JP6561487B2 - 発振回路、発振器、電子機器および移動体 - Google Patents
発振回路、発振器、電子機器および移動体 Download PDFInfo
- Publication number
- JP6561487B2 JP6561487B2 JP2015027769A JP2015027769A JP6561487B2 JP 6561487 B2 JP6561487 B2 JP 6561487B2 JP 2015027769 A JP2015027769 A JP 2015027769A JP 2015027769 A JP2015027769 A JP 2015027769A JP 6561487 B2 JP6561487 B2 JP 6561487B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- circuit
- wiring
- oscillation circuit
- oscillation
- output
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 claims description 155
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 29
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 23
- 239000000463 material Substances 0.000 description 15
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 13
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 11
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 8
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 7
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 7
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 7
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 6
- 230000006870 function Effects 0.000 description 6
- 238000000034 method Methods 0.000 description 6
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 6
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 6
- 238000010897 surface acoustic wave method Methods 0.000 description 6
- 230000020169 heat generation Effects 0.000 description 5
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 5
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 5
- 230000007274 generation of a signal involved in cell-cell signaling Effects 0.000 description 4
- 230000008569 process Effects 0.000 description 4
- HCUOEKSZWPGJIM-YBRHCDHNSA-N (e,2e)-2-hydroxyimino-6-methoxy-4-methyl-5-nitrohex-3-enamide Chemical compound COCC([N+]([O-])=O)\C(C)=C\C(=N/O)\C(N)=O HCUOEKSZWPGJIM-YBRHCDHNSA-N 0.000 description 3
- WSMQKESQZFQMFW-UHFFFAOYSA-N 5-methyl-pyrazole-3-carboxylic acid Chemical compound CC1=CC(C(O)=O)=NN1 WSMQKESQZFQMFW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 101710170231 Antimicrobial peptide 2 Proteins 0.000 description 3
- 101001109689 Homo sapiens Nuclear receptor subfamily 4 group A member 3 Proteins 0.000 description 3
- 101000598778 Homo sapiens Protein OSCP1 Proteins 0.000 description 3
- 101001067395 Mus musculus Phospholipid scramblase 1 Proteins 0.000 description 3
- 102100022673 Nuclear receptor subfamily 4 group A member 3 Human genes 0.000 description 3
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 3
- 230000005284 excitation Effects 0.000 description 3
- HFGPZNIAWCZYJU-UHFFFAOYSA-N lead zirconate titanate Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[Ti+4].[Zr+4].[Pb+2] HFGPZNIAWCZYJU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910052451 lead zirconate titanate Inorganic materials 0.000 description 3
- GQYHUHYESMUTHG-UHFFFAOYSA-N lithium niobate Chemical compound [Li+].[O-][Nb](=O)=O GQYHUHYESMUTHG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 3
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 3
- 230000008859 change Effects 0.000 description 2
- 239000000470 constituent Substances 0.000 description 2
- 230000003071 parasitic effect Effects 0.000 description 2
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 2
- 241000251468 Actinopterygii Species 0.000 description 1
- 101710170230 Antimicrobial peptide 1 Proteins 0.000 description 1
- WQZGKKKJIJFFOK-GASJEMHNSA-N Glucose Natural products OC[C@H]1OC(O)[C@H](O)[C@@H](O)[C@@H]1O WQZGKKKJIJFFOK-GASJEMHNSA-N 0.000 description 1
- 235000015842 Hesperis Nutrition 0.000 description 1
- 235000012633 Iberis amara Nutrition 0.000 description 1
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 1
- 239000008280 blood Substances 0.000 description 1
- 210000004369 blood Anatomy 0.000 description 1
- 230000036772 blood pressure Effects 0.000 description 1
- 230000001413 cellular effect Effects 0.000 description 1
- 238000012937 correction Methods 0.000 description 1
- 239000008103 glucose Substances 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 230000003068 static effect Effects 0.000 description 1
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03B—GENERATION OF OSCILLATIONS, DIRECTLY OR BY FREQUENCY-CHANGING, BY CIRCUITS EMPLOYING ACTIVE ELEMENTS WHICH OPERATE IN A NON-SWITCHING MANNER; GENERATION OF NOISE BY SUCH CIRCUITS
- H03B5/00—Generation of oscillations using amplifier with regenerative feedback from output to input
- H03B5/30—Generation of oscillations using amplifier with regenerative feedback from output to input with frequency-determining element being electromechanical resonator
- H03B5/32—Generation of oscillations using amplifier with regenerative feedback from output to input with frequency-determining element being electromechanical resonator being a piezoelectric resonator
- H03B5/36—Generation of oscillations using amplifier with regenerative feedback from output to input with frequency-determining element being electromechanical resonator being a piezoelectric resonator active element in amplifier being semiconductor device
- H03B5/364—Generation of oscillations using amplifier with regenerative feedback from output to input with frequency-determining element being electromechanical resonator being a piezoelectric resonator active element in amplifier being semiconductor device the amplifier comprising field effect transistors
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03B—GENERATION OF OSCILLATIONS, DIRECTLY OR BY FREQUENCY-CHANGING, BY CIRCUITS EMPLOYING ACTIVE ELEMENTS WHICH OPERATE IN A NON-SWITCHING MANNER; GENERATION OF NOISE BY SUCH CIRCUITS
- H03B5/00—Generation of oscillations using amplifier with regenerative feedback from output to input
- H03B5/02—Details
- H03B5/04—Modifications of generator to compensate for variations in physical values, e.g. power supply, load, temperature
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03B—GENERATION OF OSCILLATIONS, DIRECTLY OR BY FREQUENCY-CHANGING, BY CIRCUITS EMPLOYING ACTIVE ELEMENTS WHICH OPERATE IN A NON-SWITCHING MANNER; GENERATION OF NOISE BY SUCH CIRCUITS
- H03B5/00—Generation of oscillations using amplifier with regenerative feedback from output to input
- H03B5/30—Generation of oscillations using amplifier with regenerative feedback from output to input with frequency-determining element being electromechanical resonator
- H03B5/32—Generation of oscillations using amplifier with regenerative feedback from output to input with frequency-determining element being electromechanical resonator being a piezoelectric resonator
- H03B5/36—Generation of oscillations using amplifier with regenerative feedback from output to input with frequency-determining element being electromechanical resonator being a piezoelectric resonator active element in amplifier being semiconductor device
- H03B5/362—Generation of oscillations using amplifier with regenerative feedback from output to input with frequency-determining element being electromechanical resonator being a piezoelectric resonator active element in amplifier being semiconductor device the amplifier being a single transistor
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03B—GENERATION OF OSCILLATIONS, DIRECTLY OR BY FREQUENCY-CHANGING, BY CIRCUITS EMPLOYING ACTIVE ELEMENTS WHICH OPERATE IN A NON-SWITCHING MANNER; GENERATION OF NOISE BY SUCH CIRCUITS
- H03B2201/00—Aspects of oscillators relating to varying the frequency of the oscillations
- H03B2201/02—Varying the frequency of the oscillations by electronic means
- H03B2201/0208—Varying the frequency of the oscillations by electronic means the means being an element with a variable capacitance, e.g. capacitance diode
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03B—GENERATION OF OSCILLATIONS, DIRECTLY OR BY FREQUENCY-CHANGING, BY CIRCUITS EMPLOYING ACTIVE ELEMENTS WHICH OPERATE IN A NON-SWITCHING MANNER; GENERATION OF NOISE BY SUCH CIRCUITS
- H03B2201/00—Aspects of oscillators relating to varying the frequency of the oscillations
- H03B2201/03—Varying beside the frequency also another parameter of the oscillator in dependence on the frequency
- H03B2201/031—Varying beside the frequency also another parameter of the oscillator in dependence on the frequency the parameter being the amplitude of a signal, e.g. maintaining a constant output amplitude over the frequency range
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03B—GENERATION OF OSCILLATIONS, DIRECTLY OR BY FREQUENCY-CHANGING, BY CIRCUITS EMPLOYING ACTIVE ELEMENTS WHICH OPERATE IN A NON-SWITCHING MANNER; GENERATION OF NOISE BY SUCH CIRCUITS
- H03B5/00—Generation of oscillations using amplifier with regenerative feedback from output to input
- H03B5/30—Generation of oscillations using amplifier with regenerative feedback from output to input with frequency-determining element being electromechanical resonator
- H03B5/32—Generation of oscillations using amplifier with regenerative feedback from output to input with frequency-determining element being electromechanical resonator being a piezoelectric resonator
- H03B5/36—Generation of oscillations using amplifier with regenerative feedback from output to input with frequency-determining element being electromechanical resonator being a piezoelectric resonator active element in amplifier being semiconductor device
Landscapes
- Oscillators With Electromechanical Resonators (AREA)
Description
本適用例に係る発振回路は、
半導体基板上に、
振動子に接続されるとともに前記振動子を発振させる発振用回路と、
前記発振用回路から出力される信号が入力されて発振信号を出力する出力回路と、
電力が印加されるパッドと、
前記パッドから前記出力回路までをつなぐ第1配線と、
前記第1配線上の接続ノードを介して前記第1配線と接続し、前記接続ノードから前記発振用回路までをつなぐ第2配線と、
を有し、
前記第1配線の前記パッドから前記接続ノードまでの配線の長さは、前記第2配線の長さよりも短い、発振回路である。
上述の発振回路において、
前記第1配線の前記パッドから前記接続ノードまでの配線の長さは、前記第1配線の前記出力回路から前記接続ノードまでの配線の長さよりも短くてもよい。
上述の発振回路において、
前記第1配線はローパスフィルター特性を有してもよい。
上述の発振回路において、
前記第1配線は、前記出力回路と前記接続ノードとの間に互いに分離された第1領域と第2領域とを有し、
前記第1領域と前記第2領域とを電気的に接続する電子素子をさらに有してもよい。
本適用例に係る発振器は、
上述のいずれかの発振回路と、
前記振動子と、
前記発振回路と前記振動子とが収容されている容器と、
を有する、発振器である。
本適用例に係る電子機器は、
上述のいずれかの発振回路を有する、電子機器である。
本適用例に係る移動体は、
上述のいずれかの発振回路を有する、移動体である。
1−1.回路構成
図1は本実施形態に係る発振回路1の回路図である。図1に示すように、本実施形態に係る発振回路1は、振動子3と接続されて温度補償型発振器となる。
度補償回路40(「特性調整用回路」の一例)、感温素子41、レギュレーター回路50、メモリー60、スイッチ回路70およびシリアルインターフェース(I/F)回路80を含んで構成されている。また、発振回路1は、半導体基板上に、電源端子であるVcc端子(電力が印加される第1の「パッド」の一例)、接地端子であるGND端子(電力が印加される第2の「パッド」の一例)、出力端子であるOUT端子、テスト端子または発振回路1を制御する信号が入力される端子であるTP端子、振動子3との接続端子であるXI端子およびXO端子が設けられている。Vcc端子、GND端子、OUT端子およびTP端子は、発振器の外部端子(不図示)にも接続されている。なお、本実施形態の発振回路1は、これらの要素の一部を省略または変更し、あるいは他の要素を追加した構成としてもよい。
、スイッチ回路70は温度補償回路40とOUT端子とを電気的に接続しないように制御され、出力回路30から出力される発振信号がOUT端子に出力される。また、後述するように、TP端子に入力される信号がローレベルの時は、振幅制御回路20の発熱部の動作が停止される。
図2は、図1の発振用回路10の回路図である。図2に示すように、発振用回路10は、発振部11と電流源回路12とを備えている。発振部11は振動子3と接続されることでピアース型の発振回路を構成する。発振部11では、振動子3と並列に可変容量素子であるバリキャップ・ダイオードVCD1,VCD2が直列接続されており、バリキャップ・ダイオードVCD1,VCD2に温度補償電圧が印加されることで温度に対して発振部11の容量値が変化し、振動子3の周波数温度特性が補償された発振信号が出力される。
ーM4のゲート幅のサイズも同様のサイズ比を有する。例えば、Iref=20μAとすると、10倍の200μAが発振段電流として発振部11に供給される。差動増幅器AMP2、PMOSトランジスターM4、バイアス電流Ibiasを流す電流源、PMOSトランジスターM5,M6で構成される回路は、カスコード接続されたPMOSトランジスターM1,M3に流れる発振段電流Ioscの電源依存をさらに抑えるための回路である。この回路は、高い周波数制度が要求されるTCXOにおいて、電流源が出力する電流の電源依存をカスコード回路よりもさらに低減する、利得増強型のカスコード回路である。このカスコード回路は、基準側のPMOSトランジスターM4のソース電圧をモニターし、電源電圧(Vcc端子の電圧)が変動した場合に、PMOSトランジスターM3,M4のゲート電圧を差動増幅器AMP2により制御して、PMOSトランジスターM1,M2のソース・ドレイン間の電位差の変化をさらに抑制する。電流源回路12の出力抵抗としては、差動増幅器AMP2のゲイン倍だけさらに上がる。電源電圧の変動に対して発振段電流Ioscが安定化し、発振部11の発振周波数変動を抑えられる。
図3は、図1の出力回路30の回路図である。図3に示すように、出力回路30は、Vreg端子にはレギュレーター回路50の出力電圧Vregが印加され、Vclip端子には振幅制御回路20で生成されたクリップド・サイン波出力を得るためのクリップ電圧Vclipが印加される。出力回路30は、分周回路を備えており、DIV端子の電圧レベルにより、IN端子に入力される信号(発振用回路10が出力する発振信号)を2分周するか否かを選択可能に構成されている。本実施形態では、分周切替レジスターDIVの設定値が0のときは、DIV端子がローレベルに設定され、入力信号は、分周されず、MOSトランジスターM31〜M34から成るインバーターで極性が反転され、ノードVBUF1の信号がNOR回路NOR1に伝達する。一方、分周切替レジスターDIVの設定値が1のときは、DIV端子がハイレベルに設定され、入力信号は、分周回路で1/2に分周され、ノードVBUF1の信号がNOR回路NOR1に伝達する。
図4は、振幅制御回路20の回路図である。図4において、NMOSトランジスターM11,M12,M13はディプレッションタイプのMOSトランジスターであり、その他のMOSトランジスターはノーマルタイプ(エンハンスメントタイプ)のMOSトランジスターである。図4に示す振幅制御回路20は、温度補償回路40の調整時にスタティックな電流(直流電流)Ihtを流すことで、通常動作時に出力回路30で発生する熱に相当する熱を発生させる。これにより、通常動作時と温度補償回路40の調整時との間の発熱量の変動が抑えられる。
ipは、差動増幅器AMPの出力電圧VgからNMOSトランジスターM12のゲート・ソース間電圧VgsM12を差し引いた電圧となる。
1−2−1.第1具体例
図5は、第1具体例に係る発振回路1のレイアウト構成を模式的に示す平面図である。なお、図5においては、発振回路1に含まれる回路の一部については記載を省略している。
うに設けられている。これによって、第2回路ブロック120を半導体基板100の短辺に沿うように設けられている場合に比べて、第2回路ブロック120のメモリー60と、第1回路ブロック110に含まれる種々の回路との配線を短くすることができる。
図6は、第2具体例に係る発振回路1のレイアウト構成を模式的に示す平面図である。なお、図6においては、発振回路1に含まれる回路の一部については記載を省略している。また、第1具体例と同様の構成には同一の符号を付し、詳細な説明を省略する。
図7は、本実施形態に係る発振器1000を模式的に示す断面図である。発振器1000は、発振回路1と、振動子3と、発振回路1と振動子3とを収容する容器1100と、を含んで構成されている。図7に示される例では、発振器1000は、発振回路1と振動子3とを同一空間内に収容する容器1100を含んで構成されている。また、図7に示される例では、発振器1000は、蓋1200および電極1300を含んで構成されている。図7に示される例では、発振回路1は、1チップで構成されている。また、振動子3としては、基板材料として水晶を用いた水晶振動子、例えば、ATカットやSCカットの水晶振動子や、SAW(Surface Acoustic Wave)共振子やMEMS(Micro Electro Mechanical Systems)振動子であってもよい。また、振動子3の基板材料としては、水晶の他、タンタル酸リチウム、ニオブ酸リチウム等の圧電単結晶や、ジルコン酸チタン酸鉛等の圧電セラミックス等の圧電材料、またはシリコン半導体材料等を用いることができる。振動子3の励振手段としては、圧電効果によるものを用いてもよいし、クーロン力による静電駆動を用いてもよい。なお、本実施形態の振動子3は、基板材料が個片化されたチップ形状の素子としているが、これに限らず、チップ形状の素子が容器に封入されている振動デバイスを用いてもよい。
室1400となる。容器1100には、発振回路1と振動子3とを電気的に接続するための配線および端子が、凹部の表面または容器1100の内部に設けられている。また、容器1100には、少なくとも、発振回路1の接続端子Vcc、接続端子GND、接続端子OUTおよび接続端子TPとそれぞれ電気的に接続される電極1300が設けられている。
図9は、本実施形態に係る電子機器300の機能ブロック図である。なお、上述された各実施形態と同様の構成には同一の符号を付し、詳細な説明を省略する。
図11は、本実施形態に係る移動体400の一例を示す図(上面図)である。なお、上述された各実施形態と同様の構成には同一の符号を付し、詳細な説明を省略する。
ベル補正回路、25…抵抗回路、30…出力回路、31…信号生成回路、40…温度補償回路、41…感温素子、50…レギュレーター回路、60…メモリー、70…スイッチ回路、80…シリアルインターフェース(I/F)回路、91,91a…第1配線、91−1,91a−1…第1領域、91−2,91a−2…第2領域、92,92a…第2配線、93,93a…接続ノード、94,94a…電子素子、100…半導体基板、101…外周部、110…第1回路ブロック、111…第1回路ブロック110に挟まれている領域、120…第2回路ブロック、300…電子機器、310…逓倍回路、320…CPU、330…操作部、340…ROM、350…RAM、360…通信部、370…表示部、380…音声出力部、400…移動体、420…コントローラー、430…コントローラー、440…コントローラー、450…バッテリー、460…バックアップ用バッテリー、1000,1000a…発振器、1100,1100a…容器、1200…蓋、1300…電極、1400,1400a,1400b…収容室、1500…封止部材、GND…接続端子、OUT…接続端子、TP…接続端子、Vcc…接続端子、XI…接続端子、XO…接続端子
Claims (7)
- 半導体基板上に、
振動子に接続されるとともに前記振動子を発振させる発振用回路と、
前記発振用回路から出力される信号が入力されて発振信号を出力する出力回路と、
電力が印加されるパッドと、
前記パッドから前記出力回路までをつなぐ第1配線と、
前記第1配線上の接続ノードを介して前記第1配線と接続し、前記接続ノードから前記発振用回路までをつなぐ第2配線と、
を有し、
前記第1配線の前記パッドから前記接続ノードまでの配線の長さは、前記第2配線の長さよりも短い、発振回路。 - 請求項1に記載の発振回路において、
前記第1配線の前記パッドから前記接続ノードまでの配線の長さは、前記第1配線の前記出力回路から前記接続ノードまでの配線の長さよりも短い、発振回路。 - 請求項1又は2に記載の発振回路において、
前記第1配線はローパスフィルター特性を有する、発振回路。 - 請求項3に記載の発振回路において、
前記第1配線は、前記出力回路と前記接続ノードとの間に互いに分離された第1領域と第2領域とを有し、
前記第1領域と前記第2領域とを電気的に接続する電子素子をさらに有する、発振回路。 - 請求項1ないし4のいずれか1項に記載の発振回路と、
前記振動子と、
前記発振回路と前記振動子とが収容されている容器と、
を有する、発振器。 - 請求項1ないし4のいずれか1項に記載の発振回路を有する、電子機器。
- 請求項1ないし4のいずれか1項に記載の発振回路を有する、移動体。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015027769A JP6561487B2 (ja) | 2015-02-16 | 2015-02-16 | 発振回路、発振器、電子機器および移動体 |
CN201610070502.0A CN105897165B (zh) | 2015-02-16 | 2016-02-01 | 振荡电路、振荡器、电子设备以及移动体 |
US15/013,314 US9621106B2 (en) | 2015-02-16 | 2016-02-02 | Oscillation circuit, oscillator, electronic apparatus and moving object |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015027769A JP6561487B2 (ja) | 2015-02-16 | 2015-02-16 | 発振回路、発振器、電子機器および移動体 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2016152447A JP2016152447A (ja) | 2016-08-22 |
JP6561487B2 true JP6561487B2 (ja) | 2019-08-21 |
Family
ID=56622596
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2015027769A Active JP6561487B2 (ja) | 2015-02-16 | 2015-02-16 | 発振回路、発振器、電子機器および移動体 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US9621106B2 (ja) |
JP (1) | JP6561487B2 (ja) |
CN (1) | CN105897165B (ja) |
Families Citing this family (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6878849B2 (ja) * | 2016-11-18 | 2021-06-02 | セイコーエプソン株式会社 | 回路装置、発振器、電子機器及び移動体 |
JP6769283B2 (ja) * | 2016-12-16 | 2020-10-14 | セイコーエプソン株式会社 | 回路装置、発振器、電子機器及び移動体 |
DE102017101498B4 (de) * | 2017-01-26 | 2023-06-22 | Infineon Technologies Ag | Sensor-Schaltkreis und Verfahren zum Kompensieren von Temperaturänderungen |
JP7206713B2 (ja) * | 2018-09-06 | 2023-01-18 | セイコーエプソン株式会社 | 回路装置、発振器、電子機器及び移動体 |
JP7331419B2 (ja) * | 2019-04-01 | 2023-08-23 | セイコーエプソン株式会社 | 集積回路装置、発振器、電子機器及び移動体 |
JP7371344B2 (ja) | 2019-04-01 | 2023-10-31 | セイコーエプソン株式会社 | 集積回路装置、発振器、電子機器及び移動体 |
JP2021190732A (ja) * | 2020-05-26 | 2021-12-13 | セイコーエプソン株式会社 | 集積回路、発振器、電子機器および移動体 |
Family Cites Families (16)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0485909U (ja) * | 1990-11-29 | 1992-07-27 | ||
JP3108772B2 (ja) * | 1991-05-13 | 2000-11-13 | セイコーエプソン株式会社 | 発振回路 |
JP2752277B2 (ja) * | 1991-10-30 | 1998-05-18 | 京セラ株式会社 | 発振回路 |
JP3488146B2 (ja) * | 1999-08-31 | 2004-01-19 | 富士通株式会社 | 半導体装置及びその製造方法 |
JP2001136030A (ja) * | 1999-11-02 | 2001-05-18 | Meidensha Corp | 水晶発振回路 |
JP4034540B2 (ja) * | 2001-10-17 | 2008-01-16 | 日本電波工業株式会社 | 温度補償水晶発振器 |
JP4354347B2 (ja) * | 2004-06-29 | 2009-10-28 | 日本電波工業株式会社 | 水晶発振器 |
JP4259485B2 (ja) * | 2005-04-28 | 2009-04-30 | エプソントヨコム株式会社 | 圧電発振回路 |
JP4712493B2 (ja) | 2005-08-31 | 2011-06-29 | 京セラキンセキ株式会社 | 温度補償型水晶発振器 |
US20090051447A1 (en) * | 2007-08-24 | 2009-02-26 | Mccracken Jeffrey A | Ovenized oscillator |
JP2010287866A (ja) * | 2009-06-15 | 2010-12-24 | Renesas Electronics Corp | 半導体装置 |
JP2011199579A (ja) * | 2010-03-19 | 2011-10-06 | Seiko Epson Corp | 電子デバイス、および電子デバイスの製造方法 |
JP5643040B2 (ja) * | 2010-09-27 | 2014-12-17 | 京セラクリスタルデバイス株式会社 | 圧電発振器 |
JP5757786B2 (ja) * | 2011-01-06 | 2015-07-29 | 日本電波工業株式会社 | 水晶発振器 |
JP5853429B2 (ja) * | 2011-06-15 | 2016-02-09 | 株式会社大真空 | 電子部品用パッケージおよび圧電振動デバイス |
JP5770033B2 (ja) * | 2011-06-30 | 2015-08-26 | 京セラクリスタルデバイス株式会社 | 圧電デバイス |
-
2015
- 2015-02-16 JP JP2015027769A patent/JP6561487B2/ja active Active
-
2016
- 2016-02-01 CN CN201610070502.0A patent/CN105897165B/zh active Active
- 2016-02-02 US US15/013,314 patent/US9621106B2/en active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2016152447A (ja) | 2016-08-22 |
CN105897165B (zh) | 2021-01-05 |
US20160241190A1 (en) | 2016-08-18 |
CN105897165A (zh) | 2016-08-24 |
US9621106B2 (en) | 2017-04-11 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
USRE50090E1 (en) | Semiconductor circuit device, oscillator, electronic apparatus, and moving object | |
JP6540943B2 (ja) | 半導体回路装置、発振器、電子機器および移動体 | |
JP6561487B2 (ja) | 発振回路、発振器、電子機器および移動体 | |
US9312809B2 (en) | Oscillation circuit, oscillator, electronic device, moving object, and manufacturing method of oscillator | |
US9444467B2 (en) | Oscillator, electronic device and moving object | |
US9306580B2 (en) | Oscillation circuit, oscillator, electronic device, mobile object, and oscillator manufacturing method | |
US10027331B2 (en) | Oscillator, electronic apparatus, and moving object | |
US10075171B2 (en) | Oscillator, electronic apparatus, and moving object | |
US11012031B2 (en) | Oscillator, electronic device, and vehicle | |
CN105897167B (zh) | 振荡电路、电子设备、移动体以及振荡电路的调节方法 | |
JP7234656B2 (ja) | 発振回路、発振器、電子機器及び移動体 | |
US9515664B2 (en) | Oscillator, electronic apparatus, and moving object | |
JP6540942B2 (ja) | 発振回路、発振器、電子機器及び移動体 | |
JP2016152540A (ja) | 発振回路の調整方法、発振回路、電子機器及び移動体 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20180115 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20181122 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20181205 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20190131 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20190625 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20190708 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6561487 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |