JP2002299991A - 圧電振動子 - Google Patents
圧電振動子Info
- Publication number
- JP2002299991A JP2002299991A JP2001104176A JP2001104176A JP2002299991A JP 2002299991 A JP2002299991 A JP 2002299991A JP 2001104176 A JP2001104176 A JP 2001104176A JP 2001104176 A JP2001104176 A JP 2001104176A JP 2002299991 A JP2002299991 A JP 2002299991A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- crystal
- quartz
- plate
- cut
- axis
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Abstract
(57)【要約】
【課題】熱衝撃特性に優れた水晶振動子を低価格で提供
する。 【解決手段】ＡＴカット水晶振動基板と、圧電振動基板
を収納する為の容器と、水晶振動基板を支持する為のＡ
Ｔカット水晶板とを備えた水晶振動子に於いて、水晶板
が水晶結晶軸ＺＺ'方向が長辺となるよう切出された短
冊形状であり、水晶振動基板の水晶結晶軸ＺＺ'に対し
て±(30°±10°)の傾斜方向に延びる２箇所を接着剤を
用いて水晶板に支持固定したので優れた熱衝撃特性を保
ちながら、低価格化を達成することができる。
する。 【解決手段】ＡＴカット水晶振動基板と、圧電振動基板
を収納する為の容器と、水晶振動基板を支持する為のＡ
Ｔカット水晶板とを備えた水晶振動子に於いて、水晶板
が水晶結晶軸ＺＺ'方向が長辺となるよう切出された短
冊形状であり、水晶振動基板の水晶結晶軸ＺＺ'に対し
て±(30°±10°)の傾斜方向に延びる２箇所を接着剤を
用いて水晶板に支持固定したので優れた熱衝撃特性を保
ちながら、低価格化を達成することができる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、圧電振動子に関
し、特に熱的、機械的応力変化に周波数安定度に優れた
水晶振動子に関する。
し、特に熱的、機械的応力変化に周波数安定度に優れた
水晶振動子に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、優れた耐衝撃性を有した水晶振動
子は、振動源である水晶振動板をセラミック製の支持部
上に接着剤を用いて片端保持し、水晶振動板の他の一方
端（振動領域側）を機械的に開放状態（自由端）として
保つよう構成していた。そして、このような構成により
水晶振動子に機械的衝撃が加わった場合であっても水晶
振動板に伝達された衝撃が自由端部にて開放されるので
水晶振動板の歪が緩和されに伴い周波数安定度が高精度
に保たれるのである。一方、水晶振動子の周波数安定度
を低下させる要因は、上記の機械的衝撃の他に熱的衝撃
もある。
子は、振動源である水晶振動板をセラミック製の支持部
上に接着剤を用いて片端保持し、水晶振動板の他の一方
端（振動領域側）を機械的に開放状態（自由端）として
保つよう構成していた。そして、このような構成により
水晶振動子に機械的衝撃が加わった場合であっても水晶
振動板に伝達された衝撃が自由端部にて開放されるので
水晶振動板の歪が緩和されに伴い周波数安定度が高精度
に保たれるのである。一方、水晶振動子の周波数安定度
を低下させる要因は、上記の機械的衝撃の他に熱的衝撃
もある。
【０００３】これは上記のような構成の水晶振動子のよ
うに熱膨張係数が違なる材料である水晶振動子と支持部
であるセラミックとを接着すると、熱衝撃によって硬質
なセラミックの膨張に水晶振動板が影響され歪んでしま
い、これに伴い周波数安定度が劣化してしまう。従っ
て、従来、熱衝撃に対して優れた周波数安定度を必要と
する場合は図３に示すような構成の水晶振動子が用いら
れていた。
うに熱膨張係数が違なる材料である水晶振動子と支持部
であるセラミックとを接着すると、熱衝撃によって硬質
なセラミックの膨張に水晶振動板が影響され歪んでしま
い、これに伴い周波数安定度が劣化してしまう。従っ
て、従来、熱衝撃に対して優れた周波数安定度を必要と
する場合は図３に示すような構成の水晶振動子が用いら
れていた。
【０００４】即ち、図３は従来の水晶振動子の構成を説
明する為のものであり、同図（ａ）が水晶振動板の切出
し条件を、同図（ｂ）が支持部となる水晶板の切出し条
件を説明したものであり、同図（ｃ）は水晶振動子の断
面構成図を示したものである。先ず、ＡＴカット板から
成る水晶基板は、特開2000-332571号公報にも開示され
ているようにＡＴカット板の結晶軸ＺＺ'に対して±(30
°±10°)の傾斜方向（ＺＺ"方向）の延長線上に支持部
との 接着固定点を並べた構成が熱衝撃等による周波数
安定度の劣化が少ないことが知られている。
明する為のものであり、同図（ａ）が水晶振動板の切出
し条件を、同図（ｂ）が支持部となる水晶板の切出し条
件を説明したものであり、同図（ｃ）は水晶振動子の断
面構成図を示したものである。先ず、ＡＴカット板から
成る水晶基板は、特開2000-332571号公報にも開示され
ているようにＡＴカット板の結晶軸ＺＺ'に対して±(30
°±10°)の傾斜方向（ＺＺ"方向）の延長線上に支持部
との 接着固定点を並べた構成が熱衝撃等による周波数
安定度の劣化が少ないことが知られている。
【０００５】そこで水晶振動板１００には、同図（ａ）
に示すようにＡＴカット板のＺＺ"方向に延長した切出
し辺（外周辺）を有する矩形状のものを用い、更にこの
ＺＺ"の延長線上にマウント用の端子１０１を二つ備え
ると共に、端子１０１を励振用電極１０２とを配線パタ
ーン１０３にて接続するよう施す。そして更に、後述す
るよう水晶振動板１００の支持部として用いる水晶板１
０４に於いても水晶振動板１００の場合と同様にＡＴカ
ット板のＺＺ"軸方向に長辺が延長するよう矩形に切出
したものを使用する。この水晶板１０４の表裏面にはそ
れぞれ二つのパッド１０５がＺＺ"軸の延長線上に設け
られており、更に、水晶板１０４を挟み対向するパッド
１０５同士は水晶板１０４の側面に設けた配線パターン
を介して導通するよう構成されている。
に示すようにＡＴカット板のＺＺ"方向に延長した切出
し辺（外周辺）を有する矩形状のものを用い、更にこの
ＺＺ"の延長線上にマウント用の端子１０１を二つ備え
ると共に、端子１０１を励振用電極１０２とを配線パタ
ーン１０３にて接続するよう施す。そして更に、後述す
るよう水晶振動板１００の支持部として用いる水晶板１
０４に於いても水晶振動板１００の場合と同様にＡＴカ
ット板のＺＺ"軸方向に長辺が延長するよう矩形に切出
したものを使用する。この水晶板１０４の表裏面にはそ
れぞれ二つのパッド１０５がＺＺ"軸の延長線上に設け
られており、更に、水晶板１０４を挟み対向するパッド
１０５同士は水晶板１０４の側面に設けた配線パターン
を介して導通するよう構成されている。
【０００６】そして同図（ｃ）に示すように水晶振動子
１０６は、セラミック製の容器１０７の基底部に設けた
ランド端子１０８上に導電性接着剤１０９を適量塗布し
た後、この導電性接着剤１０９を介して上記パッド１０
５と端子１０８とが導通するよう水晶板１０４を搭載す
る。導電性接着剤１０９を硬化させた後、水晶板１０４
の表面上のパッド１０５上に塗布した導電性接着剤１１
０にて端子１０１とパッド１０５とが導通するよう水晶
板１０４上に水晶振動板１１０を片端保持（固定）した
ものである。
１０６は、セラミック製の容器１０７の基底部に設けた
ランド端子１０８上に導電性接着剤１０９を適量塗布し
た後、この導電性接着剤１０９を介して上記パッド１０
５と端子１０８とが導通するよう水晶板１０４を搭載す
る。導電性接着剤１０９を硬化させた後、水晶板１０４
の表面上のパッド１０５上に塗布した導電性接着剤１１
０にて端子１０１とパッド１０５とが導通するよう水晶
板１０４上に水晶振動板１１０を片端保持（固定）した
ものである。
【０００７】そしてこのような構成の水晶振動子１０６
は、水晶振動板１００と水晶板１０４とを接着した二つ
の固定点を水晶結晶軸ＺＺ"の延長線上に設けたもので
あるので夫々の圧電板が耐衝撃性に優れると共に、更
に、水晶振動板１０６と水晶板１０４とを水晶結晶軸の
方向を揃えて接着固定したことにより熱膨張・収縮方向
及び変化率が両水晶基板間で一致するので、膨張・収縮
に伴う互いの体積比変化が干渉し合うことが無く、その
結果、熱衝撃に対しても水晶振動板１００に歪が発生し
ないのである。
は、水晶振動板１００と水晶板１０４とを接着した二つ
の固定点を水晶結晶軸ＺＺ"の延長線上に設けたもので
あるので夫々の圧電板が耐衝撃性に優れると共に、更
に、水晶振動板１０６と水晶板１０４とを水晶結晶軸の
方向を揃えて接着固定したことにより熱膨張・収縮方向
及び変化率が両水晶基板間で一致するので、膨張・収縮
に伴う互いの体積比変化が干渉し合うことが無く、その
結果、熱衝撃に対しても水晶振動板１００に歪が発生し
ないのである。
【０００８】
【本発明が解決しようとする課題】しかしながら、一般
に入手が容易であるとされるＡＴカット水晶ウエハー１
１１はＸＸ'軸方向及びＺＺ'軸方向に外周辺を有した矩
形状のものであり、このようなウエハー１１１から面内
回転した水晶板１０４を切出したのではウエハー１１１
の捨て部分が大きいことに伴い、取りだし可能な水晶板
１０４の数量も少ない為に水晶振動子の低価格化が達成
されないという問題が生じていた。
に入手が容易であるとされるＡＴカット水晶ウエハー１
１１はＸＸ'軸方向及びＺＺ'軸方向に外周辺を有した矩
形状のものであり、このようなウエハー１１１から面内
回転した水晶板１０４を切出したのではウエハー１１１
の捨て部分が大きいことに伴い、取りだし可能な水晶板
１０４の数量も少ない為に水晶振動子の低価格化が達成
されないという問題が生じていた。
【０００９】本発明は水晶振動子の上記諸問題を解決す
る為になされたものであって耐衝撃性に優れた水晶振動
子を低価格で提供することを目的としている。
る為になされたものであって耐衝撃性に優れた水晶振動
子を低価格で提供することを目的としている。
【００１０】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決する為に
本発明に係わる請求項１記載の発明は、ＡＴカット水晶
振動基板と、該圧電振動基板を収納する為の容器と、前
記水晶振動基板を支持する為のＡＴカット水晶板とを備
えた水晶振動子に於いて、前記水晶板が水晶結晶軸Ｚ
Ｚ'方向が長辺となるよう切出された短冊形状であり、
前記水晶振動基板の水晶結晶軸ＺＺ'に対して±(30°±
10°)の傾斜方向に延びる２箇所を接着剤を用いて前記
水晶板に支持固定したものであることを特徴とする。
本発明に係わる請求項１記載の発明は、ＡＴカット水晶
振動基板と、該圧電振動基板を収納する為の容器と、前
記水晶振動基板を支持する為のＡＴカット水晶板とを備
えた水晶振動子に於いて、前記水晶板が水晶結晶軸Ｚ
Ｚ'方向が長辺となるよう切出された短冊形状であり、
前記水晶振動基板の水晶結晶軸ＺＺ'に対して±(30°±
10°)の傾斜方向に延びる２箇所を接着剤を用いて前記
水晶板に支持固定したものであることを特徴とする。
【００１１】
【本発明の実施の形態】以下、図示した実施例に基づい
て本発明を詳細に説明する。図１は本発明に基づく水晶
振動子の一実施例を示したものであり、同図（ａ）が水
晶振動板１の構成を、同図（ｂ）が支持部となる水晶板
２の構成を、同図（ｃ）が水晶振動子３の断面構成図を
示すものである。
て本発明を詳細に説明する。図１は本発明に基づく水晶
振動子の一実施例を示したものであり、同図（ａ）が水
晶振動板１の構成を、同図（ｂ）が支持部となる水晶板
２の構成を、同図（ｃ）が水晶振動子３の断面構成図を
示すものである。
【００１２】同図（ａ）に示すように水晶振動板１は、
従来の場合と同様でありＡＴカット板の結晶軸ＺＺ'に
対して面内回転（±30°±10°）の傾斜方向（ＺＺ"方
向）の延長線上に切出し辺（外周辺）を有した矩形状の
ものであり、更に、二つのマウント用端子４をＺＺ"軸
の延長線上に並べる共に、端子４と励振用電極５とを配
線パターン６にて接続するよう施す。一方、後述するよ
う水晶振動板１の支持部として用いる水晶板２に於いて
は、ＡＴカット水晶結晶軸ＺＺ'の延長線上に長辺を有
する矩形状とし、更に、二つのパッド７をＺＺ'の延長
線上に並べるよう構成する。
従来の場合と同様でありＡＴカット板の結晶軸ＺＺ'に
対して面内回転（±30°±10°）の傾斜方向（ＺＺ"方
向）の延長線上に切出し辺（外周辺）を有した矩形状の
ものであり、更に、二つのマウント用端子４をＺＺ"軸
の延長線上に並べる共に、端子４と励振用電極５とを配
線パターン６にて接続するよう施す。一方、後述するよ
う水晶振動板１の支持部として用いる水晶板２に於いて
は、ＡＴカット水晶結晶軸ＺＺ'の延長線上に長辺を有
する矩形状とし、更に、二つのパッド７をＺＺ'の延長
線上に並べるよう構成する。
【００１３】そして、同図（ｃ）に示すように水晶振動
子１は、セラミック製の容器８の基底部に設けたランド
端子９上に導電性接着剤１０を適量塗布した後、この導
電性接着剤１０を介して上記パッド７と端子９とが導通
するよう水晶板２を搭載する。導電性接着剤１０を硬化
させた後、水晶板２の表面上のパッド７上に塗布した導
電性接着剤１１にて端子４とパッド７とが導通するよう
水晶板２上に水晶振動板１を片端保持（固定）するよう
構成する。
子１は、セラミック製の容器８の基底部に設けたランド
端子９上に導電性接着剤１０を適量塗布した後、この導
電性接着剤１０を介して上記パッド７と端子９とが導通
するよう水晶板２を搭載する。導電性接着剤１０を硬化
させた後、水晶板２の表面上のパッド７上に塗布した導
電性接着剤１１にて端子４とパッド７とが導通するよう
水晶板２上に水晶振動板１を片端保持（固定）するよう
構成する。
【００１４】そしてこのような構成の水晶振動子３は、
図２に示すように一般に入手が容易であるＡＴカット水
晶ウエハー１２が水晶板２と同様、結晶軸ＸＸ'及びＺ
Ｚ'方向に延長した切出し辺を有した矩形を成すもので
あることから、水晶板２を水晶ウエハー１２から切出す
際に従来の場合に於いて必要であった面内回転による切
出し位置の補正を行う必要が無い。従って、これにより
水晶ウエハー１１２を余すこと無く加工することが可能
であるので、これに伴い従来の場合より一枚の水晶ウエ
ハー１１２から水晶板２を数多く獲得することができる
ので、水晶板２の低価格化に伴い水晶振動子３を安価に
構成することができるのである。
図２に示すように一般に入手が容易であるＡＴカット水
晶ウエハー１２が水晶板２と同様、結晶軸ＸＸ'及びＺ
Ｚ'方向に延長した切出し辺を有した矩形を成すもので
あることから、水晶板２を水晶ウエハー１２から切出す
際に従来の場合に於いて必要であった面内回転による切
出し位置の補正を行う必要が無い。従って、これにより
水晶ウエハー１１２を余すこと無く加工することが可能
であるので、これに伴い従来の場合より一枚の水晶ウエ
ハー１１２から水晶板２を数多く獲得することができる
ので、水晶板２の低価格化に伴い水晶振動子３を安価に
構成することができるのである。
【００１５】尚、水晶ウエハー１２からの水晶板の獲得
枚数のみを考えれば水晶板を切出す他の方法として、切
出す水晶板の長辺方向を水晶結晶軸ＸＸ'の延長線上と
した方法もあるが、この場合、水晶振動板１の接着固定
方向であるＺＺ"結晶方向に対して水晶板１２の接着固
定方向であるＸＸ'が約６０°面内回転したものとな
る。これに対し上記水晶板２の場合では水晶振動板１の
接着固定方向であるＺＺ"結晶方向に対して水晶板１２
の接着固定点が並ぶＺＺ'結晶方向が約３０°面内回転
したものであり、上記の他の方法として説明した場合と
比較して双方の結晶状態が近い分、水晶振動板１と水晶
板２との熱膨張・収縮の特性の差が小さいので低価格で
ありながらも熱衝撃特性に優れた水晶振動子３を得るこ
とができる。
枚数のみを考えれば水晶板を切出す他の方法として、切
出す水晶板の長辺方向を水晶結晶軸ＸＸ'の延長線上と
した方法もあるが、この場合、水晶振動板１の接着固定
方向であるＺＺ"結晶方向に対して水晶板１２の接着固
定方向であるＸＸ'が約６０°面内回転したものとな
る。これに対し上記水晶板２の場合では水晶振動板１の
接着固定方向であるＺＺ"結晶方向に対して水晶板１２
の接着固定点が並ぶＺＺ'結晶方向が約３０°面内回転
したものであり、上記の他の方法として説明した場合と
比較して双方の結晶状態が近い分、水晶振動板１と水晶
板２との熱膨張・収縮の特性の差が小さいので低価格で
ありながらも熱衝撃特性に優れた水晶振動子３を得るこ
とができる。
【発明の効果】以上、本発明に基づく水晶振動子は、Ａ
Ｔカット水晶振動基板と、圧電振動基板を収納する為の
容器と、水晶振動基板を支持する為のＡＴカット水晶板
とを備えた水晶振動子に於いて、水晶板が水晶結晶軸Ｚ
Ｚ'方向が長辺となるよう切出された短冊形状であり、
水晶振動基板の水晶結晶軸ＺＺ'に対して±(30°±10
°)の傾斜方向に延びる２箇所を接着剤を用いて水晶板
に支持固定したので優れた熱衝撃特性を保ちながら、低
価格化を達成することができるという効果を奏する。
Ｔカット水晶振動基板と、圧電振動基板を収納する為の
容器と、水晶振動基板を支持する為のＡＴカット水晶板
とを備えた水晶振動子に於いて、水晶板が水晶結晶軸Ｚ
Ｚ'方向が長辺となるよう切出された短冊形状であり、
水晶振動基板の水晶結晶軸ＺＺ'に対して±(30°±10
°)の傾斜方向に延びる２箇所を接着剤を用いて水晶板
に支持固定したので優れた熱衝撃特性を保ちながら、低
価格化を達成することができるという効果を奏する。
【図１】（ａ）本発明に基づく水晶振動子の水晶振動板
一実施例を示すものである。 （ｂ）本発明に基づく水晶振動子の水晶板の一実施例を
示すものである。 （ｃ）本発明に基づく水晶振動子の一実施例の断面構成
図を示すものである。
一実施例を示すものである。 （ｂ）本発明に基づく水晶振動子の水晶板の一実施例を
示すものである。 （ｃ）本発明に基づく水晶振動子の一実施例の断面構成
図を示すものである。
【図２】本発明に基づく水晶板の切出し状態を示すもの
である
である
【図３】（ａ）従来の水晶振動子に用いた水晶振動板の
構成図を示すものである。 （ｂ）従来の水晶振動子に用いた水晶板の構成図を示す
ものである。 （ｃ）従来の水晶振動子の断面構成図を示すものであ
る。
構成図を示すものである。 （ｂ）従来の水晶振動子に用いた水晶板の構成図を示す
ものである。 （ｃ）従来の水晶振動子の断面構成図を示すものであ
る。
１水晶振動板、２水晶板、３水晶振動子、４端子、５励
振用電極、６配線パターン、７パッド、８容器、９ラン
ド端子、１０、１１導電性接着剤、１２水晶ウエハー、
１００水晶振動板、１０１端子、１０２励振用電極、１
０３配線パターン、１０４水晶板、１０５パッド、１０
６水晶振動子、１０７容器、１０８ランド端子、１０
９、１１０導電性接着剤、１１１
振用電極、６配線パターン、７パッド、８容器、９ラン
ド端子、１０、１１導電性接着剤、１２水晶ウエハー、
１００水晶振動板、１０１端子、１０２励振用電極、１
０３配線パターン、１０４水晶板、１０５パッド、１０
６水晶振動子、１０７容器、１０８ランド端子、１０
９、１１０導電性接着剤、１１１
Claims (1)
- 【請求項１】ＡＴカット水晶振動基板と、該圧電振動基
板を収納する為の容器と、前記水晶振動基板を支持する
為のＡＴカット水晶板とを備えた水晶振動子に於いて、
前記水晶板が水晶結晶軸ＺＺ'方向が長辺となるよう切
出された短冊形状であり、前記水晶振動基板の水晶結晶
軸ＺＺ'に対して±(30°±10°)の傾斜方向に延びる２
箇所を接着剤を用いて前記水晶板に支持固定したもので
あることを特徴とする水晶振動子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001104176A JP2002299991A (ja) | 2001-04-03 | 2001-04-03 | 圧電振動子 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001104176A JP2002299991A (ja) | 2001-04-03 | 2001-04-03 | 圧電振動子 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002299991A true JP2002299991A (ja) | 2002-10-11 |
Family
ID=18957072
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001104176A Pending JP2002299991A (ja) | 2001-04-03 | 2001-04-03 | 圧電振動子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2002299991A (ja) |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US8026652B2 (en) | 2007-12-28 | 2011-09-27 | Epson Toyocom Corporation | Quartz crystal resonator element, quartz crystal device, and method for producing quartz crystal resonator element |
| JP2013157831A (ja) * | 2012-01-31 | 2013-08-15 | Nippon Dempa Kogyo Co Ltd | 水晶振動片及び水晶デバイス |
| US9312812B2 (en) | 2013-10-30 | 2016-04-12 | Seiko Epson Corporation | Oscillation circuit, oscillator, method of manufacturing oscillator, electronic device, and moving object |
| US9438167B2 (en) | 2013-10-30 | 2016-09-06 | Seiko Epson Corporation | Oscillation circuit, oscillator, manufacturing method of oscillator, electronic device, and moving object |
| US9461585B2 (en) | 2013-10-30 | 2016-10-04 | Seiko Epson Corporation | Oscillation circuit, oscillator, manufacturing method of oscillator, electronic device, and moving object |
| US9628022B2 (en) | 2013-10-30 | 2017-04-18 | Seiko Epson Corporation | Oscillation circuit, oscillator, method of manufacturing oscillator, electronic device, and moving object |
| US9748920B2 (en) | 2013-10-30 | 2017-08-29 | Seiko Epson Corporation | Resonator element, resonator, electronic device, electronic apparatus, and moving object |
-
2001
- 2001-04-03 JP JP2001104176A patent/JP2002299991A/ja active Pending
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US8026652B2 (en) | 2007-12-28 | 2011-09-27 | Epson Toyocom Corporation | Quartz crystal resonator element, quartz crystal device, and method for producing quartz crystal resonator element |
| US8299689B2 (en) | 2007-12-28 | 2012-10-30 | Seiko Epson Corporation | Quartz crystal resonator element, quartz crystal device, and method for producing quartz crystal resonator element |
| JP2013157831A (ja) * | 2012-01-31 | 2013-08-15 | Nippon Dempa Kogyo Co Ltd | 水晶振動片及び水晶デバイス |
| US9312812B2 (en) | 2013-10-30 | 2016-04-12 | Seiko Epson Corporation | Oscillation circuit, oscillator, method of manufacturing oscillator, electronic device, and moving object |
| US9438167B2 (en) | 2013-10-30 | 2016-09-06 | Seiko Epson Corporation | Oscillation circuit, oscillator, manufacturing method of oscillator, electronic device, and moving object |
| US9461585B2 (en) | 2013-10-30 | 2016-10-04 | Seiko Epson Corporation | Oscillation circuit, oscillator, manufacturing method of oscillator, electronic device, and moving object |
| US9628022B2 (en) | 2013-10-30 | 2017-04-18 | Seiko Epson Corporation | Oscillation circuit, oscillator, method of manufacturing oscillator, electronic device, and moving object |
| US9748920B2 (en) | 2013-10-30 | 2017-08-29 | Seiko Epson Corporation | Resonator element, resonator, electronic device, electronic apparatus, and moving object |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP3887137B2 (ja) | 圧電振動子の製造方法 | |
| JP4815976B2 (ja) | 水晶振動デバイスの製造方法 | |
| JP2001230651A (ja) | 圧電振動子の電極構造 | |
| JPH09269228A (ja) | 音叉型振動ジャイロ | |
| JP2002299991A (ja) | 圧電振動子 | |
| JP5155352B2 (ja) | 圧電デバイス | |
| US8823247B2 (en) | Piezoelectric vibrating devices including respective packages in which castellations include respective connecting electrodes | |
| JP6774311B2 (ja) | 圧電振動片及び圧電振動子 | |
| JP2009232449A (ja) | 圧電振動子及び発振器 | |
| JP5508046B2 (ja) | 圧電振動素子 | |
| JP2004201211A (ja) | 圧電振動片の接合構造および圧電デバイスとその製造方法ならびに圧電デバイスを利用した携帯電話装置および圧電デバイスを利用した電子機器 | |
| JP2008278110A (ja) | 圧電発振器 | |
| JPS6144408B2 (ja) | ||
| JP2595840B2 (ja) | 圧電振動子の製造方法 | |
| JP3164891B2 (ja) | 水晶振動子とその製造方法 | |
| JP3164890B2 (ja) | 水晶振動子とその製造方法 | |
| JP2003188678A (ja) | 音叉型圧電振動子 | |
| JPH0259647B2 (ja) | ||
| JP7312060B2 (ja) | 表面実装型水晶振動子付き回路基板 | |
| JPH11251863A (ja) | 圧電振動子 | |
| KR100506734B1 (ko) | 다중모드 수정진동자 | |
| JPH06314947A (ja) | 水晶振動子とその製造方法 | |
| JP2001094386A (ja) | 水晶振動子及びその製造方法 | |
| JP3395665B2 (ja) | 圧電部品 | |
| JP2020014044A (ja) | 振動素子用の台座、振動子及び発振器 |