JP2015088931A - 発振回路、発振器、発振器の製造方法、電子機器及び移動体 - Google Patents

発振回路、発振器、発振器の製造方法、電子機器及び移動体 Download PDF

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洋佑 板坂
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Abstract

【課題】振動子の検査の信頼性を高めることができる、発振回路、発振器、発振器の製造方法、電子機器及び移動体を提供すること。
【解決手段】発振回路1は、振動子100と接続される第1端子11及び第2端子12を有する発振部10と、第3端子13と、電源電位VDDが供給される第4端子14と、第1端子11と第3端子13との電気的な接続を切り替える第1切替部21と、第2端子12と第4端子14との電気的な接続を切り替える第2切替部22と、を含んで構成されている。
【選択図】図1

Description

本発明は、発振回路、発振器、発振器の製造方法、電子機器及び移動体に関する。
水晶振動子(圧電振動子)やMEMS(Micro Electro Mechanical Systems)振動子などの振動子は、大きな電流又は電圧、又は電力のAC信号を印加して振動子を駆動させて、振動子の周波数特性等を検査するオーバードライブ検査や、大きな電流又は電圧又は電力のAC信号を段階的に増減させた信号を印加して振動子を駆動させて、振動子の周波数特性等の変動を検査するドライブレベル検査などを行なって、振動子の特性が検査される。
一方、発振器の小型化のために、水晶振動子と発振回路とを同一の収容容器内に収容する発振器が開発されている。このため、水晶振動子と発振回路とを同一の収容容器内に搭載した後に振動子の特性を検査するために、様々な工夫がなされている。
特許文献1には、水晶振動子の特性を検査するときに利用される検査専用の検査用端子及び電力入力端子に特定の直流電圧を印加することで制御されるアナログスイッチを有し、水晶振動子の検査時にはアナログスイッチを介して水晶振動子を検査用端子に導通接続し、発振器の通常動作時には水晶振動子から検査用端子を切り離すように構成した水晶発振器が開示されている。
また、特許文献2には、発振器の機能端子を水晶振動子の検査用端子として兼用する水晶発振器が開示されている。
特許文献2では、水晶振動子の検査用端子を水晶発振器の出力端子及びスタンバイ端子とで兼用することで、特許文献1のように専用の検査用端子を有する構成と比較して発振器の小型化が可能になる。
特許文献2において、水晶振動子の検査用端子と兼用される端子として出力端子及びスタンバイ端子が選択された理由としては、水晶振動子の特性を検査する際には、切換回路は電源電圧によって制御されることが考えられる。
切換回路の動作を安定させるために電源端子及びアース端子(接地端子)には安定度の高い電位を印加する必要がある。仮にこれら端子を水晶検査端子として兼用してしまうと、電源電圧は、直流電圧に水晶振動子の信号が重畳することになるので不安定になってしまう。したがって、水晶振動子とは2つの端子としては出力端子及びスタンバイ端子に限定されている。
特開2001−102870号公報 特開2009−201097号公報
特許文献1及び特許文献2のいずれにおいても、振動子の検査時においては、振動子と接続される2つの水晶検査用端子に加え、アナログスイッチ、切換回路を制御するために電源端子及び接地端子が必要になるので、これら4つの端子と電気的に接続される電極と
プローブ等との接続を管理しなければならない。そして、管理すべき接続箇所が多い程、接続不良による検査の不具合が発生する可能性が高まり、振動子の検査の信頼性が低下してしまう場合があった。
本発明は、以上のような技術的課題に鑑みてなされたものである。本発明のいくつかの態様によれば、振動子の検査の信頼性を高めることができる、発振回路、発振器、発振器の製造方法、電子機器及び移動体を提供することができる。
[適用例1]
本適用例に係る発振回路は、振動子と接続される第1端子及び第2端子を有する発振部と、第3端子と、電源電位が供給される第4端子と、前記第1端子と前記第3端子との電気的な接続を切り替える第1切替部と、前記第2端子と前記第4端子との電気的な接続を切り替える第2切替部と、を含む、発振回路である。
本適用例によれば、例えば、第3端子と第4端子との間に、振動子を検査するための電圧信号を供給することによって、例えば、オーバードライブ検査やドライブレベル検査などの振動子の特性の検査を行うことができる。発振回路の通常動作時と振動子の検査時において、第4端子を電源電位が供給される端子及び振動子を検査するための電圧信号が供給される端子として共用できるので、検査専用の検査用端子を設ける場合に比べて、検査に用いる端子数を減らすことができる。したがって、例えば、検査用信号を入力するためのプローブと発振回路側の端子との電気的な接続不良による検査の不具合が発生する可能性を低減できるので、振動子の検査の信頼性を高めた発振回路を実現できる。また、発振部を介さずに、第3端子と第4端子とを介して振動子に振動子の特性を検査するための電圧信号を供給できるので、発振部を介して振動子に電圧信号を供給する場合に比べて、電圧信号の大きさに関する制限が少なくなる。また、検査専用の端子を通常動作時の端子と共用しているため、端子数を減らすことができ、発振回路を小型化することもできる。
[適用例2]
上述の発振回路において、前記第3端子は、接地電位が供給される端子であることが好ましい。
接地電位が供給される第3端子に接続される配線は太く設計されることが一般的であり、第3端子と第1端子との間には、第1切替部以外の素子を配置しないことが一般的である。したがって、第3端子と第1端子との間には、第1切替部以外の抵抗成分が少なくなる。同様に、電源電位が供給される第4端子に接続される配線は太く設計されることが一般的であり、第4端子と第2端子との間には、第2切替部以外の素子を配置しないことが一般的である。したがって、第4端子と第2端子との間には、第2切替部以外の抵抗成分が少なくなる。これによって、本適用例によれば、オーバードライブ検査やドライブレベル検査などの振動子の特性の検査を行う場合に、第3端子と第4端子との間に供給される電圧信号の振幅を小さくすることができる。
[適用例3]
上述の発振回路において、前記第1切替部は、静電気に対して前記発振部を保護する機能を持つ回路であることが好ましい。
本適用例によれば、第1切替部を静電気に対して発振部を保護する機能を持つ回路と共用できるので、第1切替部として専用のスイッチと、静電気保護用の回路とを個別に設ける場合に比べて、回路規模を小さくできる。したがって、小型化可能な発振回路を実現できる。
[適用例4]
上述の発振回路において、前記第2切替部は、静電気に対して前記発振部を保護する機能を持つ回路であることが好ましい。
本適用例によれば、第2切替部を静電気に対して発振部を保護する機能を持つ回路と共用できるので、第2切替部として専用のスイッチと、静電気保護用の回路とを個別に設ける場合に比べて、回路規模を小さくできる。したがって、小型化可能な発振回路を実現できる。
[適用例5]
上述の発振回路において、前記第1端子は、前記発振部の入力端子側に電気的に接続されていることが好ましい。
本適用例によれば、例えば、第1端子を介して発振部の入力端子側に接地電位などの固定電位を供給できるので、振動子の検査時においては、発振部の動作を止めることが容易となる。したがって、例えば、振動子の検査時に発振部から発生する信号が振動子に印加されることが低減するため、振動子の検査の信頼性を高めた発振回路を実現できる。また、振動子の検査信号が印加されても、発振部を劣化させるおそれが少ない発振回路を実現することもできる。
[適用例6]
上述の発振回路において、前記第1切替部は、トランジスターを含むことが好ましい。
本適用例によれば、例えば、トランジスターをスイッチ回路として用いることで第1端子と接地電位が供給される第3端子との電気的な接続を容易に制御できる。また、第3端子、及び、第2端子と電気的に接続された電源電位が供給される第4端子の2端子を用いて振動子の検査を行うことができる。したがって、第1端子と第3端子との電気的な接続不良による検査の不具合が発生する可能性を低減できるとともに、少ない端子数で振動子を検査することができるので、振動子の検査の信頼性を高めた発振回路を実現できる。
[適用例7]
上述の発振回路において、前記第2切替部は、トランジスターを含むことが好ましい。
本適用例によれば、例えば、トランジスターをスイッチ回路として用いることで第2端子と電源電位が供給される第4端子との電気的な接続を容易に制御できる。また、第1端子と電気的に接続された接地電位が供給される第3端子、及び、第4端子の2端子を用いて振動子の検査を行うことができる。したがって、第2端子と第4端子との電気的な接続不良による検査の不具合が発生する可能性を低減できるとともに、少ない端子数で振動子を検査することができるので、振動子の検査の信頼性を高めた発振回路を実現できる。
[適用例8]
上述の発振回路において、前記第1切替部及び前記第2切替部を制御する制御部をさらに含み、前記第1切替部及び前記第2切替部は、前記第1端子と前記第3端子とが電気的に接続されるように前記第1切替部が制御されるとともに、前記第2端子と前記第4端子とが電気的に接続されるように前記第2切替部が制御される第1モードと、前記第1端子と前記第3端子とが電気的に接続されないように前記第1切替部が制御されるとともに、前記第2端子と前記第4端子とが電気的に接続されないように前記第2切替部が制御される第2モードと、を有し、前記制御部は、供給される電源電位が基準値以上である期間に入力されるクロック信号に基づいて、前記第2モードから前記第1モードへと切り替える
ことが好ましい。
本適用例によれば、制御部は、電源電位の大きさ及びクロック信号の2つの信号に基づいてモードの切り替えを行うため、電源電位が変動したのみではモードを切り替えることがないので、意図せずモードが切り替わる誤動作の可能性を低減できる。
[適用例9]
本適用例に係る発振回路は、振動子を周波数源とし、前記振動子との間で帰還用の導電路を有する発振手段と、前記発振手段から前記振動子へ信号が入力される経路と電源用導電路との間のインピーダンスを制御するインピーダンス制御手段と、を含む、発振回路である。
本適用例によれば、電源用導電路に振動子の特性を検査するための電圧信号を供給するとともに、インピーダンス制御手段により発振手段から振動子へ信号が向かう経路と電源用導電路との間のインピーダンスを小さくするように制御することによって、例えば、オーバードライブ検査やドライブレベル検査などの振動子の特性の検査を行うことができる。発振回路の通常動作時と振動子の検査時において、電源用導電路を振動子の特性を検査するための電圧信号を供給するための導電路と共用できるので、検査専用の検査用端子を設ける場合に比べて、検査に用いる端子数を減らすことができる。したがって、例えば、検査用信号を入力するためのプローブと発振回路側の端子との電気的な接続不良による検査の不具合が発生する可能性を低減できるので、振動子の検査の信頼性を高めた発振回路を実現できる。また、発振手段を介さずに、電源用導電路とインピーダンス制御手段とを介して振動子に振動子の特性を検査するための電圧信号を供給できるので、発振手段を介して振動子に電圧信号を供給する場合に比べて、電圧信号の大きさに関する制限が少なくなる。また、振動子の検査信号が印加されても、発振部を劣化させるおそれが少ない発振回路を実現することもできる。
[適用例10]
本適用例に係る発振器は、上述のいずれかの発振回路と、振動子と、を含む、発振器である。
[適用例11]
上述の発振器において、前記発振回路と前記振動子とを収容するパッケージをさらに含むことが好ましい。
これらの適用例に係る発振器によれば、振動子の検査の信頼性を高めた発振回路を含んでいるので、振動子の検査の信頼性を高めた発振器を実現できる。
[適用例12]
本適用例に係る発振器の製造方法は、振動子と接続される第1端子及び第2端子を有する発振部と、第3端子と、電源電位が供給される第4端子と、前記第1端子と前記第3端子との電気的な接続を切り替える第1切替部と、前記第2端子と前記第4端子との電気的な接続を切り替える第2切替部と、を含む発振回路と、振動子とを備え、前記発振回路と前記振動子とが電気的に接続され、前記第1切替部を前記第1端子と前記第3端子とが電気的に接続されるように切り替えるとともに、前記第2切替部を前記第2端子と前記第4端子とが電気的に接続されるように切り替えた構成を準備する準備工程と、前記第3端子及び前記第4端子に信号を印加する信号印加工程と、前記第1端子と前記第3端子とが電気的に接続されないように前記第1切替部を切り替えるとともに、前記第2端子と前記第4端子とが電気的に接続されないように前記第2切替部を切り替える切替工程と、を含む、発振器の製造方法である。
本適用例によれば、信号印加工程において第3端子と第4端子との間に振動子を検査するための電圧信号を供給することによって、例えば、オーバードライブ検査やドライブレベル検査などの振動子の特性の検査を行うことができる。発振回路の通常動作時と振動子の検査時において、第4端子を電源電位が供給される端子及び振動子を検査するための電圧信号が供給される端子として共用できるので、検査専用の検査用端子を設ける場合に比べて、検査に用いる端子数を減らすことができる。したがって、例えば、検査用信号を入力するためのプローブと発振回路側の端子との電気的な接続不良による検査の不具合が発生する可能性を低減できるので、振動子の検査の信頼性を高めた発振器の製造方法を実現できる。
[適用例13]
上述の発振器の製造方法において、前記信号印加工程で前記第3端子及び前記第4端子に印加する信号は、オーバードライブ検査用の信号、及び、ドライブレベル検査用の信号のうちの少なくとも1つであることが好ましい。
本適用例によれば、振動子の検査として、オーバードライブ検査及びドライブレベル検査のうちの少なくとも1つを行うため、振動子の検査で良品となった発振器を良品として判別することができる。したがって、信頼性の高い発振器を製造することができる。
[適用例14]
本適用例に係る電子機器は、上述のいずれかの発振回路、又は、上述のいずれかの発振器を含む、電子機器である。
[適用例15]
本適用例に係る移動体は、上述のいずれかの発振回路、又は、上述のいずれかの発振器を含む、移動体である。
これらの適用例に係る電子機器及び移動体によれば、振動子の検査の信頼性を高めた発振回路又は発振器を含んでいるので、信頼性の高い電子機器及び移動体を実現できる。
第1実施形態に係る発振回路1の回路図である。 発振部10の構成の一例を示す回路図である。 発振部10の変形例である発振部10aの構成の一例を示す回路図である。 制御部30のモード切り替え動作を説明するためのタイミングチャートである。 第2実施形態に係る発振回路1aの回路図である。 本実施形態に係る発振器1000の断面図である。 本実施形態の変形例に係る発振器1000aの断面図である。 本実施形態に係る発振器1000の製造方法を示すフローチャートである。 信号印加工程の概要を示すブロック図である。 本実施形態に係る電子機器300の機能ブロック図である。 電子機器300の一例であるスマートフォンの外観の一例を示す図である。 本実施形態に係る移動体400の一例を示す図(上面図)である。
以下、本発明の好適な実施例について図面を用いて詳細に説明する。用いる図面は説明の便宜上のものである。なお、以下に説明する実施例は、特許請求の範囲に記載された本
発明の内容を不当に限定するものではない。また以下で説明される構成の全てが本発明の必須構成要件であるとは限らない。
1.第1実施形態に係る発振回路
図1は、第1実施形態に係る発振回路1の回路図である。発振回路1の一部又は全部は、半導体装置で構成されていてもよい。また、本発明の一例として第1実施形態に係る発振回路1は振動子100が含まれない構成であるが、発振回路1に振動子100が含まれる構成であっても構わない。
本実施形態に係る発振回路1は、振動子100を周波数源とし、振動子100との間で帰還用の導電路を有する発振手段と、発振手段から振動子100へ信号が入力される経路と電源用導電路との間のインピーダンスを制御するインピーダンス制御手段と、を含む。
より具体的には、発振回路1は、振動子100からの信号が供給される第1端子11及び振動子100へ供給される信号が出力される第2端子12を有する発振部10と、第3端子13と、電源電位VDDが供給される第4端子14と、第1端子11と第3端子13との電気的な接続状態を制御する第1切替部21と、第2端子12と第4端子14との電気的な接続状態を制御する第2切替部22と、を含んで構成されている。上述の発振手段の機能は、主として発振部10によって実現されている。上述の信号印加手段の機能は、主として第2端子12及び第4端子14によって実現されている。上述のインピーダンス制御手段は、主として第2切替部22によって実現されている。また、図1に示される例では、発振回路1は、第1切替部21及び第2切替部22を制御する制御部30と、周波数制御用の制御信号が入力される第5端子15と、発振信号を出力する第6端子16とを含んで構成されている。
発振部10は、振動子100と電気的に接続されて発振動作を行う。発振部10としては、例えば、ピアース発振回路、インバーター型発振回路、コルピッツ発振回路、ハートレー発振回路など、種々の公知の発振回路を採用できる。本実施形態においては、発振部10は、ピアース発振回路である。また、本実施形態においては、発振部10と関連して、バイアス生成回路41、周波数制御部42及び出力バッファー43を含んで構成されている。
図2は、発振部10の構成の一例を示す回路図である。図2に示される例では、発振部10は、トランジスターM11、キャパシターC11〜C15、抵抗R11〜R12及び電流源CS11を含んで構成されている。キャパシターC11及びキャパシターC12は、DCカット容量である。キャパシターC13及びキャパシターC14は、周波数制御用の可変容量である。キャパシターC11及びキャパシターC12を設けることによって、周波数制御用の可変容量であるキャパシターC13及びキャパシターC14にかかるバイアス電圧をトランジスターM11などから分離して制御することができる。また、オーバードライブ検査やドライブレベル検査などの振動子100の特性を検査する場合に、トランジスターM11に貫通電流が流れるリスクを低減できる。
第1端子11とトランジスターM11のベースとは、キャパシターC11を介して接続されている。第2端子12とトランジスターM11のコレクターとは、キャパシターC12を介して接続されている。トランジスターM11のベースとコレクターとは、抵抗R11を介して接続されている。トランジスターM11のコレクターと電源電位VDDとは、電流源CS11を介して接続されている。トランジスターM11のコレクターは、出力バッファー43の入力端子と接続されている。トランジスターM11のエミッターは接地電位VSSと接続されている。キャパシターC13とキャパシターC15とは、直列に接続され、キャパシターC13の一端(一方の端子)は第1端子11と接続され、キャパシタ
ーC15の一端(一方の端子)は、接地電位VSSに接続されている。キャパシターC14の一端は、第2端子12に接続されている。キャパシターC14の他端(他方の端子)は、キャパシターC13とキャパシターC15の共通接続点と接続されているとともに、抵抗R12を介して周波数制御部42の出力端子と接続されている。キャパシターC13の一端とキャパシターC14の一端には、バイアス生成回路41が出力するバイアス電圧が供給される。
図3は、発振部10の変形例である発振部10aの構成の一例を示す回路図である。発振部10aは、発振部10のDCカット容量であるキャパシターC11及びキャパシターC12を取り除いた構成である。これに伴い、バイアス生成回路41からバイアス電圧の供給を受ける構成も取り除かれている。他の構成は発振部10と同様である。
なお、図2に示される発振部10、及び、図3に示される発振部10aにおいては、入力端子側が第1端子11、出力端子側が第2端子12となっているが、入力端子側が第2端子12、出力端子側が第1端子11とすることも可能である。
図1に戻り、バイアス生成回路41は、第4端子14から供給される電力に基づいて、バイアス電圧を生成して発振部10に供給する。本実施形態においては、発振部10のキャパシターC13とキャパシターC14にバイアス電圧を供給する。
周波数制御部42は、第5端子15に入力される制御信号に基づいて、発振部10に含まれる可変容量(図2におけるキャパシターC13及びキャパシターC14)を制御する。すなわち、図1に示される例では、第5端子15は、周波数制御用の端子としても機能する。これによって、発振部10における発振周波数を制御することができる。周波数制御部42は、例えば、第4端子14に入力される制御信号を増幅して発振部10に出力する増幅回路を含んで構成されていてもよい。
出力バッファー43は、増幅回路で構成されている。出力バッファー43は、発振部10が出力する発振信号が入力されて、第6端子16に信号を出力する。
第1切替部21は、発振部10の第1端子11と第3端子13との電気的な接続状態を制御する。図1に示される例では、第1切替部21は、制御部30が出力する制御信号に基づいて、第1端子11から配線(図1では接地用の配線)を介して第3端子13へ供給されようとする交流信号の大きさを制御するように第1端子11と第3端子13との間の電気的な接続状態(インピーダンスの大きさ)を制御する。第1切替部21は、例えば、第1端子11と第3端子13との間のインピーダンスの大きさを制御するものとして第1端子11と第3端子13との間に接続されたスイッチを含んで構成されていてもよい。図1に示される例では、NMOSトランジスターN1がスイッチとして機能する。なお、図1に示される例では、第1切替部21と接続される第3端子13は、接地電位VSSが供給される端子であるが、第3端子13として、他の機能端子(周波数制御用の端子や発振信号の出力端子など)や専用の端子を用いることも可能である。
第2切替部22は、発振部10の第2端子12と第4端子14との電気的な接続状態を制御する。図1に示される例では、第2切替部22は、制御部30が出力する制御信号に基づいて、第2端子12から配線(図1では電源用導電路)を介して第4端子14へ出力されようとする交流信号の大きさを制御するように第2端子12と第4端子14との間の電気的な接続状態(インピーダンスの大きさ)を制御する。第2切替部22は、例えば、第2端子12と第4端子14との間のインピーダンスの大きさを制御するものとして第2端子12と第4端子14との間に接続されたスイッチを含んで構成されていてもよい。図1に示される例では、PMOSトランジスターP1がスイッチとして機能する。
本実施形態に係る発振回路1によれば、電源用導電路に振動子100の特性を検査するための電圧信号を供給するとともに、インピーダンス制御手段により発振手段から振動子100へ信号が向かう経路と電源用導電路との間のインピーダンスを小さくするように制御することによって、例えば、オーバードライブ検査(AC信号を振動子100に印加して振動子100を強励振させる試験)やドライブレベル検査(AC信号のドライブレベルを通常使用域で変化させた場合の周波数安定性検査)や振動子100の周波数調整(振動子100の共振周波数を測定して、所望の共振周波数となるように振動子100の調整を行う)などの振動子100の特性の検査を行うことができる。発振回路1の通常動作時と振動子100の検査時において、電源用導電路を振動子100の特性を検査するための電圧信号を供給するための導電路と共用できるので、検査専用の検査用端子を設ける場合に比べて、検査に用いる端子数を減らすことができる。したがって、例えば、検査用信号を入力するためのプローブと発振回路1側の端子との電気的な接続不良による検査の不具合が発生する可能性を低減できるので、振動子100の検査の信頼性を高めた発振回路1を実現できる。また、発振手段を介さずに、電源用導電路とインピーダンス制御手段とを介して振動子100に振動子100の特性を検査するための電圧信号を供給できるので、発振手段を介して振動子100に電圧信号を供給する場合に比べて、電圧信号の大きさに関する制限が少なくなる。また、振動子100の検査信号が印加されても、発振部10を劣化させるおそれが少ない発振回路1を実現することもできる。
より具体的には、本実施形態に係る発振回路1によれば、例えば、第3端子13と第4端子14との間に、振動子100を検査するための電圧信号を供給することによって、例えば、オーバードライブ検査やドライブレベル検査などの振動子100の特性の検査を行うことができる。発振回路1の通常動作時と振動子100の検査時において、第4端子14を電源電位VDDが供給される端子及び振動子100を検査するための電圧信号が供給される端子として共用できるので、検査専用の検査用端子を設ける場合に比べて、検査に用いる端子数を減らすことができる。したがって、例えば、検査用信号を入力するためのプローブと発振回路1側の端子との電気的な接続不良による検査の不具合が発生する可能性を低減できるので、振動子100の検査の信頼性を高めた発振回路1を実現できる。また、発振部10を介さずに、第3端子13と第4端子14とを介して振動子100に振動子100の特性を検査するための電圧信号を供給できるので、発振部10を介して振動子100に電圧信号を供給する場合に比べて、電圧信号の大きさに関する制限が少なくなる。また、検査専用の端子を通常動作時の端子と共用しているため、端子数を減らすことができ、発振回路1を小型化することもできる。
図1に示されるように、第3端子13は、接地電位VSSが供給される端子であることが好ましい。
接地電位VSSが供給される第3端子13に接続される配線は太く設計されることが一般的であり、第3端子13と第1端子11との間には、第1切替部21以外の素子を配置しないことが一般的である。したがって、第3端子13と第1端子11との間には、第1切替部21以外の抵抗成分が少なくなる。同様に、電源電位VDDが供給される第4端子14に接続される配線は太く設計されることが一般的であり、第4端子14と第2端子12との間には、第2切替部22以外の素子を配置しないことが一般的である。したがって、第4端子14と第2端子12との間には、第2切替部22以外の抵抗成分が少なくなる。これによって、本実施形態によれば、オーバードライブ検査やドライブレベル検査などの振動子100の特性の検査を行う場合に、第3端子13と第4端子14との間に供給される電圧信号の振幅を小さくすることができる。
図1に示されるように、第1切替部21は、静電気に対して発振部10を保護する機能
を持つ回路(静電放電保護回路)であってもよい。図1に示される例では、第1切替部21は、NMOSトランジスターN1と抵抗R1とを含んで構成されており、発振部10や振動子100の第1端子11側に対する静電放電保護回路として機能する。
NMOSトランジスターN1のドレインは第1端子11と接続され、ソースは接地電位VSSと接続されている。抵抗R1の一端(一方の端子)はNMOSトランジスターN1のゲートに接続され、他端(他方の端子)は接地電位VSSに接続されている。NMOSトランジスターN1のゲートには、制御部30からの制御信号が入力され、入力された制御信号に基づいて、NMOSトランジスターN1はON状態とOFF状態とを切り替える。
本実施形態に係る発振回路1によれば、第1切替部21を静電気に対して発振部10を保護する機能を持つ回路と共用できるので、第1切替部21として専用のスイッチと、静電気保護用の回路とを個別に設ける場合に比べて、回路規模を小さくできる。したがって、小型化可能な発振回路1を実現できる。
図1に示されるように、第2切替部22は、静電気に対して発振部10を保護する機能を持つ回路(静電放電保護回路)であってもよい。図1に示される例では、第2切替部22は、PMOSトランジスターP2と抵抗R2とを含んで構成されており、発振部10や振動子100の第2端子12側に対する静電放電保護回路として機能する。
PMOSトランジスターP2のドレインは第2端子12と接続され、ソースは電源電位VDDと接続されている。抵抗R2の一端(一方の端子)はPMOSトランジスターP2のゲートに接続され、他端(他方の端子)は電源電位VDDに接続されている。PMOSトランジスターP2のゲートには、制御部30からの制御信号が入力され、入力された制御信号に基づいて、PMOSトランジスターP2はON状態とOFF状態とを切り替える。
本実施形態に係る発振回路1によれば、第2切替部22を静電気に対して発振部10を保護する機能を持つ回路と共用できるので、第2切替部22として専用のスイッチと、静電気保護用の回路とを個別に設ける場合に比べて、回路規模を小さくできる。したがって、小型化可能な発振回路1を実現できる。
図1及び図2に示されるように、第1端子11は、発振部10の入力端子側に電気的に接続されていてもよい。また、図1及び図2に示されるように、第2端子12は、発振部10の出力端子側に電気的に接続されていてもよい。
本実施形態に係る発振回路1によれば、例えば、第1端子11を介して発振部10の入力端子側に接地電位VSSなどの固定電位を供給できるので、振動子100の検査時においては、発振部10の動作を止めることが容易となる。したがって、例えば、振動子100の検査時に発振部10から発生する信号が振動子100に印加されることが低減するため、振動子100の検査の信頼性を高めた発振回路1を実現できる。また、振動子100の検査信号が印加されても、発振部10を劣化させるおそれが少ない発振回路1を実現することもできる。
図1に示されるように、第1切替部21は、トランジスターを含んで構成されていてもよい。図1に示される例では、第1切替部21は、NMOSトランジスターN1を含んで構成されている。
本実施形態に係る発振回路1によれば、例えば、NMOSトランジスターN1をスイッ
チ回路として用いることで第1端子11と接地電位VSSが供給される第3端子13との電気的な接続を容易に制御できる。また、第3端子13、及び、第2端子12と電気的に接続された電源電位VDDが供給される第4端子14の2端子を用いて振動子100の検査を行うことができる。したがって、第1端子11と第3端子13との電気的な接続不良による検査の不具合が発生する可能性を低減できるとともに、少ない端子数で振動子100を検査することができるので、振動子100の検査の信頼性を高めた発振回路1を実現できる。
図1に示されるように、第2切替部22は、トランジスターを含んで構成されていてもよい。図1に示される例では、第2切替部22は、PMOSトランジスターP1を含んで構成されている。
本実施形態に係る発振回路1によれば、例えば、PMOSトランジスターP1をスイッチ回路として用いることで第2端子12と電源電位VDDが供給される第4端子14との電気的な接続を容易に制御できる。また、第1端子11と電気的に接続された接地電位VSSが供給される第3端子13、及び、第4端子14の2端子を用いて振動子100の検査を行うことができる。したがって、第2端子12と第4端子14との電気的な接続不良による検査の不具合が発生する可能性を低減できるとともに、少ない端子数で振動子100を検査することができるので、振動子100の検査の信頼性を高めた発振回路1を実現できる。
図1に示されるように、発振回路1は、第1切替部21及び第2切替部22を制御する制御部30をさらに含み、第1切替部21及び第2切替部22は、第1端子11と第3端子13とが電気的に接続されるように第1切替部21が制御されるとともに、第2端子12と第4端子14とが電気的に接続されるように第2切替部22が制御される第1モードと、第1端子11と第3端子13とが電気的に接続されないように第1切替部21が制御されるとともに、第2端子12と第4端子14とが電気的に接続されないように第2切替部22が制御される第2モードと、を有し、供給される電源電位VDDが基準値Vt以上である期間に入力されるクロック信号SCLKに基づいて、第2モードから第1モードへと切り替えてもよい。
図1に示される例では、制御部30は、シリアルインターフェース31、レジスター32、メモリー33、PMOSトランジスターP1及びNMOSトランジスターN2を含んで構成されている。
シリアルインターフェース31は、電源電位VDDの供給を受け、クロック信号SCLKが入力され、入力されたクロック信号SCLKに基づいて、レジスター32及びメモリー33を制御する。本実施形態においては、クロック信号SCLKは、第5端子15から入力される。また、本実施形態においては、シリアルインターフェース31は、レジスター32にデータを書き込むレジスター書き込みモードと、レジスター32及びメモリー33にデータを書き込むメモリー書き込みモードとを有している。また、シリアルインターフェース31は、レジスター32及びメモリー33の少なくとも一方のデータを読み出して第5端子15に出力するメモリー読み出しモードを有していてもよい。
レジスター32は、第1切替部21、第2切替部22、周波数制御部42及び発振部10を制御するためのデータを格納し、格納されたデータに基づいて第1切替部21、第2切替部22、周波数制御部42及び発振部10を制御する。発振回路1の通電時には、レジスター32は、メモリー33に記憶されたデータを読み込んで格納し、シリアルインターフェース31によって新たなデータが書き込まれた場合には、シリアルインターフェース31によって書き込まれた新たなデータを格納する。
メモリー33は、発振回路1の通電時にレジスター32に格納されるデータを記憶する。メモリー33は、例えば、EEPROM(Electrically Erasable Programmable Read-Only Memory)やフラッシュメモリー、電気的には書き換え不能だが紫外線を照射することによって消去可能なFAMOS(Floating gate Avalanche injection Metal Oxide Semiconductor)メモリーなどの書き換え可能な不揮発性メモリーや、マスクROM(Read-Only Memory)などの書き換え不能な不揮発性メモリーなど、種々の公知の不揮発性メモリーで構成されていてもよい。なお、FAMOSメモリーはアバランシェ注入により電荷をフローティング・ゲートに蓄積する方式で、この種のメモリーはワンタイム・プログラマブル(OTP:One Time Programmable)メモリーとして使用されている不揮発性メモリーである。
PMOSトランジスターP1は、ドレインが電源電位VDDに接続され、ソースが第1切替部21のNMOSトランジスターN1のゲートに接続され、ゲートにはレジスター32からの制御信号が入力される。PMOSトランジスターP1は、第1切替部21のNMOSトランジスターN1のゲートに制御信号を出力する。
NMOSトランジスターN2は、ドレインが接地電位VSSに接続され、ソースが第2切替部22のPMOSトランジスターP2のゲートに接続され、ゲートにはレジスター32からの制御信号が入力される。NMOSトランジスターN2は、第2切替部22のPMOSトランジスターP2のゲートに制御信号を出力する。
第1モードにおいて、制御部30は、第1端子11と第3端子13との間の電気的な接続状態がON状態となるように第1切替部21を制御する。また、第1モードにおいて、制御部30は、第2端子12と第4端子14との間の電気的な接続状態がON状態となるように第2切替部22を制御する。また、第1モードにおいて、制御部30は、周波数制御部42の動作を停止させるように周波数制御部42を制御する。
第2モードにおいて、制御部30は、第1端子11と第3端子13との間の電気的な接続状態がOFF状態となるように第1切替部21を制御する。また、第2モードにおいて、制御部30は、第2端子12と第4端子14との間の電気的な接続状態がOFF状態となるように第2切替部22を制御する。また、第2モードにおいて、制御部30は、周波数制御部42の動作を通常動作させるように周波数制御部42を制御する。
図4は、制御部30のモード切り替え動作を説明するためのタイミングチャートである。図4の横軸は時間、縦軸は電圧に対応する。図4の上のタイミングチャートは、制御部30に供給される電源電位VDDを示し、図4の下のタイミングチャートは、制御部30に入力されるクロック信号SCLKを示す。
図4に示される例では、電源電位VDDは、時刻t0で0V、時刻t1で電圧VDDLとなり、時刻t2で基準値Vtとなり、その後に電圧VDDHまで上昇する。電源電位VDDが電圧VDDHである期間に入力された最初のクロック信号SCLKのパルスの立ち下がり時刻である時刻t3でモード切り替え動作が開始し、その後のクロック信号SCLKのパルスに基づいて、第1切替部21及び第2切替部22を制御して、例えば、第1モードとし、電源電位VDDが電圧VDDLに戻る時刻t4に制御部30が第1切替部21及び第2切替部22を制御して、例えば、第2モードにモードを切り替える。
本実施形態に係る発振回路1によれば、制御部30は、電源電位VDDの大きさ及びクロック信号SCLKの2つの信号に基づいてモードの切り替えを行うため、電源電位VDDが変動したのみではモードを切り替えることがないので、意図せずモードが切り替わる
誤動作の可能性を低減できる。
制御部30は、第1モードの場合には、発振部10又は発振部10aの電流源CS11の動作を停止させるように電流源CS11を制御してもよい。これによって、発振部10又は発振部10aのトランジスターM11のコレクターに供給される電流を抑制できるので、発振部10又は発振部10aが誤動作する可能性を低減できる。
2.第2実施形態に係る発振回路
図5は、第2実施形態に係る発振回路1aの回路図である。図1に示される発振回路1と同様の構成には同一の符号を付し、詳細な説明を省略する。
本実施形態に係る発振回路1aの制御部30aは、第2切替部22aの構成と、第2切替部22aを制御するためのトランジスターがPMOSトランジスターP3である構成が第1実施形態に係る発振回路1と相違し、他の構成は発振回路1と同様である。
図5に示されるように、第2切替部22aは、静電気に対して発振部10を保護する機能を持つ回路(静電放電保護回路)であってもよい。図5に示される例では、第2切替部22aは、NMOSトランジスターN3と抵抗R3とを含んで構成されており、発振部10や振動子100の第2端子12側に対する静電放電保護回路として機能する。
NMOSトランジスターN3のドレインは第4端子14と接続され、ソース及びバックゲートは第2端子12と接続されている。抵抗R1の一端(一方の端子)はNMOSトランジスターN3のゲートに接続され、他端(他方の端子)は第2端子12に接続されている。NMOSトランジスターN3のゲートには、制御部30aからの制御信号が入力され、入力された制御信号に基づいて、NMOSトランジスターN3はON状態とOFF状態とを切り替える。
PMOSトランジスターP3は、ドレインが電源電位VDDに接続され、ソースが第2切替部22のNMOSトランジスターN3のゲートに接続され、ゲートにはレジスター32からの制御信号が入力される。PMOSトランジスターP3は、第2切替部22のNMOSトランジスターN3のゲートに制御信号を出力する。
本実施形態に係る発振回路1aによれば、PMOSトランジスターP1とPMOSトランジスターP3とを同相の制御信号で制御できるので、逆相の制御信号を生成するための不図示のインバーター回路などが不要となる。したがって、回路規模を小さくできる。また、発振回路1aは、第1実施形態に係る発振回路1と同様の理由により同様の効果を奏する。
3.発振器
図6は、本実施形態に係る発振器1000の断面図である。発振器1000は、発振回路1を構成する電子部品2、及び、振動子100を含んで構成されている。また、図6に示される例では、発振器1000は、電子部品2と振動子100とを同一空間内に収容するパッケージ1100を含んで構成されている。また、図6に示される例では、発振器1000は、蓋1200、電極1300を含んで構成されている。図6に示される例では、電子部品2は、1チップの半導体装置として構成されている。また、振動子100としては、水晶振動子やSAW共振子などの圧電振動子、MEMS振動子などを採用してもよい。
パッケージ1100には、凹部が設けられており、蓋1200で凹部を覆うことによって収容室1400となる。パッケージ1100には、発振回路1と振動子100とを電気
的に接続するための配線及び端子が、凹部の表面又はパッケージ1100の内部に設けられている。また、パッケージ1100には、発振回路1の第3端子13(VSS)、第4端子14(VC)、第5端子15(VDD)及び第6端子16(OUT)とそれぞれ電気的に接続される電極1300が設けられている。
図7は、変形例に係る発振器1000aの断面図である。発振器1000aは、発振回路1を構成する電子部品2、及び、振動子100を含んで構成されている。また、図7に示される例では、発振器1000aは、電子部品2と振動子100とを異なる空間内に収容するパッケージ1100aを含んで構成されている。また、図7に示される例では、発振器1000は、蓋1200、電極1300及び封止部材1500を含んで構成されている。図7に示される例では、電子部品2は、1チップの半導体装置として構成されている。また、振動子100としては、水晶振動子やSAW共振子などの圧電振動子、MEMS振動子などを採用してもよい。
パッケージ1100aには、対向する面に2つの凹部が設けられており、蓋1200で一方の凹部を覆うことによって収容室1400a、封止部材1500で他方の凹部を覆うことによって収容室1400bとなる。図7に示す例では、収容室1400aには振動子100が収容され、収容室1400bには電子部品2が収容されている。パッケージ1100aには、発振回路1と振動子100とを電気的に接続するための配線及び端子が、凹部の表面又はパッケージ1100aの内部に設けられている。また、パッケージ1100aには、発振回路1の第3端子13(VSS)、第4端子14(VC)、第5端子15(VDD)及び第6端子16(OUT)とそれぞれ電気的に接続される電極1300が設けられている。
本実施形態に係る発振器1000及び発振器1000aによれば、振動子100の検査の信頼性を高めた発振回路1を含んでいるので、振動子100の検査の信頼性を高めた発振器1000及び発振器1000aを実現できる。発振回路1に代えて、発振回路1aを採用した場合にも、同様の理由により同様の効果を奏する。
4.発振器の製造方法
図8は、本実施形態に係る発振器1000の製造方法を示すフローチャートである。
本実施形態に係る発振器1000の製造方法は、振動子100と接続される第1端子11及び第2端子12を有する発振部10と、第3端子13と、電源電位VDDが供給される第4端子14と、第1端子11と第3端子13との電気的な接続を切り替える第1切替部21と、第2端子12と第4端子14との電気的な接続を切り替える第2切替部22と、を含む発振回路1と、振動子100とを備え、発振回路1と振動子100とが電気的に接続され、第1切替部21を第1端子11と第3端子13とが電気的に接続されるように切り替えるとともに、第2切替部22を第2端子12と第4端子14とが電気的に接続されるように切り替えた構成を準備する準備工程と、第3端子13及び第4端子14に信号を印加する信号印加工程と、第1端子11と第3端子13とが電気的に接続されないように第1切替部21を切り替えるとともに、第2端子12と第4端子14とが電気的に接続されないように第2切替部22を切り替える切替工程と、を含む。
まず、発振回路1と振動子100とが電気的に接続されているとともに、第1切替部21を第1端子11と第3端子13とが電気的に接続されるように制御し、第2切替部22を第2端子12と第4端子14とが電気的に接続されるように制御した構成を準備する(準備工程;ステップS100)。より具体的には、発振回路1の第1端子11と第2端子12との間に振動子100が電気的に接続された構成を準備する。例えば、発振回路1と振動子100とが接続された後に制御部30により発振回路1を第1モードに設定しても
よいし、予め制御部30により第1モードに設定された発振回路1と振動子100とが接続されてもよい。
ステップS100の後に、第3端子13及び第4端子14に信号を印加する(信号印加工程;ステップS102)。
図9は、信号印加工程の概要を示すブロック図である。図9に示される例ではシグナルジェネレーター3000を用いて、振動子100のオーバードライブ検査を行う。なお、シグナルジェネレーター3000に代えて、振動子100と共振できる外付けの発振回路、例えば、コルピッツ発振回路などを用いて振動子100のオーバードライブ検査を行ってもよい。また、オーバードライブ検査に代えてドライブレベル検査を行ってもよいし、オーバードライブ検査とドライブレベル検査との2つの検査を行ってもよい。
発振回路1の第4端子14(VDD)と電気的に接続される発振器1000の電極1300(VDD)は、シグナルジェネレーター3000の出力端子に接続される。発振回路1の第3端子13(VSS)と電気的に接続される発振器1000の電極1300(VSS)は、接地電位VSSに接続される。発振回路1の第5端子15(VC)と電気的に接続される発振器1000の電極1300(VC)と、発振回路1の第6端子16(OUT)と電気的に接続される発振器1000の電極1300(OUT)は、どこにも接続されていない。
シグナルジェネレーター3000が出力する電圧信号は、第1切替部21及び第2切替部22を制御できる最低電圧(例えば、トランジスターの最低動作電圧)以上であり、発振回路1を破壊しない最高電圧(例えば、トランジスターの耐圧)以下である範囲の電圧が第3端子13と第4端子14との間に印加される電圧信号である。
図9に示される構成によって、第3端子13と第4端子14との間に電圧信号を印加することができる。これによって、オーバードライブ検査やドライブレベル検査などの振動子100の特性の検査を行うことができる。
ステップS102後に、第1端子11と第3端子13とが電気的に接続しないように第1切替部21を制御するとともに、第2端子12と第4端子14とが電気的に接続しないように第2切替部22を制御する(切替工程;ステップS104)。具体的には、例えば、第1切替部21及び第2切替部22を制御部30で制御して第2モードに切り替える。これによって、発振器1000が通常動作できる状態となる。
本実施形態に係る発振器1000の製造方法によれば、信号印加工程(ステップS102)において第3端子13と第4端子14との間に振動子100を検査するための電圧信号を供給することによって、例えば、オーバードライブ検査やドライブレベル検査などの振動子100の特性の検査を行うことができる。発振回路1の通常動作時と振動子100の検査時において、第4端子14を電源電位VDDが供給される端子及び振動子100を検査するための電圧信号が供給される端子として共用できるので、検査専用の検査用端子を設ける場合に比べて、検査に用いる端子数を減らすことができる。したがって、例えば、検査用信号を入力するためのプローブと発振回路1側の端子との電気的な接続不良による検査の不具合が発生する可能性を低減できるので、振動子100の検査の信頼性を高めた発振器1000の製造方法を実現できる。
上述の発振器1000の製造方法において、信号印加工程(ステップS102)で第3端子13及び第4端子14に印加する信号は、オーバードライブ検査用の信号、及びドライブレベル検査用の信号のうちの少なくとも1つであってもよい。
振動子100の検査として、オーバードライブ検査及びドライブレベル検査のうちの少なくとも1つを行うことで、振動子100の検査で良品となった発振器1000を良品として判別することができるので、信頼性の高い発振器1000の製造することができる。
なお、発振回路1に代えて、発振回路1aを採用した場合にも、同様の理由により同様の効果を奏する。また、発振器1000aも発振器1000と同様に製造でき、同様の効果を奏する。
5.電子機器
図10は、本実施形態に係る電子機器300の機能ブロック図である。なお、上述された各実施形態と同様の構成には同一の符号を付し、詳細な説明を省略する。
本実施形態に係る電子機器300は、発振回路1、発振回路1a、発振器1000又は発振器1000aを含む電子機器300である。図10に示される例では、電子機器300は、振動子100、発振回路1、逓倍回路310、CPU(Central Processing Unit)320、操作部330、ROM(Read Only Memory)340、RAM(Random Access Memory)350、通信部360、表示部370、音出力部380を含んで構成されている。なお、本実施形態に係る電子機器300は、図9に示される構成要素(各部)の一部を省略又は変更してもよいし、他の構成要素を付加した構成としてもよい。
逓倍回路310は、クロックパルスをCPU320だけでなく各部に供給する(図示は省略)。クロックパルスは、例えば振動子100と接続された発振回路1からの発振信号から所望の高調波信号を逓倍回路310で取り出した信号であってもよいし、発振回路1からの発振信号を、PLLシンセサイザーを有する逓倍回路310で逓倍した信号であってもよい(図示は省略)。
CPU320は、ROM340等に記憶されているプログラムに従い、逓倍回路310が出力するクロックパルスを用いて各種の計算処理や制御処理を行う。具体的には、CPU320は、操作部330からの操作信号に応じた各種の処理、外部とデータ通信を行うために通信部360を制御する処理、表示部370に各種の情報を表示させるための表示信号を送信する処理、音出力部380に各種の音を出力させる処理等を行う。
操作部330は、操作キーやボタンスイッチ等により構成される入力装置であり、ユーザーによる操作に応じた操作信号をCPU320に出力する。
ROM340は、CPU320が各種の計算処理や制御処理を行うためのプログラムやデータ等を記憶している。
RAM350は、CPU320の作業領域として用いられ、ROM340から読み出されたプログラムやデータ、操作部330から入力されたデータ、CPU320が各種プログラムに従って実行した演算結果等を一時的に記憶する。
通信部360は、CPU320と外部装置との間のデータ通信を成立させるための各種制御を行う。
表示部370は、LCD(Liquid Crystal Display)や電気泳動ディスプレイ等により構成される表示装置であり、CPU320から入力される表示信号に基づいて各種の情報を表示する。
そして、音出力部380は、スピーカー等の音を出力する装置である。
本実施形態に係る電子機器300によれば、振動子100の検査の信頼性を高めた発振回路1、発振回路1a、発振器1000又は発振器1000aを含んでいるので、信頼性の高い電子機器300を実現できる。
電子機器300としては種々の電子機器が考えられる。例えば、パーソナルコンピューター(例えば、モバイル型パーソナルコンピューター、ラップトップ型パーソナルコンピューター、タブレット型パーソナルコンピューター)、携帯電話機などの移動体端末、ディジタルスチールカメラ、インクジェット式吐出装置(例えば、インクジェットプリンター)、ルーターやスイッチなどのストレージエリアネットワーク機器、ローカルエリアネットワーク機器、移動体端末基地局用機器、テレビ、ビデオカメラ、ビデオレコーダー、カーナビゲーション装置、ページャー、電子手帳(通信機能付も含む)、電子辞書、電卓、電子ゲーム機器、ゲーム用コントローラー、ワードプロセッサー、ワークステーション、テレビ電話、防犯用テレビモニター、電子双眼鏡、POS(point of sale)端末、医療機器(例えば電子体温計、血圧計、血糖計、心電図計測装置、超音波診断装置、電子内視鏡)、魚群探知機、各種測定機器、計器類(例えば、車両、航空機、船舶の計器類)、フライトシミュレーター、ヘッドマウントディスプレイ、モーショントレース、モーショントラッキング、モーションコントローラー、PDR(歩行者位置方位計測)等が挙げられる。
図11は、電子機器300の一例であるスマートフォンの外観の一例を示す図である。電子機器300であるスマートフォンは、操作部330としてボタンを、表示部370としてLCDを備えている。そして、電子機器300であるスマートフォンは、発振回路1、発振回路1a、発振器1000又は発振器1000aを含んでいるので、振動子100の検査の信頼性を高めた電子機器300を実現できる。
6.移動体
図12は、本実施形態に係る移動体400の一例を示す図(上面図)である。なお、上述された各実施形態と同様の構成には同一の符号を付し、詳細な説明を省略する。
本実施形態に係る移動体400は、発振回路1、発振回路1a、発振器1000又は発振器1000aを含む移動体400である。図12には、発振器1000を含む移動体400が示されている。また、図12に示される例では、移動体400は、エンジンシステム、ブレーキシステム、キーレスエントリーシステム等の各種の制御を行うコントローラー420、コントローラー430、コントローラー440、バッテリー450及びバックアップ用バッテリー460を含んで構成されている。なお、本実施形態に係る移動体400は、図12に示される構成要素(各部)の一部を省略又は変更してもよいし、他の構成要素を付加した構成としてもよい。
本実施形態に係る移動体400によれば、振動子100の検査の信頼性を高めた発振回路1、発振回路1a、発振器1000又は発振器1000aを含んでいるので、信頼性の高い移動体400を実現できる。
このような移動体400としては種々の移動体が考えられ、例えば、自動車(電気自動車も含む)、ジェット機やヘリコプター等の航空機、船舶、ロケット、人工衛星等が挙げられる。
以上、本実施形態あるいは変形例について説明したが、本発明はこれら本実施形態あるいは変形例に限られるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲において種々の態様で実
施することが可能である。
本発明は、実施形態で説明した構成と実質的に同一の構成(例えば、機能、方法及び結果が同一の構成、あるいは目的及び効果が同一の構成)を含む。また、本発明は、実施形態で説明した構成の本質的でない部分を置き換えた構成を含む。また、本発明は、実施形態で説明した構成と同一の作用効果を奏する構成又は同一の目的を達成することができる構成を含む。また、本発明は、実施形態で説明した構成に公知技術を付加した構成を含む。
1,1a…発振回路、2…電子部品、10,10a…発振部、11…第1端子、12…第2端子、13…第3端子、14…第4端子、15…第5端子、16…第6端子、21…第1切替部、22,22a…第2切替部、30,30a…制御部、31…シリアルインターフェース、32…レジスター、33…メモリー、41…バイアス生成回路、42…周波数制御部、43…出力バッファー、100…振動子、300…電子機器、310…逓倍回路、320…CPU、330…操作部、340…ROM、350…RAM、360…通信部、370…表示部、380…音声出力部、400…移動体、420…コントローラー、430…コントローラー、440…コントローラー、450…バッテリー、460…バックアップ用バッテリー、1000,1000a…発振器、1100,1100a…パッケージ、1200…蓋、1300…電極、1400,1400a,1400b…収容室、1500…封止部材、3000…シグナルジェネレーター、C11〜C15…キャパシター、CS11…電流源、M11…トランジスター、N1〜N3…NMOSトランジスター、P1〜P3…PMOSトランジスター、R1〜R3…抵抗、R11〜R12…抵抗、VDD…電源電位、VSS…接地電位

Claims (15)

  1. 振動子と接続される第1端子及び第2端子を有する発振部と、
    第3端子と、
    電源電位が供給される第4端子と、
    前記第1端子と前記第3端子との電気的な接続を切り替える第1切替部と、
    前記第2端子と前記第4端子との電気的な接続を切り替える第2切替部と、
    を含む、発振回路。
  2. 請求項1に記載の発振回路において、
    前記第3端子は、接地電位が供給される端子である、発振回路。
  3. 請求項1又は2に記載の発振回路において、
    前記第1切替部は、静電気に対して前記発振部を保護する機能を持つ回路である、発振回路。
  4. 請求項1ないし3のいずれか1項に記載の発振回路において、
    前記第2切替部は、静電気に対して前記発振部を保護する機能を持つ回路である、発振回路。
  5. 請求項1ないし4のいずれか1項に記載の発振回路において、
    前記第1端子は、前記発振部の入力端子側に電気的に接続されている、発振回路。
  6. 請求項1ないし5のいずれか1項に記載の発振回路において、
    前記第1切替部は、トランジスターを含む、発振回路。
  7. 請求項1ないし6のいずれか1項に記載の発振回路において、
    前記第2切替部は、トランジスターを含む、発振回路。
  8. 請求項1ないし7のいずれか1項に記載の発振回路において、
    前記第1切替部及び前記第2切替部を制御する制御部をさらに含み、
    前記第1切替部及び前記第2切替部は、
    前記第1端子と前記第3端子とが電気的に接続されるように前記第1切替部が制御されるとともに、前記第2端子と前記第4端子とが電気的に接続されるように前記第2切替部が制御される第1モードと、
    前記第1端子と前記第3端子とが電気的に接続されないように前記第1切替部が制御されるとともに、前記第2端子と前記第4端子とが電気的に接続されないように前記第2切替部が制御される第2モードと、
    を有し、
    前記制御部は、
    供給される電源電位が基準値以上である期間に入力されるクロック信号に基づいて、前記第2モードから前記第1モードへと切り替える、発振回路。
  9. 振動子を周波数源とし、前記振動子との間で帰還用の導電路を有する発振手段と、
    前記発振手段から前記振動子へ信号が入力される経路と電源用導電路との間のインピーダンスを制御するインピーダンス制御手段と、
    を含む、発振回路。
  10. 請求項1ないし9のいずれか1項に記載の発振回路と、
    振動子と、
    を含む、発振器。
  11. 請求項10に記載の発振器において、
    前記発振回路と前記振動子とを収容するパッケージをさらに含む、発振器。
  12. 振動子と接続される第1端子及び第2端子を有する発振部と、第3端子と、電源電位が供給される第4端子と、前記第1端子と前記第3端子との電気的な接続を切り替える第1切替部と、前記第2端子と前記第4端子との電気的な接続を切り替える第2切替部と、を含む発振回路と、振動子とを備え、
    前記発振回路と前記振動子とが電気的に接続され、前記第1切替部を前記第1端子と前記第3端子とが電気的に接続されるように切り替えるとともに、前記第2切替部を前記第2端子と前記第4端子とが電気的に接続されるように切り替えた構成を準備する準備工程と、
    前記第3端子及び前記第4端子に信号を印加する信号印加工程と、
    前記第1端子と前記第3端子とが電気的に接続されないように前記第1切替部を切り替えるとともに、前記第2端子と前記第4端子と電気的に接続されないように前記第2切替部を切り替える切替工程と、
    を含む、発振器の製造方法。
  13. 請求項12に記載の発振器の製造方法において、
    前記信号印加工程で前記第3端子及び前記第4端子に印加する信号は、オーバードライブ検査用の信号、及び、ドライブレベル検査用の信号のうちの少なくとも1つである、発振器の製造方法。
  14. 請求項1ないし9のいずれか1項に記載の発振回路、又は、請求項10又は11に記載の発振器を含む、電子機器。
  15. 請求項1ないし9のいずれか1項に記載の発振回路、又は、請求項10又は11に記載の発振器を含む、移動体。
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US14/527,052 US9438167B2 (en) 2013-10-30 2014-10-29 Oscillation circuit, oscillator, manufacturing method of oscillator, electronic device, and moving object

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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US10897227B2 (en) 2019-01-29 2021-01-19 Seiko Epson Corporation Oscillation circuit, oscillator, electronic device, and vehicle
US10978995B2 (en) 2019-03-15 2021-04-13 Seiko Epson Corporation Circuit device, oscillator, electronic apparatus, and vehicle

Families Citing this family (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2015088876A (ja) 2013-10-30 2015-05-07 セイコーエプソン株式会社 振動素子、振動子、電子デバイス、電子機器及び移動体
JP6226127B2 (ja) 2013-10-30 2017-11-08 セイコーエプソン株式会社 発振回路、発振器、発振器の製造方法、電子機器及び移動体
JP2015088930A (ja) * 2013-10-30 2015-05-07 セイコーエプソン株式会社 発振回路、発振器、発振器の製造方法、電子機器及び移動体
JP6206664B2 (ja) 2013-10-30 2017-10-04 セイコーエプソン株式会社 発振回路、発振器、発振器の製造方法、電子機器及び移動体
JP6524679B2 (ja) * 2015-02-02 2019-06-05 富士通株式会社 水晶振動子の検査方法
JP6451367B2 (ja) 2015-02-06 2019-01-16 富士通株式会社 水晶振動子
US10759986B2 (en) * 2017-08-17 2020-09-01 Saudi Arabian Oil Company Loss circulation material composition having alkaline nanoparticle based dispersion and water soluble hydrolysable ester
JP7039986B2 (ja) * 2017-12-15 2022-03-23 セイコーエプソン株式会社 回路装置、発振器、電子機器及び移動体

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006025336A (ja) * 2004-07-09 2006-01-26 Epson Toyocom Corp 圧電発振器とその調整方法
JP2009135650A (ja) * 2007-11-29 2009-06-18 Nippon Dempa Kogyo Co Ltd 表面実装水晶発振器の製造方法及びこれ用の容器本体
JP2009164691A (ja) * 2007-12-28 2009-07-23 Nippon Dempa Kogyo Co Ltd 表面実装用の水晶発振器
JP2010177852A (ja) * 2009-01-28 2010-08-12 Oki Semiconductor Co Ltd 発振回路
JP2013211654A (ja) * 2012-03-30 2013-10-10 Seiko Epson Corp 発振器、電子機器及び発振器の温度補償方法

Family Cites Families (61)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3017746B2 (ja) 1989-03-31 2000-03-13 日本電波工業株式会社 水晶振動子
US5126695A (en) * 1989-06-14 1992-06-30 Seiko Epson Corporation Semiconductor integrated circuit device operated with an applied voltage lower than required by its clock oscillator
TW255052B (ja) * 1992-11-03 1995-08-21 Thomson Consumer Electronics
JPH0746072A (ja) 1993-08-03 1995-02-14 Matsushita Electric Ind Co Ltd 水晶振動子の製造方法
US5369377A (en) * 1993-10-13 1994-11-29 Zilog, Inc. Circuit for automatically detecting off-chip, crystal or on-chip, RC oscillator option
JPH07249957A (ja) 1994-03-11 1995-09-26 Matsushita Electric Ind Co Ltd 電子部品及びその形成方法
JP3845752B2 (ja) 1998-03-26 2006-11-15 エプソントヨコム株式会社 Uhf帯基本波水晶振動子及びフィルタ
JP2000278079A (ja) 1999-03-24 2000-10-06 Toyo Commun Equip Co Ltd 圧電デバイス
JP2001007648A (ja) 1999-06-18 2001-01-12 Toyo Commun Equip Co Ltd 圧電発振器
JP2001094347A (ja) 1999-09-24 2001-04-06 Meidensha Corp 水晶発振器及びその発振器における水晶振動子のドライブ特性測定方法
JP2001102870A (ja) 1999-09-30 2001-04-13 Meidensha Corp 水晶発振器
JP3681611B2 (ja) * 2000-04-06 2005-08-10 Necエレクトロニクス株式会社 マイクロコンピュータ
JP2002299991A (ja) 2001-04-03 2002-10-11 Toyo Commun Equip Co Ltd 圧電振動子
US6621362B2 (en) 2001-05-18 2003-09-16 Broadcom Corporation Varactor based differential VCO band switching
JP2004015387A (ja) 2002-06-06 2004-01-15 Matsushita Electric Ind Co Ltd 電圧制御型発振器及び周波数シンセサイザ
US6906596B2 (en) 2002-09-25 2005-06-14 Renesas Technology Corp. Oscillation circuit and a communication semiconductor integrated circuit
JP2004120293A (ja) 2002-09-26 2004-04-15 Kyocera Corp 水晶発振器の検査方法
JP2004214799A (ja) 2002-12-27 2004-07-29 Daishinku Corp 圧電発振器および圧電発振器の測定方法
US6819195B1 (en) 2003-03-07 2004-11-16 Ami Semiconductor, Inc. Stimulated quick start oscillator
JP4321104B2 (ja) 2003-04-25 2009-08-26 エプソントヨコム株式会社 圧電発振器および圧電発振器の製造方法
JP2005051513A (ja) 2003-07-29 2005-02-24 Nippon Dempa Kogyo Co Ltd 水晶振動子
JP4477364B2 (ja) 2004-01-13 2010-06-09 日本電波工業株式会社 水晶振動子
DE102004020975A1 (de) 2004-04-22 2005-11-17 Atmel Germany Gmbh Oszillator und Verfahren zum Betreiben eines Oszillators
JP4431015B2 (ja) 2004-09-09 2010-03-10 株式会社ルネサステクノロジ 位相同期ループ回路
JP2006086740A (ja) 2004-09-15 2006-03-30 Matsushita Electric Ind Co Ltd 電圧制御発振器及び通信用半導体集積回路
US7221234B2 (en) 2005-03-18 2007-05-22 Broadcom Corporation VCO with switchable varactor for low KVCO variation
JP2007104152A (ja) 2005-09-30 2007-04-19 Sharp Corp 電圧制御発振器及び電圧制御発振器ユニット
CN101305514B (zh) 2005-11-07 2011-09-28 西铁城控股株式会社 温度补偿型振荡器以及其制造方法
JP4358185B2 (ja) 2005-12-12 2009-11-04 シャープ株式会社 電圧制御発振器、並びに、送信機及び受信機
JP2007318397A (ja) 2006-05-25 2007-12-06 Matsushita Electric Ind Co Ltd 電圧制御型発振器及びその周波数制御方法
US7463097B2 (en) 2006-12-20 2008-12-09 Nxp B.V. Systems involving temperature compensation of voltage controlled oscillators
US7646257B2 (en) 2007-01-10 2010-01-12 Motorola, Inc. Method and apparatus to facilitate the provision and use of a plurality of varactors with a plurality of switches
US7626436B2 (en) * 2007-02-12 2009-12-01 Standard Microsystems Corporation Automatic system clock detection system
US7639092B2 (en) 2007-08-10 2009-12-29 Nanoamp Solutions Inc. (Cayman) Crystal oscillator frequency tuning circuit
JP5144166B2 (ja) 2007-08-10 2013-02-13 京セラクリスタルデバイス株式会社 圧電発振器
US7714674B2 (en) * 2007-10-01 2010-05-11 Silicon Laboratories Inc. System and method for calibrating bias current for low power RTC oscillator
JP4629723B2 (ja) 2007-12-19 2011-02-09 日本電波工業株式会社 表面実装用の水晶発振器
JP5300425B2 (ja) 2008-01-25 2013-09-25 日本電波工業株式会社 表面実装用の水晶発振器
JPWO2009119042A1 (ja) 2008-03-28 2011-07-21 パナソニック株式会社 電圧制御発振器、並びにそれを用いたpll回路及び無線通信機器
JP2009253883A (ja) 2008-04-10 2009-10-29 Nippon Dempa Kogyo Co Ltd 圧電振動デバイス
JP4726936B2 (ja) 2008-08-19 2011-07-20 日本電波工業株式会社 水晶発振器
JP2010062959A (ja) 2008-09-05 2010-03-18 Daishinku Corp 表面実装型圧電発振器およびその特性測定方法
US8031025B2 (en) 2009-03-16 2011-10-04 Mediatek Inc. Mixed-mode PLL
US8164159B1 (en) 2009-07-18 2012-04-24 Intergrated Device Technologies, inc. Semiconductor resonators with electromagnetic and environmental shielding and methods of forming same
JP2010074840A (ja) 2009-11-06 2010-04-02 Seiko Epson Corp 圧電振動片及びその製造方法
JP5533030B2 (ja) * 2010-03-01 2014-06-25 セイコーエプソン株式会社 発振回路及び周波数補正型発振回路
US8143961B2 (en) * 2010-03-30 2012-03-27 Silicon Laboratories Inc. Technique for detecting crystals
JP5674401B2 (ja) 2010-09-24 2015-02-25 ルネサスエレクトロニクス株式会社 半導体装置
US8253506B2 (en) 2010-10-05 2012-08-28 Qualcomm, Incorporated Wideband temperature compensated resonator and wideband VCO
US8461934B1 (en) * 2010-10-26 2013-06-11 Marvell International Ltd. External oscillator detector
JP5570954B2 (ja) 2010-11-24 2014-08-13 富士通株式会社 発振回路
JP5757786B2 (ja) 2011-01-06 2015-07-29 日本電波工業株式会社 水晶発振器
JP2013098678A (ja) 2011-10-31 2013-05-20 Nippon Dempa Kogyo Co Ltd 水晶振動子
US8692624B2 (en) 2011-12-15 2014-04-08 Avago Technologies General Ip (Singapore) Pte. Ltd. Tuning of MEMS oscillator
US9013242B2 (en) 2012-03-27 2015-04-21 Seiko Epson Corporation Resonator element, resonator, electronic device, electronic apparatus, and mobile object
JP6079280B2 (ja) 2013-02-07 2017-02-15 セイコーエプソン株式会社 振動素子、振動子、電子デバイス、電子機器、及び移動体
JP6064350B2 (ja) 2012-03-27 2017-01-25 セイコーエプソン株式会社 振動素子、振動子、電子デバイス、及び電子機器
JP2013207363A (ja) * 2012-03-27 2013-10-07 Seiko Epson Corp 回路装置、発振装置及び電子機器
US9112449B2 (en) * 2012-11-15 2015-08-18 Mediatek Inc. Self-powered crystal oscillator and method of generating oscillation signal
US8922287B2 (en) 2013-01-30 2014-12-30 Freescale Semiconductor, Inc. Amplitude loop control for oscillators
US9112448B2 (en) 2013-10-28 2015-08-18 Qualcomm Incorporated Ultra low-power high frequency crystal oscillator for real time clock applications

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006025336A (ja) * 2004-07-09 2006-01-26 Epson Toyocom Corp 圧電発振器とその調整方法
JP2009135650A (ja) * 2007-11-29 2009-06-18 Nippon Dempa Kogyo Co Ltd 表面実装水晶発振器の製造方法及びこれ用の容器本体
JP2009164691A (ja) * 2007-12-28 2009-07-23 Nippon Dempa Kogyo Co Ltd 表面実装用の水晶発振器
JP2010177852A (ja) * 2009-01-28 2010-08-12 Oki Semiconductor Co Ltd 発振回路
JP2013211654A (ja) * 2012-03-30 2013-10-10 Seiko Epson Corp 発振器、電子機器及び発振器の温度補償方法

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US10897227B2 (en) 2019-01-29 2021-01-19 Seiko Epson Corporation Oscillation circuit, oscillator, electronic device, and vehicle
US10978995B2 (en) 2019-03-15 2021-04-13 Seiko Epson Corporation Circuit device, oscillator, electronic apparatus, and vehicle

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