WO2016132766A1 - 水晶振動子及び水晶振動デバイス - Google Patents

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WO2016132766A1
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crystal
electrode
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peripheral portion
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開田　弘明
上　慶一
和幸 能登
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株式会社村田製作所
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    • H03H2003/0414—Resonance frequency
    • H03H2003/0478—Resonance frequency in a process for mass production

Definitions

  • the present invention relates to a crystal resonator and a crystal vibration device.
  • a crystal resonator having a thickness shear vibration as a main vibration is widely used.
  • a mesa structure is known in which a vibration part is formed by etching thicker than its peripheral part in order to confine vibration energy of thickness-shear vibration.
  • excitation electrodes are formed on both main surfaces of the vibration part, and an extended electrode electrically connected to the excitation electrode is formed.
  • the extension electrode extends through a step formed by the vibration part and the peripheral part.
  • the cross-sectional shape of the step formed by the vibration part and the peripheral part is usually determined by the orientation of the quartz crystal axis, on the side where the angle between the side surface of the vibration part and the surface of the peripheral part is an acute angle.
  • the electrode is disconnected, and the extending direction of the electrode is restricted, or it is difficult to maintain stable quality from the viewpoint of electrical connection reliability.
  • an electrode electrically connected to the excitation electrode is a side where the angle formed by the side surface of the vibrating portion and the surface of the peripheral portion becomes an obtuse angle (one side in the short direction). It is known to extend to the long side), but in such a configuration, the electrode is extended outward beyond the width direction of the excitation electrode, which prevents miniaturization of the crystal unit. There was a possibility.
  • the present invention has been made in view of such circumstances, and an object thereof is to improve electrical connection reliability without hindering downsizing.
  • the X ′ axis, the Y axis, and the Z axis which are crystal axes of quartz, are rotated about the X axis by a predetermined angle from the Z axis as the Z ′ axis.
  • the AT-cut quartz crystal substrate is cut out with a plane parallel to the plane specified by the X-axis and the Z′-axis as a main surface, the vibration unit having the main surface, and the vibration unit provided so as to surround the vibration unit
  • An AT-cut quartz crystal substrate including a peripheral portion having a smaller thickness, an excitation electrode formed on a main surface, and an extension electrode electrically connected to the excitation electrode.
  • the longitudinal direction is a direction parallel to the Z ′ axis
  • the short direction is a direction parallel to the X axis
  • the vibration part is on one short side in the longitudinal direction.
  • a taper side surface formed by inclining from the X axis in a plan view specified by the axis and the Z ′ axis, and the taper side surface is in contact with the peripheral portion at an angle ⁇ ′ larger than ⁇ 1
  • the extension electrode is formed to extend to one short side in the longitudinal direction through at least a part of the tapered side surface of the vibration part.
  • the extended electrode can be formed to extend at a relatively gentle angle, disconnection of the electrode is prevented without restricting the extending direction of the electrode, and from the viewpoint of electrical connection reliability. Stable quality can be maintained.
  • miniaturization of the quartz resonator is not hindered. Therefore, it is possible to improve electrical connection reliability without hindering downsizing.
  • the vibrating portion has a second short side surface that contacts the peripheral portion on the other short side in the longitudinal direction, and the tapered side surfaces are the first short side surface and the second short side surface. May be formed adjacent to each of the two.
  • the vibrating portion has a first long side surface that contacts the peripheral portion on one long side in the short direction, and the tapered side surfaces are the first short side surface and the first long side. It may be formed adjacent to each of the side surfaces.
  • the extended electrode is formed on the entire surface of the tapered side surface and wider than the tapered side surface so as to reach a part of the first short side surface and a part of the first long side surface. It may be formed.
  • the AT-cut quartz substrate has a front surface and a back surface, and in a plan view specified by the X axis and the Z ′ axis, the outer shape of the surface of the vibration unit is based on the Z ′ axis. It may be line-symmetric with the outer shape of the back surface.
  • a crystal device includes a base member, a lid member connected to the base member so as to constitute a sealed internal space, and the above-described crystal resonator housed in the internal space.
  • the electrical connection reliability can be improved without hindering downsizing.
  • FIG. 1A to 1C are diagrams for explaining a crystal resonator according to this embodiment.
  • 2 is a cross-sectional view taken along line II-II in FIG. 3 is a cross-sectional view taken along line III-III in FIG. 4 is a cross-sectional view taken along line IV-IV in FIG.
  • FIG. 5 is a schematic perspective view for explaining the crystal vibrating device according to the present embodiment.
  • FIG. 6 is a cross-sectional view for explaining the crystal vibrating device according to the present embodiment.
  • FIG. 7 is a diagram for explaining a crystal resonator according to a modification of the present embodiment.
  • FIG. 8 is a diagram for explaining a crystal resonator according to another modification of the present embodiment.
  • FIG. 9 is a diagram for explaining a crystal resonator according to another modification of the present embodiment.
  • 10 is a cross-sectional view taken along line XX of FIG.
  • FIGS. 1A and 1B are plan views
  • FIG. 1C is a cross-sectional view taken along the line IC-IC in FIG. 1A. is there.
  • the crystal resonator 100 includes a crystal substrate 10 and excitation electrodes 20 and 30 formed on the crystal substrate 10.
  • the quartz substrate 10 is made of quartz formed by AT cut.
  • the AT-cut quartz substrate 10 rotates the Y-axis and Z-axis among the X-axis, Y-axis, and Z-axis, which are crystal axes of artificial quartz, around the X-axis by 35 degrees 15 minutes in the direction from the Y-axis to the Z-axis.
  • the Y ′ axis and the Z ′ axis are used as the axes
  • the surfaces specified by the X axis and the Z ′ axis hereinafter referred to as “XZ ′ surfaces”.
  • XZ ′ surfaces The same applies to the surfaces specified by other axes. Is cut out with a plane parallel to the main plane.
  • a quartz resonator using an AT-cut quartz substrate has extremely high frequency stability over a wide temperature range, is excellent in aging characteristics, and can be manufactured at low cost. Further, the AT-cut quartz resonator is often used as a main vibration in a thickness shear vibration mode (Thickness Shear Mode).
  • the quartz substrate 10 has a longitudinal direction parallel to the Z′-axis direction, a short direction parallel to the X-direction, and a thickness direction parallel to the Y′-axis direction. As shown in FIG. 1A, the quartz substrate 10 has a substantially rectangular shape on the XZ ′ plane.
  • 1A is a plan view on the Y′-axis positive direction side (front side of the quartz substrate), and FIG. 1B is a plan view on the Y′-axis negative direction side (back side of the quartz substrate).
  • the quartz crystal substrate 10 has a vibrating part 40 configured to vibrate in thickness and a peripheral part 50 provided so as to surround the entire circumference of the vibrating part 40. As shown in FIG. 1C, the thickness of the vibration part 40 is thinner than the thickness of the peripheral part 50. Further, in the vibrating portion 40, the excitation electrode 20 is formed on the main surface on the Y′-axis positive direction side, and the excitation electrode 30 is formed on the main surface on the Y′-axis negative direction side. As shown in FIGS. 1A and B, each excitation electrode 20, 30 may be formed with an outer shape smaller than the region of the vibration part 40 so as to provide a space from the outer edge of the vibration part 40, or the vibration part 40. It may be formed so as to cover the entire area of each main surface. Each excitation electrode 20 and 30 is disposed as a pair of electrodes so that substantially the whole overlaps on the XZ ′ plane.
  • the quartz substrate 10 is formed with an extension electrode 22 electrically connected to the excitation electrode 20 and an extension electrode 32 electrically connected to the excitation electrode 30.
  • the extending electrode 22 extends toward the short side of the Z′-axis negative direction in the longitudinal direction of the quartz substrate 10 on the Y′-axis positive direction side, and further, the side surface of the peripheral portion 50 is It extends so as to reach the negative direction side through Y ′ (see FIGS. 1B and 1C).
  • the extended electrode 32 extends toward the short side of the longitudinal direction of the quartz substrate 10 on the Z′-axis negative direction side on the Y′-axis negative direction side.
  • Each of the extension electrodes 22 and 32 has a connection electrode along the short side on the negative side of the Z′-axis, and conductive adhesives 340 and 342 are provided on each connection electrode, whereby the excitation electrode 20 and 30 can be electrically connected to the outside on the Y′-axis negative direction side and the Z′-axis negative direction side.
  • Each of the electrodes including the excitation electrodes 20 and 30 may be formed, for example, by forming a base with a chromium (Cr) layer and forming a gold (Au) layer on the surface of the chromium layer. Absent.
  • FIGS. 2 to 4 correspond to the sectional view taken along the line II-II, the sectional view taken along the line III-III, and the sectional view taken along the line IV-IV in FIG. 1B, respectively.
  • the quartz substrate 10 is usually formed by wet etching. Therefore, the quartz substrate 10 is formed so that the planar shape in the XZ ′ plane follows the mask shape, but the cross-sectional shape perpendicular to the XZ ′ plane depends on the etching conditions, the orientation of the crystal axis of the quartz substrate, and the like. Will be formed. That is, the cross-sectional shape of the step formed by the vibrating portion 40 and the peripheral portion 50 is formed in a state that is nearly perpendicular to the main surface in the XY ′ plane among the cross sections perpendicular to the XZ ′ plane. Thus, as shown in FIG. 1C, the Y′Z ′ plane is formed with a relatively large inclination with respect to the main surface.
  • the side surface of the vibrating portion 40 contacts the peripheral portion 50 at a relatively large obtuse angle on the side on the Z′-axis negative direction side on the Y′-axis positive direction side.
  • the side on the negative side of the Z ′ axis on the negative side of the axis is in contact with the peripheral portion 50 at a relatively large acute angle, and the electrode extending from the excitation electrode on the negative side of the Y ′ axis may be disconnected.
  • a taper side surface 42 is formed in the vibrating portion 40, and the extension electrode 32 passes through at least a part of the taper side surface 42 and is short on the Z′-axis negative direction side. It extends toward the side.
  • the vibration unit 40 includes a second short side surface 44 a on the Z′-axis positive direction side and a first side on the Z′-axis negative direction side.
  • the short side surface 44b, the first long side surface 46a on the X axis positive direction side, the second long side surface 46b on the X axis negative direction side, the first short side surface 44b and the first long side side And a tapered side surface 42 formed adjacent to each of the side surfaces 46 a and inclined from the X axis in the XZ ′ plane.
  • each of the plurality of side surfaces of the vibration part 40 is connected to the main surface 41 of the vibration part 40 and the main surface 51 of the peripheral part 50 (see FIGS. 2 to 4).
  • the vibration part 40 of the quartz substrate 10 has a pentagonal planar shape in which one corner part is notched in the XZ ′ plane.
  • the cross-sectional shape is formed depending on the orientation of the crystal axis of the quartz crystal, etc., and as shown in FIG.
  • the short side surface 44b is in contact with the main surface 51 of the peripheral portion 50 at an acute angle ⁇ 1, while the shorter the side surface 44b is, the more the orientation changes from a line parallel to the X axis to a line parallel to the Z ′ axis,
  • the angle formed by the main surface 51 of the peripheral portion 50 is increased, and as shown in FIG. 3, the first long side surface 46a has an angle ⁇ 2 with the main surface 51 of the peripheral portion 50 (where ⁇ 1 ⁇ 2). Will be in contact.
  • the angle ⁇ ′ formed by the tapered side surface 42 and the main surface 51 of the peripheral portion 50 is in the range of ⁇ 1 ⁇ ′ ⁇ 2, and the angle of the tapered surface (XZ ′ The inclination angle of the surface from the X axis), the height of the step (that is, the height from the main surface 51 of the peripheral portion 50 to the main surface 41 of the vibrating portion 40), etching conditions, and the like.
  • the angle ⁇ 1 approximates to an angle 35 ° 15 ′ from the Z ′ axis by the AT cut (that is, the original Z axis), and may be, for example, 33 ° ⁇ 1 ⁇ 38 °.
  • the angle ⁇ 2 approximates to 90 °, and may be, for example, 85 ° ⁇ 2 ⁇ 95 °. ⁇ 2 becomes larger than 90 ° when the etching time is long.
  • the angle ⁇ ′ depends on the inclination angle of the tapered surface, and may be, for example, 50 ° ⁇ ′ ⁇ 80 °. These angles become shallower when the etching time is longer than when the etching time is shorter.
  • angle ⁇ ′ of the tapered side surface 42 can be arbitrarily formed in a range of ⁇ 1 ⁇ ′ ⁇ 2 using an alternative or additional other method.
  • the excitation electrode and the extension electrode may be formed simultaneously or separately by sputtering or the like using a separate metal mask.
  • a mask for wet-etching the quartz substrate may be formed by sputtering, which may be used as an excitation electrode as it is, and an extended electrode may be added by sputtering or the like as necessary.
  • the excitation electrode is formed so as to cover the entire region of the main surface of the vibration part.
  • a conductive film may be additionally formed on a mask formed by sputtering, and this may be used as an excitation electrode.
  • the extension electrode 32 formed on the Y′-axis negative direction side passes through at least a part of the tapered side surface 42 and is on the Z ′ negative direction side. It is formed to extend toward the short side. That is, the extension electrode 32 extends to the main surface 51 of the peripheral portion 50 through ⁇ ′ that is an angle larger than the acute angle ⁇ 1. Therefore, even if a step is formed by the vibrating portion 40 and the peripheral portion 50, the extended electrode 32 is formed to extend at a relatively gentle angle, so that the disconnection of the electrode is prevented. And stable quality can be maintained from the viewpoint of electrical connection reliability.
  • the crystal axis (X, Y ′, Z ′) of the crystal and the positive direction and the negative direction are only examples, and should be understood in a limited manner in understanding the configuration of the crystal unit. is not.
  • a quartz substrate in which crystal axes (X, Y ′, Z ′) of quartz are rotated 180 ° around the X axis (the positive and negative directions of each axis are also reversed) has a similar shape (acute angle on the side surface and The content described in the present embodiment may be applied to such a configuration.
  • FIG. 5 is an exploded perspective view of the crystal resonator device according to the present embodiment
  • FIG. 6 is a VI-VI line of FIG. 5 and 6, the crystal unit 100 is illustrated in a simplified manner, but the details are as described above.
  • the crystal oscillating device 1 includes the crystal resonator 100, a lid member 200, and a base member 300.
  • the lid member 200 and the base member 300 are cases or packages for housing the crystal unit 100.
  • the lid member 200 has a recess 204 that is opened to face the first surface 302 of the base member 300. Further, the lid member 200 has an opening edge 202 of the recess 204.
  • the lid member 200 may be formed of any of a metal material, an insulating material, or a composite material thereof. Further, the outer shape of the lid member 200, the shape of the recess 204, or the mode of the opening edge 202 is not limited.
  • the opening edge may be a flange that protrudes from the opening edge toward the opening edge from the center of the recess opening.
  • the base member 300 has a substantially rectangular outer shape, and the crystal unit 100 is provided on the first surface 302.
  • the base member 300 may be formed of ceramic.
  • the crystal resonator 100 is surrounded by the recess 204 of the lid member 200 and the base member 300. Hermetically sealed. Both the lid member 200 and the base member 300 are joined by a desired adhesive material (for example, low-melting glass or resin adhesive) 210.
  • the crystal unit 100 includes the lid member 200 and the lid member 200 such that one end where the connection electrode (the conductive adhesives 340 and 342 are provided) is a fixed end. Supported by the base member 300, the other end of the crystal unit 100 is a free end.
  • the base member 300 has external electrodes 330, 332, 334, and 336 formed at the respective corners.
  • Each of the external electrodes 330 to 336 passes from the first surface 302 on which the crystal unit 100 is mounted to the second surface 304 (the surface opposite to the first surface 302) of the base member 300 through the side surface of the base member 300. It is formed continuously. More specifically, the base member 300 has a side surface (notch portion) formed by cutting a part of each corner portion into a cylindrical curved surface shape (or a castellation shape). 336 to 336 are continuously formed from the first surface 302 on which the crystal unit 100 is mounted to the second surface 304 of the base member 300 through the side surface formed by cutting into a cylindrical curved surface. ing.
  • the shape of the corner portion of the base member 300 is not limited to the above.
  • any one of the plurality of external electrodes 330 to 336 formed on the base member 300 is electrically connected to the connection electrode 320 formed on the first surface 302 via the extension electrode 320a.
  • the other external electrode 332 connected is electrically connected to the connection electrode 322 formed on the first surface 302 via the extension electrode 322a, and the remaining two external electrodes 334 and 336 are connected to the connection electrode.
  • the connection electrodes 320 and 322 of the base member 300 are electrically connected to the connection electrodes (see FIG. 1B) of the crystal unit 100 via conductive adhesives 340 and 342, respectively.
  • the two external electrodes 330 and 332 that are electrically connected to the crystal unit 100 may be provided at positions facing each other in a plan view of the base member 300.
  • connection electrodes and the external electrodes are not particularly limited, and can be freely designed as appropriate.
  • the electrical connection reliability can be improved without hindering downsizing.
  • the present invention is not limited to the above embodiment and can be applied in various modifications.
  • modifications of the crystal resonator according to the present embodiment will be described. In the following description, differences from the configuration of the above embodiment will be described.
  • FIG. 7 is a plan view of a crystal resonator 101 according to a modification of the present embodiment (a plan view on the back side of the crystal substrate).
  • the configuration of the extension electrode 34 is different. That is, the extension electrode 34 on the Y′-axis negative direction side is formed on the entire taper side surface 42 of the vibration unit 40, and a part of the first short side surface 44 b and the first long side side of the vibration unit 40. It is formed wider than the tapered side surface 42 so as to reach a part of the side surface 46a.
  • a part of the extended electrode 34 passes through the first short side surface 44b through the angle ⁇ 1 to the peripheral portion 50, and the other part passes through the tapered side surface 42 through the angle ⁇ ′ to the peripheral portion. 50, and the remaining part is formed so as to pass through the first long side surface 46a and reach the peripheral portion 50 through an angle ⁇ 2.
  • part of the extended electrode 34 is extended so as to reach the peripheral portion 50 at a relatively gentle angle (that is, the angle ⁇ ′), so that disconnection of the electrode can be prevented. .
  • FIG. 8 is a plan view (a plan view of the back surface side of the crystal substrate) of the crystal resonator 102 according to another modification of the present embodiment.
  • the configurations of the vibrating portion 60 and the extension electrode 36 are different. That is, the vibration unit 60 includes a second short side surface 64a on the Z′-axis positive direction side, a first short side surface 64b on the Z′-axis negative direction side, and a second long side on the X-axis negative direction side.
  • a side surface 66b; and a tapered side surface 62 formed adjacent to each of the first short side surface 64b and the second short side surface 64a and inclined from the X axis in the XZ ′ plane. .
  • the vibration part 60 of the quartz substrate has a rectangular planar shape on the XZ ′ plane.
  • the extension electrode 36 is formed on a part (a part on the Z′-axis negative direction side) of the tapered side surface 62 formed over the second short side surface 64a and the first short side surface 64b. Yes.
  • the extended electrode 36 may be formed on the entire tapered side surface 62. Even in such a configuration, the extension electrode 36 is extended so as to reach the peripheral portion 50 at a relatively gentle angle (that is, the angle ⁇ ′), so that disconnection of the electrode can be prevented.
  • FIG. 9 is a plan view (plan view of the surface side of the crystal substrate) of the crystal resonator 103 according to another modification of the present embodiment
  • FIG. 10 is a cross-sectional view taken along the line XX of FIG.
  • the taper side surface is formed on the vibrating portion also on the front surface side of the quartz crystal substrate.
  • the vibration part 70 has a tapered side surface 74, and extends through at least a part of the tapered side surface 74 toward the short side on the Z′-axis negative direction side.
  • the vibration part 70 has a tapered side surface 72, and passes through at least a part of the tapered side surface 72 toward the short side on the Z′-axis negative direction side.
  • an extended electrode 24 is formed. That is, the outer shape of the surface of the vibration unit 70 is configured to be line-symmetric with the outer shape of the back surface of the vibration unit 70 with respect to the Z ′ axis.
  • the configuration of the taper side surface 74 on the back surface side is the same as the taper side surface 42 already described, and is configured to contact the peripheral portion 50 at the angle ⁇ ′ described above.
  • the taper side surface 72 on the surface side of the quartz substrate has a crystal axis rotated 180 ° around the X axis with respect to the taper side surface 74, and as shown in FIG. 73 is in contact with the peripheral portion 50 at an obtuse angle ⁇ 3 (here, ⁇ 2 ⁇ 3), and the adjacent long side surface 75 shown in FIG. 9 is the same as the peripheral portion 50 and ⁇ 2 shown in FIG. Contact at an angle. That is, assuming that the angle at which the tapered side surface 72 contacts the peripheral portion 50 is ⁇ ′′, the range is ⁇ 2 ⁇ ′′ ⁇ 3.
  • the angle ⁇ 3 approximates to an angle 144 ° 45 ′ from the Z ′ axis by the AT cut (that is, the original Z axis), and may be 142 ° ⁇ 3 ⁇ 147 °, for example.
  • the angle ⁇ ′′ depends on the inclination angle of the tapered surface, and may be 100 ° ⁇ ′′ ⁇ 130 °, for example.
  • the crystal substrate in addition to preventing the disconnection of the electrode, has the same configuration on both the front surface and the back surface, so that the electrode forming process is facilitated.
  • each embodiment described above is for facilitating understanding of the present invention, and is not intended to limit the present invention.
  • the present invention can be changed / improved without departing from the spirit thereof, and the present invention includes equivalents thereof.
  • those obtained by appropriately modifying the design of each embodiment by those skilled in the art are also included in the scope of the present invention as long as they include the features of the present invention.
  • each element included in each embodiment and its arrangement, material, condition, shape, size, and the like are not limited to those illustrated, and can be changed as appropriate.
  • each element included in each embodiment can be combined as much as technically possible, and combinations thereof are included in the scope of the present invention as long as they include the features of the present invention.

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Abstract

　水晶振動子（１００）は、主面を有する振動部（４０）と、振動部（４０）を囲むように設けられ振動部（４０）よりも厚さが薄い周辺部（５０）とを含む、ＡＴカット水晶基板（１０）と、主面に形成された励振電極（３０）と、励振電極（３０）に電気的に接続された延出電極（３２）と、を含み、水晶基板（１０）の長手方向はＺ´軸と平行な方向であり、短手方向はＸ軸と平行な方向であり、振動部（４０）は、周辺部と鋭角の角度θ１で接する第１短辺側側面（４４ｂ）と、第１短辺側側面（４４ｂ）に隣接するとともに、ＸＺ´面においてＸ軸から傾斜して形成されたテーパ側面（４２）とを有し、テーパ側面（４２）は、角度θ´（θ´＞θ１）で周辺部（５０）と接しており、延出電極（３２）は、励振電極（３０）からテーパ側面（４２）の少なくとも一部を通って長手方向の一方の短辺側に延出して形成されている。

Description

水晶振動子及び水晶振動デバイス
　本発明は、水晶振動子及び水晶振動デバイスに関する。
　発振装置や帯域フィルタなどに用いられる圧電振動素子として、厚みすべり振動を主振動とする水晶振動子が広く用いられている。また、水晶振動子の一態様として、厚みすべり振動の振動エネルギーを閉じ込めるために、振動部をその周辺部よりも厚くエッチング形成したメサ型構造が知られている。かかるメサ型構造においては、振動部の両主面に励振電極が形成され、励振電極と電気的に接続された延出電極が形成される。この場合、延出電極は、振動部と周辺部とによって形成される段差を通って延出されることになる。
　しかしながら、振動部と周辺部とによって形成される段差の断面形状は、通常、水晶結晶軸の向きによって決定されるため、振動部の側面と周辺部の面とのなす角が鋭角となる側においては電極が断線する可能性があり、電極の延出方向が制約されるか、あるいは、電気的接続信頼性の観点で安定した品質を維持することが難しい場合があった。
　他方、例えば、特許文献１の構成のように、励振電極と電気的に接続される電極を、振動部の側面と周辺部の面とのなす角が鈍角となる側（短手方向における一方の長辺側）へ延出させることが知られているが、かかる構成においては、励振電極の幅方向を越えて外方向へ電極を延出させることになり、水晶振動子の小型化が妨げられる可能性があった。
特開２００８－２３６４３９号公報
　本発明はこのような事情に鑑みてなされたものであり、小型化を妨げることなく、電気的接続信頼性の向上を図ることを目的とする。
　本発明の一側面に係る水晶振動子は、水晶の結晶軸であるＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸のうち、Ｘ軸の回りにＺ軸から所定の角度回転させた軸をＺ´軸とした場合、Ｘ軸及びＺ´軸によって特定される面と平行な面を主面として切り出されたＡＴカット水晶基板であって、主面を有する振動部と、振動部を囲むように設けられ振動部よりも厚さが薄い周辺部とを含む、ＡＴカット水晶基板と、主面に形成された励振電極と、励振電極に電気的に接続された延出電極と、を含み、ＡＴカット水晶基板は、長手方向及び短手方向を有し、長手方向はＺ´軸と平行な方向であり、短手方向はＸ軸と平行な方向であり、振動部は、長手方向における一方の短辺側において周辺部と鋭角の角度θ１で接する第１短辺側側面と、第１短辺側側面に隣接するとともに、Ｘ軸及びＺ´軸によって特定される平面視においてＸ軸から傾斜して形成されたテーパ側面とを有し、テーパ側面は、θ１よりも大きい角度θ´で周辺部と接しており、延出電極は、励振電極からテーパ側面の少なくとも一部を通って長手方向の一方の短辺側に延出して形成されたものである。
　上記構成によれば、延出電極が、振動部のテーパ側面の少なくとも一部を通って長手方向の一方の短辺側に延出して形成される。これにより、延出電極が比較的緩やかな角度をもって延出して形成されることができるため、電極の延出方向を制約することなく、電極の断線が防止され、電気的接続信頼性の観点で安定した品質を維持することができる。また、水晶基板の周辺部の領域を特に広く形成する必要もないことから、水晶振動子の小型化を妨げることもない。よって、小型化を妨げることなく、電気的接続信頼性の向上を図ることができる。
　上記水晶振動子において、振動部は、長手方向における他方の短辺側において周辺部と接する第２短辺側側面を有し、テーパ側面は、第１短辺側側面及び第２短辺側側面のそれぞれに隣接して形成されてもよい。
　上記水晶振動子において、振動部は、短手方向における一方の長辺側において周辺部と接する第１長辺側側面を有し、テーパ側面は、第１短辺側側面及び第１長辺側側面のそれぞれに隣接して形成されてもよい。
　上記水晶振動子において、延出電極は、テーパ側面の全面に形成され、かつ、第１短辺側側面の一部及び第１長辺側側面の一部に至るようにテーパ側面よりも幅広に形成されてもよい。
　上記水晶振動子において、ＡＴカット水晶基板は、表面及び裏面を有し、Ｘ軸及びＺ´軸によって特定される平面視において、振動部の表面の外形は、Ｚ´軸を基準として、振動部の裏面の外形と線対称となっていてもよい。
　本発明の一側面に係る水晶デバイスは、ベース部材と、密封した内部空間を構成するようにベース部材に接続されたリッド部材と、内部空間に収容された、上記水晶振動子と、を備える。
　上記構成によれば、上記水晶振動子を備えるので、小型化を妨げることなく、電気的接続信頼性の向上を図ることができる。
　本発明によれば、小型化を妨げることなく、電気的接続信頼性の向上を図ることができる。
図１Ａ～Ｃは、本実施形態に係る水晶振動子を説明するための図である。 図２は、図１のＩＩ－ＩＩ線断面図である。 図３は、図１のＩＩＩ－ＩＩＩ線断面図である。 図４は、図１のＩＶ－ＩＶ線断面図である。 図５は、本実施形態に係る水晶振動デバイスを説明するための概略斜視図である。 図６は、本実施形態に係る水晶振動デバイスを説明するための断面図である。 図７は、本実施形態の変形例に係る水晶振動子を説明するための図である。 図８は、本実施形態の他の変形例に係る水晶振動子を説明するための図である。 図９は、本実施形態の他の変形例に係る水晶振動子を説明するための図である。 図１０は、図９のＸ－Ｘ線断面図である。
　以下に本発明の実施の形態を説明する。以下の図面の記載において、同一又は類似の構成要素は同一又は類似の符号で表している。図面は例示であり、各部の寸法や形状は模式的なものであり、本願発明の技術的範囲を当該実施の形態に限定して解するべきではない。
　図１Ａ～Ｃは、本実施形態に係る水晶振動子を説明するための図であり、具体的には図１Ａ及びＢは平面図であり、図１Ｃは図１ＡのＩＣ－ＩＣ線断面図である。
　本実施形態に係る水晶振動子１００は、水晶基板１０と、水晶基板１０に形成された励振電極２０，３０とを備える。
　水晶基板１０は、ＡＴカットで形成された水晶からなる。ＡＴカットの水晶基板１０は、人工水晶の結晶軸であるＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸のうち、Ｙ軸及びＺ軸をＸ軸の周りにＹ軸からＺ軸の方向に３５度１５分回転させた軸をそれぞれＹ´軸及びＺ´軸とした場合、Ｘ軸及びＺ´軸によって特定される面（以下、「ＸＺ´面」と呼ぶ。他の軸によって特定される面についても同様である。）と平行な面を主面として切り出されたものである。ＡＴカット水晶基板を用いた水晶振動子は、広い温度範囲で極めて高い周波数安定性を有し、また、経時変化特性にも優れている上、低コストで製造することが可能である。また、ＡＴカット水晶振動子は、厚みすべり振動モード（Ｔｈｉｃｋｎｅｓｓ　Ｓｈｅａｒ　Ｍｏｄｅ）を主振動として用いられることが多い。
　水晶基板１０は、Ｚ´軸方向に平行な長手方向と、Ｘ方向に平行な短手方向と、Ｙ´軸方向に平行な厚さ方向を有する。水晶基板１０は、図１Ａに示すように、ＸＺ´面において略矩形形状をなしている。なお、図１ＡはＹ´軸正方向側（水晶基板の表面側）の平面図であり、図１ＢはＹ´軸負方向側（水晶基板の裏面側）の平面図である。
　水晶基板１０は、厚みすべり振動するように構成された振動部４０と、振動部４０の全周を囲むように設けられた周辺部５０とを有する。図１Ｃに示すように、振動部４０の厚さは、周辺部５０の厚さよりも薄い。また、振動部４０には、Ｙ´軸正方向側の主面に励振電極２０が形成され、Ｙ´軸負方向側の主面に励振電極３０が形成されている。図１Ａ及びＢに示すように、各励振電極２０，３０は、振動部４０の外縁からスペースを設けるように振動部４０の領域よりも小さい外形で形成されていてもよく、あるいは、振動部４０の各主面の領域全体を覆うように形成されていてもよい。各励振電極２０，３０は、一対の電極として、ＸＺ´面において略全体が重なり合うように配置されている。
　水晶基板１０には、励振電極２０に電気的に接続された延出電極２２と、励振電極３０に電気的に接続された延出電極３２とが形成されている。図１Ａに示すように、延出電極２２は、Ｙ´軸正方向側において水晶基板１０の長手方向のＺ´軸負方向側短辺に向かって延出しており、さらに周辺部５０の側面を通ってＹ´負方向側に至るように延出されている（図１Ｂ及びＣ参照）。他方、図１Ｂに示すように、延出電極３２は、Ｙ´軸負方向側において水晶基板１０の長手方向のＺ´軸負方向側の短辺に向かって延出されている。延出電極２２，３２はいずれも、Ｚ´軸負方向側の短辺に沿って接続電極を有しており、各接続電極には導電性接着剤３４０，３４２が設けられ、これにより励振電極２０，３０がＹ´軸負方向側かつＺ´軸負方向側において外部と電気的導通を図ることができるようになっている。
　励振電極２０，３０を含む上記各電極は、例えば、下地をクロム（Ｃｒ）層で形成し、クロム層の表面に金（Ａｕ）層を形成してもよく、その材料は限定されるものではない。
　次に、図２～４を参照しつつ、水晶基板１０の断面形状について説明する。ここで、図２～４は、図１ＢのＩＩ－ＩＩ線断面図、ＩＩＩ－ＩＩＩ線断面図及びＩＶ－ＩＶ線断面図にそれぞれ対応する。
　水晶基板１０は、通常ウェットエッチングによって形成される。したがって、水晶基板１０は、ＸＺ´面における平面形状はマスク形状に倣うように形成されるが、ＸＺ´面に垂直な断面形状は、エッチング条件や水晶基板の結晶軸の向きなどに依存して形成されることになる。すなわち、振動部４０と周辺部５０とによって形成される段差の断面形状は、ＸＺ´面に垂直な断面のうち、ＸＹ´面においては、主面に対して垂直に近い状態に形成される一方で、Ｙ´Ｚ´面においては、図１Ｃに示すように、主面に対して比較的大きく傾斜して形成される。したがって、Ｙ´Ｚ´面においては、振動部４０の側面は、Ｙ´軸正方向側のＺ´軸負方向側の辺では比較的大きい鈍角で周辺部５０と接するが、反対に、Ｙ´軸負方向側のＺ´軸負方向側の辺では比較的大きい鋭角で周辺部５０と接することになり、Ｙ´軸負方向側において励振電極から延出される電極が断線する可能性がある。
　そこで、本実施形態においては、Ｙ´軸負方向側において、振動部４０にテーパ側面４２を形成し、延出電極３２をテーパ側面４２の少なくとも一部を通ってＺ´軸負方向側の短辺に向かって延出させている。
　具体的には、図１Ｂに示すように、水晶基板１０の裏面側において、振動部４０は、Ｚ´軸正方向側の第２短辺側側面４４ａと、Ｚ´軸負方向側の第１短辺側側面４４ｂと、Ｘ軸正方向側の第１長辺側側面４６ａと、Ｘ軸負方向側の第２長辺側側面４６ｂと、第１短辺側側面４４ｂ及び第１長辺側側面４６ａのそれぞれに隣接して形成されかつＸＺ´面においてＸ軸から傾斜して形成されたテーパ側面４２とを有している。振動部４０の上記複数の側面のそれぞれは、振動部４０の主面４１と周辺部５０の主面５１とに接続されている（図２～４参照）。また、図１Ｂに示す例においては、水晶基板１０の振動部４０は、ＸＺ´面において一つのコーナー部が切り欠かれた五角形の平面形状を有する。
　水晶基板１０をウェットエッチングで形成した場合、上記のとおり、その断面形状は水晶の結晶軸の向きなどに依存して形成されるため、図２に示すようにＺ´軸負方向側の第１短辺側側面４４ｂは、周辺部５０の主面５１と鋭角の角度θ１で接する一方で、Ｘ軸に平行な線からＺ´軸に平行な線に向きが変わるほど、振動部４０の側面と周辺部５０の主面５１とのなす角度は大きくなり、図３に示すように第１長辺側側面４６ａは、周辺部５０の主面５１と角度θ２（ここでθ１＜θ２である。）で接することとなる。すなわち、テーパ側面４２をウェットエッチングで形成した場合は、テーパ側面４２と周辺部５０の主面５１とのなす角θ´は、θ１＜θ´＜θ２の範囲で、テーパ面の角度（ＸＺ´面におけるＸ軸からの傾斜角度）、段差の高さ（すなわち周辺部５０の主面５１から振動部４０の主面４１までの高さ）及びエッチング条件などの各要因により決められる。
　具体的には、角度θ１は、ＡＴカットによるＺ´軸からの角度３５°１５′（すなわち元のＺ軸）に近似し、例えば、３３°＜θ１＜３８°であってもよい。また、角度θ２は、９０°に近似し、例えば、８５°＜θ２＜９５°であってもよい。θ２はエッチング時間が長いと９０°を越えてより大きくなる。また、角度θ´は、テーパ面の傾斜角度に依存し、例えば、５０°＜θ´＜８０°であってもよい。これらの角度は、エッチング時間が長いほうが短い場合に比べてより角度が浅くなる。
　なお、テーパ側面４２の角度θ´は、代替的又は追加的な他の手法を用いて、θ１＜θ´＜θ２の範囲に任意に形成することも可能である。
　ここで、ウェットエッチングで用いたマスクを除去した後、別途メタルマスクを用いてスパッタ等で励振電極と延出電極を同時または別々に形成してもよい。あるいは、水晶基板をウェットエッチングするためのマスクをスパッタで形成し、これをそのまま励振電極とし、必要に応じてさらに延出電極をスパッタ等で追加してもよい。この場合、励振電極は振動部の主面の領域全体を覆うように形成される。なお、スパッタで形成したマスクの上にさらに導電膜を追加形成し、これを励振電極としてもよい。
　このように本実施形態においては、延出電極２２，３２のうち、Ｙ´軸負方向側に形成される延出電極３２が、テーパ側面４２の少なくとも一部を通ってＺ´負方向側の短辺に向かって延出して形成される。すなわち、延出電極３２は、鋭角の角度θ１よりも大きい角度であるθ´を経て、周辺部５０の主面５１へ延出される。したがって、振動部４０と周辺部５０とによって段差が形成されている場合であっても、延出電極３２が、比較的緩やかな角度をもって延出して形成されることになるため、電極の断線が防止され、電気的接続信頼性の観点で安定した品質を維持することができる。また、かかる構成によれば、水晶基板１０の周辺部５０の領域を特に広く形成する必要もないことから、水晶振動子１００の小型化を妨げることもない。したがって、小型化を妨げることなく、電気的接続信頼性の向上を図ることができる。
　なお、上記においては、水晶の結晶軸（Ｘ、Ｙ´、Ｚ´）とその正方向及び負方向の特定は一例にすぎず、水晶振動子の構成を理解するにあたり限定して解されるべきではない。例えば、水晶の結晶軸（Ｘ、Ｙ´、Ｚ´）がＸ軸の周りに１８０°回転させた水晶基板（各軸の正負方向も逆になる。）も、同様な形状（側面の鋭角及び鈍角の形状）を有するところ、かかる構成に本実施形態で説明した内容を適用してもよい。
　次に、図５及び図６を参照して、本実施形態に係る水晶振動デバイスを説明する。ここで、図５は、本実施形態に係る水晶振動デバイスの分解斜視図であり、図６は図５のＶＩ－ＶＩ線である。なお、図５及び図６において水晶振動子１００は簡略化して図示するがその詳細は、既に説明したとおりである。
　本実施形態に係る水晶振動デバイス１は、上記水晶振動子１００と、リッド部材２００と、ベース部材３００とを備える。リッド部材２００及びベース部材３００は、水晶振動子１００を収容するためのケース又はパッケージである。
　リッド部材２００は、ベース部材３００の第１面３０２に対向するように開口された凹部２０４を有する。また、リッド部材２００は、凹部２０４の開口縁部２０２を有する。リッド部材２００は、金属材料、絶縁材料又はそれらの複合材料のいずれで形成されてもよい。また、リッド部材２００の外形形状、凹部２０４の形状、あるいは開口縁部２０２の態様はいずれも限定されるものではない。例えば、開口縁部は、凹部開口中心から開口縁に向かって開口縁から突出するフランジ部であってもよい。
　ベース部材３００は、略矩形の外形形状を有し、第１面３０２に水晶振動子１００が設けられる。ベース部材３００は、セラミックで形成されてもよい。図６に示すように、リッド部材２００及びベース部材３００の両者が接合されることによって、水晶振動子１００が、リッド部材２００の凹部２０４とベース部材３００とによって囲まれた内部空間（キャビティ）２０６に密封封止される。リッド部材２００及びベース部材３００の両者は、所望の接着材料（例えば低融点ガラスや樹脂接着剤など）２１０によって接合されている。また、図６に示すように、水晶振動子１００は、接続電極（導電性接着剤３４０，３４２が設けられている。）が配置された一方端が固定端となるように、リッド部材２００及びベース部材３００に支持され、水晶振動子１００の他方端が自由端となっている。
　図５に示すように、ベース部材３００は、各コーナー部にそれぞれ形成された外部電極３３０，３３２，３３４，３３６を有する。各外部電極３３０～３３６は、水晶振動子１００が実装される第１面３０２から、ベース部材３００の側面を通って、ベース部材３００の第２面３０４（第１面３０２と反対の面）にかけて連続して形成されている。より詳細には、ベース部材３００は、それぞれのコーナー部の一部が円筒曲面状（又はキャスタレーション形状）に切断して形成された側面（切り欠き部）を有しており、各外部電極３３０～３３６は、水晶振動子１００が実装される第１面３０２から、このような円筒曲面状に切断して形成された側面を通って、ベース部材３００の第２面３０４にかけて連続して形成されている。なお、ベース部材３００のコーナー部の形状は上記に限定されるものではない。
　また、ベース部材３００に形成された複数の外部電極３３０～３３６のうち、いずれか一つの外部電極３３０は、第１面３０２に形成された接続電極３２０に延出電極３２０ａを介して電気的に接続され、他の一つの外部電極３３２は、第１面３０２に形成された接続電極３２２に延出電極３２２ａを介して電気的に接続され、残りの２つの外部電極３３４，３３６は上記接続電極とは電気的に接続されていないダミー電極として構成されている。また、ベース部材３００の接続電極３２０，３２２は、それぞれ導電性接着剤３４０，３４２を介して、水晶振動子１００の接続電極（図１Ｂ参照）に電気的に接続されている。水晶振動子１００に電気的に接続された２つの外部電極３３０，３３２は、ベース部材３００の平面視において対向する位置に設けられてもよい。
　なお、接続電極及び外部電極について、それらの電極の個数、電極の配置及びパターン形状は特に限定されるものではなく、適宜自由に設計することができる。
　こうして、ベース部材３００に外部電極３３０～３３６が形成されることによって、水晶振動子１００が設けられた第１面３０２から、水晶振動デバイス１の実装面側である第２面３０４へ、電気的導通を図ることができる。このような水晶振動デバイス１においては、外部電極３３０，３３２を介して、水晶振動子１００における一対の励振電極の間に交流電圧を印加することにより、厚みすべりモードで水晶基板が振動し、該振動に伴う共振特性が得られる。
　本実施形態に係る水晶振動デバイス１によれば、上記した水晶振動子１００を備えるので、小型化を妨げることなく、電気的接続信頼性の向上を図ることができる。
　本発明は、上記実施形態に限定されることなく種々に変形して適用することが可能である。以下、図７～９を参照して、本実施形態に係る水晶振動子の各変形例を説明する。なお、以下の説明においては上記実施形態の構成と異なる点を説明する。
　図７は、本実施形態の変形例に係る水晶振動子１０１の平面図（水晶基板の裏面側の平面図）である。本変形例では延出電極３４の構成が異なる。すなわち、Ｙ´軸負方向側の延出電極３４は、振動部４０のテーパ側面４２の全面に形成され、かつ、振動部４０の第１短辺側側面４４ｂの一部及び第１長辺側側面４６ａの一部に至るように、テーパ側面４２よりも幅広に形成されている。すなわち、延出電極３４は、その一部が第１短辺側側面４４ｂを通って角度θ１を経て周辺部５０に至り、他の一部がテーパ側面４２を通って角度θ´を経て周辺部５０に至り、残りの一部が第１長辺側側面４６ａを通って角度θ２を経て周辺部５０に至るように形成されている。かかる構成においても、延出電極３４の一部が、比較的緩やかな角度（すなわち角度θ´）をもって周辺部５０に至るように延出されることになるため、電極の断線防止を図ることができる。
　図８は、本実施形態の他の変形例に係る水晶振動子１０２の平面図（水晶基板の裏面側の平面図）である。本変形例では振動部６０及び延出電極３６の構成が異なる。すなわち、振動部６０は、Ｚ´軸正方向側の第２短辺側側面６４ａと、Ｚ´軸負方向側の第１短辺側側面６４ｂと、Ｘ軸負方向側の第２長辺側側面６６ｂと、第１短辺側側面６４ｂ及び第２短辺側側面６４ａのそれぞれに隣接して形成されかつＸＺ´面においてＸ軸から傾斜して形成されたテーパ側面６２とを有している。図８に示す例においては、水晶基板の振動部６０は、ＸＺ´面において四角形の平面形状を有する。そして、延出電極３６は、第２短辺側側面６４ａ及び第１短辺側側面６４ｂに亘って形成されたテーパ側面６２の一部（Ｚ´軸負方向側の一部）に形成されている。あるいは、延出電極３６は、テーパ側面６２の全面に形成されていてもよい。かかる構成においても延出電極３６が、比較的緩やかな角度（すなわち角度θ´）をもって周辺部５０に至るように延出されることになるため、電極の断線防止を図ることができる。
　図９は、本実施形態の他の変形例に係る水晶振動子１０３の平面図（水晶基板の表面側の平面図）であり、図１０は、図９のＸ－Ｘ線断面図である。本変形例では、これまでに説明した水晶基板の裏面側のテーパ側面の構成に加え、水晶基板の表面側にも、振動部にテーパ側面が形成されている。具体的には、水晶基板の裏面側においては、振動部７０はテーパ側面７４を有し、かかるテーパ側面７４の少なくとも一部を通ってＺ´軸負方向側の短辺に向かって延出電極３２が形成されており、他方、水晶基板の表面側においても、振動部７０はテーパ側面７２を有し、かかるテーパ側面７２の少なくとも一部を通ってＺ´軸負方向側の短辺に向かって延出電極２４が形成されている。すなわち、振動部７０の表面の外形は、Ｚ´軸を基準として、振動部７０の裏面の外形と線対称となるように構成されている。裏面側のテーパ側面７４の構成は、既に説明したテーパ側面４２と同じであり、周辺部５０とは上記した角度θ´で接するように構成される。他方、水晶基板の表面側のテーパ側面７２は、テーパ側面７４に対して結晶軸がＸ軸周りに１８０°回転しており、図１０に示すように、テーパ側面７２が隣接する短辺側側面７３は周辺部５０と鈍角の角度θ３（ここでθ２＜θ３である。）で接し、また、図９に示される隣接する長辺側側面７５は、周辺部５０と図３に示すθ２と同じ角度で接する。すなわち、テーパ側面７２が周辺部５０と接する角度をθ´´とすると、θ２＜θ´´＜θ３の範囲となる。ここで、角度θ３は、ＡＴカットによるＺ´軸からの角度１４４°４５′（すなわち元のＺ軸）に近似し、例えば、１４２°＜θ３＜１４７°であってもよい。また、角度θ´´は、テーパ面の傾斜角度に依存し、例えば、１００°＜θ´´＜１３０°であってもよい。本変形例によれば、上記した電極の断線防止を図ることに加え、水晶基板が表面及び裏面のいずれも同じ構成を有することになるので、電極の形成工程が容易となる。
　なお、以上説明した各実施形態は、本発明の理解を容易にするためのものであり、本発明を限定して解釈するためのものではない。本発明は、その趣旨を逸脱することなく、変更／改良され得るととともに、本発明にはその等価物も含まれる。即ち、各実施形態に当業者が適宜設計変更を加えたものも、本発明の特徴を備えている限り、本発明の範囲に包含される。例えば、各実施形態が備える各要素およびその配置、材料、条件、形状、サイズなどは、例示したものに限定されるわけではなく適宜変更することができる。また、各実施形態が備える各要素は、技術的に可能な限りにおいて組み合わせることができ、これらを組み合わせたものも本発明の特徴を含む限り本発明の範囲に包含される。
　　　１　水晶振動子
　　１０　水晶基板
　　３０　励振電極
　　３２　延出電極
　　４０　振動部
　　４２　テーパ側面
　４４ａ　第２短辺側側面
　４４ｂ　第１短辺側側面
　４６ａ　第１長辺側側面
　４６ｂ　第２長辺側側面
　　５０　周辺部
　１００　水晶振動子
　２００　リッド部材
　３００　ベース部材

Claims (6)

  1. 　水晶の結晶軸であるＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸のうち、前記Ｘ軸の回りに前記Ｚ軸から所定の角度回転させた軸をＺ´軸とした場合、前記Ｘ軸及び前記Ｚ´軸によって特定される面と平行な面を主面として切り出されたＡＴカット水晶基板であって、前記主面を有する振動部と、当該振動部を囲むように設けられ前記振動部よりも厚さが薄い周辺部とを含む、ＡＴカット水晶基板と、
    　前記主面に形成された励振電極と、
    　前記励振電極に電気的に接続された延出電極と、
    を含み、
    　前記ＡＴカット水晶基板は、長手方向及び短手方向を有し、前記長手方向は前記Ｚ´軸と平行な方向であり、前記短手方向は前記Ｘ軸と平行な方向であり、
    　前記振動部は、前記長手方向における一方の短辺側において前記周辺部と鋭角の角度θ１で接する第１短辺側側面と、前記第１短辺側側面に隣接するとともに、前記Ｘ軸及び前記Ｚ´軸によって特定される平面視において前記Ｘ軸から傾斜して形成されたテーパ側面とを有し、
    　前記テーパ側面は、前記θ１よりも大きい角度θ´で前記周辺部と接しており、
    　前記延出電極は、前記励振電極から前記テーパ側面の少なくとも一部を通って前記長手方向の前記一方の短辺側に延出して形成された、水晶振動子。
  2. 　前記振動部は、前記長手方向における他方の短辺側において前記周辺部と接する第２短辺側側面を有し、
    　前記テーパ側面は、前記第１短辺側側面及び前記第２短辺側側面のそれぞれに隣接して形成された、請求項１記載の水晶振動子。
  3. 　前記振動部は、前記短手方向における一方の長辺側において前記周辺部と接する第１長辺側側面を有し、
    　前記テーパ側面は、前記第１短辺側側面及び前記第１長辺側側面のそれぞれに隣接して形成された、請求項１記載の水晶振動子。
  4. 　前記延出電極は、前記テーパ側面の全面に形成され、かつ、前記第１短辺側側面の一部及び前記第１長辺側側面の一部に至るように前記テーパ側面よりも幅広に形成された、請求項３記載の水晶振動子。
  5. 　前記ＡＴカット水晶基板は、表面及び裏面を有し、
    　前記Ｘ軸及び前記Ｚ´軸によって特定される平面視において、前記振動部の前記表面の外形は、前記Ｚ´軸を基準として、前記振動部の前記裏面の外形と線対称となっている、請求項１から４のいずれか一項に記載の水晶振動子。
  6. 　ベース部材と、
    　密封した内部空間を構成するようにベース部材に接続されたリッド部材と、
    　前記内部空間に収容された、請求項１から５のいずれか一項に記載の水晶振動子と、
    を備える水晶振動デバイス。
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