CN111332788B - 一种镀膜自动化设备取片定位方法 - Google Patents
一种镀膜自动化设备取片定位方法 Download PDFInfo
- Publication number
- CN111332788B CN111332788B CN202010169039.1A CN202010169039A CN111332788B CN 111332788 B CN111332788 B CN 111332788B CN 202010169039 A CN202010169039 A CN 202010169039A CN 111332788 B CN111332788 B CN 111332788B
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- silicon wafer
- positioning
- taking
- positioning cylinder
- cylinder
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
- B65G47/00—Article or material-handling devices associated with conveyors; Methods employing such devices
- B65G47/74—Feeding, transfer, or discharging devices of particular kinds or types
- B65G47/90—Devices for picking-up and depositing articles or materials
- B65G47/91—Devices for picking-up and depositing articles or materials incorporating pneumatic, e.g. suction, grippers
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
- B65G47/00—Article or material-handling devices associated with conveyors; Methods employing such devices
- B65G47/22—Devices influencing the relative position or the attitude of articles during transit by conveyors
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
本发明公开了一种镀膜自动化设备取片定位方法,所使用的镀膜自动化设备包括三个硅片定位气缸和取片机械手;硅片定位过程中,三个硅片定位气缸按照时间顺序依次启动,当三个硅片定位气缸动作到到位位置后,移走第二个硅片定位气缸,完成硅片定位;启动取片机械手,完成取片过程。本发明在未改变原有机构的前提下,通过调整气缸的动作到位位置和动作顺序,使硅片定位有一基准点,达到定位更精准的;同时优化机器人吸盘的取片路径,配合硅片定位气缸的动作,达到规避此处隐裂片的风险。
Description
技术领域
本发明涉及一种镀膜自动化设备取片定位方法,通过优化镀膜自动化设备的膜前硅片定位方式配合机器人的取片路径,进行动作优化,达到硅片定位精准和降低石墨舟掉片和硅片划伤、吸盘印不良的问题。
背景技术
目前,捷佳伟创自动化设备膜前硅片定位采用的是两个气缸两侧同时动作进行定位,第三个气缸进行后侧推片定位。机器人取片是将硅片托起、真空打开后,定位气缸进行释放;这种定位方式存在以下问题;①硅片定位没有基准点(两个定位气缸同时进行动作,优先和硅片接触的气缸不确定,使硅片无统一的定位基准),在定位机构内位置存在波动大的问题(这种位置波动,不容易被发现是基准问题)②机器人取片路径方式(机器人吸盘将硅片托起时,两定位气缸未松开,容易造成硅片和定位机构摩擦),存在造成硅片隐裂的风险。
发明内容
发明目的:针对现有技术中存在的问题与不足,提供一种镀膜自动化设备取片定位方法,在未改变原有机构的前提下,通过调整气缸的动作到位位置(使第一个动作的气缸可以推到硅片即可,第二个动作的气缸,动作到位位置为距离硅片0.5mm处;第三个动作的气缸的动作到位位置为可以推到硅片即可)和动作顺序,使硅片定位有一基准点,达到定位更精准的;同时优化机器人吸盘的取片路径,配合硅片定位气缸的动作,达到规避此处隐裂片的风险。
技术方案:一种镀膜自动化设备取片定位方法,所使用的镀膜自动化设备包括三个硅片定位气缸和取片机械手;硅片定位过程中,三个硅片定位气缸按照时间顺序依次启动,当三个硅片定位气缸动作到到位位置后,移走第二个硅片定位气缸,完成硅片定位;启动取片机械手,完成取片过程。
将三个硅片定位气缸分别命名为第一硅片定位气缸、第二硅片定位气缸和第三硅片定位气缸,在硅片定位过程中,将第一硅片定位气缸的定位杆作为基准杆,首先启动第一硅片定位气缸,当第一硅片定位气缸的定位杆触到硅片时,停止第一硅片定位气缸;然后启动第二硅片定位气缸,当第二硅片定位气缸动作到到位位置后,停止第二硅片定位气缸;启动第三硅片定位气缸,当第三硅片定位气缸的定位杆触到硅片时,停止第三硅片定位气缸,完成辅助定位;最后启动第二硅片定位气缸,移走第二硅片定位气缸的定位杆;完成硅片的定位。
待硅片定位完成后,取片机械手进行取出硅片的过程,使取片机械手的吸盘下部托起硅片,硅片脱离托架时,打开镀膜自动化设备的真空装置,使托盘吸附住硅片,同时启动第一硅片定位气缸和第三硅片定位气缸,同时移走第一硅片定位气缸的定位杆和第三硅片定位气缸的定位杆,继续上移吸盘,取片机械手的吸盘回缩,将硅片取出。至此整个取片动作完成。
启动第二硅片定位气缸,当第二硅片定位气缸的定位杆距离硅片0.5mm处,停止第二硅片定位气缸,启动第三硅片定位气缸。
取片机械手进行取出硅片的过程,使取片机械手的吸盘下部托起硅片,硅片脱离托架上移1MM时,打开镀膜自动化设备的真空装置。
同时移走第一硅片定位气缸的定位杆和第三硅片定位气缸的定位杆,在吸盘再上移3MM后,取片机械手的吸盘回缩,将硅片取出,至此整个取片动作完成。
有益效果:与现有技术相比,本发明所提供的镀膜自动化设备取片定位方法,硅片定位以一气缸定位杆为基准,另一气缸定位杆为辅,达到了硅片定位准确;优化后的机械手路径可规避此处隐裂风险;硅片插入石墨舟时点位精准度提高,可降低掉片次数、掉片碎片数量。
附图说明
1.图1为本发明实施例的工作原理图。
具体实施方式
下面结合附图和具体实施例,进一步阐明本发明。
如图1所示,镀膜自动化设备取片定位方法,所使用的镀膜自动化设备包括三个硅片定位气缸和取片机械手,将三个硅片定位气缸分别命名为A气缸、B气缸和C气缸,在硅片定位过程中,B气缸为优先动作的气缸,将B气缸的定位杆作为基准杆,B气缸先动作进行硅片定位;C气缸(B气缸动作到位后动作的气缸)再进行定位;A气缸定位气缸(C气缸动作到位后,再进行动作的气缸)最后完成辅助定位;具体过程为:首先启动B气缸,当B气缸的定位杆触到硅片时,停止B气缸;然后启动C气缸,当C气缸的定位杆距离硅片0.5mm处,停止C气缸;启动A气缸,当A气缸的定位杆触到硅片时,停止A气缸,完成辅助定位,通过三个气缸上的整型杆达到硅片定位的目的,同时,为避免取片时吸盘造成硅片隐裂的问题,待A气缸动作到位后,启动C气缸,移走C气缸的定位杆,使吸盘吸取硅片上升时,减少和定位杆的摩擦。
取片机械手进行取出硅片的路径为,取片机械手的吸盘下部托起硅片,硅片脱离托架上移1MM(原则上硅片脱离托架即可,上移1MM,可保证硅片前部下沉的地方脱离托架)时,打开镀膜自动化设备的真空装置,使托盘吸附住硅片,同时启动B气缸和A气缸,同时移走第一硅片定位气缸的定位杆和第三硅片定位气缸的定位杆,在吸盘再上移3MM后,取片机械手的吸盘回缩,将硅片取出。至此整个取片动作完成。
通过B气缸第一个动作进行把硅片推到固定位置,待B气缸到位后,C气缸进行辅助固定硅片,C气缸到位后,A气缸进行动作,通过三个气缸上的整型杆达到硅片定位的目的,同时,为避免取片时吸盘造成硅片隐裂的问题,待硅片定位完成后,C气缸松开,使吸盘吸取硅片上升时,减少和定位杆的摩擦。
以上所述仅是本发明的优选实施方式,应当指出,对于本技术领域的普通技术人员来说,在不脱离本发明原理的前提下,还可以作出若干改进,这些改进也应视为本发明的保护范围。
Claims (5)
1.一种镀膜自动化设备取片定位方法,所使用的镀膜自动化设备包括三个硅片定位气缸和取片机械手;其特征在于:硅片定位过程中,三个硅片定位气缸按照时间顺序依次启动,当三个硅片定位气缸动作到到位位置后,移走第二个硅片定位气缸,完成硅片定位;启动取片机械手,完成取片过程;
将三个硅片定位气缸分别命名为第一硅片定位气缸、第二硅片定位气缸和第三硅片定位气缸,在硅片定位过程中,将第一硅片定位气缸的定位杆作为基准杆,首先启动第一硅片定位气缸,当第一硅片定位气缸的定位杆触到硅片时,停止第一硅片定位气缸;然后启动第二硅片定位气缸,当第二硅片定位气缸动作到到位位置后,停止第二硅片定位气缸;启动第三硅片定位气缸,当第三硅片定位气缸的定位杆触到硅片时,停止第三硅片定位气缸,完成辅助定位;最后启动第二硅片定位气缸,移走第二硅片定位气缸的定位杆;完成硅片的定位。
2.如权利要求1所述的镀膜自动化设备取片定位方法,其特征在于:待硅片定位完成后,取片机械手进行取出硅片的过程,使取片机械手的吸盘下部托起硅片,硅片脱离托架时,打开镀膜自动化设备的真空装置,使托盘吸附住硅片,同时启动第一硅片定位气缸和第三硅片定位气缸,同时移走第一硅片定位气缸的定位杆和第三硅片定位气缸的定位杆,继续上移吸盘,取片机械手的吸盘回缩,将硅片取出;至此整个取片动作完成。
3.如权利要求1所述的镀膜自动化设备取片定位方法,其特征在于:启动第二硅片定位气缸,当第二硅片定位气缸的定位杆距离硅片0.5mm处,停止第二硅片定位气缸,启动第三硅片定位气缸。
4.如权利要求2所述的镀膜自动化设备取片定位方法,其特征在于:取片机械手进行取出硅片的过程,使取片机械手的吸盘下部托起硅片,硅片脱离托架上移1mm时,打开镀膜自动化设备的真空装置。
5.如权利要求2所述的镀膜自动化设备取片定位方法,其特征在于:同时移走第一硅片定位气缸的定位杆和第三硅片定位气缸的定位杆,在吸盘再上移3mm后,取片机械手的吸盘回缩,将硅片取出,至此整个取片动作完成。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN202010169039.1A CN111332788B (zh) | 2020-03-12 | 2020-03-12 | 一种镀膜自动化设备取片定位方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN202010169039.1A CN111332788B (zh) | 2020-03-12 | 2020-03-12 | 一种镀膜自动化设备取片定位方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN111332788A CN111332788A (zh) | 2020-06-26 |
CN111332788B true CN111332788B (zh) | 2021-08-03 |
Family
ID=71176278
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN202010169039.1A Active CN111332788B (zh) | 2020-03-12 | 2020-03-12 | 一种镀膜自动化设备取片定位方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN111332788B (zh) |
Family Cites Families (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3655752B2 (ja) * | 1998-09-09 | 2005-06-02 | 信越エンジニアリング株式会社 | 搬送吸着パッド装置 |
JP5501688B2 (ja) * | 2009-07-30 | 2014-05-28 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板位置合わせ機構、それを用いた真空予備室および基板処理システム |
CN202003973U (zh) * | 2011-01-18 | 2011-10-05 | 东莞宏威数码机械有限公司 | 基片对位机构 |
US9360772B2 (en) * | 2011-12-29 | 2016-06-07 | Nikon Corporation | Carrier method, exposure method, carrier system and exposure apparatus, and device manufacturing method |
CN203351635U (zh) * | 2013-07-05 | 2013-12-18 | 中国电子科技集团公司第四十八研究所 | 一种硅片预定位装置 |
KR20150010344A (ko) * | 2013-07-19 | 2015-01-28 | 안성룡 | 패널 얼라인 기능을 구비한 패널 지그 |
CN204538000U (zh) * | 2015-02-13 | 2015-08-05 | 深圳光远智能装备股份有限公司 | 石墨舟定位装置 |
CN205920956U (zh) * | 2016-04-29 | 2017-02-01 | 上海微电子装备有限公司 | 一种预对准机构和运动台装置 |
CN110832633B (zh) * | 2017-06-30 | 2023-06-02 | 东芝三菱电机产业系统株式会社 | 基板定位装置及基板定位方法 |
CN210006752U (zh) * | 2019-07-19 | 2020-01-31 | 东泰高科装备科技有限公司 | 定位装置 |
-
2020
- 2020-03-12 CN CN202010169039.1A patent/CN111332788B/zh active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN111332788A (zh) | 2020-06-26 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JPH03166007A (ja) | 定尺切断装置 | |
US10761511B2 (en) | Printing apparatus and printing method for biochip fabrication | |
CN104347457B (zh) | 一种适于顶针快速更换的芯片剥离装置 | |
CN113696638B (zh) | 玻璃基板电路打印方法和设备 | |
CN111332788B (zh) | 一种镀膜自动化设备取片定位方法 | |
TWI715862B (zh) | 電子零件收授裝置 | |
CN203665729U (zh) | 具有双层式供、收料机构的晶圆切割装置 | |
CN210805728U (zh) | 一种用于曝光机小缺口晶圆定位校准装置 | |
CN206470537U (zh) | 多功能曝光平台 | |
CN111031686B (zh) | 一种抓取pcb板的定位方法及pcb板的定位孔除胶装置 | |
CN210998158U (zh) | 一种用于智能定位平面精磨机中的精磨切削物料平台 | |
CN113909873A (zh) | 一种拆除手机底部螺丝和侧面卡托的组合装置 | |
CN111258189A (zh) | 一种双面自动对位曝光的设备及方法 | |
CN220944977U (zh) | 一种可辅助检验的定位承座 | |
CN205522953U (zh) | 应用于丝印机的高精度智能对位机构 | |
CN109367873A (zh) | 一种曲面屏贴膜方法 | |
CN216938985U (zh) | 一种激光分割器件实现整体蓝膜转移的装置 | |
JPS6397540A (ja) | リ−ドフレ−ム分離装置 | |
CN219610501U (zh) | 刀片电池电芯入壳装置 | |
CN111007701A (zh) | 一种曝光机自动上下片装置 | |
CN112605662B (zh) | 一种金属管件端部加工装置 | |
CN210791797U (zh) | 一种复合注塑件金属片转移定位装置 | |
CN220177385U (zh) | 一种触控边框点胶设备 | |
CN213230514U (zh) | 一种视觉自动贴合机 | |
JP2009286089A (ja) | インライン加工装置及び方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
PB01 | Publication | ||
PB01 | Publication | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
GR01 | Patent grant | ||
GR01 | Patent grant |