JP2015504236A5

JP2015504236A5 - 搬入方法、露光方法及び露光装置、並びにデバイス製造方法

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Publication number: JP2015504236A5
Application number: JP2014528757A
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Filing date: 2012-12-28
Publication date: 2015-10-01
Anticipated expiration: 2032-12-28

Description

本発明は、搬入方法、露光方法及び露光装置、並びにデバイス製造方法に係り、特に、薄板状の物体を保持装置に搬入する搬入方法、該搬入方法を利用する露光方法、及び光学系を介して照明光で基板を露光する露光装置、並びに前記露光方法又は露光装置を用いるデバイス製造方法に関する。

本発明の第１の態様によれば、薄板状の物体を保持装置に搬入する搬入方法であって、前記保持装置の上方にて、第１支持部材により前記物体を上方から非接触で支持しつつ前記物体を上下動可能な第２支持部材により下方から支持することと、前記物体が前記保持装置に載置されるように前記第１、第２支持部材をそれぞれ下降させ、前記第１、第２支持部材による前記物体の支持を解除することと、を含む第１の搬入方法が、提供される。

本発明の第２の態様によれば、薄板状の物体を保持装置に搬入する搬入方法であって、前記保持装置の上方で、第１支持部材によって上方から非接触で支持される前記物体を、前記第１支持部材と異なる第２支持部材によって接触支持することと、前記物体が前記保持装置に載置されるように、前記第１、第２支持部材と前記保持装置とを相対移動することと、前記載置された物体を前記保持装置で保持することと、を含む第２の搬入方法が、提供される。

本発明の第３の態様によれば、薄板状の物体を保持装置に搬入する搬入方法であって、第１支持部材によって上方から非接触で支持される物体の変形が制御されるように、前記第１支持部材によって、前記非接触支持する物体の少なくとも一部を鉛直方向に変位させることと、前記変形が制御された物体が前記保持装置で保持されるように、前記第１支持部材と前記保持装置とを鉛直方向に相対移動することと、を含む第３の搬入方法が、提供される。

本発明の第４の態様によれば、薄板状の物体を保持装置に搬入する搬入方法であって、前記保持装置の上方にて第１支持部材によって上方から非接触で支持される物体の下面が前記保持装置と接触するように、前記第１支持部材と前記保持装置とを相対移動することと、前記下面が前記保持装置と接触した物体の少なくとも一部に対して、前記第１支持部材によって上方から下向きの力を与えることと、前記下向きの力が与えられた物体を前記保持装置で保持することと、を含む第４の搬入方法が、提供される。

本発明の第５の態様によれば、光学系を介して照明光で基板を露光する露光方法であって、上記第１ないし第４の搬入方法のいずれかによってステージ上に前記基板を搬入することと、前記光学系を介して前記ステージに保持される基板に前記照明光を照射することと、を含む第１の露光方法が、提供される。
本発明の第６の態様によれば、光学系を介して照明光で基板を露光する露光方法であって、前記光学系の光軸と垂直な所定面内で互いに直交する第１、第２方向のうち前記第１方向に関して一側に前記光学系から離れたローディングポジションで前記基板をステージで保持することと、前記光学系が配置される露光ステーションと異なる計測ステーションに配置される検出系によって、前記ステージに保持される基板の位置情報を検出することと、前記基板の露光動作を行うために、前記計測ステーションから前記露光ステーションに前記ステージを移動することと、を含み、前記露光動作において、前記ステージは、前記第２方向に関して一側の前記基板の第１領域を露光するために前記第１方向の一側から他側に前記基板が移動するとともに、前記第２方向に関して他側の前記基板の第２領域を露光するために前記第１方向の他側から一側に前記基板が移動するように駆動される第２の露光方法が提供される。
本発明の第７の態様によれば、光学系を介して照明光で基板を露光する露光方法であって、前記光学系の光軸と垂直な所定面内で互いに直交する第１、第２方向のうち前記第１方向に関して一側に前記光学系から離れたローディングポジションで前記基板をステージで保持することと、前記光学系に対して前記第１方向の一側に離れて、前記光学系が配置される露光ステーションと異なる計測ステーションに配置される検出系によって、前記ステージに保持される基板の位置情報を検出することと、前記基板の露光動作を行うために、前記計測ステーションから前記露光ステーションに前記ステージを移動することと、前記ステージから前記基板を搬出するために、前記光学系の下から、前記光学系と前記検出系との間に設定されるアンローディングポジションに前記ステージを移動することと、を含み、前記検出系による前記基板の検出動作において、前記ステージは、前記検出系に対して前記基板が前記第１方向の一側から他側に移動するように駆動される第３の露光方法が、提供される。
本発明の第８の態様によれば、光学系を介して照明光で基板を露光する露光方法であって、前記光学系から離れて設定されるローディングポジションに配置される、前記基板を保持するホルダを有するステージの上方で、前記基板をその表面側から非接触で支持することと、前記基板を前記ステージに搬入するために、前記基板と前記ホルダとを相対移動することと、前記基板を非接触で支持する第１支持部材によって、前記基板の変形を制御することと、を含む第４の露光方法が、提供される。

本発明の第９の態様によれば、上記第１ないし第４の露光方法のいずれかにより基板を露光することと、露光された前記基板を現像することと、を含むデバイス製造方法が、提供される。

本発明の第１０の態様によれば、光学系を介して照明光で基板を露光する露光装置であって、前記光学系の光軸と垂直な所定面内で互いに直交する第１、第２方向のうち前記第１方向に関して一側に前記光学系から離れて設定されるローディングポジションに前記基板を搬送する搬送系と、前記搬送系から搬入される基板を保持するホルダを有するステージと、前記ステージを移動する駆動系と、前記光学系が配置される露光ステーションと異なる計測ステーションに配置され、前記ステージに保持される基板の位置情報を検出する検出系と、前記基板の露光動作において、前記第２方向に関して一側の前記基板の第１領域を露光するために前記第１方向の一側から他側に前記ステージが移動されるとともに、前記第２方向に関して他側の前記基板の第２領域を露光するために前記第１方向の他側から一側に前記ステージが移動されるように、前記駆動系を制御するコントローラと、を備える第１の露光装置が、提供される。

本発明の第１１の態様によれば、光学系を介して照明光で基板を露光する露光装置であって、前記光学系の光軸と垂直な所定面内で互いに直交する第１、第２方向のうち前記第１方向に関して一側に前記光学系から離れて設定されるローディングポジションに前記基板を搬送する搬送系と、前記搬送系から搬入される基板を保持するホルダを有するステージと、前記ステージを移動する駆動系と、前記光学系が配置される露光ステーションと異なる計測ステーションに配置され、前記ステージに保持される基板の位置情報を検出する検出系と、前記ステージから前記基板を搬出するために、前記光学系の下から、前記光学系と前記検出系との間に設定されるアンローディングポジションに前記ステージが移動されるとともに、前記検出系による前記基板の検出動作において、前記検出系に対して前記ステージが前記第１方向の一側から他側に移動されるように、前記駆動系を制御するコントローラと、を備える第２の露光装置が提供される。

本発明の第１２の態様によれば、光学系を介して照明光で基板を露光する露光装置であって、前記基板を保持するホルダを有するステージと、前記基板をその表面側から非接触で支持可能な第１支持部材を有し、前記光学系から離れて設定されるローディングポジションに前記基板を搬送する搬送系と、前記第１支持部材によって非接触に支持される基板をその裏面側から支持可能な第２支持部材と、前記第１、第２支持部材を上下動する駆動装置と、を備え、前記ローディングポジションに配置される前記ステージの上方で、前記第１支持部材によって上方から非接触で支持される前記基板が下方から前記第２支持部材で支持されるとともに、前記基板が前記ホルダに載置されるように前記駆動装置によって前記第１、第２支持部材がそれぞれ下降され、前記第１、第２支持部材による前記基板の支持が解除される第３の露光装置が、提供される。

本発明の第１３の態様によれば、光学系を介して照明光で基板を露光する露光装置であって、前記基板を保持するホルダを有するステージと、前記基板をその表面側から非接触で支持する第１支持部材を有する搬送系と、前記基板をその裏面側から接触支持する、前記第１支持部材と異なる第２支持部材と、前記基板が前記ホルダに載置されるように、少なくとも鉛直方向に関して前記第１、第２支持部材と前記ホルダとを相対移動する駆動装置と、を備える第４の露光装置が、提供される。

本発明の第１４の態様によれば、光学系を介して照明光で基板を露光する露光装置であって、前記基板を保持するホルダを有するステージと、前記基板をその表面側から非接触で支持する第１支持部材を有する搬送系と、前記第１支持部材によって支持される基板の少なくとも一部を鉛直方向に変位させる変位装置と、前記第１支持部材によって支持される基板が前記ホルダに載置されるように、少なくとも鉛直方向に関して前記第１支持部材と前記ホルダとを相対移動する駆動装置と、を備え、前記ホルダによる前記基板の保持に先立って、前記変位装置による前記基板の変位が行われる第５の露光装置が、提供される。

本発明の第１５の態様によれば、光学系を介して照明光で基板を露光する露光装置であって、前記基板を保持するホルダを有する基板ステージと、前記基板をその表面側から非接触で支持する第１支持部材を有する搬送系と、前記第１支持部材によって支持される基板が前記ホルダに載置されるように、少なくとも鉛直方向に関して前記第１支持部材と前記ホルダとを相対移動する駆動装置と、前記基板の少なくとも一部に対して、前記第１支持部材によって上方から下向きの力が与えられるように、前記第１支持部材を制御するコントローラと、を備える第６の露光装置が、提供される。
本発明の第１６の態様によれば、光学系を介して照明光で基板を露光する露光装置であって、前記基板を保持するホルダを有するステージと、前記基板をその表面側から非接触で支持可能な第１支持部材を有し、前記光学系から離れて設定されるローディングポジションに前記基板を搬送する搬送系と、前記ローディングポジションに配置される前記ステージに前記基板が搬入されるように、前記基板と前記ホルダとを相対移動する駆動装置と、前記基板の変形を制御するために前記第１支持部材を制御するコントローラと、を備える第７の露光装置が、提供される。

本発明の第１７の態様によれば、デバイス製造方法であって、上記第１ないし第７の露光装置のいずれかによって基板を露光することと、露光された前記基板を現像することと、を含むデバイス製造方法が、提供される。

Claims

薄板状の物体を保持装置に搬入する搬入方法であって、
前記保持装置の上方にて、第１支持部材により前記物体を上方から非接触で支持しつつ前記物体を上下動可能な第２支持部材により下方から支持することと、
前記物体が前記保持装置に載置されるように前記第１、第２支持部材をそれぞれ下降させ、前記第１、第２支持部材による前記物体の支持を解除することと、を含む搬入方法。
請求項１に記載の搬入方法において、
前記第１支持部材を用いて前記物体の変形制御、温度調整およびプリアライメントの少なくとも１つが行われる搬入方法。
請求項１又は２に記載の搬入方法において、
前記物体の変形が制御されるように、前記物体に対する前記第１支持部材の斥力と引力との少なくとも一方が制御される搬入方法。
請求項１〜３のいずれか一項に記載の搬入方法において、
前記第２支持部材により前記物体を下方から支持するのに先立って、前記第１支持部材により前記物体を上方から非接触で支持しつつ前記物体の上面と異なる部分を保持部材により接触保持することと、
前記物体を前記第２支持部材により下方から支持するとともに、前記保持部材による前記物体に対する接触保持を解除することと、をさらに含む搬入方法。
請求項１〜４のいずれか一項に記載の搬入方法において、
前記第１支持部材は、前記物体を非接触で支持するチャック部材と、前記物体の温調部材と、を含み、前記物体は、前記チャック部材により上方から非接触で支持されつつ前記温調部材により温度が調整される搬入方法。
請求項１〜５のいずれか一項に記載の搬入方法において、
前記保持装置によって前記物体が保持される前に、前記物体の位置情報を計測することをさらに含む搬入方法。
請求項１〜６のいずれか一項に記載の搬入方法において、
前記物体は、搬送部材によって前記第１支持部材の下方に搬送され、前記第１支持部材によって非接触で支持される搬入方法。
薄板状の物体を保持装置に搬入する搬入方法であって、
前記保持装置の上方で、第１支持部材によって上方から非接触で支持される前記物体を、前記第１支持部材と異なる第２支持部材によって接触支持することと、
前記物体が前記保持装置に載置されるように、前記第１、第２支持部材と前記保持装置とを相対移動することと、
前記載置された物体を前記保持装置で保持することと、を含む搬入方法。
請求項８に記載の搬入方法において、
前記保持装置による前記物体の保持は、前記第２支持部材による前記物体の支持の解除と同時あるいはその前後に開始される搬入方法。
請求項８又は９に記載の搬入方法において、
少なくとも前記第１支持部材によって非接触で支持される前記物体のプリアライメントが行われ、
前記保持装置によって前記物体を保持するのに先立ち、前記プリアライメントで取得される前記物体の位置ずれ量に基づいて、前記物体と前記保持装置とを相対移動する搬入方法。
請求項８〜１０のいずれか一項に記載の搬入方法において、
前記第２支持部材は、前記物体を下方から支持する搬入方法。
薄板状の物体を保持装置に搬入する搬入方法であって、
第１支持部材によって上方から非接触で支持される物体の変形が制御されるように、前記第１支持部材によって、前記非接触支持する物体の少なくとも一部を鉛直方向に変位させることと、
前記変形が制御された物体が前記保持装置で保持されるように、前記第１支持部材と前記保持装置とを鉛直方向に相対移動することと、を含む搬入方法。
請求項１２に記載の搬入方法において、
前記物体は、前記第１支持部材と異なる第２支持部材によって下方から接触支持され、
前記第１支持部材によって前記変形が制御された物体は、前記第２支持部材と前記保持部材との相対移動によって前記保持装置で保持される搬入方法。
請求項１２又は１３に記載の搬入方法において、
前記第１支持部材によって前記変形が制御された物体は、温度調整とプリアライメントとの少なくとも一方が行われて前記保持装置で保持される搬入方法。
薄板状の物体を保持装置に搬入する搬入方法であって、
前記保持装置の上方にて第１支持部材によって上方から非接触で支持される物体の下面が前記保持装置と接触するように、前記第１支持部材と前記保持装置とを相対移動することと、
前記下面が前記保持装置と接触した物体の少なくとも一部に対して、前記第１支持部材によって上方から下向きの力を与えることと、
前記下向きの力が与えられた物体を前記保持装置で保持することと、を含む搬入方法。
光学系を介して照明光で基板を露光する露光方法であって、
請求項１〜１５のいずれか一項に記載の搬入方法によってステージ上に前記基板を搬入することと、
前記光学系を介して前記ステージに保持される基板に前記照明光を照射することと、を含む露光方法。
請求項１６に記載の露光方法において、
前記基板は、前記光学系の光軸と垂直な所定面内で互いに直交する第１、第２方向に関して、前記ステージによって前記照明光に対して相対移動され、
前記基板の露光動作において、前記ステージは、前記第２方向に関して一側の前記基板の第１領域を露光するために前記第１方向に関して一側から他側に前記基板が移動されるとともに、前記第２方向に関して他側の前記基板の第２領域を露光するために前記第１方向に関して他側から一側に前記基板が移動されるように駆動される露光方法。
光学系を介して照明光で基板を露光する露光方法であって、
前記光学系の光軸と垂直な所定面内で互いに直交する第１、第２方向のうち前記第１方向に関して一側に前記光学系から離れたローディングポジションで前記基板をステージで保持することと、
前記光学系が配置される露光ステーションと異なる計測ステーションに配置される検出系によって、前記ステージに保持される基板の位置情報を検出することと、
前記基板の露光動作を行うために、前記計測ステーションから前記露光ステーションに前記ステージを移動することと、を含み、
前記露光動作において、前記ステージは、前記第２方向に関して一側の前記基板の第１領域を露光するために前記第１方向の一側から他側に前記基板が移動するとともに、前記第２方向に関して他側の前記基板の第２領域を露光するために前記第１方向の他側から一側に前記基板が移動するように駆動される露光方法。
請求項１８に記載の露光方法において、
前記検出系は、前記光学系に対して前記第１方向の一側に配置され、
前記検出系による前記基板の検出動作において、前記ステージは、前記検出系に対して前記基板が前記第１方向の一側から他側に移動するように駆動される露光方法。
請求項１８又は１９に記載の露光方法において、
前記基板は、前記光学系と液体とを介して前記照明光で露光され、
前記光学系と対向して配置される前記ステージに対して前記ステージと異なるステージが接近するように、前記第１方向の他側から一側に前記異なるステージを相対移動するとともに、前記光学系の下に前記液体を維持しつつ前記ステージの代わりに前記異なるステージが前記光学系と対向して配置されるように、前記接近した２つのステージを前記光学系に対して相対移動する露光方法。
請求項２０に記載の露光方法において、
前記光学系に対する前記接近した２つのステージの相対移動によって、前記ステージは前記光学系の下から離れて前記光学系と前記検出系との間に設定されるアンローディングポジションに移動され、前記ステージから前記露光された基板が搬出される露光方法。
光学系を介して照明光で基板を露光する露光方法であって、
前記光学系の光軸と垂直な所定面内で互いに直交する第１、第２方向のうち前記第１方向に関して一側に前記光学系から離れたローディングポジションで前記基板をステージで保持することと、
前記光学系に対して前記第１方向の一側に離れて、前記光学系が配置される露光ステーションと異なる計測ステーションに配置される検出系によって、前記ステージに保持される基板の位置情報を検出することと、
前記基板の露光動作を行うために、前記計測ステーションから前記露光ステーションに前記ステージを移動することと、
前記ステージから前記基板を搬出するために、前記光学系の下から、前記光学系と前記検出系との間に設定されるアンローディングポジションに前記ステージを移動することと、を含み、
前記検出系による前記基板の検出動作において、前記ステージは、前記検出系に対して前記基板が前記第１方向の一側から他側に移動するように駆動される露光方法。
請求項２２に記載の露光方法において、
前記ステージから搬出された基板は、前記アンローディングポジションと異なる待機ポジションを介して搬送系に受け渡される露光方法。
請求項２２又は２３に記載の露光方法において
前記露光動作において、前記ステージは、前記第２方向に関して一側の前記基板の第１領域を露光するために前記第１方向の一側から他側に前記基板が移動するとともに、前記第２方向に関して他側の前記基板の第２領域を露光するために前記第１方向の他側から一側に前記基板が移動するように駆動される露光方法。
請求項１８〜２４のいずれか一項に記載の露光方法において、
前記基板は、前記ローディングポジションに配置される前記ステージの上方で、前記基板を表面側から非接触で支持する支持部材を介して、前記ステージに搬入される露光方法。
光学系を介して照明光で基板を露光する露光方法であって、
前記光学系から離れて設定されるローディングポジションに配置される、前記基板を保持するホルダを有するステージの上方で、前記基板をその表面側から非接触で支持することと、
前記基板を前記ステージに搬入するために、前記基板と前記ホルダとを相対移動することと、
前記基板を非接触で支持する第１支持部材によって、前記基板の変形を制御することと、を含む露光方法。
請求項２６に記載の露光方法において、
前記基板は、前記第１支持部材によって引力と斥力との少なくとも一方が与えられる露光方法。
請求項２７に記載の露光方法において、
前記第１支持部材によって非接触で支持される基板はその裏面側から第２支持部材で接触支持され、
前記ステージへの前記基板の搬入において、前記第２支持部材と前記ホルダとが相対移動され、
前記第２支持部材又は前記ホルダで支持される基板に対して前記引力と斥力との少なくとも一方が与えられる露光方法。
請求項２６〜２８のいずれか一項に記載の露光方法において、
前記第１支持部材によって非接触で支持される基板は温度調整とプリアライメントとの少なくとも一方が行われて前記ホルダに保持される露光方法。
デバイス製造方法であって、
請求項１６〜２９のいずれか一項に記載の露光方法により基板を露光することと、
露光された前記基板を現像することと、を含むデバイス製造方法。
光学系を介して照明光で基板を露光する露光装置であって、
前記光学系の光軸と垂直な所定面内で互いに直交する第１、第２方向のうち前記第１方向に関して一側に前記光学系から離れて設定されるローディングポジションに前記基板を搬送する搬送系と、
前記搬送系から搬入される基板を保持するホルダを有するステージと、
前記ステージを移動する駆動系と、
前記光学系が配置される露光ステーションと異なる計測ステーションに配置され、前記ステージに保持される基板の位置情報を検出する検出系と、
前記基板の露光動作において、前記第２方向に関して一側の前記基板の第１領域を露光するために前記第１方向の一側から他側に前記ステージが移動されるとともに、前記第２方向に関して他側の前記基板の第２領域を露光するために前記第１方向の他側から一側に前記ステージが移動されるように、前記駆動系を制御するコントローラと、を備える露光装置。
請求項３１に記載の露光装置において、
前記検出系は、前記光学系に対して前記第１方向の一側に配置され、
前記検出系による前記基板の検出動作において、前記ステージは、前記検出系に対して前記基板が前記第１方向の一側から他側に移動するように駆動される露光装置。
請求項３１又は３２に記載の露光装置において、
前記ステージと異なるステージを、さらに備え、
前記基板は、前記光学系と液体とを介して前記照明光で露光され、
前記コントローラは、前記光学系と対向して配置される前記ステージに対して前記異なるステージが接近するように、前記第１方向の他側から一側に前記異なるステージを相対移動するとともに、前記光学系の下に前記液体を維持しつつ前記ステージの代わりに前記異なるステージが前記光学系と対向して配置されるように、前記接近した２つのステージを前記光学系に対して相対移動する露光装置。
請求項３３に記載の露光装置において、
前記光学系に対する前記接近した２つのステージの相対移動によって、前記ステージは前記光学系の下から離れて前記光学系と前記検出系との間に設定されるアンローディングポジションに移動され、前記ステージから前記露光された基板が搬出される露光装置。
請求項３１〜３４のいずれか一項に記載の露光装置において、
前記基板は、前記ローディングポジションに配置される前記ステージの上方で、前記基板を上方から非接触で支持する支持部材を介して、前記ステージに搬入される露光装置。
光学系を介して照明光で基板を露光する露光装置であって、
前記光学系の光軸と垂直な所定面内で互いに直交する第１、第２方向のうち前記第１方向に関して一側に前記光学系から離れて設定されるローディングポジションに前記基板を搬送する搬送系と、
前記搬送系から搬入される基板を保持するホルダを有するステージと、
前記ステージを移動する駆動系と、
前記光学系が配置される露光ステーションと異なる計測ステーションに配置され、前記ステージに保持される基板の位置情報を検出する検出系と、
前記ステージから前記基板を搬出するために、前記光学系の下から、前記光学系と前記検出系との間に設定されるアンローディングポジションに前記ステージが移動されるとともに、前記検出系による前記基板の検出動作において、前記検出系に対して前記ステージが前記第１方向の一側から他側に移動されるように、前記駆動系を制御するコントローラと、を備える露光装置。
請求項３６に記載の露光装置において、
前記ステージから搬出された基板は、前記アンローディングポジションと異なる待機ポジションを介して前記搬送系に受け渡される露光装置。
請求項３６又は３７に記載の露光装置において、
前記コントローラは、前記露光動作において、前記第２方向に関して一側の前記基板の第１領域を露光するために前記第１方向の一側から他側に前記ステージが移動されるとともに、前記第２方向に関して他側の前記基板の第２領域を露光するために前記第１方向の他側から一側に前記ステージが移動されるように前記駆動系を制御する露光装置。
請求項３１〜３８のいずれか一項に記載の露光装置において、
前記搬送系は、前記基板をその表面側から非接触で支持可能な支持部材を有し、
前記基板は、前記支持部材を介して前記ローディングポジションに配置される前記ステージに搬入される露光装置。
請求項３９に記載の露光装置において、
前記支持部材は、前記基板の温度調整、プリアライメントおよび変形制御の少なくとも１つに用いられ露光装置。
光学系を介して照明光で基板を露光する露光装置であって、
前記基板を保持するホルダを有するステージと、
前記基板をその表面側から非接触で支持可能な第１支持部材を有し、前記光学系から離れて設定されるローディングポジションに前記基板を搬送する搬送系と、
前記第１支持部材によって非接触に支持される基板をその裏面側から支持可能な第２支持部材と、
前記第１、第２支持部材を上下動する駆動装置と、を備え、
前記ローディングポジションに配置される前記ステージの上方で、前記第１支持部材によって上方から非接触で支持される前記基板が下方から前記第２支持部材で支持されるとともに、前記基板が前記ホルダに載置されるように前記駆動装置によって前記第１、第２支持部材がそれぞれ下降され、前記第１、第２支持部材による前記基板の支持が解除される露光装置。
請求項４１に記載の露光装置において、
前記第１支持部材を用いて前記基板の変形制御、温度調整およびプリアライメントの少なくとも１つが行われる露光装置。
請求項４１又は４２に記載の露光装置において、
前記基板の変形が制御されるように、前記基板に対する前記第１支持部材の斥力と引力との少なくとも一方が制御される露光装置。
請求項４１〜４３のいずれか一項に記載の露光装置において、
前記第１支持部材によって非接触で支持される基板をその表面と異なる部分で接触保持するとともに、前記第２支持部材により前記基板が支持されたときに前記基板の接触保持を解除可能な保持部材をさらに備える露光装置。
請求項４１〜４４のいずれか一項に記載の露光装置において、
前記第１支持部材は、前記基板を非接触で保持するチャック部材と、前記基板の温調部材と、を含み、前記基板は、前記チャック部材によって非接触で支持されつつ前記温調部材によって温度が調整される露光装置。
請求項４５に記載の露光装置において、
前記チャック部材は、ベルヌーイ効果を利用するベルヌーイ・チャックを含む露光装置。
請求項４１〜４６のいずれか一項に記載の露光装置において、
前記基板の位置情報を計測する計測系を、さらに備え、
前記ホルダによって前記基板が保持される前に前記計測系により前記基板の位置情報を計測する露光装置。
請求項４１〜４７のいずれか一項に記載の露光装置において、
前記搬送系は、前記第１支持部材の下方に前記基板を搬送する搬送部材を有する露光装置。
光学系を介して照明光で基板を露光する露光装置であって、
前記基板を保持するホルダを有するステージと、
前記基板をその表面側から非接触で支持する第１支持部材を有する搬送系と、
前記基板をその裏面側から接触支持する、前記第１支持部材と異なる第２支持部材と、
前記基板が前記ホルダに載置されるように、少なくとも鉛直方向に関して前記第１、第２支持部材と前記ホルダとを相対移動する駆動装置と、を備える露光装置。
請求項４９に記載の露光装置において、
前記第２支持部材は、前記ステージに設けられ、前記基板をその裏面側から接触支持する露光装置。
請求項５０に記載の露光装置において、
前記駆動装置は、前記搬送系に設けられ、前記ホルダに対して前記第１支持部材を相対移動する第１駆動部と、前記ステージに設けられ、前記ホルダに対して前記第２支持部材を相対移動する第２駆動部と、を有する露光装置。
請求項４９〜５１のいずれか一項に記載の露光装置において、
前記搬送系および前記駆動装置を制御するコントローラを、さらに備え、
前記コントローラは、前記基板の変形が制御されるように前記搬送系と前記駆動装置との少なくとも一方を制御する露光装置。
請求項５２に記載の露光装置において、
前記コントローラは、前記基板の少なくとも一部を鉛直方向に変位させるように前記第１支持部材の斥力と引力との少なくとも一方を制御する露光装置。
請求項５３に記載の露光装置において、
前記基板は、前記ホルダに載置される、あるいは前記第１支持部材によって非接触で支持された状態で前記鉛直方向の力が与えられる露光装置。
光学系を介して照明光で基板を露光する露光装置であって、
前記基板を保持するホルダを有するステージと、
前記基板をその表面側から非接触で支持する第１支持部材を有する搬送系と、
前記第１支持部材によって支持される基板の少なくとも一部を鉛直方向に変位させる変位装置と、
前記第１支持部材によって支持される基板が前記ホルダに載置されるように、少なくとも鉛直方向に関して前記第１支持部材と前記ホルダとを相対移動する駆動装置と、を備え、
前記ホルダによる前記基板の保持に先立って、前記変位装置による前記基板の変位が行われる露光装置。
請求項５５に記載の露光装置において、
前記変位装置は、少なくとも前記第１支持部材を含み、
前記基板の少なくとも一部を鉛直方向に変位させるように前記第１支持部材を制御するコントローラを、さらに備える露光装置。
請求項５６に記載の露光装置において、
前記コントローラは、前記基板の変形制御のために、前記基板に対する前記第１支持部材の斥力と引力との少なくとも一方を制御する露光装置。
請求項５５〜５７のいずれか一項に記載の露光装置において、
前記変位装置は、前記第１支持部材によって支持される基板に対して下方から接触可能な接触部材を含み、
前記コントローラは、前記基板の少なくとも一部を鉛直方向に変位させるように、前記第１支持部材によって支持される基板と前記接触部材との鉛直方向の位置関係を調整する露光装置。
請求項５８に記載の露光装置において、
前記接触部材は、前記第１支持部材によって支持される基板を下方から支持可能で、前記ホルダに対して相対移動可能に前記ステージに設けられる第２支持部材を含む露光装置。
光学系を介して照明光で基板を露光する露光装置であって、
前記基板を保持するホルダを有する基板ステージと、
前記基板をその表面側から非接触で支持する第１支持部材を有する搬送系と、
前記第１支持部材によって支持される基板が前記ホルダに載置されるように、少なくとも鉛直方向に関して前記第１支持部材と前記ホルダとを相対移動する駆動装置と、
前記基板の少なくとも一部に対して、前記第１支持部材によって上方から下向きの力が与えられるように、前記第１支持部材を制御するコントローラと、を備える露光装置。
請求項６０に記載の露光装置において、
前記基板は、前記ホルダに載置される、あるいは前記第１支持部材によって非接触で支持された状態で前記下向きの力が与えられる露光装置。
光学系を介して照明光で基板を露光する露光装置であって、
前記基板を保持するホルダを有するステージと、
前記基板をその表面側から非接触で支持可能な第１支持部材を有し、前記光学系から離れて設定されるローディングポジションに前記基板を搬送する搬送系と、
前記ローディングポジションに配置される前記ステージに前記基板が搬入されるように、前記基板と前記ホルダとを相対移動する駆動装置と、
前記基板の変形を制御するために前記第１支持部材を制御するコントローラと、を備える露光装置。
請求項６２に記載の露光装置において、
前記コントローラは、前記基板の少なくとも一部を変形させるように、前記第１支持部材の引力と斥力との少なくとも一方を制御する露光装置。
請求項４９〜６３のいずれか一項に記載の露光装置において、
前記搬送系は、それぞれ、少なくとも一部が前記第１支持部材に設けられる前記基板のプリアライメント装置と温調装置との少なくとも一方を有する露光装置。
請求項３１〜６４のいずれか一項に記載の露光装置において、
前記光学系を保持するフレームと、
前記搬送系の少なくとも一部を支持する、前記フレームと異なるフレームと、をさらに備える露光装置。
デバイス製造方法であって、
請求項３１〜６５のいずれか一項に記載の露光装置によって基板を露光することと、
露光された前記基板を現像することと、を含むデバイス製造方法。