JP2001024469A - 水晶振動子 - Google Patents

水晶振動子

Info

Publication number
JP2001024469A
JP2001024469A JP19237399A JP19237399A JP2001024469A JP 2001024469 A JP2001024469 A JP 2001024469A JP 19237399 A JP19237399 A JP 19237399A JP 19237399 A JP19237399 A JP 19237399A JP 2001024469 A JP2001024469 A JP 2001024469A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
crystal
diagonal
axis
width
electrodes
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP19237399A
Other languages
English (en)
Inventor
Masaaki Miura
正明 三浦
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Nihon Dempa Kogyo Co Ltd
Original Assignee
Nihon Dempa Kogyo Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Nihon Dempa Kogyo Co Ltd filed Critical Nihon Dempa Kogyo Co Ltd
Priority to JP19237399A priority Critical patent/JP2001024469A/ja
Publication of JP2001024469A publication Critical patent/JP2001024469A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【目的】衝撃前後の周波数変化を抑制して等価抵抗を良
好に維持した小型な水晶振動子を提供する。 【構成】結晶軸(XY’Z’)のZ’軸方向を長辺とし
てX軸方向を短辺とした矩形状のATカットからなる水
晶片を用いた水晶振動子において、前記水晶片の対角方
向を前記Z’軸方向から±30度±5度傾斜した方向と
して、前記水晶片の少なくても一組の対角部を保持した
構成とする。また、ATカットからなる矩形状とした水
晶片の両主面に励振電極を有し、前記励振電極から互い
に反対側の短辺に第1引出電極を延出して、両短辺に沿
って角部を含む側面及び両主面に前記第1引出電極と接
続した第2引出電極を形成した水晶振動子において、前
記第1引出電極とは反対面の第2引出電極における両角
部の短辺からの幅を中央領域の幅よりも大きくし、少な
くとも一組の対角部を保持した構成とする。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は水晶振動子を産業上
の技術分野とし、特に衝撃前後の周波数変化を抑制して
等価抵抗を良好に維持した小型な水晶振動子に関する。
【0002】
【従来の技術】(発明の背景)水晶振動子は、周波数及
び時間の基準源として通信機を含む電子機器に広く用い
られている。近年では、携帯用の電話やデジタルカメラ
等の普及により、極めて小さな水晶振動子が求められて
いる。また、これらのものでは、特に落下や衝撃に対応
して耐衝撃性に優れたものが要求される。
【0003】(従来技術の一例)第6図及び第7図は、
従来例を説明する水晶振動子の図である。なお、第6図
は断面図、第7図はカバーを除く分解斜視図である。水
晶振動子は、容器1内に水晶片2を密閉封入してなる。
容器1は平板状の容器本体3に凹状のカバー4を例えば
ガラス5によって封止する。容器本体3は積層セラミッ
クからなり、搭載電極6を表面に有する。外表面には、
積層面を経て搭載電極6に接続した実装電極7を有す
る。
【0004】水晶片2は矩形状としてATカットからな
り、Z’軸方向を長辺LとしてX軸方向を短辺W(但
し、L>W)とする。なお、ATカットは、結晶軸(X
YZ)のY軸に主面が直交したY板を、X軸を回転軸と
してYからZ軸方向へ35度15分回転した角度である
(第8図)。そして、回転した新たな軸を(X、Y’
Z’)軸と称している。図中の符号2AはATカットの
水晶板である。
【0005】水晶片2の両主面には励振電極8(ab)
を有し、互いに反対方向の短辺(両端外周部)に幅狭の
第1引出電極9を延出する。そして、角部を含む辺縁全
周(側面及び両主面)に設けた第2引出電極10に接続
する。これらは、蒸着等により一体的に形成される。そ
して、容器本体3の搭載電極6に水晶片2の両端部中央
を導電性接着剤11により固着し、電気的・機械的に保
持する。
【0006】なお、第2引出電極10を両主面に設ける
のは方向性をなくして、いずれの面でも保持できるよう
にするためであり、角部及び側面の全面に設けるのは、
蒸着による両主面間の電気的接続を確実にするためであ
る。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】(従来技術の問題点)
しかしながら、上記構成の水晶振動子では現行の規格は
満足するものの、さらに小型化が要求されると特に衝撃
前後における周波数変化の点で問題があった。具体的に
は現行の携帯型としたデジタルカメラでは、例えば5×
3.2×1.3(長さ×幅×厚み)mmを規格とするが、これ
以下の例えば3.2×2.5×0.8mmの規格要求に対しては
適用が困難な問題があった。
【0008】すなわち、上記構成のものでは、導電性接
着剤11を硬化させて水晶片2を固着する。しかし、導
電性接着剤11は硬化時に収縮して、多かれ少なかれ水
晶片2に応力による歪みを生じさせる。そして、落下等
の衝撃があった場合には、特に導電性接着剤11を柔軟
性とすると、硬化時の収縮力が吸収され、水晶片2の応
力(歪み)を緩和する。したがって、製品出荷時の歪み
があったときの振動周波数は、応力の緩和された本来の
振動周波数に変化して、周波数偏差を規格外にする問題
があった。
【0009】また、水晶片2の長辺が短くなるほど、導
電性接着剤11と振動変位の大きい振動中央部(水晶片
2の中央部)との距離も小さくなって、振動変位分布に
悪影響を及し、振動特性特に等価抵抗を悪化させる問題
もあった。
【0010】特に、水晶片2の両端部を保持した場合に
は、長辺が短くなるほど、両端部の導電性接着剤11の
間隔も小さくなって、収縮による振動中央部への影響を
大きくする。このため、例えば一端部両側を保持するこ
とも考えられるが、この場合には他端が自由端となり、
例えば衝撃時に容器底面に衝突して欠損による特性不良
等を引き起す問題があった。
【0011】(発明の目的)本発明は、衝撃前後の周波
数変化を抑制して等価抵抗を良好に維持した小型な水晶
振動子を提供することを目的とする。
【0012】
【課題を解決するための手段】(着目点)本発明は、
Z’軸から±30度回転した両端を保持した場合には、
応力感度が最も少なく(零感度)、これによって周波数
変化を防止する応力感度特性に着目した(参照:J.M.Ra
tajski:The forse sensitivity of AT-cut Quartzcrys
tals.Proc.20th ASFC.(1966)。
【0013】すなわち、水晶片2の対角方向をZ’軸か
ら±30度傾斜した方向とする辺比を選択し、矩形状で
は最も長い対角部を保持すれば応力感度を最小にして、
振動変位分布に与える影響も少なく、衝撃前後の周波数
変化を防止して等価抵抗も小さく維持できるのではと着
想した。
【0014】なお、応力感度特性とは、第9図に示すと
おりであり、円板状とした水晶片2の中心を通る軸方向
の両端部に応力を加えたときの、軸方向に対する周波数
変化特性である。ATカットでは、X軸から60度及び
120度回転したとき、すなわちZ’軸から±30度回
転したときの両端部に応力を加えたとき周波数変化は0
となる。また、振動周波数が高くなるほど周波数変化は
大きくなる。
【0015】(解決手段)本発明は、ATカットとした
Z’軸方向に長い水晶片2の対角方向をZ’軸から±3
0度±5度傾斜した方向として、少なくても一組の対角
部を保持したことを基本的な第1解決手段とする(請求
項1)。
【0016】また、水晶片2の第1引出電極9に接続し
た第2引出電極10における反対面の両角部の短辺から
の幅を中央部領域の幅よりも大きくしたことを基本的な
第2解決手段とする(請求項2)。
【0017】
【作用】本発明の第1解決手段では、矩形状とした水晶
片2の最も長い対角方向を応力感度の最も小さいZ’軸
から約±30度傾斜した方向に一致させて、対角部を保
持する。したがって、保持方向を応力感度の最も小さい
Z’軸から±30度傾斜した方向に一致させるので、両
端保持による周波数変化を最小限に軽減する。また、最
も長い対角部を保持するので、水晶片2の振動変位が最
も大きい中央部への影響をも最小限にして、等価抵抗を
小さく維持する。
【0018】また、第2解決手段では、第2引出電極1
0の反対面における両角部の短辺からの幅を大きくして
中央領域を小さくするので、対角部を保持する際に導電
性接着剤11との接着面積を確保するとともに、励振電
極8(ab)の面積を十分にするので、電気的短絡を起
こすことなく、振動特性特に等価抵抗の劣化を防止す
る。以下、本発明の一実施例を説明する。
【0019】
【実施例】第1図は本発明の一実施例を説明する水晶振
動子の分解図である。なお、前従来例図と同一部分には
同番号を付与してその説明は簡略する。水晶振動子は、
前述したようにZ’軸方向を長辺LとしてX軸方向を短
辺WとしたATカットの水晶片2を、容器本体3とカバ
ー4とのガラス封止による容器1内に密閉封入してな
る。なお、ここでの容器本体3は凹状として、カバー4
は平板とする。
【0020】そして、この実施例では、第2図に示した
ように矩形状とした水晶片2の対角方向をZ’軸から約
30度傾斜した方向とする。すなわち、水晶片2の長辺
Lと短辺Wの辺比W/Lを約tan30゜(0.632)に選
定する。そして、両主面には長円状として対向する励振
電極8(ab)を形成し、幅を同径とした第1引出電極
9を両端側の短辺に延出する。
【0021】なお、両主面の励振電極8(ab)の大き
さは、マスクズレ等による幅方向の非重畳を防止するた
めに非対称とする。そして、両端側の短辺には角部を含
めて両主面及び側面の外周表面に第2引出電極10を形
成する。第1引出電極9とは反対面(折返面)の第2引
出電極10における折返面の角部の短辺からの幅d1
は、短辺中央領域の幅d2よりも大きくする。
【0022】そして、水晶片2の一組の対角部を導電性
接着剤11により、容器本体の搭載電極6に固着して、
電気的・機械的に保持した構成とする。
【0023】(実施例の作用効果)第3図は中央部の両
端を保持した従来例(曲線イ)と比較した、本実施例
(曲線ロ)による耐衝撃試験の結果を示すグラフであ
る。なお、ここでの耐衝撃試験は、水晶振動子を回路基
板に搭載して150gの重量を付加し、上下前後左右の
6方向を1サイクルとしてコンクリート上に1.5m上
方から落下させた、50サイクルの周波数変化特性図で
ある。
【0024】また、横軸は上下前後左右の6方向の1サ
イクル一回とした落下回数であり、縦軸は落下前の基準
周波数Fに対する各落下後の周波数変化率ΔF/F(p
pm)である。そして、ここでの水晶片2は、長辺Lが
2mm、短辺Wが1.265mmで辺比W/Lを0.6325
とし、対角方向はZ’軸から32.3度傾斜した方向と
なる。また、供試振動子はそれぞれ10個づつである。
また、振動周波数は48MHz(基本波)である。
【0025】この実験から明らかなように、10個の平
均値(黒点で示す)の場合を比較すると、従来例では
(曲線イ)、落下回数が3サイクル目で、周波数偏差が
5ppmとなり、サイクル数の増加に伴って周波数偏差
も上昇し、50サイクル目では10ppmを越えてしま
う。
【0026】これに対し、本実施例では(曲線ロ)で
は、1〜5サイクル目で若干の周波数偏差の増加(約
2.5ppm)はあるものの、50サイクル目に至って
も2.5ppm以内を維持する。なお、5サイクル目以
上で周波数偏差が2.5ppmに飽和するが、これは衝
撃により導電性接着剤の収縮による応力(歪み)が解除
して本来の周波数に戻ったものと考えられる。
【0027】この点、従来例では、50サイクル目でも
周波数偏差は増加傾向にあり、未飽和であるが、これは
振動領域に接近した両端の中央を保持しているので、微
小の歪みが振動領域に影響を与えていると考えられる。
【0028】また、各サイクル毎の線で示す各10個の
周波数偏差分布を比較しても、従来例では3サイクル目
以上でその幅が広くて(5ppm以上)バラツキが大き
く、本実施例では1〜50サイクル間にわたり均一(約
2ppm以内)となる。
【0029】こらのことから、従来例のものでは例えば
通常では±10ppm以内を維持したとしても、度重な
る落下等の衝撃によって、例えば前述のデジタルカメラ
等で要求される周波数偏差15ppmを越えてしまう。
これに対し、本実施例では、2.5ppm以内を維持す
るので、十分に±15ppmの規格を満足する。
【0030】このように本実施例では、水晶片2の対角
方向をZ’軸から約30度傾斜した方向として、一組の
対角部を導電性接着剤によって固着する。したがって、
応力感度が最小(零)の両端を保持するので、周波数変
化を防止する。
【0031】第4図は従来例と比較した本実施例の等価
抵抗値の分布図である。なお、供試振動子はそれぞれ2
00個であり、横軸は抵抗値、縦軸は個数である。ま
た、斜線棒は従来、黒塗棒は本実施例である。
【0032】この分布図からも明らかなように、従来例
(斜線棒)では15〜40Ωにわたって散在するが、本
実施例では15から30Ω内に集約される。ちなみに、
平均値では従来例の約25Ωに対して、本実施例では1
9Ωとなり、等価抵抗の点でも本実施例の方が有利とな
る。
【0033】このように、本実施例では、水晶片2の振
動変位が大きい中央部から最も離間した一組の対角部を
保持する。したがって、振動に与える影響を防止して特
に等価抵抗を小さく維持できる。
【0034】また、第2引出電極10の反対面の角部の
幅を大きくして中央領域の幅を小さくする。したがっ
て、電気的な短絡を防止して、励振電極8(ab)の電
極面積を十分にする。また、導電性接着剤11との電気
的な接合面積を十分にして、導通抵抗の悪化を防止す
る。
【0035】また、この実施例では第1引出電極9を励
振電極の幅と同一としたので、例えばマスクが長辺方向
にずれたとしても対向する電極面積を増加させても減少
することはない。したがって、電極面積を確保してこれ
による等価抵抗の上昇を抑制する。
【0036】
【他の事項】上記実施例では、水晶片2の辺比W/Lを
0.6325としてZ’軸との傾斜角を零感度点の30度から
若干ずれたとなる32.3度としたが、これは傾斜角を
30度とすると輪郭系のスプリアス振動が発生するため
である。
【0037】第5図は水晶片2の長辺Lを2mmとし、
短辺を0.933mmとしたすなわち傾斜角を25度とした
ときの前述同様の耐衝撃試験の周波数変化特性図であ
る。これによれば、実施例よりも周波数変化特性は劣る
が、50サイクル目においても周波数偏差ΔF/Fは5
ppm以内を維持する。
【0038】このように本実施例では、対角方向が必ず
しもZ軸から30度傾斜した方向ではなく、スプリアス
振動等を考慮して30度±5度の範囲内であれば良好な
振動特性を得て、衝撃前後の周波数変化特性を良好にす
ることができる。また、Z’軸から+方向のみならず−
方向に30度傾斜してもよく結果として±30度±5度
の範囲内であればよい。
【0039】また、上記例では、一組の対角部のみを保
持したが、二組の対角部(四隅部)を保持したとしても
その効果を期待できる。すなわち、いずれの対角方向に
おいても零感度方向となるので、両端保持による影響は
小さい。なお、この場合、対角方向のみならず両長辺側
で直線方向にも応力が発生するが、振動中央領域からは
外れるのでその影響は小さい。したがって、本発明はこ
れを技術的範囲から除外するものではない。但し、一組
の対角部のみを保持した方が有利である。
【0040】また、両主面で対向する励振電極8は長円
状としたが、円でも矩形状であってもよい。そして、引
出電極9は励振電極8と同一幅としたが、幅狭であって
もよい。さらに、容器1は凹状の容器本体3と平板状の
カバー4とのガラス封止としたが、これらの形態は必要
に応じて任意に選択できる。
【0041】要するに、本発明の請求項1ではZ’軸方
向に長い矩形状とした水晶片の対角方向を±30度とし
て、最も離間した対角部を保持することによって、振動
変位を抑圧せずに等価抵抗を良好に維持して、衝撃前後
の周波数変化を最小限にする事が主旨であり、このよう
なものは適宜自在な変更を含めて、本発明の技術的範囲
に属する。
【0042】また、請求項2では、第1引出電極とは反
対面の第2引出電極の角部の幅を大きくして、励振電極
の大きさ及び導電性接着剤の接合面積を十分にすること
を主旨とし、仮にX軸方向に長い矩形状であったとして
もこの技術的範囲に属する。
【0043】
【発明の効果】本発明は、ATカットとしたZ’軸方向
に長い水晶片2の対角方向をZ’軸から±30度±5度
傾斜した方向として、少なくても一組の対角部を保持し
たので、衝撃前後の周波数変化を抑制して等価抵抗を良
好に維持した小型な水晶振動子を提供できる。
【0044】また、水晶片2の第1引出電極9に接続し
た第2引出電極10における反対面の両角部の短辺から
の幅を中央部領域の幅よりも大きくしたので、励振電極
面積を十分にして、導電性接着剤の接合面積を確保し、
さらに衝撃前後の周波数変化を抑制して等価抵抗を良好
に維持した小型な水晶振動子を提供できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本実施例の一実施例を説明する水晶振動子の分
解斜視図である。
【図2】本実施例の一実施例を説明する水晶片の図であ
る。
【図3】本実施例の一実施例の作用効果を説明する衝撃
前後の周波数変化特性図である。
【図4】本実施例の一実施例の作用効果を説明する等価
抵抗の分布図である。
【図5】本実施例の一実施例の作用効果を説明する他の
例の衝撃前後の周波数変化特性図である。
【図6】従来例を説明する水晶振動子の断面図である。
【図7】従来例を説明する水晶振動子の一部分解斜視図
である。
【図8】従来例を説明するATカットの切断方位図であ
る。
【図9】従来例を説明する本発明が着目した応力感度特
性図である。
【符号の説明】
1 容器、2 水晶片、3 容器本体、4 カバー、5
ガラス、6 搭載電極、7 実装電極、8 励振電
極、9 第1引出電極、10 第2引出電極、11 導
電性接着剤.
─────────────────────────────────────────────────────
【手続補正書】
【提出日】平成11年8月2日(1999.8.2)
【手続補正1】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図8
【補正方法】変更
【補正内容】
【図8】

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】結晶軸(XY’Z’)のZ’軸方向を長辺
    としてX軸方向を短辺とした矩形状のATカットからな
    る水晶片を用いた水晶振動子において、前記水晶片の対
    角方向を前記Z’軸方向から±30度±5度傾斜した方
    向として、前記水晶片の少なくても一組の対角部を保持
    したことを特徴とする水晶振動子。
  2. 【請求項2】ATカットからなる矩形状とした水晶片の
    両主面に励振電極を有し、前記励振電極から互いに反対
    側の短辺に第1引出電極を延出して、両短辺に沿って角
    部を含む側面及び両主面に前記第1引出電極と接続した
    第2引出電極を形成した水晶振動子において、前記第1
    引出電極とは反対面の第2引出電極における両角部の短
    辺からの幅を中央領域の幅よりも大きくし、少なくとも
    一組の対角部を保持したことを特徴とする水晶振動子。
JP19237399A 1999-07-06 1999-07-06 水晶振動子 Pending JP2001024469A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP19237399A JP2001024469A (ja) 1999-07-06 1999-07-06 水晶振動子

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP19237399A JP2001024469A (ja) 1999-07-06 1999-07-06 水晶振動子

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2001024469A true JP2001024469A (ja) 2001-01-26

Family

ID=16290219

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP19237399A Pending JP2001024469A (ja) 1999-07-06 1999-07-06 水晶振動子

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2001024469A (ja)

Cited By (14)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2003060473A (ja) * 2001-08-10 2003-02-28 Nippon Dempa Kogyo Co Ltd 表面実装型の水晶振動子
JP2004096568A (ja) * 2002-09-02 2004-03-25 Nippon Dempa Kogyo Co Ltd Itカットの水晶振動子
JP2004096569A (ja) * 2002-09-02 2004-03-25 Nippon Dempa Kogyo Co Ltd 短冊形のitカットの水晶振動子
KR100453828B1 (ko) * 2002-03-04 2004-10-20 주식회사 코스텍시스 수정진동자용 리드의 선별방법 및 리드
US7482735B2 (en) 2006-10-05 2009-01-27 Nihon Dempa Kogyo Co., Ltd. Crystal oscillator
JP2009135830A (ja) * 2007-11-30 2009-06-18 Epson Toyocom Corp 水晶振動片、水晶振動子、及び水晶発振器
JP2011166364A (ja) * 2010-02-08 2011-08-25 Daishinku Corp 厚み系水晶振動子
JP2012191648A (ja) * 2009-12-09 2012-10-04 Nippon Dempa Kogyo Co Ltd 表面実装水晶振動子
US8299859B2 (en) 2009-12-09 2012-10-30 Nihon Dempa Kogyo Co., Ltd Surface mount crystal oscillator and manufacturing method of the same
JP2012235519A (ja) * 2009-11-11 2012-11-29 Nippon Dempa Kogyo Co Ltd シート状セラミックベース及びその製造方法
JP2013157831A (ja) * 2012-01-31 2013-08-15 Nippon Dempa Kogyo Co Ltd 水晶振動片及び水晶デバイス
JP2015171144A (ja) * 2015-02-10 2015-09-28 エスアイアイ・クリスタルテクノロジー株式会社 圧電振動片および圧電振動子
JP2017060055A (ja) * 2015-09-17 2017-03-23 エスアイアイ・クリスタルテクノロジー株式会社 圧電振動片及び圧電振動子
JP2018137704A (ja) * 2017-02-24 2018-08-30 京セラクリスタルデバイス株式会社 水晶素子及び水晶デバイス

Cited By (14)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2003060473A (ja) * 2001-08-10 2003-02-28 Nippon Dempa Kogyo Co Ltd 表面実装型の水晶振動子
KR100453828B1 (ko) * 2002-03-04 2004-10-20 주식회사 코스텍시스 수정진동자용 리드의 선별방법 및 리드
JP2004096568A (ja) * 2002-09-02 2004-03-25 Nippon Dempa Kogyo Co Ltd Itカットの水晶振動子
JP2004096569A (ja) * 2002-09-02 2004-03-25 Nippon Dempa Kogyo Co Ltd 短冊形のitカットの水晶振動子
US7482735B2 (en) 2006-10-05 2009-01-27 Nihon Dempa Kogyo Co., Ltd. Crystal oscillator
JP2009135830A (ja) * 2007-11-30 2009-06-18 Epson Toyocom Corp 水晶振動片、水晶振動子、及び水晶発振器
JP2012235519A (ja) * 2009-11-11 2012-11-29 Nippon Dempa Kogyo Co Ltd シート状セラミックベース及びその製造方法
JP2012191648A (ja) * 2009-12-09 2012-10-04 Nippon Dempa Kogyo Co Ltd 表面実装水晶振動子
US8299859B2 (en) 2009-12-09 2012-10-30 Nihon Dempa Kogyo Co., Ltd Surface mount crystal oscillator and manufacturing method of the same
JP2011166364A (ja) * 2010-02-08 2011-08-25 Daishinku Corp 厚み系水晶振動子
JP2013157831A (ja) * 2012-01-31 2013-08-15 Nippon Dempa Kogyo Co Ltd 水晶振動片及び水晶デバイス
JP2015171144A (ja) * 2015-02-10 2015-09-28 エスアイアイ・クリスタルテクノロジー株式会社 圧電振動片および圧電振動子
JP2017060055A (ja) * 2015-09-17 2017-03-23 エスアイアイ・クリスタルテクノロジー株式会社 圧電振動片及び圧電振動子
JP2018137704A (ja) * 2017-02-24 2018-08-30 京セラクリスタルデバイス株式会社 水晶素子及び水晶デバイス

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP4281348B2 (ja) 圧電振動片と圧電振動片を利用した圧電デバイス、ならびに圧電デバイスを利用した携帯電話装置および圧電デバイスを利用した電子機器
JP4033100B2 (ja) 圧電デバイスと圧電デバイスを利用した携帯電話装置および圧電デバイスを利用した電子機器
US7521846B2 (en) Piezoelectric resonator element and piezoelectric device
KR100712758B1 (ko) 압전 진동편 및 압전 디바이스
US20130193807A1 (en) Quartz crystal vibrating piece and quartz crystal device
JP2001024469A (ja) 水晶振動子
US20160028369A1 (en) Resonator element, resonator, oscillator, electronic apparatus, and mobile object
EP2341619A2 (en) Resonator element, resonator, oscillator, electronic device, and frequency adjustment method
JPH08242026A (ja) 圧電振動子及びこれを具備する圧電振動子デバイス並びに該デバイスを具備する回路装置
US20130328637A1 (en) Resonator element, resonator, electronic device, electronic apparatus, and method of manufacturing resonator element
WO2007032444A1 (ja) 水晶振動子
US11824521B2 (en) Vibration substrate having a pair of holding portions and a beam portion connecting the holding portions, vibrator, and vibrator unit
JP2011151780A (ja) 屈曲振動片、振動デバイス及び電子機器
JP2014158149A (ja) 振動素子、振動子、電子デバイス、電子機器、及び移動体
JP3262007B2 (ja) エネルギー閉じ込め型厚みすべり共振子およびこの共振子を用いた電子部品
WO2016132766A1 (ja) 水晶振動子及び水晶振動デバイス
JP2004201211A (ja) 圧電振動片の接合構造および圧電デバイスとその製造方法ならびに圧電デバイスを利用した携帯電話装置および圧電デバイスを利用した電子機器
JP2001257558A (ja) 圧電振動子
JP2013258452A (ja) 振動素子、振動子、電子デバイス、電子機器、移動体、および振動素子の製造方法
JP2001196886A (ja) 水晶振動子
JP2003273703A (ja) 水晶振動子と水晶振動子の製造方法
JP2004080068A (ja) 振動子用表面実装容器及びこれを用いた水晶振動子。
JP2004236008A (ja) 圧電振動片と圧電振動片を利用した圧電デバイス、ならびに圧電デバイスを利用した携帯電話装置および圧電デバイスを利用した電子機器
JP2005260692A (ja) 圧電振動片、圧電振動子および圧電発振器
JP2004328553A (ja) 電子部品用パッケージおよび当該パッケージを用いた圧電振動デバイス