JP2009253883A - 圧電振動デバイス - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 圧電デバイス(50)は、外部電極(31)に導通する第1接続電極(35)を有するベース(3)と、第1面に第1接続と接続する第2接続電極(36)と、第1面の反対面に形成されて第2接続電極と導通する第3接続電極(37)とを有しベース上に固定されるサポート材(6a)と、励振電極(23、25)を有するとともに第3接続電極(37)に塗布された接着剤(61)を介してサポート部材に固定される圧電振動片(20)とを備えている。そして、圧電デバイスは接着材が圧電振動片の所定領域に広がらないように、第3接続電極(37)の所定方向に凹み部が形成されている。
【選択図】図2
Description
この構成により、接着剤が多く塗布された場合であっても、接着剤が凹み部に流れ落ちる。したがって接着剤が圧電振動片の励振電極側に接着剤が広がることがない。
第2の観点の圧電デバイスは、サポート部材の左右を考慮することなく整列することができる。
第3の観点の圧電デバイスは余分な接続電極を設けることがないので、製造コストを低減することができる。
第5の観点の圧電デバイスは、第3接続電極と励振電極とがワイヤーボンディングを介して導通する。
第1接続電極の接合位置と第3接続電極の接合位置とが離れることで、硬化による歪応力の影響が少なくなる。このため、接合に際して周波数変動が小さくなり安定した周波数の圧電デバイスを製造することができる。
図1(a)は、実施例1の第1圧電振動デバイス50である。図1(b)は図1(a)のB−B断面図である。図1(a)及び(b)に示されるように、第1圧電振動デバイス50は、ATカット水晶振動片40と、ATカット水晶振動片40を保持するベース3と、気密封止するためのリッド28と、サポート台座6aとで構成されている。第1圧電振動デバイス50は、ベース3とリッド28とで形成された空間に、ATカット水晶振動片40を装着している。
図2(a)は本実施例の第2圧電振動デバイス55でリッド28を取り外した図である。図2(b)は図2(a)のB−B断面図である。図1と同じ符号の部材は図2においても同様な機能及び構成を有する部材である。
図3は、図1で示した第1圧電振動デバイス50に関して、リフロー炉で接着剤を本硬化する前後における周波数の変化量を示した図である。図3の縦軸の周波数変化量df/f(ppm)は、周波数の変化量(Hz)を水晶振動子の周波数(Hz)で割ったものを百万分率表記している。
図4(a)及び(b)は、凸部65を形成したサポート台座6aと凸部なしのサポート台座106を示した正面図及び側面図である。
一方、図4(a)に示すサポート台座6aの第3接続電極37は凸部65に設けられている。このため、導電性接着剤61の塗布量が多くても余分な導電性接着剤61が凸部65より下に落ちるため、ATカット水晶振動片40又は音叉型水晶振動片20の励振電極側に広がらない。このため、凸部65を形成したサポート台座6aを使用すると、温度特性、CI値及び周波数の安定した第1圧電振動デバイス50及び第2圧電振動デバイス55が得られる。
一方、凸部加工なしのサポート台座106を用いた120個の圧電振動デバイスに対しても同じ電流を流した。凸部加工なしのサポート台座106を用いた120個の圧電振動デバイスは、0.2Ωから0.9Ωの範囲でばらついており、全体の平均も悪くばらつきも大きい。
図7ないし図10は、図4に示したサポート台座6aの変形例である。いずれの変形例も、導電性接着剤61が音叉型水晶振動片20又はATカット水晶振動片40の励振電極側に広がらないようにしたサポート台座6である。図4と同じ部材に関しては同一符号を使用している。
6a,6b,6c,6d,6e,6f,6g,6h, … サポート台座
20 … 音叉型水晶振動片
21 … 振動腕
23 … 第1励振電極
23a … 第1基部電極
23d … 第1溝電極
25 … 第2励振電極
25a … 第2基部電極
25d … 第2溝電極
27 … 封止材
28 … リッド
29 … 基部
30 … 錘部
31 … 外部電極
35 … 第1接続電極
36 … 第2接続電極
37 … 第3接続電極
40 … ATカット水晶振動片
41 … 第1励振電極
43 … 第2励振電極
45 … 引出電極
50 … 第1圧電振動デバイス
55 … 第2圧電振動デバイス
61,62 … 導電性接着剤
63 … ベース用接着剤
65 … 凸部
66 … 切込部
67 … 溝部
68 … スリット
211 … 溝部
JL … 第1接続電極と第3接続電極との接合の距離
Claims (6)
- 外部電極に導通する第1接続電極を有するベースと、
第1面に前記第1接続と接続する第2接続電極と、前記第1面の反対面に形成されて前記第2接続電極と導通する第3接続電極とを有し、前記ベース上に固定されるサポート材と、
励振電極及びこの励振電極に導通する引出電極を有するとともに、前記第3接続電極に塗布された接着剤を介して前記サポート部材に固定される圧電振動片と、を備え、
前記接着材が前記圧電振動片の所定領域に広がらないように、前記第3接続電極の所定方向に凹み部が形成されていることを特徴とする圧電デバイス。 - 前記サポート部材は矩形形状であり、前記第3接続電極は前記矩形形状の四隅に設けられていることを特徴とする請求項1に記載の圧電デバイス。
- 前記サポート部材は矩形形状であり、前記第3接続電極は前記矩形形状の少なくとも一辺に設けられていることを特徴とする請求項1に記載の圧電デバイス。
- 前記接着剤は導電性接着剤であり、前記第3接続電極と前記引出電極とが前記導電性接着剤を介して導通することを特徴とする請求項1から請求項3のいずれか一項に記載の圧電デバイス。
- 前記第3接続電極と前記引出電極とがワイヤーボンディングを介して導通することを特徴とする請求項1から請求項3のいずれか一項に記載の圧電デバイス。
- 前記第1接続電極と前記第3接続電極とは、前記サポート部材の矩形形状の長手方向にこの圧電デバイスの長手方向の長さの10パーセント以上離れていることを特徴とする請求項2又は請求項3に記載の圧電デバイス。
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