JP2013172244A - 圧電デバイスの製造方法及び圧電デバイス - Google Patents
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Abstract
【課題】 さまざまなフットパターンに対して、ベース部に合う圧電振動素子などをその都度設計することなく、さまざまな実装端子が形成できる製造方法を提供する。
【解決手段】圧電デバイスの製造方法は、圧電ウエハと第1ウエハとを接合する接合工程(S131)と、底面に形成される電源用の及び振動周波数の出力用の一対のホット端子を形成するための第1端子マスク、一対のホット端子及びアース用のアース端子を形成するための第2端子マスクのそれぞれを用意する工程(S132)と、を備える。また製造方法は、接合工程後に第1ウエハの底面に第1端子マスクの配置と第2端子マスクの配置とを選択する選択工程(S141)と、選択工程後に、第1端子マスクを介して電源端子及び出力端子を有する底面を形成し、又は第2端子マスクを介して電源端子、出力端子及びアース端子を有する底面を形成する工程(S142,S143、S144)と、を備える。
【選択図】 図5
【解決手段】圧電デバイスの製造方法は、圧電ウエハと第1ウエハとを接合する接合工程(S131)と、底面に形成される電源用の及び振動周波数の出力用の一対のホット端子を形成するための第1端子マスク、一対のホット端子及びアース用のアース端子を形成するための第2端子マスクのそれぞれを用意する工程(S132)と、を備える。また製造方法は、接合工程後に第1ウエハの底面に第1端子マスクの配置と第2端子マスクの配置とを選択する選択工程(S141)と、選択工程後に、第1端子マスクを介して電源端子及び出力端子を有する底面を形成し、又は第2端子マスクを介して電源端子、出力端子及びアース端子を有する底面を形成する工程(S142,S143、S144)と、を備える。
【選択図】 図5
Description
本発明は、プリント配線基板上に実装される圧電デバイスの製造方法及び圧電デバイスに関する。特に、本発明は、異なる実装端子を有する圧電デバイスを、簡易に製造する製造方法に関する。
電気機器等は、小型又は軽量化を求めている。そして、電気機器等に使用される圧電デバイスも、小型又は軽量化を求めている。このため、最近、表面実装構造の圧電デバイスが多い。圧電デバイスのフットパターン(端子パターン)は、電気機器の性能や機能によってさまざまである。例えば、圧電デバイスを構成するベース部の底面に、電源端子と出力端子との2つの実装端子(ホット端子)を形成するもの、又はさらにその実装端子に加えアース端子を形成するものなどさまざまである。
しかし、さまざまな実装端子の配置(フットパターン)に対して、実装端子の配置の異なるベース部、そのベース部に合う圧電振動素子などをその都度設計していては、コストがかかる。またそれらを製造管理することもコスト増につながる。このため、実装端子の配置(フットパターン)が異なってもできるだけ共通してベース部又は水晶振動素子が使うことができると好ましい。
第1観点の圧電デバイスの製造方法は、一対の励振電極を有する圧電片と該圧電片を囲むように形成され励振電極から引き出される一対の引出電極を含む外枠とを有する複数の圧電振動素子が形成された圧電ウエハを用意する工程と、絶縁材からなり圧電振動素子の一方の主面に接合される第1接合面と第1接合面の反対側の底面とを含む複数の第1容器体および隣り合う第1容器体の共通する辺に第1接合面から天井面まで貫通した複数の貫通孔が形成された第1ウエハを用意する工程と、を備える。さらに製造方法は、圧電ウエハと第1ウエハとを接合する接合工程と、底面に形成される電源用の及び振動周波数の出力用の一対のホット端子を形成するための第1端子マスク、一対のホット端子及びアース用のアース端子を形成するための第2端子マスクのそれぞれを用意する工程と、を備える。また、製造方法は、接合工程後に第1ウエハの底面に第1端子マスクの配置と第2端子マスクの配置とを選択する選択工程と、選択工程後に、第1端子マスクを介して電源端子及び出力端子を有する底面を形成し、又は第2端子マスクを介して電源端子、出力端子及びアース端子を有する底面を形成する工程と、を備える。
第2観点の圧電デバイスの製造方法は、絶縁材からなり、圧電振動素子の他方の主面に接合される第2接合面と第2接合面の反対側の天井面とを含む複数の第2容器体が形成された第2ウエハを用意する工程を備え、接合工程は、圧電ウエハ、第1ウエハ及び第2ウエハを接合する。
第3観点の圧電デバイスの製造方法において、第2容器体は、平板矩形状に形成されている。
第3観点の圧電デバイスの製造方法において、第2容器体は、平板矩形状に形成されている。
第4観点の圧電デバイスの製造方法において、圧電振動素子は矩形状に形成され、圧電片と外枠の短辺との間に連結部が形成され、一対の引出電極が、連結部を介して対向する両短辺までそれぞれ伸びており、第1容器体は、平板矩形状に形成され、隣り合う第1容器体の共通する辺の少なくとも1辺には、貫通孔が1つ形成され、貫通孔には、ホット端子が接続され、一対の引出電極は、それぞれホット端子に接続される。
第5観点の圧電デバイスの製造方法において、第1端子マスクは、第1容器体の長辺方向に伸びるホット端子用の開口パターンを有する。
第6観点の圧電デバイスの製造方法において、第1端子マスクは、正方形状のホット端子用の開口パターンを有する。
第7観点の圧電デバイスは、第1観点から第6観点に記載された製造方法で製造されたデバイスである。
第6観点の圧電デバイスの製造方法において、第1端子マスクは、正方形状のホット端子用の開口パターンを有する。
第7観点の圧電デバイスは、第1観点から第6観点に記載された製造方法で製造されたデバイスである。
さまざまな実装端子の配置(フットパターン)に対して、ベース部に合う圧電振動素子などをその都度設計することなく、さまざまな実装端子が形成できる製造方法、及びかかる製造方法によって製造された圧電デバイスを提供する。
本明細書では、圧電振動素子としてATカットの水晶振動素子が使われている。つまり、ATカットの水晶振動素子は、主面(YZ面)が結晶軸(XYZ)のY軸に対して、X軸を中心としてZ軸からY軸方向に35度15分傾斜されている。このため、ATカットの水晶振動素子の軸方向を基準とし、傾斜された新たな軸をY’軸及びZ’軸として用いる。すなわち、本発明において圧電振動素子の長手方向をX軸方向、圧電振動素子の高さ方向をY’軸方向、X及びY’軸方向に垂直な方向をZ’軸方向として説明する。
<第1圧電デバイス100の全体構成>
第1圧電デバイス100の全体構成について、図1及び図2を参照しながら説明する。図1は、第1圧電デバイス100の第1容器体30側から見た分解斜視図で実装面が示されている。図1では、封止材LGが描かれていない。図2は、図1のA−A断面図である。
第1圧電デバイス100の全体構成について、図1及び図2を参照しながら説明する。図1は、第1圧電デバイス100の第1容器体30側から見た分解斜視図で実装面が示されている。図1では、封止材LGが描かれていない。図2は、図1のA−A断面図である。
図1及び図2に示されたように、第1圧電デバイス100は、凹部12を有する第2容器体10と、凹部32を有する第1容器体30と、枠部22を有する水晶振動素子20とを備える。
水晶振動素子20は、ATカットされた水晶材料で形成され、+Y’側の水晶接合面M3と−Y’側の水晶接合面M4とを有している。水晶振動素子20は、水晶振動部21と水晶振動部21を囲む外枠22とで構成されている。水晶振動部21は、矩形状であり、また、4辺からなる外枠22も矩形状の枠となっている。上下を貫通するU字型の間隙部23aと直線状の間隙部23bとが、水晶振動部21と外枠22との間に形成される。水晶振動部21と外枠22との一対の連結部29は、間隙部23a及び間隙部23bが形成されていない部分になる。なお、一対の連結部29ではなく、一本のみの連結部29が形成されてもよい。また水晶振動部21は、Y’軸方向に厚くなったメサ形状であってもよい。
矩形状の励振電極24a、24bが、水晶振動部21の水晶接合面M3と水晶接合面M4とにそれぞれ形成されている。励振電極24a、24bと導電された引出電極25a、25bが、外枠22の両面にそれぞれ形成されている。引出電極25aは接続電極28aに接続している。さらに側面電極27が、間隙部23aの+X端の−Z’側に形成され、引出電極25bが、側面電極27を介し接続電極28bに接続している。
ここで、励振電極24、引出電極25及び接続電極28は、例えば下地としてのクロム層が用いられ、クロム層の上面に金層が用いられる。また、クロム層の厚さは、例えば0.05μm〜0.1μmで、金層の厚さは、例えば0.2μm〜2μmである。
第1容器体30は、平板矩形状のガラス又は水晶材料より構成される。第1容器体30は、−Y’側の面に形成された凹部32の周囲に接合面M2と+Y’側の面に実装面M1とを有している。また、第1容器体30は、一対の電極引出部36がZ’軸方向の両端に対角線方向に形成されている。電極引出部36は、貫通孔BH(図7を参照)の一部である。
図1に示されるように、一対の接続電極38(a,b)が、第1容器体30の第2端面側に形成されている。ここで、接続電極38aは、側面電極37aに電気的に接続される。接続電極38bは、側面電極37aに対して第1容器体30の対角線方向に配置された側面電極38bに電気的に接続されている。図2に示されるように、側面電極37は、封止材LGの側面を覆うようにして形成される。
さらに、第1容器体30は、実装面M1に、側面電極37a,37bへそれぞれ電気的に接続された一対の実装端子(ホット端子)35a、35bを有している。実装端子35a、35bは、第1容器体30の長辺方向(X軸方向)の伸びており、+Z’軸側及び−Z’軸側の両側に配置され、側面電極37a、37bを介して接続電極38a、38bにそれぞれ接続される。スパッタリング及び無電解メッキ等によって、実装端子(ホット端子)35a、35bと、側面電極37a、37bと、接続電極38a、38bとが同時に形成される。
第2容器体10は、平板矩形状のガラス又は水晶材料より構成される。第2容器体10は、矩形凹部12とその周囲に形成された接合面M5とを有している。
図2に示されるように、第1容器体30の接合面M2は、外枠22の水晶接合面M3に接合される。この接合により、実装端子(ホット端子)35a、35bが励振電極24a、24bまで導通する。実装端子(ホット端子)35a、35bに交番電圧(正負を交番する電位)が印加されると、水晶振動素子20は、厚みすべり振動する。また、第2容器体10の接合面M5は、水晶振動素子20の外枠22の水晶接合面M4に接合される。
図2に示されるように、第2容器体10の接合面M5、水晶振動素子20の接合面M4,M3及び第1容器体30の接合面M2は、例えば非導電性接着剤である封止材LGによって接合される。封止材LGは、低融点ガラス、ポリイミド樹脂又はエポキシ樹脂が使われる。これらの封止材LGは、耐水性・耐湿性に優れ、空気中の水分がキャビティ内に進入したりキャビティ内の真空度を悪化させたりすることが防止できる。また、低融点ガラスは、バインダーと溶剤とが加えられたペースト状であり、焼成され冷却されることで接合面M2〜M5を接合する。
<第2圧電デバイス200の全体構成>
図3は、第2圧電デバイス200の第3容器体40側から見た分解斜視図である。第2圧電デバイス200は、凹部12を有する第2容器体10と、凹部32を有する第3容器体40と、枠部22を有する水晶振動素子20とを備える。
図3は、第2圧電デバイス200の第3容器体40側から見た分解斜視図である。第2圧電デバイス200は、凹部12を有する第2容器体10と、凹部32を有する第3容器体40と、枠部22を有する水晶振動素子20とを備える。
第2圧電デバイス200と第1圧電デバイス100とは、第3容器体40の実装端子45の形状が異なっている。実装端子の形状は、プリント配線基板上の配線パターンによって選択される。第1圧電デバイス100と同じ部材には、同じ符号をつけてある。同じ部材に対する説明を省略する。
第3容器体40は、実装面M1及び接合面M2を有している。また、第3容器体40の実装面M1は、第1容器体30のX軸方向に形成された実装端子(ホット端子)35a、35bと異なる。第3容器体40は、実装面M1に、側面電極47a,47bへそれぞれ電気的に接続された一対の実装端子(ホット端子)45a、45bを有している。実装端子45a、45bは、第3容器体40の短辺方向(Z’軸方向)の伸びており、+X軸側及び−X軸側の両側に配置される。一対の電極引出部46の一方には、実装端子45aと接続された側面電極47aが形成される。また側面電極47aは、接続電極48aと接続される。一対の電極引出部46の他方には、実装端子45bと接続された側面電極47b(不図示)が形成されている。また側面電極47bは、接続電極48b(不図示)と接続される。電極引出部46は、貫通孔BH(図8を参照)の一部である。
<第3圧電デバイス300の全体構成>
図4は、第3圧電デバイス300の第4容器体50側から見た分解斜視図である。第3圧電デバイス300は、凹部12を有する第2容器体10と、凹部32を有する第4容器体50と、枠部22を有する水晶振動素子20とを備える。
図4は、第3圧電デバイス300の第4容器体50側から見た分解斜視図である。第3圧電デバイス300は、凹部12を有する第2容器体10と、凹部32を有する第4容器体50と、枠部22を有する水晶振動素子20とを備える。
第3圧電デバイス300と第1圧電デバイス100とは、第4容器体50の実装端子55の形状が異なっている。第1圧電デバイス100と同じ部材には、同じ符号をつけてある。同じ部材に対する説明を省略する。
第4容器体50は、実装面M1及び接合面M2を有している。また、第4容器体50の実装面M1は、4つの実装端子55a〜55cを有している。また、第4容器体50は、一対の電極引出部56が、Z’軸方向の両端に対角線方向に形成されている。一対の電極引出部56の一方には、実装端子55aと接続された側面電極57aが形成される。また側面電極57aは、接続電極58aと接続される。一対の電極引出部56の他方には、実装端子55bと接続された側面電極57b(不図示)が形成されている。また側面電極57bは、接続電極58b(不図示)と接続される。電極引出部56は、貫通孔BH(図9を参照)の一部である。
4つの実装端子55a〜55cうち、実装端子(ホット端子)55a、55bは、励振電極24a、24bまで導通する。実装端子(ホット端子)55a、55bに交番電圧が印加されると、水晶振動素子20は厚みすべり振動する。
一方、4つの実装端子55a〜55cうち、一対の実装端子55cは、アース端子用のアース端子である。すなわち、実装端子(アース端子)55cは、第4容器体50の実装端子55a、55bとは、異なる対角線方向に配置されている。ここで、実装端子(アース端子)55cは、アースとして使われてもよいが、水晶デバイス200を実装プリント基板(不図示)に強く接合するために使用し、プリント基板のアースに電気的に接続していなくてもよい。
<第1圧電デバイス100、第2圧電デバイス200及び第3圧電デバイス300の製造方法>
図5は、第1圧電デバイス100、第2圧電デバイス200及び第3圧電デバイス300の製造を示したフローチャートである。また、図6は、水晶ウエハ20Wの平面図である。
図5は、第1圧電デバイス100、第2圧電デバイス200及び第3圧電デバイス300の製造を示したフローチャートである。また、図6は、水晶ウエハ20Wの平面図である。
図7は、第1圧電デバイス100用に製造された第1ウエハ30Wの平面図であり、図8は、第2圧電デバイス200用に製造された第1ウエハ40Wの平面図であり、図9は、第3圧電デバイス300用に製造された第1ウエハ50Wの平面図である。図7、図8及び図9は、図5のステップS142〜S144を完了した状態が描かれている。図7、図8及び図9は、実装端子の配置(フットパターン)が互いに異なっている。図10は、A端子マスク30Mの平面図であり、図11は、B端子マスク40Mの平面図であり、図12は、C端子マスク50Mの平面図である。
ステップS10では、水晶振動素子20が製造される。ステップS10は、ステップS101、ステップS102を含んでいる。
ステップS101において、ウェットエッチングにより、複数の水晶振動素子20の外形が水晶ウエハ20W(図6を参照)に形成される。すなわち、振動部21と、外枠22と、間隙部23a,23bとが水晶ウエハ20Wに形成される。次に、スパッタリングまたは、真空蒸着によって水晶ウエハ20Wの両面及び側面にクロム層及び金層が順に形成される。
ステップS101において、ウェットエッチングにより、複数の水晶振動素子20の外形が水晶ウエハ20W(図6を参照)に形成される。すなわち、振動部21と、外枠22と、間隙部23a,23bとが水晶ウエハ20Wに形成される。次に、スパッタリングまたは、真空蒸着によって水晶ウエハ20Wの両面及び側面にクロム層及び金層が順に形成される。
ステップS102において、金属層の全面にフォトレジストが均一に塗布される。そして露光装置(不図示)を用いて、フォトマスクに描かれた励振電極24a、24b、引出電極25a、25b、側面電極27及び接続電極28a,28bのパターンが水晶ウエハ20Wに露光される。次に、フォトレジストから露出した金属層がエッチングされる。これにより、図1及び図2に示されたように水晶ウエハ20W両面に励振電極24a、24b及び引出電極25a、25bが形成される。
ステップS11では、第1容器体30が製造される。ステップS11は、ステップS111、S112を含んでいる。
ステップS111において、第1ウエハ30W(40W、50W)を用意する。そして、エッチングによりM2面に凹部32が形成される。また、第1容器体30(第3容器体40、第4容器体50)の二隅に対応する箇所に第1ウエハ30W(40W、50W)を貫通する貫通孔BH(図7〜図9を参照)が形成される。貫通孔BHは、第1ウエハ30W(40W、50W)から水晶デバイスに分割されると電極引出部36,46,56(図1、図3又は図4を参照)になる。第1ウエハ30W(40W、50W)は、未だ実装端子を有していない。なお、第1ウエハ30W(40W、50W)は、ステップS142〜S144で異なる実装端子が形成されるが、ステップS142〜S144の手前のステップまで、同じ貫通孔BHを有する同一形状の水晶ウエハである。
ステップS111において、第1ウエハ30W(40W、50W)を用意する。そして、エッチングによりM2面に凹部32が形成される。また、第1容器体30(第3容器体40、第4容器体50)の二隅に対応する箇所に第1ウエハ30W(40W、50W)を貫通する貫通孔BH(図7〜図9を参照)が形成される。貫通孔BHは、第1ウエハ30W(40W、50W)から水晶デバイスに分割されると電極引出部36,46,56(図1、図3又は図4を参照)になる。第1ウエハ30W(40W、50W)は、未だ実装端子を有していない。なお、第1ウエハ30W(40W、50W)は、ステップS142〜S144で異なる実装端子が形成されるが、ステップS142〜S144の手前のステップまで、同じ貫通孔BHを有する同一形状の水晶ウエハである。
ステップS112において、第1容器体30(第3容器体40、第4容器体50)の凹部32の周辺部である接合面M2(図1又は図3を参照)に封止材LGが均一に形成される。例えば、封止材LGが低融点ガラスの場合、スクリーン印刷で低融点ガラスが塗布された後、仮焼成される。封止材GLがポリイミド樹脂である場合、スクリーン印刷でポリイミド樹脂がM2面に塗布された後、仮硬化される。第1容器体30(第3容器体40、第4容器体50)のM2面に低融点ガラス又はポリイミド樹脂が塗布される代わりに、外枠22のM3面に低融点ガラス又はポリイミド樹脂が塗布されてもよい。
ステップS12では、第2容器体10が製造される。ステップS12は、ステップS121、S122を含んでいる。
ステップS121において、第2ウエハ10W(不図示)を用意する。そして、エッチングにより第2ウエハ10Wに凹部12(図1又は図3を参照)が形成される。
ステップS121において、第2ウエハ10W(不図示)を用意する。そして、エッチングにより第2ウエハ10Wに凹部12(図1又は図3を参照)が形成される。
ステップS122において、第2容器体10の凹部12の周辺部である接合面M5(図1を参照)に封止材LGが均一に形成される。例えば、封止材LGが低融点ガラスの場合、スクリーン印刷で低融点ガラスが塗布された後、仮焼成される。封止材GLがポリイミド樹脂である場合、スクリーン印刷でポリイミド樹脂がM2面に塗布された後、仮硬化される。第2容器体10のM5面に低融点ガラス又はポリイミド樹脂が塗布される代わりに、外枠22のM4面に低融点ガラス又はポリイミド樹脂が塗布されてもよい。
図5のフローチャートにおいて、水晶振動素子20の製造ステップS10と、第1容器体30(第3容器体40、第4容器体50)の製造ステップS11と第2容器体10との製造ステップS12とは、別々に並行して行うことができる。
次に、ステップS131では、第2ウエハ10W、第1ウエハ30W及び水晶ウエハ20Wを接合する。第2ウエハ10W、第1ウエハ30W及び水晶ウエハ20Wの周縁部の一部には、オリエンテーションフラットOF(図6〜図9を参照)が形成されている。第2ウエハ10W、第1ウエハ30W及び水晶ウエハ20Wは、オリエンテーションフラットOFを基準として、精密に重ね合わされる。封止材GLが低融点ガラスの場合、重ね合わされた第2ウエハ10W、第1ウエハ30W及び水晶ウエハ20Wは、不活性ガスで満たされたチャンバー(不図示)又は真空のチャンバー(不図示)に入れられ、350℃から400℃程度に加熱される。そして、封止材LGが溶融し、3枚のウエハが互いに押圧される。その後、封止材LGが室温まで冷却され、3枚のウエハが接合する。重ね合わされたウエハは、キャビティ内も不活性ガスで満たされ又は真空状態となる。
この工程により、第2ウエハ10W、第1ウエハ30W及び水晶ウエハ20Wが接合される。接合された3枚のウエハは、第1ウエハ30W側から観察すると、貫通孔BHから、水晶振動部21の接続電極28a又は28bが見える。第1ウエハ30Wは、未だ実装端子を有していない。
ステップS132では、スパッタリングまたは真空蒸着用に、A端子マスク30M(図10を参照)及びB端子マスク40M(図11を参照)並びにC端子マスク50M(図12を参照)が用意される。
A端子マスク30Mは、金属製のマスク枠80であり、スパッタ等による金属粒子を遮蔽する遮蔽領域81と、金属粒子を通過させる開口のフットパターン領域82〜85を有している。フットパターン領域82〜85は、X軸方向に長く形成されている(図10を参照)。フットパターン領域82〜85は、隣り合う第1容器体30の実装端子(ホット端子)35a、35b、側面電極37a、37b及び接続電極38a、38bに対応した領域である。
B端子マスク40Mは、金属製のマスク枠80であり、スパッタ等による金属粒子を遮蔽する遮蔽領域81と、金属粒子を通過させる開口のフットパターン領域86〜88を有している。フットパターン領域86〜88は、Z軸方向に長く形成されている(図11を参照)。フットパターン領域86〜88は、隣り合う第2容器体40の実装端子(ホット端子)45a、45b、側面電極47a、47b及び接続電極48a、48bに対応した領域である。
C端子マスク50Mは、金属製のマスク枠90であり、スパッタ等による金属粒子を遮蔽する遮蔽領域91と、金属粒子を通過させる開口のフットパターン領域92〜96(図12を参照)を有している。フットパターン領域92〜96は、隣り合う第4容器体50の実装端子(ホット端子)55a、55b及び実装端子(アース端子)55c、側面電極57a、57b及び接続電極58a、58bに対応した領域である。フットパターン領域92〜96は、隣り合う4つの第3容器体50の実装端子(55a、55b、55c、55c)に対応し、正方形状になっている。
次に、ステップS141では、第1圧電デバイス100を製造するか、第2圧電デバイス200を製造するか又は第3圧電デバイス300を製造するかが選択される。第1圧電デバイス100を製造する際にはステップS142に進み、第2圧電デバイス200を製造する際にはステップS143に進み、第3圧電デバイス300を製造する際にはステップS144に進む。圧電デバイス100〜300は、ステップS141で納品先の仕様等により選択される。
ステップS142において、第1圧電デバイス100の実装端子パターンを製造する。実装端子35a、35bが描かれたA端子マスク30Mが選択され、A端子マスク30Mが第1ウエハ30Wの実装面M1に載せられる。次に、スパッタリング又は真空蒸着によって、第1ウエハ30Wの実装面M1及び貫通孔BHにクロム層及び金層が順に形成される。下地としてのクロム層の厚さは、例えば0.05μm〜0.1μmであり、金層の厚さは、例えば0.2μm〜1μmである。
図1及び図2に示されたように、第1ウエハ30W(第1容器体30)の実装面M1に実装端子35a、35bが形成される。また、貫通孔BHに、側面電極37a、37b及び接続電極38a、38bが形成される。実装端子(ホット端子)35a、35b、側面電極37a、37b及び接続電極38a、38bを厚くする際には、無電解メッキ等によって、金層の上面に1〜3μmのニッケル層等を形成してもよい。ステップS142を終えると、実装端子(ホット端子)35a、35bから励振電極24a、24bまで導通する。
ステップS143において、第2圧電デバイス200の実装端子パターンを製造する。実装端子45a,45bが描かれたB端子マスク40Mが選択され、B端子マスク40Mが第1ウエハ40Wの実装面M1に載せられる。次に、スパッタリング又は真空蒸着によって、第1ウエハ40Wの実装面M1及び貫通孔BHにクロム層及び金層が順に形成される。
図3に示されたように、第1ウエハ40W(第3容器体40)の実装面M1に実装端子45a、45bが形成される。また、貫通孔BHに、側面電極47a、47b及び接続電極48a、48bが形成される。実装端子(ホット端子)45a、45b、側面電極47a、47b及び接続電極48a、48bを厚くする際には、無電解メッキ等によって、金層の上面に1〜3μmのニッケル層等を形成してもよい。ステップS143を終えると、実装端子(ホット端子)45a、45bから励振電極24a、24bまで導通する。
ステップS144において、第3圧電デバイス300の実装端子パターンを製造する。実装端子55a〜55cが描かれたC端子マスク50Mが選択され、C端子マスク50Mが第1ウエハ50Wの実装面M1に載せられる。次に、スパッタリング又は真空蒸着によって、第1ウエハ50Wの実装面M1及び貫通孔BHにクロム層及び金層が順に形成される。
図4に示されたように、第1ウエハ50W(第4容器体50)の実装面M1に実装端子(ホット端子)55a、55b、および実装端子(アース端子)55cが形成される。また、貫通孔BHに、側面電極57a、57b及び接続電極58a、58bが形成される。必要であれば、無電解メッキ等によって、それらの端子又は電極の上面にニッケル層等を形成してもよい。ステップS144を終えると、実装端子(ホット端子)55a、55bから励振電極24a、24bまで導通する。
次に、ステップS145において、接合された水晶ウエハ20Wと第1ウエハ(30W、40W,50W)と第2ウエハ10Wとが圧電デバイスの単位に切断される。具体的には、図6〜図9に示された一点鎖線のスクライブラインSLに沿って第1圧電デバイス100、第2圧電デバイス200又は第3圧電デバイス300を単位に個片化する。切断工程は、レーザーを用いたダイシング装置、又はブレードを用いたダイシング装置などを用いられる。以上の方法により、数百から数千の第1圧電デバイス100、第2圧電デバイス200又は第3圧電デバイス300が製造される。
同じ周波数特性の圧電デバイスであっても、用途等によって実装端子の配置(フットパターン)が異なる場合がある。しかし、実装端子の配置の違いだけで、異なる形状又は電極の第2ウエハ10W、第1ウエハ(30W、40W,50W)及び水晶ウエハ20W等を製造していては、コストがかかる。本実施形態では、A端子マスク30MとB端子マスク40MとC端子マスク50Mとのいずれかを選択するだけで、第1圧電デバイス100、第2圧電デバイス200又は第3圧電デバイス300を製造することができる。
なお、図5のフローチャートのステップS131では、第2ウエハ10W、第1ウエハ30W及び水晶ウエハ20Wを接合した。しかし、図5中の点線で示すように、第2ウエハ10WをステップS142〜S144の後に、接合してもよい。具体的には、ステップS131では、第1ウエハ30W及び水晶ウエハ20Wの2枚のウエハを大気中で接合する。そして、ステップS142〜S144の後に、不活性ガス中又は真空中で、接合した2枚のウエハに第2ウエハ10Wを接合する。
以上、本発明の最適な実施形態について詳細に説明したが、当業者に明らかなように、本発明は、その技術的範囲内において実施形態に様々な変更を加えて実施することができる。
例えば、本実施形態では、ATカットの水晶振動素子を用いているが、一対の振動アームを有する音叉型の振動素子にも適用できる。また、実施形態では、水晶振動素子が使用されたが、水晶以外にタンタル酸リチウム、ニオブ酸リチウムなどの圧電材料を利用することができる。さらに圧電デバイスとして、発振回路を組み込んだICなどをパッケージ内に配置させた圧電発振器にも、本発明は適用できる。
10 … 第2容器体
12、32,42,52 … 凹部
20 … 水晶振動素子
21 … 励振部、 22 … 枠部
23(a,b) … 貫通孔、 24(a,b) … 励振電極
25(a,b) … 引出電極、
27,37(a、b)、47(a,b)、57(a、b) … 側面電極
28(a,b)、38(a,b)、48(a,b)、58(a、b) … 接続電極
80,90 … マスク枠、 81,91 … 透過領域(網目斜線部)
82〜88,92〜96 … 電極パターン
100,200,300 … 圧電デバイス
30 … 第1容器体,40 … 第3容器体,50 … 第4容器体
35(a,b),45(a,b),55(a,b) … 実装端子(ホット端子)
36,46,56 … 電極引出部
20W … 水晶ウエハ、 30W、40W、50W… 第1ウエハ
30M … A端子マスク,40M … B端子マスク
50M … C端子マスク
12、32,42,52 … 凹部
20 … 水晶振動素子
21 … 励振部、 22 … 枠部
23(a,b) … 貫通孔、 24(a,b) … 励振電極
25(a,b) … 引出電極、
27,37(a、b)、47(a,b)、57(a、b) … 側面電極
28(a,b)、38(a,b)、48(a,b)、58(a、b) … 接続電極
80,90 … マスク枠、 81,91 … 透過領域(網目斜線部)
82〜88,92〜96 … 電極パターン
100,200,300 … 圧電デバイス
30 … 第1容器体,40 … 第3容器体,50 … 第4容器体
35(a,b),45(a,b),55(a,b) … 実装端子(ホット端子)
36,46,56 … 電極引出部
20W … 水晶ウエハ、 30W、40W、50W… 第1ウエハ
30M … A端子マスク,40M … B端子マスク
50M … C端子マスク
Claims (7)
- 圧電デバイスの製造方法において、
一対の励振電極を有する圧電片と該圧電片を囲むように形成され前記励振電極から引き出される一対の引出電極を含む外枠とを有する複数の圧電振動素子が形成された圧電ウエハを用意する工程と、
絶縁材からなり、前記圧電振動素子の一方の主面に接合される第1接合面と前記第1接合面の反対側の底面とを含む複数の第1容器体および隣り合う前記第1容器体の共通する辺に前記第1接合面から前記天井面まで貫通した複数の貫通孔が形成された第1ウエハを用意する工程と、
前記圧電ウエハと前記第1ウエハとを接合する接合工程と、
前記底面に形成される電源用の及び振動周波数の出力用の一対のホット端子を形成するための第1端子マスク、前記一対のホット端子及びアース用のアース端子を形成するための第2端子マスクのそれぞれを用意する工程と、
接合工程後に、前記第1ウエハの底面に前記第1端子マスクの配置と前記第2端子マスクの配置とを選択する選択工程と、
前記選択工程後に、前記第1端子マスクを介して前記電源端子及び前記出力端子を有する底面を形成し、又は前記第2端子マスクを介して前記電源端子、前記出力端子及び前記アース端子を有する底面を形成する工程と、
を備える圧電デバイスの製造方法。 - 絶縁材からなり、前記圧電振動素子の他方の主面に接合される第2接合面と前記第2接合面の反対側の天井面とを含む複数の第2容器体が形成された第2ウエハを用意する工程を備え、
前記接合工程は、前記圧電ウエハ、前記第1ウエハ及び前記第2ウエハを接合する請求項1に記載の圧電デバイスの製造方法。 - 前記第2容器体は、平板矩形状に形成されている請求項2に記載の圧電デバイスの製造方法。
- 前記圧電振動素子は、矩形状に形成され、前記圧電片と前記外枠の短辺との間に、連結部が形成され、前記一対の引出電極が、前記連結部を介して対向する両短辺までそれぞれ伸びており、
前記第1容器体は、平板矩形状に形成され、隣り合う前記第1容器体の共通する辺の少なくとも1辺には、前記貫通孔が1つ形成され、前記貫通孔には、前記ホット端子が接続され、
前記一対の引出電極は、それぞれ前記ホット端子に接続される請求項1から請求項3のいずれか一項に記載の圧電デバイスの製造方法。 - 前記第1端子マスクは、前記第1容器体の長辺方向に伸びる前記ホット端子用の開口パターンを有する請求項4に記載の圧電デバイスの製造方法。
- 前記第2端子マスクは、正方形状の前記ホット端子用の開口パターンを有する請求項4に記載の圧電デバイスの製造方法。
- 前記圧電振動素子を有する圧電デバイスであって、
請求項1から請求項6のいずれかに記載の製造方法で製造された圧電デバイス。
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