JP6524679B2 - 水晶振動子の検査方法 - Google Patents
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Description
前記外部電極を介して取得した前記出力に基づいて、前記外部電極間のインピーダンスの周波数特性を出力する工程と、
出力した前記周波数特性と、前記水晶振動子の良品状態を表す基準となる周波数特性とを比較する工程とを含み、
前記副振動用電極及び前記外部電極は、前記水晶振動子の主振動に係る発振回路から電気的に絶縁される、水晶振動子の検査方法が得られる。
(付記1)
水晶振動子の副振動を励起させる副振動用電極に、前記副振動用電極に電気的に接続され前記水晶振動子の筐体の外表面に設けられる外部電極を介して入力信号を与え、前記入力信号に応答する前記水晶振動子の出力を前記外部電極を介して取得する工程と、
前記外部電極を介して取得した前記出力に基づいて、前記外部電極間のインピーダンスの周波数特性を出力する工程と、
出力した前記周波数特性と、前記水晶振動子の良品状態を表す基準となる周波数特性とを比較する工程とを含む、水晶振動子の検査方法。
(付記2)
前記出力に基づいて、前記副振動に係るピーク周波数及びピーク値の少なくともいずれか一方を特定する工程を更に含む、付記1に記載の水晶振動子の検査方法。
(付記3)
前記副振動に係るピーク周波数及びピーク値の少なくともいずれか一方と、対応する基準値又は基準範囲とを比較する工程を更に含む、付記2に記載の水晶振動子の検査方法。
(付記4)
前記副振動に係るピーク周波数及びピーク値のぞれぞれと、それぞれに対応する基準値又は基準範囲とをそれぞれ比較する工程と、
前記比較の結果に基づいて、前記水晶振動子の不具合形態を特定する工程とを更に含む、付記2に記載の水晶振動子の検査方法。
(付記5)
前記比較する工程は、前記ピーク周波数が前記対応する基準値又は基準範囲に対して外れているか否かを判定し、前記ピーク値が前記対応する基準値又は基準範囲に対して外れているか否かを判定することを含み、
前記不具合形態を特定する工程は、前記2種類の判定結果のパターンに基づいて、前記水晶振動子の不具合形態を特定することを含む、付記4に記載の水晶振動子の検査方法。
(付記6)
前記不具合形態を特定する工程は、前記ピーク周波数が前記対応する基準値又は基準範囲に対して外れているとの判定結果と、前記ピーク値が前記対応する基準値又は基準範囲に対して外れているとの判定結果とが得られた場合に、前記水晶振動子の水晶基板への異物の不着を前記不具合形態として特定することを含む、付記5に記載の水晶振動子の検査方法。
(付記7)
前記不具合形態を特定する工程は、前記ピーク周波数が前記対応する基準値又は基準範囲に対して外れているとの判定結果と、前記ピーク値が前記対応する基準値又は基準範囲に対して外れていないとの判定結果とが得られた場合に、前記水晶振動子の水晶基板の経時劣化を前記不具合形態として特定することを含む、付記5に記載の水晶振動子の検査方法。
(付記8)
前記不具合形態を特定する工程は、前記ピーク周波数及び前記ピーク値が得られない場合に、前記水晶振動子の水晶基板の破損を前記不具合形態として特定することを含む、付記5に記載の水晶振動子の検査方法。
(付記9)
前記入力信号は、前記水晶振動子の主振動に係る発振回路をオフした状態で与えられる、付記1〜8のうちのいずれか1項に記載の水晶振動子の検査方法。
(付記10)
水晶振動子の副振動を励起させる副振動用電極に、前記副振動用電極に電気的に接続され前記水晶振動子の筐体の外表面に設けられる外部電極を介して、外付けにより副振動発振回路を電気的に接続する工程と、
前記副振動発振回路により前記副振動を励起させる工程と、
前記副振動が励起された状態で、前記外部電極を介して取得した出力に基づいて、前記副振動に係る周波数を出力する工程とを含む、水晶振動子の検査方法。
(付記11)
前記副振動用電極及び前記外部電極は、前記水晶振動子の主振動に係る発振回路から電気的に絶縁される、付記1〜10のうちのいずれか1項に記載の水晶振動子の検査方法。
(付記12)
主振動は、厚みすべり振動であり、
前記副振動は、輪郭振動である、付記1〜11のうちのいずれか1項に記載の水晶振動子の検査方法。
20 励振電極
21 上側励振電極
22 下側励振電極
30 筐体
32 シール部
34 蓋
41乃至44 外部電極
70 副振動用電極
71乃至74 第1乃至第4副電極
110,112 外部モニタ端子
100 水晶振動子
350 アナライザ
400 副振動用発振回路
500 主振動用発振回路
Claims (4)
- 水晶振動子の副振動を励起させる副振動用電極に、前記副振動用電極に電気的に接続され前記水晶振動子の筐体の外表面に設けられる外部電極を介して入力信号を与え、前記入力信号に応答する前記水晶振動子の出力を前記外部電極を介して取得する工程と、
前記外部電極を介して取得した前記出力に基づいて、前記外部電極間のインピーダンスの周波数特性を出力する工程と、
出力した前記周波数特性と、前記水晶振動子の良品状態を表す基準となる周波数特性とを比較する工程とを含み、
前記副振動用電極及び前記外部電極は、前記水晶振動子の主振動に係る発振回路から電気的に絶縁される、水晶振動子の検査方法。 - 前記出力に基づいて、前記副振動に係るピーク周波数及びピーク値の少なくともいずれか一方を特定する工程を更に含む、請求項1に記載の水晶振動子の検査方法。
- 前記副振動に係るピーク周波数及びピーク値の少なくともいずれか一方と、対応する基準値又は基準範囲とを比較する工程を更に含む、請求項2に記載の水晶振動子の検査方法。
- 前記副振動は、輪郭振動である、請求項1〜3のうちのいずれか1項に記載の水晶振動子の検査方法。
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