JPWO2016132766A1 - 水晶振動子及び水晶振動デバイス - Google Patents

Abstract

水晶振動子（１００）は、主面を有する振動部（４０）と、振動部（４０）を囲むように設けられ振動部（４０）よりも厚さが薄い周辺部（５０）とを含む、ＡＴカット水晶基板（１０）と、主面に形成された励振電極（３０）と、励振電極（３０）に電気的に接続された延出電極（３２）と、を含み、水晶基板（１０）の長手方向はＺ´軸と平行な方向であり、短手方向はＸ軸と平行な方向であり、振動部（４０）は、周辺部と鋭角の角度θ１で接する第１短辺側側面（４４ｂ）と、第１短辺側側面（４４ｂ）に隣接するとともに、ＸＺ´面においてＸ軸から傾斜して形成されたテーパ側面（４２）とを有し、テーパ側面（４２）は、角度θ´（θ´＞θ１）で周辺部（５０）と接しており、延出電極（３２）は、励振電極（３０）からテーパ側面（４２）の少なくとも一部を通って長手方向の一方の短辺側に延出して形成されている。

Description

本発明は、水晶振動子及び水晶振動デバイスに関する。

発振装置や帯域フィルタなどに用いられる圧電振動素子として、厚みすべり振動を主振動とする水晶振動子が広く用いられている。また、水晶振動子の一態様として、厚みすべり振動の振動エネルギーを閉じ込めるために、振動部をその周辺部よりも厚くエッチング形成したメサ型構造が知られている。かかるメサ型構造においては、振動部の両主面に励振電極が形成され、励振電極と電気的に接続された延出電極が形成される。この場合、延出電極は、振動部と周辺部とによって形成される段差を通って延出されることになる。

しかしながら、振動部と周辺部とによって形成される段差の断面形状は、通常、水晶結晶軸の向きによって決定されるため、振動部の側面と周辺部の面とのなす角が鋭角となる側においては電極が断線する可能性があり、電極の延出方向が制約されるか、あるいは、電気的接続信頼性の観点で安定した品質を維持することが難しい場合があった。

他方、例えば、特許文献１の構成のように、励振電極と電気的に接続される電極を、振動部の側面と周辺部の面とのなす角が鈍角となる側（短手方向における一方の長辺側）へ延出させることが知られているが、かかる構成においては、励振電極の幅方向を越えて外方向へ電極を延出させることになり、水晶振動子の小型化が妨げられる可能性があった。

特開２００８−２３６４３９号公報

本発明はこのような事情に鑑みてなされたものであり、小型化を妨げることなく、電気的接続信頼性の向上を図ることを目的とする。

本発明の一側面に係る水晶振動子は、水晶の結晶軸であるＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸のうち、Ｘ軸の回りにＺ軸から所定の角度回転させた軸をＺ´軸とした場合、Ｘ軸及びＺ´軸によって特定される面と平行な面を主面として切り出されたＡＴカット水晶基板であって、主面を有する振動部と、振動部を囲むように設けられ振動部よりも厚さが薄い周辺部とを含む、ＡＴカット水晶基板と、主面に形成された励振電極と、励振電極に電気的に接続された延出電極と、を含み、ＡＴカット水晶基板は、長手方向及び短手方向を有し、長手方向はＺ´軸と平行な方向であり、短手方向はＸ軸と平行な方向であり、振動部は、長手方向における一方の短辺側において周辺部と鋭角の角度θ１で接する第１短辺側側面と、第１短辺側側面に隣接するとともに、Ｘ軸及びＺ´軸によって特定される平面視においてＸ軸から傾斜して形成されたテーパ側面とを有し、テーパ側面は、θ１よりも大きい角度θ´で周辺部と接しており、延出電極は、励振電極からテーパ側面の少なくとも一部を通って長手方向の一方の短辺側に延出して形成されたものである。

上記構成によれば、延出電極が、振動部のテーパ側面の少なくとも一部を通って長手方向の一方の短辺側に延出して形成される。これにより、延出電極が比較的緩やかな角度をもって延出して形成されることができるため、電極の延出方向を制約することなく、電極の断線が防止され、電気的接続信頼性の観点で安定した品質を維持することができる。また、水晶基板の周辺部の領域を特に広く形成する必要もないことから、水晶振動子の小型化を妨げることもない。よって、小型化を妨げることなく、電気的接続信頼性の向上を図ることができる。

上記水晶振動子において、振動部は、長手方向における他方の短辺側において周辺部と接する第２短辺側側面を有し、テーパ側面は、第１短辺側側面及び第２短辺側側面のそれぞれに隣接して形成されてもよい。

上記水晶振動子において、振動部は、短手方向における一方の長辺側において周辺部と接する第１長辺側側面を有し、テーパ側面は、第１短辺側側面及び第１長辺側側面のそれぞれに隣接して形成されてもよい。

上記水晶振動子において、延出電極は、テーパ側面の全面に形成され、かつ、第１短辺側側面の一部及び第１長辺側側面の一部に至るようにテーパ側面よりも幅広に形成されてもよい。

上記水晶振動子において、ＡＴカット水晶基板は、表面及び裏面を有し、Ｘ軸及びＺ´軸によって特定される平面視において、振動部の表面の外形は、Ｚ´軸を基準として、振動部の裏面の外形と線対称となっていてもよい。

本発明の一側面に係る水晶デバイスは、ベース部材と、密封した内部空間を構成するようにベース部材に接続されたリッド部材と、内部空間に収容された、上記水晶振動子と、を備える。

上記構成によれば、上記水晶振動子を備えるので、小型化を妨げることなく、電気的接続信頼性の向上を図ることができる。

本発明によれば、小型化を妨げることなく、電気的接続信頼性の向上を図ることができる。

図１Ａ〜Ｃは、本実施形態に係る水晶振動子を説明するための図である。 図２は、図１のＩＩ−ＩＩ線断面図である。 図３は、図１のＩＩＩ−ＩＩＩ線断面図である。 図４は、図１のＩＶ−ＩＶ線断面図である。 図５は、本実施形態に係る水晶振動デバイスを説明するための概略斜視図である。 図６は、本実施形態に係る水晶振動デバイスを説明するための断面図である。 図７は、本実施形態の変形例に係る水晶振動子を説明するための図である。 図８は、本実施形態の他の変形例に係る水晶振動子を説明するための図である。 図９は、本実施形態の他の変形例に係る水晶振動子を説明するための図である。 図１０は、図９のＸ−Ｘ線断面図である。

以下に本発明の実施の形態を説明する。以下の図面の記載において、同一又は類似の構成要素は同一又は類似の符号で表している。図面は例示であり、各部の寸法や形状は模式的なものであり、本願発明の技術的範囲を当該実施の形態に限定して解するべきではない。

図１Ａ〜Ｃは、本実施形態に係る水晶振動子を説明するための図であり、具体的には図１Ａ及びＢは平面図であり、図１Ｃは図１ＡのＩＣ−ＩＣ線断面図である。

本実施形態に係る水晶振動子１００は、水晶基板１０と、水晶基板１０に形成された励振電極２０，３０とを備える。

水晶基板１０は、ＡＴカットで形成された水晶からなる。ＡＴカットの水晶基板１０は、人工水晶の結晶軸であるＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸のうち、Ｙ軸及びＺ軸をＸ軸の周りにＹ軸からＺ軸の方向に３５度１５分回転させた軸をそれぞれＹ´軸及びＺ´軸とした場合、Ｘ軸及びＺ´軸によって特定される面（以下、「ＸＺ´面」と呼ぶ。他の軸によって特定される面についても同様である。）と平行な面を主面として切り出されたものである。ＡＴカット水晶基板を用いた水晶振動子は、広い温度範囲で極めて高い周波数安定性を有し、また、経時変化特性にも優れている上、低コストで製造することが可能である。また、ＡＴカット水晶振動子は、厚みすべり振動モード（Ｔｈｉｃｋｎｅｓｓ Ｓｈｅａｒ Ｍｏｄｅ）を主振動として用いられることが多い。

水晶基板１０は、Ｚ´軸方向に平行な長手方向と、Ｘ方向に平行な短手方向と、Ｙ´軸方向に平行な厚さ方向を有する。水晶基板１０は、図１Ａに示すように、ＸＺ´面において略矩形形状をなしている。なお、図１ＡはＹ´軸正方向側（水晶基板の表面側）の平面図であり、図１ＢはＹ´軸負方向側（水晶基板の裏面側）の平面図である。

水晶基板１０は、厚みすべり振動するように構成された振動部４０と、振動部４０の全周を囲むように設けられた周辺部５０とを有する。図１Ｃに示すように、振動部４０の厚さは、周辺部５０の厚さよりも薄い。また、振動部４０には、Ｙ´軸正方向側の主面に励振電極２０が形成され、Ｙ´軸負方向側の主面に励振電極３０が形成されている。図１Ａ及びＢに示すように、各励振電極２０，３０は、振動部４０の外縁からスペースを設けるように振動部４０の領域よりも小さい外形で形成されていてもよく、あるいは、振動部４０の各主面の領域全体を覆うように形成されていてもよい。各励振電極２０，３０は、一対の電極として、ＸＺ´面において略全体が重なり合うように配置されている。

水晶基板１０には、励振電極２０に電気的に接続された延出電極２２と、励振電極３０に電気的に接続された延出電極３２とが形成されている。図１Ａに示すように、延出電極２２は、Ｙ´軸正方向側において水晶基板１０の長手方向のＺ´軸負方向側短辺に向かって延出しており、さらに周辺部５０の側面を通ってＹ´負方向側に至るように延出されている（図１Ｂ及びＣ参照）。他方、図１Ｂに示すように、延出電極３２は、Ｙ´軸負方向側において水晶基板１０の長手方向のＺ´軸負方向側の短辺に向かって延出されている。延出電極２２，３２はいずれも、Ｚ´軸負方向側の短辺に沿って接続電極を有しており、各接続電極には導電性接着剤３４０，３４２が設けられ、これにより励振電極２０，３０がＹ´軸負方向側かつＺ´軸負方向側において外部と電気的導通を図ることができるようになっている。

励振電極２０，３０を含む上記各電極は、例えば、下地をクロム（Ｃｒ）層で形成し、クロム層の表面に金（Ａｕ）層を形成してもよく、その材料は限定されるものではない。

次に、図２〜４を参照しつつ、水晶基板１０の断面形状について説明する。ここで、図２〜４は、図１ＢのＩＩ−ＩＩ線断面図、ＩＩＩ−ＩＩＩ線断面図及びＩＶ−ＩＶ線断面図にそれぞれ対応する。

水晶基板１０は、通常ウェットエッチングによって形成される。したがって、水晶基板１０は、ＸＺ´面における平面形状はマスク形状に倣うように形成されるが、ＸＺ´面に垂直な断面形状は、エッチング条件や水晶基板の結晶軸の向きなどに依存して形成されることになる。すなわち、振動部４０と周辺部５０とによって形成される段差の断面形状は、ＸＺ´面に垂直な断面のうち、ＸＹ´面においては、主面に対して垂直に近い状態に形成される一方で、Ｙ´Ｚ´面においては、図１Ｃに示すように、主面に対して比較的大きく傾斜して形成される。したがって、Ｙ´Ｚ´面においては、振動部４０の側面は、Ｙ´軸正方向側のＺ´軸負方向側の辺では比較的大きい鈍角で周辺部５０と接するが、反対に、Ｙ´軸負方向側のＺ´軸負方向側の辺では比較的大きい鋭角で周辺部５０と接することになり、Ｙ´軸負方向側において励振電極から延出される電極が断線する可能性がある。

そこで、本実施形態においては、Ｙ´軸負方向側において、振動部４０にテーパ側面４２を形成し、延出電極３２をテーパ側面４２の少なくとも一部を通ってＺ´軸負方向側の短辺に向かって延出させている。

具体的には、図１Ｂに示すように、水晶基板１０の裏面側において、振動部４０は、Ｚ´軸正方向側の第２短辺側側面４４ａと、Ｚ´軸負方向側の第１短辺側側面４４ｂと、Ｘ軸正方向側の第１長辺側側面４６ａと、Ｘ軸負方向側の第２長辺側側面４６ｂと、第１短辺側側面４４ｂ及び第１長辺側側面４６ａのそれぞれに隣接して形成されかつＸＺ´面においてＸ軸から傾斜して形成されたテーパ側面４２とを有している。振動部４０の上記複数の側面のそれぞれは、振動部４０の主面４１と周辺部５０の主面５１とに接続されている（図２〜４参照）。また、図１Ｂに示す例においては、水晶基板１０の振動部４０は、ＸＺ´面において一つのコーナー部が切り欠かれた五角形の平面形状を有する。

水晶基板１０をウェットエッチングで形成した場合、上記のとおり、その断面形状は水晶の結晶軸の向きなどに依存して形成されるため、図２に示すようにＺ´軸負方向側の第１短辺側側面４４ｂは、周辺部５０の主面５１と鋭角の角度θ１で接する一方で、Ｘ軸に平行な線からＺ´軸に平行な線に向きが変わるほど、振動部４０の側面と周辺部５０の主面５１とのなす角度は大きくなり、図３に示すように第１長辺側側面４６ａは、周辺部５０の主面５１と角度θ２（ここでθ１＜θ２である。）で接することとなる。すなわち、テーパ側面４２をウェットエッチングで形成した場合は、テーパ側面４２と周辺部５０の主面５１とのなす角θ´は、θ１＜θ´＜θ２の範囲で、テーパ面の角度（ＸＺ´面におけるＸ軸からの傾斜角度）、段差の高さ（すなわち周辺部５０の主面５１から振動部４０の主面４１までの高さ）及びエッチング条件などの各要因により決められる。

具体的には、角度θ１は、ＡＴカットによるＺ´軸からの角度３５°１５′（すなわち元のＺ軸）に近似し、例えば、３３°＜θ１＜３８°であってもよい。また、角度θ２は、９０°に近似し、例えば、８５°＜θ２＜９５°であってもよい。θ２はエッチング時間が長いと９０°を越えてより大きくなる。また、角度θ´は、テーパ面の傾斜角度に依存し、例えば、５０°＜θ´＜８０°であってもよい。これらの角度は、エッチング時間が長いほうが短い場合に比べてより角度が浅くなる。

なお、テーパ側面４２の角度θ´は、代替的又は追加的な他の手法を用いて、θ１＜θ´＜θ２の範囲に任意に形成することも可能である。

ここで、ウェットエッチングで用いたマスクを除去した後、別途メタルマスクを用いてスパッタ等で励振電極と延出電極を同時または別々に形成してもよい。あるいは、水晶基板をウェットエッチングするためのマスクをスパッタで形成し、これをそのまま励振電極とし、必要に応じてさらに延出電極をスパッタ等で追加してもよい。この場合、励振電極は振動部の主面の領域全体を覆うように形成される。なお、スパッタで形成したマスクの上にさらに導電膜を追加形成し、これを励振電極としてもよい。

このように本実施形態においては、延出電極２２，３２のうち、Ｙ´軸負方向側に形成される延出電極３２が、テーパ側面４２の少なくとも一部を通ってＺ´負方向側の短辺に向かって延出して形成される。すなわち、延出電極３２は、鋭角の角度θ１よりも大きい角度であるθ´を経て、周辺部５０の主面５１へ延出される。したがって、振動部４０と周辺部５０とによって段差が形成されている場合であっても、延出電極３２が、比較的緩やかな角度をもって延出して形成されることになるため、電極の断線が防止され、電気的接続信頼性の観点で安定した品質を維持することができる。また、かかる構成によれば、水晶基板１０の周辺部５０の領域を特に広く形成する必要もないことから、水晶振動子１００の小型化を妨げることもない。したがって、小型化を妨げることなく、電気的接続信頼性の向上を図ることができる。

なお、上記においては、水晶の結晶軸（Ｘ、Ｙ´、Ｚ´）とその正方向及び負方向の特定は一例にすぎず、水晶振動子の構成を理解するにあたり限定して解されるべきではない。例えば、水晶の結晶軸（Ｘ、Ｙ´、Ｚ´）がＸ軸の周りに１８０°回転させた水晶基板（各軸の正負方向も逆になる。）も、同様な形状（側面の鋭角及び鈍角の形状）を有するところ、かかる構成に本実施形態で説明した内容を適用してもよい。

次に、図５及び図６を参照して、本実施形態に係る水晶振動デバイスを説明する。ここで、図５は、本実施形態に係る水晶振動デバイスの分解斜視図であり、図６は図５のＶＩ−ＶＩ線である。なお、図５及び図６において水晶振動子１００は簡略化して図示するがその詳細は、既に説明したとおりである。

本実施形態に係る水晶振動デバイス１は、上記水晶振動子１００と、リッド部材２００と、ベース部材３００とを備える。リッド部材２００及びベース部材３００は、水晶振動子１００を収容するためのケース又はパッケージである。

リッド部材２００は、ベース部材３００の第１面３０２に対向するように開口された凹部２０４を有する。また、リッド部材２００は、凹部２０４の開口縁部２０２を有する。リッド部材２００は、金属材料、絶縁材料又はそれらの複合材料のいずれで形成されてもよい。また、リッド部材２００の外形形状、凹部２０４の形状、あるいは開口縁部２０２の態様はいずれも限定されるものではない。例えば、開口縁部は、凹部開口中心から開口縁に向かって開口縁から突出するフランジ部であってもよい。

ベース部材３００は、略矩形の外形形状を有し、第１面３０２に水晶振動子１００が設けられる。ベース部材３００は、セラミックで形成されてもよい。図６に示すように、リッド部材２００及びベース部材３００の両者が接合されることによって、水晶振動子１００が、リッド部材２００の凹部２０４とベース部材３００とによって囲まれた内部空間（キャビティ）２０６に密封封止される。リッド部材２００及びベース部材３００の両者は、所望の接着材料（例えば低融点ガラスや樹脂接着剤など）２１０によって接合されている。また、図６に示すように、水晶振動子１００は、接続電極（導電性接着剤３４０，３４２が設けられている。）が配置された一方端が固定端となるように、リッド部材２００及びベース部材３００に支持され、水晶振動子１００の他方端が自由端となっている。

図５に示すように、ベース部材３００は、各コーナー部にそれぞれ形成された外部電極３３０，３３２，３３４，３３６を有する。各外部電極３３０〜３３６は、水晶振動子１００が実装される第１面３０２から、ベース部材３００の側面を通って、ベース部材３００の第２面３０４（第１面３０２と反対の面）にかけて連続して形成されている。より詳細には、ベース部材３００は、それぞれのコーナー部の一部が円筒曲面状（又はキャスタレーション形状）に切断して形成された側面（切り欠き部）を有しており、各外部電極３３０〜３３６は、水晶振動子１００が実装される第１面３０２から、このような円筒曲面状に切断して形成された側面を通って、ベース部材３００の第２面３０４にかけて連続して形成されている。なお、ベース部材３００のコーナー部の形状は上記に限定されるものではない。

また、ベース部材３００に形成された複数の外部電極３３０〜３３６のうち、いずれか一つの外部電極３３０は、第１面３０２に形成された接続電極３２０に延出電極３２０ａを介して電気的に接続され、他の一つの外部電極３３２は、第１面３０２に形成された接続電極３２２に延出電極３２２ａを介して電気的に接続され、残りの２つの外部電極３３４，３３６は上記接続電極とは電気的に接続されていないダミー電極として構成されている。また、ベース部材３００の接続電極３２０，３２２は、それぞれ導電性接着剤３４０，３４２を介して、水晶振動子１００の接続電極（図１Ｂ参照）に電気的に接続されている。水晶振動子１００に電気的に接続された２つの外部電極３３０，３３２は、ベース部材３００の平面視において対向する位置に設けられてもよい。

なお、接続電極及び外部電極について、それらの電極の個数、電極の配置及びパターン形状は特に限定されるものではなく、適宜自由に設計することができる。

こうして、ベース部材３００に外部電極３３０〜３３６が形成されることによって、水晶振動子１００が設けられた第１面３０２から、水晶振動デバイス１の実装面側である第２面３０４へ、電気的導通を図ることができる。このような水晶振動デバイス１においては、外部電極３３０，３３２を介して、水晶振動子１００における一対の励振電極の間に交流電圧を印加することにより、厚みすべりモードで水晶基板が振動し、該振動に伴う共振特性が得られる。

本実施形態に係る水晶振動デバイス１によれば、上記した水晶振動子１００を備えるので、小型化を妨げることなく、電気的接続信頼性の向上を図ることができる。

本発明は、上記実施形態に限定されることなく種々に変形して適用することが可能である。以下、図７〜９を参照して、本実施形態に係る水晶振動子の各変形例を説明する。なお、以下の説明においては上記実施形態の構成と異なる点を説明する。

図７は、本実施形態の変形例に係る水晶振動子１０１の平面図（水晶基板の裏面側の平面図）である。本変形例では延出電極３４の構成が異なる。すなわち、Ｙ´軸負方向側の延出電極３４は、振動部４０のテーパ側面４２の全面に形成され、かつ、振動部４０の第１短辺側側面４４ｂの一部及び第１長辺側側面４６ａの一部に至るように、テーパ側面４２よりも幅広に形成されている。すなわち、延出電極３４は、その一部が第１短辺側側面４４ｂを通って角度θ１を経て周辺部５０に至り、他の一部がテーパ側面４２を通って角度θ´を経て周辺部５０に至り、残りの一部が第１長辺側側面４６ａを通って角度θ２を経て周辺部５０に至るように形成されている。かかる構成においても、延出電極３４の一部が、比較的緩やかな角度（すなわち角度θ´）をもって周辺部５０に至るように延出されることになるため、電極の断線防止を図ることができる。

図８は、本実施形態の他の変形例に係る水晶振動子１０２の平面図（水晶基板の裏面側の平面図）である。本変形例では振動部６０及び延出電極３６の構成が異なる。すなわち、振動部６０は、Ｚ´軸正方向側の第２短辺側側面６４ａと、Ｚ´軸負方向側の第１短辺側側面６４ｂと、Ｘ軸負方向側の第２長辺側側面６６ｂと、第１短辺側側面６４ｂ及び第２短辺側側面６４ａのそれぞれに隣接して形成されかつＸＺ´面においてＸ軸から傾斜して形成されたテーパ側面６２とを有している。図８に示す例においては、水晶基板の振動部６０は、ＸＺ´面において四角形の平面形状を有する。そして、延出電極３６は、第２短辺側側面６４ａ及び第１短辺側側面６４ｂに亘って形成されたテーパ側面６２の一部（Ｚ´軸負方向側の一部）に形成されている。あるいは、延出電極３６は、テーパ側面６２の全面に形成されていてもよい。かかる構成においても延出電極３６が、比較的緩やかな角度（すなわち角度θ´）をもって周辺部５０に至るように延出されることになるため、電極の断線防止を図ることができる。

図９は、本実施形態の他の変形例に係る水晶振動子１０３の平面図（水晶基板の表面側の平面図）であり、図１０は、図９のＸ−Ｘ線断面図である。本変形例では、これまでに説明した水晶基板の裏面側のテーパ側面の構成に加え、水晶基板の表面側にも、振動部にテーパ側面が形成されている。具体的には、水晶基板の裏面側においては、振動部７０はテーパ側面７４を有し、かかるテーパ側面７４の少なくとも一部を通ってＺ´軸負方向側の短辺に向かって延出電極３２が形成されており、他方、水晶基板の表面側においても、振動部７０はテーパ側面７２を有し、かかるテーパ側面７２の少なくとも一部を通ってＺ´軸負方向側の短辺に向かって延出電極２４が形成されている。すなわち、振動部７０の表面の外形は、Ｚ´軸を基準として、振動部７０の裏面の外形と線対称となるように構成されている。裏面側のテーパ側面７４の構成は、既に説明したテーパ側面４２と同じであり、周辺部５０とは上記した角度θ´で接するように構成される。他方、水晶基板の表面側のテーパ側面７２は、テーパ側面７４に対して結晶軸がＸ軸周りに１８０°回転しており、図１０に示すように、テーパ側面７２が隣接する短辺側側面７３は周辺部５０と鈍角の角度θ３（ここでθ２＜θ３である。）で接し、また、図９に示される隣接する長辺側側面７５は、周辺部５０と図３に示すθ２と同じ角度で接する。すなわち、テーパ側面７２が周辺部５０と接する角度をθ´´とすると、θ２＜θ´´＜θ３の範囲となる。ここで、角度θ３は、ＡＴカットによるＺ´軸からの角度１４４°４５′（すなわち元のＺ軸）に近似し、例えば、１４２°＜θ３＜１４７°であってもよい。また、角度θ´´は、テーパ面の傾斜角度に依存し、例えば、１００°＜θ´´＜１３０°であってもよい。本変形例によれば、上記した電極の断線防止を図ることに加え、水晶基板が表面及び裏面のいずれも同じ構成を有することになるので、電極の形成工程が容易となる。

なお、以上説明した各実施形態は、本発明の理解を容易にするためのものであり、本発明を限定して解釈するためのものではない。本発明は、その趣旨を逸脱することなく、変更／改良され得るととともに、本発明にはその等価物も含まれる。即ち、各実施形態に当業者が適宜設計変更を加えたものも、本発明の特徴を備えている限り、本発明の範囲に包含される。例えば、各実施形態が備える各要素およびその配置、材料、条件、形状、サイズなどは、例示したものに限定されるわけではなく適宜変更することができる。また、各実施形態が備える各要素は、技術的に可能な限りにおいて組み合わせることができ、これらを組み合わせたものも本発明の特徴を含む限り本発明の範囲に包含される。

１ 水晶振動子
１０ 水晶基板
３０ 励振電極
３２ 延出電極
４０ 振動部
４２ テーパ側面
４４ａ 第２短辺側側面
４４ｂ 第１短辺側側面
４６ａ 第１長辺側側面
４６ｂ 第２長辺側側面
５０ 周辺部
１００ 水晶振動子
２００ リッド部材
３００ ベース部材

Claims (6)

1. 水晶の結晶軸であるＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸のうち、前記Ｘ軸の回りに前記Ｚ軸から所定の角度回転させた軸をＺ´軸とした場合、前記Ｘ軸及び前記Ｚ´軸によって特定される面と平行な面を主面として切り出されたＡＴカット水晶基板であって、前記主面を有する振動部と、当該振動部を囲むように設けられ前記振動部よりも厚さが薄い周辺部とを含む、ＡＴカット水晶基板と、
   前記主面に形成された励振電極と、
   前記励振電極に電気的に接続された延出電極と、
   を含み、
   前記ＡＴカット水晶基板は、長手方向及び短手方向を有し、前記長手方向は前記Ｚ´軸と平行な方向であり、前記短手方向は前記Ｘ軸と平行な方向であり、
   前記振動部は、前記長手方向における一方の短辺側において前記周辺部と鋭角の角度θ１で接する第１短辺側側面と、前記第１短辺側側面に隣接するとともに、前記Ｘ軸及び前記Ｚ´軸によって特定される平面視において前記Ｘ軸から傾斜して形成されたテーパ側面とを有し、
   前記テーパ側面は、前記θ１よりも大きい角度θ´で前記周辺部と接しており、
   前記延出電極は、前記励振電極から前記テーパ側面の少なくとも一部を通って前記長手方向の前記一方の短辺側に延出して形成された、水晶振動子。
2. 前記振動部は、前記長手方向における他方の短辺側において前記周辺部と接する第２短辺側側面を有し、
   前記テーパ側面は、前記第１短辺側側面及び前記第２短辺側側面のそれぞれに隣接して形成された、請求項１記載の水晶振動子。
3. 前記振動部は、前記短手方向における一方の長辺側において前記周辺部と接する第１長辺側側面を有し、
   前記テーパ側面は、前記第１短辺側側面及び前記第１長辺側側面のそれぞれに隣接して形成された、請求項１記載の水晶振動子。
4. 前記延出電極は、前記テーパ側面の全面に形成され、かつ、前記第１短辺側側面の一部及び前記第１長辺側側面の一部に至るように前記テーパ側面よりも幅広に形成された、請求項３記載の水晶振動子。
5. 前記ＡＴカット水晶基板は、表面及び裏面を有し、
   前記Ｘ軸及び前記Ｚ´軸によって特定される平面視において、前記振動部の前記表面の外形は、前記Ｚ´軸を基準として、前記振動部の前記裏面の外形と線対称となっている、請求項１から４のいずれか一項に記載の水晶振動子。
6. ベース部材と、
   密封した内部空間を構成するようにベース部材に接続されたリッド部材と、
   前記内部空間に収容された、請求項１から５のいずれか一項に記載の水晶振動子と、
   を備える水晶振動デバイス。

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