+8Ω以上の良品が得られた。
凹部の最外部から凹部底部中心までの最短距離が20μm(誘電体層厚みの25倍)で400mJのパワー、30μmのスポット径でレーザー加工した以外は実施例1と同様に作製、測定を実施した。その結果、テーパー断面角度は10度であり、凹部の誘電体層厚みは480nm(凹部以外の60%)、測定点の81%(81/100pcs)で、容量値2.5×10−7F以上、絶縁抵抗値5×10+8Ω以上の良品が得られた。
凹部の最外部から凹部底部中心までの最短距離が20μm(誘電体層厚みの25倍)で100mJのパワー、30μmのスポット径でレーザー加工した以外は実施例1と同様に作製、測定を実施した。その結果、テーパー断面角度は4度であり、凹部の誘電体層厚みは720nm(凹部以外の90%)、測定点の80%(80/100pcs)で、容量値2.5×10−7F以上、絶縁抵抗値5×10+8Ω以上の良品が得られた。
凹部の最外部から凹部底部中心までの最短距離が120μm(誘電体層厚みの150倍)で600mJのパワー、200μmのスポット径でレーザー加工した以外は実施例1と同様に作製、測定を実施した。その結果、テーパー断面角度は15度であり、凹部の誘電体層厚みは400nm(凹部以外の50%)、測定点の71%(71/100pcs)で、容量値2.5×10−7F以上、絶縁抵抗値5×10+8Ω以上の良品が得られた。
凹部の最外部から凹部底部中心までの最短距離が120μm(誘電体層厚みの150倍)で700mJのパワー、200μmのスポット径でレーザー加工した以外は実施例1と同様に作製、測定を実施した。その結果、テーパー断面角度は18度であり、凹部の誘電体層厚みは360nm(凹部以外の45%)、測定点の68%(68/100pcs)で、容量値2.5×10−7F以上、絶縁抵抗値5×10+8Ω以上の良品が得られた。
凹部の最外部から凹部底部中心までの最短距離が24μm(誘電体層厚みの30倍)で80mJのパワー、40μmのスポット径でレーザー加工した以外は実施例1と同様に作製、測定を実施した。その結果、テーパー断面角度は1度であり、凹部の誘電体層厚みは736nm(凹部以外の92%)、測定点の75%(75/100pcs)で、容量値2.5×10−7F以上、絶縁抵抗値5×10+8Ω以上の良品が得られた。
凹部の最外部から凹部底部中心までの最短距離が20μm(誘電体層厚みの25倍)で80mJのパワー、30μmのスポット径でレーザー加工した以外は実施例1と同様に作製、測定を実施した。その結果、テーパー断面角度は1度であり、凹部の誘電体層厚みは760nm(凹部以外の95%)、測定点の66%(66/100pcs)で、容量値2.5×10−7F以上、絶縁抵抗値5×10+8Ω以上の良品が得られた。
凹部の最外部から凹部底部中心までの最短距離が12μm(誘電体層厚みの15倍)で50mJのパワー、20μmのスポット径でレーザー加工した以外は実施例1と同様に作製、測定を実施した。その結果、テーパー断面角度は0.5度であり、凹部の誘電体層厚みは776nm(凹部以外の97%)、測定点の8%(8/100pcs)で、容量値2.5×10−7F以上、絶縁抵抗値5×10+8Ω以上の良品が得られた。これは、凹部が小さくて浅過ぎたため、電荷が平面方向に流れ過ぎてしまったことが原因と考えられる。
凹部の最外部から凹部底部中心までの最短距離が144μm(誘電体層厚みの180倍)で900mJのパワー、250μmのスポット径でレーザー加工した以外は実施例1と同様に作製、測定を実施した。その結果、テーパー断面角度は27度であり、凹部の誘電体層厚みは240nm(凹部以外の30%)、測定点の6%(6/100pcs)で、容量値2.5×10−7F以上、絶縁抵抗値5×10+8Ω以上の良品が得られた。これは、凹部が大きくて深過ぎたため、電荷が誘電体層の断面方向に流れてしまったことが原因と考えられる。
凹部の最外部から凹部底部中心までの最短距離が12μm(誘電体層厚みの15倍)で900mJのパワー、20μmのスポット径でレーザー加工した以外は実施例1と同様に作製、測定を実施した。その結果、テーパー断面角度は27度であり、凹部の誘電体層厚みは360nm(凹部以外の45%)、測定点の6%(6/100pcs)で、容量値2.5×10−7F以上、絶縁抵抗値5×10+8Ω以上の良品が得られた。これは、凹部が深過ぎたため、電荷が誘電体層の断面方向に流れてしまったことが原因と考えられる。
凹部の最外部から凹部底部中心までの最短距離が144μm(誘電体層厚みの180倍)で50mJのパワー、250μmのスポット径でレーザー加工した以外は実施例1と同様に作製、測定を実施した。その結果、テーパー断面角度は0.5度であり、凹部の誘電体層厚みは752nm(凹部以外の94%)、測定点の6%(6/100pcs)で、容量値2.5×10−7F以上、絶縁抵抗値5×10+8Ω以上の良品が得られた。これは、凹部が大きくて浅過ぎたため、電荷が平面方向に流れ過ぎてしまったことが原因と考えられる。
2 下部電極層
3 誘電体層
4 上部電極層
5 凹部
6 凹部の底部中心
11 レーザー照射部
12 ステージ
13 レーザー光線
Claims (2)
- 下部電極層と、前記下部電極層上に設けられた誘電体層と、前記誘電体層上に形成された上部電極層とを備えた薄膜キャパシタにおいて、
前記誘電体層上面の一部において凹部を有し、
前記凹部の断面構造は、(1)前記凹部の端部であってかつ前記凹部の最大高さの50%の位置に接する接線と、(2)前記誘電体層と前記上部電極層との界面である線と、が成す角度が1度以上25度よりも小であるテーパー断面角度を有しており、
前記凹部の底部中心から最外部までの距離は、前記誘電層の厚みの20倍以上150倍以下である
ことを特徴とする薄膜キャパシタ。 - 前記凹部で前記誘電体層が最も薄い箇所の厚みは、前記凹部以外の前記誘電体層の厚みの60%以上90%以下の厚みを有することを特徴とする請求項1に記載の薄膜キャパシタ。
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