CN204538000U - 石墨舟定位装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了石墨舟定位装置，包括定位平台，基准定位机构，定位弹性定位机构，限位机构，弹性定位机构包括第一定位横杆、第一支撑基座及固定在第一支撑基座上的第一驱动装置、纵向弹簧、第一轨道，第一定位横杆由第一驱动装置驱动沿第一轨道前后滑动，纵向弹簧连接在第一支撑基座与第一定位横杆之间，基准定位机构设有第二定位横杆。由于本实用新型实施例采用一侧由提供可调的定位基准，另一侧依靠驱动装置和纵向弹簧形成一个弹性定位机构，在驱动装置停止驱动时，纵向弹簧可以压紧在石墨舟陶瓷杆的螺母上，减少对舟的损伤，而且整个装置不需传感器，实现柔性定位，成本低，结构易于实现。

Description

石墨舟定位装置

技术领域

本实用新型涉及集成电路或光伏产品的工艺设备技术领域，具体涉及一种石墨舟定位装置。

背景技术

PECVD镀膜工序之前或之后都会用到石墨舟。在石墨舟定位后对其上的硅片进行装卸。

现有的石墨舟传输定位主要有以下特点：

石墨舟的输送多采用伺服马达，成本较高；

石墨舟的定位采用较多的传感器，成本较高；

石墨舟夹紧定位时采用气缸力直接作用在舟片上，容易损伤舟片。

基于以上特点，现有的石墨舟定位技术存在如下缺点：

1.石墨舟定位的机构比较复杂；

2.石墨舟输送和定位的成本都比较高；

3.石墨舟定位时容易损伤石墨舟。

实用新型内容

本实用新型提供一种石墨舟定位装置，能够解决上述问题。

本实用新型实施例提供的一种石墨舟定位装置，包括一定位平台，定位平台的后侧设有基准定位机构，定位平台的前侧设有弹性定位机构，定位平台的左侧设有用于限制石墨舟继续向左运动的限位机构，基准定位机构和弹性定位机构在定位平台的右侧共同形成一用于运输石墨舟进入定位平台的入口，弹性定位机构包括用于抵住石墨舟前侧的第一定位横杆、第一支撑基座及固定在第一支撑基座上的沿定位平台前后方向设置的第一驱动装置、纵向弹簧、第一轨道，第一定位横杆由第一驱动装置驱动沿第一轨道前后滑动，纵向弹簧连接在第一支撑基座与第一定位横杆之间且对第一定位横杆施加后向的弹性力，基准定位机构设有用于抵住石墨舟后侧且可沿定位平台前后向调节位置的第二定位横杆。

优选地，第一定位横杆上固定有前后向设置的第一调节杆，第一调节杆上设有可在前后向上调节位置的第一挡块，纵向弹簧套设在该第一调节杆上，且纵向弹簧一端顶住第一定位横杆远离石墨舟的一侧，纵向弹簧的另一端顶住该第一挡块。

优选地，所述限位机构包括左侧定位基座、横向弹簧、横向轨道及用于抵住石墨舟左侧的左侧定位横杆，左侧定位横杆通过横向轨道安装在左侧定位基座上，横向弹簧安装在左侧定位基座上且对左侧定位横杆施加向右的弹性力。

优选地，所述左侧定位横杆的左侧设有一导向杆，左侧定位基座的上部设有一导向孔，导向杆穿过该导向孔形成所述横向轨道，横向弹簧套设在该导向杆上并共同穿过该导向孔，导向杆的末端设有可调挡块，横向弹簧的一端顶住左侧定位横杆的左侧，横向弹簧的另一端顶住该可调挡块。

优选地，在左侧定位横杆与石墨舟相接触的一面设有用于减小石墨舟在左侧定位横杆上前后向摩擦的滚轮或滚球。

优选地，在左侧定位横杆的左侧和左侧定位基座的右侧分别相对应地设有辅助导向孔和辅助导向柱。

优选地，基准定位机构还包括第二支撑基座及固定在第二支撑基座上的沿定位平台前后方向设置的第二驱动装置、第二轨道，第二定位横杆由第二驱动装置驱动沿第二轨道前后滑动。

优选地，第二支撑基座上设有一安装孔，第二定位横杆上固定有一前后向设置的第二调节杆，该第二调节杆穿设在安装孔内并带动第二定位横杆在前后向上联动，第二调节杆尾端设有用于限制第二调节杆前后向运动距离且可在前后向调节位置的第二挡块。

优选地，在定位平台的入口位置设置有用于将石墨舟输送至定位平台上的舟输送机构。

上述技术方案可以看出，由于本实用新型实施例采用一侧(后侧)由提供可调的定位基准，另一侧(前侧)依靠驱动装置和纵向弹簧形成一个弹性定位机构，在驱动装置停止驱动时，纵向弹簧可以压紧在石墨舟陶瓷杆的螺母上，减少对舟的损伤，而且整个装置不需传感器，实现柔性定位，成本低，结构易于实现。

另外，在定位平台的左侧加设限位机构，尤其是配合横向弹簧实现横向上弹性定位，能够进一步减小石墨舟的损失。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其它的附图。

图1是本实用新型实施例中石墨舟定位装置的俯视结构示意图；

图2是图1中A处放大示意图；

图3是图1中B处放大示意图；

图4是图1中C处放大示意图。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本实用新型保护的范围。

实施例：

本实用新型实施例提供一种石墨舟定位装置，能够解决现有定位装置机构复杂、成本高且对石墨舟有较多损伤的问题。本实用新型实施例提供的石墨舟定位装置，结合图1至图4所示，包括一定位平台1，定位平台1的后侧设有基准定位机构2，定位平台1的前侧设有弹性定位机构3，定位平台1的左侧设有用于限制石墨舟继续向左运动的限位机构4，基准定位机构2和弹性定位机构3在定位平台1的右侧共同形成一用于运输石墨舟进入定位平台的入口，弹性定位机构3包括用于抵住石墨舟前侧的第一定位横杆31、第一支撑基座32及固定在第一支撑基座32上的沿定位平台前后方向设置的第一驱动装置33、纵向弹簧34、第一轨道35，第一定位横杆31由第一驱动装置33驱动沿第一轨道35前后滑动，纵向弹簧34连接在第一支撑基座32与第一定位横杆31之间且对第一定位横杆31施加后向的弹性力，基准定位机构2设有用于抵住石墨舟后侧且可沿定位平台前后向调节位置的第二定位横杆21。

本实施例中第一驱动装置33采用气缸，气缸的推杆能够在前后向上伸缩，第一滑轨可以采用现有的滑轨，即包括存在滑轨基座和沿滑轨基座滑动的滑动块，第一定位横杆与滑动块固定在一起即可实现沿滑轨轨道滑动。本实施例中定义纸面向下为前向，纸面向上为后向，纸面向左为左向，纸面向右为右向，可以理解的是，这种定义只是为了便于读者理解技术方案而定义的方向，实际运用中可以不受到此种定向的限制，只要实际原理与此相同即可。

第一定位横杆31上固定有前后向设置的第一调节杆311，第一定位横杆、第一驱动装置的驱动杆(气缸的推杆)和第一调节杆可以是都固定在一个固定块上，以便于安装，减小第一定位横杆的压力承受，第一驱动装置驱动该固定块便能够驱动该第一定位横杆运动，第一调节杆311上设有可在前后向上调节位置的第一挡块312，纵向弹簧34套设在该第一调节杆311上，且纵向弹簧34一端顶住第一定位横杆31远离石墨舟的一侧(前向侧)，纵向弹簧34的另一端顶住该第一挡块。本实用新型实施例中第一调节杆上设有螺纹，第一挡块套设在该第一调节杆上且设置内螺纹，从而实现前后向可调节位置，调节第一挡块至第一定位横杆的间距，控制纵向弹簧在前后向上的弹力大小。

本实用新型实施例中基准定位机构2还包括第二支撑基座22及固定在第二支撑基座22上的沿定位平台前后方向设置的第二驱动装置23、第二轨道24，第二定位横杆21由第二驱动装置23驱动沿第二轨道24前后滑动。基准定位机构中的第二支撑基座、第二驱动装置、第二轨道的结构和原理均可以参考弹性定位机构，此处不再赘述。与基准定位机构不同的是，第二支撑基座22上设有一个凸起座221，该凸起座221上设有一个安装孔(图中未示出)，第二定位横杆21上固定有一前后向设置的第二调节杆211，该第二调节杆211穿设在安装孔内并带动第二定位横杆21在前后向上联动，第二调节杆211尾端设有用于限制第二调节杆前后向运动距离且可在前后向调节位置的第二挡块212。本实施例中第二调节杆在尾端设有外螺纹，而第二挡块采用与之配合的螺母，旋动螺母即能够调节螺母至第二定位横杆之间的距离，由于第二调节杆与第二驱动装置的驱动杆都固定在同一个固定块上(参考基准定位机构的相关描述)，因此，第二挡块通过限制第二调节杆的前后向运动距离来实现调节第二驱动装置的驱动定长。

另外，第二定位横杆上与石墨盘接触的一侧设有定位凹槽213，在第一定位横杆31上也同样设置该定位凹槽，该定位凹槽能够与石墨舟上陶瓷杆的螺母相配合，实现快速定位。

在定位平台1的入口位置设置有用于将石墨舟输送至定位平台上的舟输送机构。该舟输送机构的输出与定位平台1的入口位置紧邻，本实施例中舟输送机构采用滑轨和同步输送带5协同输送石墨舟，同步输送带是由步进马达驱动，用来输送石墨舟左右运动。

本实施例中定位平台1在正对舟输送机构的一侧(定位平台的左侧)设置了限位机构，当舟输送机构向右输送石墨舟时，石墨舟到达定位平台的左侧尽头时，用于限制石墨舟继续向左运动。该限位机构可以只是一块挡板或挡块即可，本实施例中为了更好的实现石墨块在横向上的柔性定位，减小石墨块横向定位时的损伤，特提供了另一限位机构。

本实施例中提供的限位机构包括左侧定位基座41、横向弹簧42、横向轨道及用于抵住石墨舟左侧的左侧定位横杆43，左侧定位横杆43通过横向轨道安装在左侧定位基座41上，横向弹簧42安装在左侧定位基座41上且对左侧定位横杆43施加向右的弹性力。当石墨舟在舟输送机构的驱动下向左运动时，其接触到左侧定位横杆，如果左侧定位横杆在横向上没有弹性裕度必然会使石墨舟左侧在冲撞接触中受到损伤，而本实施例中左侧定位横杆43与左侧定位基座41之间通过横向弹簧实现缓冲，实现了柔性定位的功能。

本实施例中所述左侧定位横杆43的左侧设有一导向杆431，左侧定位基座41的上部设有一导向孔(图中未示出)，导向杆431穿过该导向孔形成所述横向轨道，横向弹簧42套设在该导向杆431上并共同穿过该导向孔，导向杆431的末端设有可调挡块432，横向弹簧42的一端顶住左侧定位横杆43的左侧，横向弹簧42的另一端顶住该可调挡块432。本实施例中可调挡块为螺母，其螺纹连接在导向杆的末端，通过调节螺母实现横向弹簧的弹力调节。为了进一步地保证左侧定位横杆的平稳运动，在左侧定位横杆43的左侧和左侧定位基座41的右侧分别相对应地设有辅助导向孔(图中未示出)和辅助导向柱411。

当石墨舟被舟输送机构输送过来时，借助横向弹簧的弹力可以把石墨舟横向夹紧并实现横向的定位，此时弹性定位机构的气缸的推动杆向回收缩，带动第一定位横杆压缩纵向弹簧，保证定位平台中部具有足够的空间，当石墨舟被横向夹紧后(舟输送机构对石墨舟提供向左的驱动力，该驱动力与左侧的限位机构共同作用实现对石墨舟的夹紧)，基准定位机构的气缸(第二驱动装置)动作提供前后向定位基准，此时弹性定位机构的气缸(第一驱动装置)释放其推动杆，弹簧处于自由弹开伸长状态，第一定位横杆在纵向弹簧的弹力作用下，与第二定位横杆共同作用夹紧石墨舟。在此过程中石墨舟可能会发生前后向的偏移，石墨舟的左侧与限位机构的左侧定位横杆接触可能会被摩擦损伤，为了进一步解决此问题，本实施例中在左侧定位横杆43与石墨舟相接触的一面设有用于减小石墨舟在左侧定位横杆上前后向摩擦的滚轮433。石墨舟左侧与该滚轮表面接触，在石墨舟发生前后向偏移时，会带动该滚轮433转动，避免石墨舟左侧发生表面平动摩擦，防止石墨舟左侧受到不必要的损伤。当然，在其他实施例中也可以用滚球替代滚轮，具有更佳的防擦伤效果。

本实施例中的石墨舟定位装置可以不采用传感器而且结构易于实现，能够实现柔性定位的效果，防止石墨舟在定位过程中产生的损伤。

以上对本实用新型实施例所提供的石墨舟定位装置进行了详细介绍，本文中应用了具体个例对本实用新型的原理及实施方式进行了阐述，以上实施例的说明只是用于帮助理解本实用新型的核心思想；同时，对于本领域的一般技术人员，依据本实用新型的思想，在具体实施方式及应用范围上均会有改变之处，综上所述，本说明书内容不应理解为对本实用新型的限制。

Claims (9)

1.石墨舟定位装置，包括一定位平台，其特征在于，定位平台的后侧设有基准定位机构，定位平台的前侧设有弹性定位机构，定位平台的左侧设有用于限制石墨舟继续向左运动的限位机构，基准定位机构和弹性定位机构在定位平台的右侧共同形成一用于运输石墨舟进入定位平台的入口，弹性定位机构包括用于抵住石墨舟前侧的第一定位横杆、第一支撑基座及固定在第一支撑基座上的沿定位平台前后方向设置的第一驱动装置、纵向弹簧、第一轨道，第一定位横杆由第一驱动装置驱动沿第一轨道前后滑动，纵向弹簧连接在第一支撑基座与第一定位横杆之间且对第一定位横杆施加后向的弹性力，基准定位机构设有用于抵住石墨舟后侧且可沿定位平台前后向调节位置的第二定位横杆。

2.如权利要求1所述的石墨舟定位装置，其特征在于，第一定位横杆上固定有前后向设置的第一调节杆，第一调节杆上设有可在前后向上调节位置的第一挡块，纵向弹簧套设在该第一调节杆上，且纵向弹簧一端顶住第一定位横杆远离石墨舟的一侧，纵向弹簧的另一端顶住该第一挡块。

3.如权利要求1所述的石墨舟定位装置，其特征在于，所述限位机构包括左侧定位基座、横向弹簧、横向轨道及用于抵住石墨舟左侧的左侧定位横杆，左侧定位横杆通过横向轨道安装在左侧定位基座上，横向弹簧安装在左侧定位基座上且对左侧定位横杆施加向右的弹性力。

4.如权利要求3所述的石墨舟定位装置，其特征在于，所述左侧定位横杆的左侧设有一导向杆，左侧定位基座的上部设有一导向孔，导向杆穿过该导向孔形成所述横向轨道，横向弹簧套设在该导向杆上并共同穿过该导向孔，导向杆的末端设有可调挡块，横向弹簧的一端顶住左侧定位横杆的左侧，横向弹簧的另一端顶住该可调挡块。

5.如权利要求4所述的石墨舟定位装置，其特征在于，在左侧定位横杆与石墨舟相接触的一面设有用于减小石墨舟在左侧定位横杆上前后向摩擦的滚轮或滚球。

6.如权利要求4或5所述的石墨舟定位装置，其特征在于，在左侧定位横杆的左侧和左侧定位基座的右侧分别相对应地设有辅助导向孔和辅助导向柱。

7.如权利要求1至5中任意一项所述的石墨舟定位装置，其特征在于，基准定位机构还包括第二支撑基座及固定在第二支撑基座上的沿定位平台前后方向设置的第二驱动装置、第二轨道，第二定位横杆由第二驱动装置驱动沿第二轨道前后滑动。

8.如权利要求7所述的石墨舟定位装置，其特征在于，第二支撑基座上设有一安装孔，第二定位横杆上固定有一前后向设置的第二调节杆，该第二调节杆穿设在安装孔内并带动第二定位横杆在前后向上联动，第二调节杆尾端设有用于限制第二调节杆前后向运动距离且可在前后向调节位置的第二挡块。

9.如权利要求1所述的石墨舟定位装置，其特征在于，在定位平台的入口位置设置有用于将石墨舟输送至定位平台上的舟输送机构。