JP6365216B2 - 薄膜キャパシタ - Google Patents
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Description
100mm×100mmの大きさのNi金属箔上に誘電体層(BaTiO3系誘電体)をスパッタリング法により800nmの厚みで成膜した。その後、誘電体層が成膜されたNi金属箔をアニールし、Ni金属箔上の誘電体層を結晶化させた。この誘電体層の特性評価を行なうと、誘電率は1000であった。絶縁体パッチ材を形成する前処理として、スクラブ洗浄により、異物などを除去した。
絶縁体パッチ材の面積を500μm2、誘電体セラミック微粒子濃度37%にした以外は実施例1と同様の製造方法および評価条件で、作製、測定、経時変化の評価とを行った。その結果、テーパー角度は18度で、誘電率は150(誘電体層の0.15倍)、結晶状態は微結晶、600時間後まで、83%(83/100pcs)の良品が得られた。
絶縁体パッチ材の面積を700μm2、誘電体セラミック微粒子濃度35%にした以外は実施例1と同様の製造方法および評価条件で、作製、測定、経時変化の評価とを行った。その結果、テーパー角度は18度で、誘電率は200(誘電体層の0.2倍)、結晶状態は微結晶、600時間後まで、87%(87/100pcs)の良品が得られた。
絶縁体パッチ材の面積を1000μm2、誘電体セラミック微粒子濃度33%にした以外は実施例1と同様の製造方法および評価条件で、作製、測定、経時変化の評価とを行った。その結果、テーパー角度は18度で、誘電率は300(誘電体層の0.3倍)、結晶状態は微結晶、600時間後まで、89%(89/100pcs)の良品が得られた。
絶縁体パッチ材の面積を3000μm2、誘電体セラミック微粒子濃度30%にした以外は実施例1と同様の製造方法および評価条件で、作製、測定、経時変化の評価とを行った。その結果、テーパー角度は18度で、誘電率は400(誘電体層の0.4倍)、結晶状態は微結晶、600時間後まで、88%(88/100pcs)の良品が得られた。
絶縁体パッチ材の面積を5000μm2、誘電体セラミック微粒子濃度27%、構造体形成後の熱処理温度を200℃にした以外は実施例1と同様の製造方法および評価条件で、作製、測定、経時変化の評価とを行った。その結果、テーパー角度は10度で、誘電率は10(誘電体層の0.01倍)、結晶状態は非晶質、600時間後まで、94%(94/100pcs)の良品が得られた。
絶縁体パッチ材の面積を10000μm2、誘電体セラミック微粒子濃度23%、構造体形成後の熱処理温度を200℃にした以外は実施例1と同様の製造方法および評価条件で、作製、測定、経時変化の評価とを行った。その結果、テーパー角度は2度で、誘電率は20(誘電体層の0.02倍)、結晶状態は非晶質、600時間後まで、92%(92/100pcs)の良品が得られた。
絶縁体パッチ材の面積を20000μm2、誘電体セラミック微粒子濃度20%、構造体形成後の熱処理温度を250℃にした以外は実施例1と同様の製造方法および評価条件で、作製、測定、経時変化の評価とを行った。その結果、テーパー角度は12度で、誘電率は50(誘電体層の0.05倍)、結晶状態は非晶質、600時間後まで、93%(93/100pcs)の良品が得られた。
絶縁体パッチ材の面積を30000μm2、誘電体セラミック微粒子濃度18%、構造体形成後の熱処理温度を250℃にした以外は実施例1と同様の製造方法および評価条件で、作製、測定、経時変化の評価とを行った。その結果、テーパー角度は7度で、誘電率は100(誘電体層の0.1倍)、結晶状態は非晶質、600時間後まで、95%(95/100pcs)の良品が得られた。
絶縁体パッチ材の面積を50000μm2、誘電体セラミック微粒子濃度15%、構造体形成後の熱処理温度を270℃にした以外は実施例1と同様の製造方法および評価条件で、作製、測定、経時変化の評価とを行った。その結果、テーパー角度は3度で、誘電率は150(誘電体層の0.1倍)、結晶状態は非晶質、600時間後まで、93%(93/100pcs)の良品が得られた。
絶縁体パッチ材の面積を70000μm2、誘電体セラミック微粒子濃度13%、構造体形成後の熱処理温度を500℃にした以外は実施例1と同様の製造方法および評価条件で、作製、測定、経時変化の評価とを行った。その結果、テーパー角度は10度で、誘電率は500(誘電体層の0.5倍)、結晶状態は多結晶、600時間後まで、77%(77/100pcs)の良品が得られた。
絶縁体パッチ材の面積を100000μm2、誘電体セラミック微粒子濃度10%、構造体形成後の熱処理温度を550℃にした以外は実施例1と同様の製造方法および評価条件で、作製、測定、経時変化の評価とを行った。その結果、テーパー角度は4度で、誘電率は600(誘電体層の0.6倍)、結晶状態は多結晶、600時間後まで、98%(98/100pcs)の良品が得られた。
絶縁体パッチ材の面積を300000μm2、酸化ケイ素ターゲットを用いたマスクスパッタで絶縁体パッチ材を形成したこと、構造体形成後の熱処理温度を150℃にした以外は実施例1と同様の製造方法および評価条件で、作製、測定、経時変化の評価とを行った。その結果、テーパー角度は5度で、誘電率は6(誘電体層の0.006倍)、結晶状態は多結晶、600時間後まで、61%(61/100pcs)の良品が得られた。
絶縁体パッチ材の面積を500000μm2、誘電体セラミック微粒子濃度5%、構造体形成後の熱処理温度を650℃にした以外は実施例1と同様の製造方法および評価条件で、作製、測定、経時変化の評価とを行った。その結果、テーパー角度は3度で、誘電率は800(誘電体層の0.8倍)、結晶状態は多結晶、600時間後まで、76%(76/100pcs)の良品が得られた。
絶縁体パッチ材の面積を700000μm2、誘電体セラミック微粒子濃度3%、構造体形成後の熱処理温度を650℃にした以外は実施例1と同様の製造方法および評価条件で、作製、測定、経時変化の評価とを行った。その結果、テーパー角度は2度で、誘電率は800(誘電体層の0.8倍)、結晶状態は多結晶、600時間後まで、72%(72/100pcs)の良品が得られた。
絶縁体パッチ材の面積を850000μm2、酸化ケイ素ターゲットを用いたマスクスパッタで絶縁体パッチ材を形成したこと、中核部は存在せず、構造体形成後の熱処理温度を150℃にした以外は実施例1と同様の製造方法および評価条件で、作製、測定、経時変化の評価とを行った。その結果、テーパー角度は1度で、誘電率は5(誘電体層の0.005倍)、結晶状態は多結晶、600時間後まで、66%(66/100pcs)の良品が得られた。
誘電体層の形成をMOD法によって800nmとなるように積層を実施したこと、絶縁体パッチ材の面積を10000μm2、誘電体セラミック微粒子濃度4%、中核部は存在せず、構造体形成後の熱処理温度を700℃にした以外は実施例1と同様の製造方法および評価条件で、作製、測定、経時変化の評価とを行った。その結果、テーパー角度は3度で、誘電率は800(誘電体層の0.8倍)、結晶状態は多結晶、600時間後まで、63%(63/100pcs)の良品が得られた。
絶縁体パッチ材の面積を950μm2、誘電体セラミック微粒子濃度45%、中核部は存在せず、構造体形成後の熱処理温度を630℃にした以外は実施例1と同様の製造方法および評価条件で、作製、測定、経時変化の評価とを行った。その結果、テーパー角度は25度で、誘電率は850(誘電体層の0.85倍)、結晶状態は多結晶、600時間後において、61%(61/100pcs)の良品が得られた。
絶縁体パッチ材の面積を50μm2、誘電体セラミック微粒子濃度50%、中核部は存在せず、構造体形成後の熱処理温度を700℃にした以外は実施例1と同様の製造方法および評価条件で、作製、測定、経時変化の評価とを行った。その結果、テーパー角度は23度で、誘電率は800(誘電体層の0.8倍)、結晶状態は多結晶、600時間後において、わずか9%(9/100pcs)しか良品が得られなかった。これは、絶縁体パッチ材が小さ過ぎることにより、平面方向での電荷消費が十分でなく中核部に電荷が到達してしまったことが影響したと考えられる。
絶縁体パッチ材の面積を1000000μm2、酸化ケイ素ターゲットを用いたマスクスパッタで絶縁体パッチ材を形成したこと、中核部は存在せず、構造体形成後の熱処理温度を150℃にした以外は実施例1と同様の製造方法および評価条件で、作製、測定、経時変化の評価とを行った。その結果、テーパー角度は1度で、誘電率は4(誘電体層の0.004倍)、結晶状態は多結晶、600時間後において、わずか5%(5/100pcs)しか良品が得られなかった。これは、絶縁体パッチ材が大き過ぎることにより、最外部に蓄積した電荷が、相対的に電気抵抗が低い誘電体層の厚み方向へ流れようとしたことが影響したと考えられる。
絶縁体パッチ材の面積を1000μm2、誘電体セラミック微粒子濃度60%、中核部は存在せず、構造体形成後の熱処理温度を700℃にした以外は実施例1と同様の製造方法および評価条件で、作製、測定、経時変化の評価とを行った。その結果、テーパー角度は27度で、誘電率は850(誘電体層の0.85倍)、結晶状態は多結晶、600時間後において、わずか6%(6/100pcs)しか良品が得られなかった。これは、テーパー角度が大きいことにより、最外部での電荷の蓄積が大きくなり短絡やリーク電流が生じたことが影響したと考えられる。
絶縁体パッチ材の面積を10000μm2、酸化ケイ素ターゲットを用いたマスクスパッタで絶縁体パッチ材を形成したこと、中核部は存在せず、構造体形成後の熱処理温度を150℃にした以外は実施例1と同様の製造方法および評価条件で、作製、測定、経時変化の評価とを行った。その結果、テーパー角度は0.5度で、誘電率は5(誘電体層の0.005倍)、結晶状態は多結晶、600時間後において、わずか3%(3/100pcs)しか良品が得られなかった。これは、テーパー角度が小さいことにより、膜の密着不良が発生したり、電荷の蓄積が広範囲におよんだりしたことが影響したと考えられる。
絶縁体パッチ材を形成しないこと、中核部は存在せずにした以外は実施例1と同様の製造方法および評価条件で、作製、測定、経時変化の評価とを行った。その結果、600時間後において、わずか1%(1/100pcs)しか良品が得られなかった。これは、絶縁体パッチ材が存在しないことにより、絶縁破壊が頻発したと考えられる。
2 下部電極層
3 誘電体層
4 上部電極層
5 絶縁体パッチ材
6 中核部
11 溶液噴射部
12 ステージ
13 吐出液
Claims (5)
- 下部電極層と、上部電極層と、前記下部電極層と前記上部電極層の間に設けられた誘電体層とを備え、
前記誘電体層の前記上部電極層側の面上には絶縁体パッチ材が形成されており、
前記絶縁体パッチ材は誘電体材料によって形成され、
前記絶縁体パッチ材の断面構造は、(1)前記絶縁体パッチ材の端部であってかつ前記絶縁体パッチ材の最大高さの50%の位置に接する接線と、(2)前記誘電体層と前記上部電極層との界面である線と、が成す角度が1度以上25度以下であるテーパー角度を有しており、
前記絶縁体パッチ材の面積は、100μm2以上900000μm2以下であることを特徴とする薄膜キャパシタ。 - 前記誘電体層と前記絶縁体パッチ材との界面には中核部が形成されていることを特徴とする請求項1に記載の薄膜キャパシタ。
- 前記絶縁体パッチ材の誘電率は、前記誘電体層の誘電率の0.01倍以上0.7倍以下であることを特徴とする請求項1または2に記載の薄膜キャパシタ。
- 前記絶縁体パッチ材の結晶構造は、前記誘電体層の結晶構造と異なることを特徴とする請求項1から請求項3のいずれかに記載の薄膜キャパシタ。
- 前記絶絶縁体パッチ材の結晶構造は、非晶質であることを特徴とする請求項1から請求項4のいずれかに記載の薄膜キャパシタ。
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