JP2013157831A - 水晶振動片及び水晶デバイス - Google Patents
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Abstract
【解決手段】ATカット水晶振動片(100)は、ATカット水晶振動片(31)の周囲に所定の空隙を隔てて形成された枠体(32)と、ATカット水晶振動片と枠体とを連結する連結部(35)と、ATカット水晶振動片の両主面に配置される一対の励振電極(34)と、励振電極から連結部を介して枠体まで伸びる一対の引出電極(33)と、を備える。励振部の長辺は、結晶軸Xに対して61°又は119°回転して形成されており、枠体の長辺が結晶軸Xに対して61°又は119°方向に伸びており、連結部が結晶軸Xに対して61°又は119°方向に伸びており、励振部の短辺及び枠体の短辺と直交している。
【選択図】 図1
Description
第3観点の水晶振動片において、一本の連結部と励振電極の中央とを結ぶ直線が、結晶軸Xに対して61°又は119°方向である。
第4観点の水晶振動片において、枠体及び連結部のY’軸方向の厚さが、励振部の厚さのY’軸方向の厚さより厚い。
第5観点の水晶振動片において、励振部の一部に段差面が形成され、段差面は前記励振部の厚さから連結部の厚さに変わる。
第7観点の水晶デバイスは、第1の観点から第5の観点のいずれかの水晶振動片を有している。そして水晶デバイスは、ATカット水晶材で形成され、枠体の主面の一方に接合する矩形状のベース部と、ATカット水晶材で形成され、枠体の主面の他方に接合する矩形状のリッド部と、を備える。ベース部及びリッド部の長辺は、結晶軸Xに対して61°又は119°回転して形成されている。
<第1水晶デバイス100の構成>
図1は、第1水晶デバイス100の分解斜視図である。第1水晶デバイス100は、リッド板10と、ベース板20と、水晶振動片30と、により構成されている。水晶振動片30にはATカットの水晶振動片が用いられる。ATカットの水晶振動片の主面(YZ面)は、人工水晶の結晶軸(XYZ)のY軸に対して、X軸を中心としてZ軸からY軸方向に35度15分傾斜している。このため、本明細書ではATカットの水晶振動片の軸方向を基準とし、傾斜された新たな軸をX軸、Y’軸及びZ’軸とする。
水晶振動片30の製造方法について、図4及び図5に示されたフローチャートを参照して説明する。また、図4及び図5のフローチャートの右横には、図4及び図5に示される各ステップを説明するための図が示されている。これらの図は、複数の水晶振動片30が形成される水晶ウエハ30Wの水晶振動片30(図8を参照)に示された水晶振動片30のB−B断面(図2(b)を参照)に相当する断面図である。
<第2水晶デバイス200の構成>
図9は、第2水晶デバイス200の分解斜視図であり、図10(a)は、第2水晶デバイス200の断面図であり、(b)は、水晶振動片230の平面図である。第2水晶デバイス200は、ガラスからなるリッド板210及びベース板220と、水晶振動片230と、により構成されている。第2実施形態の水晶振動片230と第1実施形態の水晶振動片30との違いは、連結部の接続位置が異なっている点である。その他の構成は、第1実施形態と同様である。
水晶振動片230の製造方法は、図4及び図5に示されたフローチャートとほぼ同じである。水晶振動片230は、水晶ウエハ230WのX軸に対して61°回転した方向に形成される(図12を参照)。
図11(a)は、変形例1の水晶振動片230Aの平面図であり、(b)は、変形例2の水晶振動片230Bの平面図である。水晶振動片230と同じ部材には同じ符号が付してある。
10,210 … リッド板
17、28、217、228 … 凹部
20,220 … ベース板
23、223 … 接続電極
25 … 実装端子
27(a,b)、37(a,b)、227(a,b),237(a,b) … 側面電極
16、26(a,b)、36(a,b)216,236(a,b) … キャスタレーション
30、30A、230、230A、230B … 水晶振動片
31、231 … 励振部
31a,231a … 第1領域
31b,231b … 第2領域
31c,231c … 第3領域
32,232 … 枠部
34(a,b)、234(a,b) … 励振電極
35、235 … 連結部
38,238(a、b、c) … 貫通孔
41 … 接合材
81 … 金属膜
82 … フォトレジスト
10W,20W、30W、230W … 水晶ウエハ
M2、M3,M4,M5 … 接合面
Claims (7)
- 結晶軸X、結晶軸Y’及び結晶軸Z’を有する矩形状の励振部を有するATカット水晶振動片において、
前記励振部の周囲に所定の空隙を隔てて形成された枠体と、
前記励振部と前記枠体とを連結する連結部と、
前記励振部の両主面に配置される一対の励振電極と、
前記励振電極から前記連結部を介して前記枠体まで伸びる一対の引出電極と、
を備え、
前記励振部の長辺が前記結晶軸Xに対して61°又は119°回転して形成されており、
前記枠体の長辺が前記結晶軸Xに対して61°又は119°方向に伸びており、
前記連結部が前記結晶軸Xに対して61°又は119°方向に伸びており、前記励振部の短辺及び前記枠体の短辺と直交している水晶振動片。 - 前記連結部は一本のみであり、前記一対の引出電極が一本の連結部に、主面の法線方向から見て重なり合わないように形成されている請求項1に記載の水晶振動片。
- 前記一本の連結部と前記励振電極の中央とを結ぶ直線が、前記結晶軸Xに対して61°又は119°方向である請求項2に記載の水晶振動片。
- 前記枠体及び前記連結部のY’軸方向の厚さが、前記励振部のY’軸方向の厚さより厚い請求項1から請求項3のいずれか一項に記載の水晶振動片。
- 前記ATカット水晶振動片の一部に段差面が形成され、前記段差面は、前記励振部の厚さから前記連結部の厚さに変わる請求項4に記載の水晶振動片。
- 請求項1から請求項5のいずれか一項に記載の水晶振動片と、
ガラス材で形成され、前記枠体の主面の一方に接合する矩形状のベース部と、
ガラス材で形成され、前記枠体の主面の他方に接合する矩形状のリッド部と、を備える水晶デバイス。 - 請求項1から請求項5のいずれか一項に記載の水晶振動片と、
ATカット水晶材で形成され、前記枠体の主面の一方に接合する矩形状のベース部と、
ATカット水晶材で形成され、前記枠体の主面の他方に接合する矩形状のリッド部と、を備え、
前記ベース部及び前記リッド部の長辺は、前記結晶軸Xに対して61°又は119°回転して形成されている水晶デバイス。
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