JP2014075169A - 不揮発性半導体記憶装置 - Google Patents
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- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims abstract description 150
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 38
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 36
- 238000000034 method Methods 0.000 description 36
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 17
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 17
- 239000008186 active pharmaceutical agent Substances 0.000 description 14
- 101100202463 Schizophyllum commune SC14 gene Proteins 0.000 description 6
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 6
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 6
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 6
- 230000006870 function Effects 0.000 description 6
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 5
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 4
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 4
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 description 4
- 239000000470 constituent Substances 0.000 description 3
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 2
- 101150003984 SC34 gene Proteins 0.000 description 1
- 239000000969 carrier Substances 0.000 description 1
- 238000013500 data storage Methods 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 230000001052 transient effect Effects 0.000 description 1
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- G11—INFORMATION STORAGE
- G11C—STATIC STORES
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- G11C16/04—Erasable programmable read-only memories electrically programmable using variable threshold transistors, e.g. FAMOS
- G11C16/0483—Erasable programmable read-only memories electrically programmable using variable threshold transistors, e.g. FAMOS comprising cells having several storage transistors connected in series
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- G11C16/02—Erasable programmable read-only memories electrically programmable
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- G11C16/24—Bit-line control circuits
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- G11C16/02—Erasable programmable read-only memories electrically programmable
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- G11C16/34—Determination of programming status, e.g. threshold voltage, overprogramming or underprogramming, retention
- G11C16/3418—Disturbance prevention or evaluation; Refreshing of disturbed memory data
- G11C16/3427—Circuits or methods to prevent or reduce disturbance of the state of a memory cell when neighbouring cells are read or written
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- G11C5/00—Details of stores covered by group G11C11/00
- G11C5/14—Power supply arrangements, e.g. power down, chip selection or deselection, layout of wirings or power grids, or multiple supply levels
- G11C5/147—Voltage reference generators, voltage or current regulators; Internally lowered supply levels; Compensation for voltage drops
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- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
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- H10B43/00—EEPROM devices comprising charge-trapping gate insulators
- H10B43/20—EEPROM devices comprising charge-trapping gate insulators characterised by three-dimensional arrangements, e.g. with cells on different height levels
- H10B43/23—EEPROM devices comprising charge-trapping gate insulators characterised by three-dimensional arrangements, e.g. with cells on different height levels with source and drain on different levels, e.g. with sloping channels
- H10B43/27—EEPROM devices comprising charge-trapping gate insulators characterised by three-dimensional arrangements, e.g. with cells on different height levels with source and drain on different levels, e.g. with sloping channels the channels comprising vertical portions, e.g. U-shaped channels
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- G11C11/00—Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor
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- G11C11/401—Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor using electric elements using semiconductor devices using transistors forming cells needing refreshing or charge regeneration, i.e. dynamic cells
- G11C11/4063—Auxiliary circuits, e.g. for addressing, decoding, driving, writing, sensing or timing
- G11C11/407—Auxiliary circuits, e.g. for addressing, decoding, driving, writing, sensing or timing for memory cells of the field-effect type
- G11C11/4074—Power supply or voltage generation circuits, e.g. bias voltage generators, substrate voltage generators, back-up power, power control circuits
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- G11C16/02—Erasable programmable read-only memories electrically programmable
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Abstract
【解決手段】書き込み動作において、第1トランジスタMCBGに隣接するメモリセルに選択ワード線への第1電圧VPGMが印加される場合、非選択ワード線への第2電圧VM1よりも大きな第1制御電圧を第1トランジスタMCBGのゲートに印加し、上記隣接メモリセル以外の制御ゲートに選択ワード線への第1電圧VPGMが印加される場合、第1トランジスタMCBGのゲート制御電圧として非選択ワード線への第2電圧VM1以上且つ上記第1制御電圧よりも小さな第2制御電圧を印加するよう制御する。
【選択図】図3
Description
[全体構成例]
先ず、図1を参照して、第1実施形態に係る不揮発性半導体記憶装置の全体構成について説明する。図1は、第1実施形態に係る不揮発性半導体記憶装置のブロック図である。
図1に示すように、メモリセルアレイ11は、例えばプレーンP0及びプレーンP1(図1中、Plane0、Plane1と表記)を備える。これらプレーンP0、及びプレーンP1は複数のメモリストリングMSを備え、このメモリストリングMSに電気的にビット線BL、及びワード線WL、ソース線CELSRCが接続される。
以下、図2を用いてプレーンPの詳細な構成について説明する。
図2は、プレーンPの構造を3次元で示した斜視図である。ここで示すプレーンPの構造は、プレーンP0、プレーンP1いずれも同一の構造であるため、ここでは一例としてプレーンP0に着目して説明する。
図1に戻ってロウデコーダ12(以下、ブロックデコーダ12と呼ぶことがある)の説明をする。ロウデコーダ12は、アドレス・コマンドレジスタ17から入力されたブロックアドレス信号等をデコードし、このデコード結果に応じて所望のワード線WLを選択する。選択されたワード線WLには、内部電圧発生回路18が生成した電圧がコアドライバ19を介して印加される。
データ回路・ページバッファ13は、拡大図に示す様にセンスアンプ13−1、及びデータキャッシュ13−2を備える。また、センスアンプ13−1はラッチ回路LTを備える。
カラムデコーダ14は、アドレス・コマンドレジスタ17から入力されたカラムアドレス信号をデコードし、メモリセルアレイ11のカラム方向を選択する。
制御回路15は、不揮発性半導体記憶装置全体の動作を制御する。すなわち、アドレス・コマンドレジスタ17から供給された制御信号、コマンド、及びアドレスに基づいて、データの書き込み動作、読み出し動作、及び消去動作時における動作シーケンスを実行する。
入出力回路16は、コマンド、アドレス、及び書き込みデータを外部のホスト機器(図示しない)から受け取り、これらコマンド、及びアドレスをアドレス・コマンドレジスタ17に供給し、また書き込みデータをデータ回路・ページバッファ13に供給する。
アドレス・コマンドレジスタ17は、入出力回路16から供給されたコマンド、及びアドレスを一端保持し、次いでコマンドを制御回路15へ、アドレスをロウデコーダ12、及びカラムデコーダ14へと供給する。
内部電圧発生回路18は、制御回路15の制御に基づいて、書き込み動作、読み出し動作、及び消去動作において所定の電圧を発生する。例えば、書き込み動作では、電圧VPGM、及び電圧VPASSを発生し、選択ワード線WLに電圧VPGMを、そして非選択ワード線WLに電圧VPASSを供給する。
コアドライバ19は、制御回路15から供給される制御信号に応じてロウデコーダ12、及びデータ回路・ページバッファ13を制御する。制御回路15は、アドレス・コマンドレジスタ17から供給されたコマンド信号に基づいて、ロウデコーダ12、及びデータ回路・ページバッファ13を制御する。
次に図3を用いて、上述したプレーンPの等価回路について説明する。ここでは、ビット線BL0に接続されるメモリストリングMS0〜MSi(図中、MS0〜MSi,i:正の実数)に着目する。なお、メモリストリングMS0〜MSiの各々の構成は同一であるため、以下ではメモリストリングMS0について説明する。また各メモリストリングMSが備えるメモリセルMCは16個(s=16)とする。
図3に示すように、メモリストリングMS0は、メモリセルMC0〜MC15、バックゲートトランジスタMCBG(以下、単にMCBGと称する)、並びに選択トランジスタST1及び選択トランジスタST2を備える。
次に、図4を用いてメモリセルMCの閾値分布、及び各々の閾値分布に応じたメモリセルMCの保持データについて説明する。図4に示すように、縦軸にメモリセルMCの数を示し、横軸に電圧を示す。
図5を用いて、コアドライバ19、及びその他周辺回路の構成について説明する。図5に、コアドライバ19の他に、上述したロウデコーダ12(図中、ブロックデコーダ12−1、転送回路12−2)、制御回路15、内部電圧発生回路18、電圧印加ルール設定レジスタ20、及び電圧印加ルール設定ROM21を示す。
図示するように、制御回路15は、タイミング制御回路15−1及び電圧コード発生回路15−2を備える。タイミング制御回路15−1は、ノードN1を介して電圧デコーダ&切替回路19−2にタイミング制御信号を出力する。タイミング制御信号とはワード線WLに転送する電圧を切り替えるタイミングを制御する信号である。
電圧印加ルール設定レジスタ20は電圧印加ルール設定ROM21から、選択ワード線WL、及びこの選択ワード線WL以外の所定のワード線WLにどの電圧を出力するかという設定情報が供給される。また、読み出しや書き込みなどの各動作における設定なども含めて、電圧印加ルール設定レジスタ20に設定情報が保持される。
電圧印加ルール設定ROM21は、上述した設定情報を不揮発に保持する。そして、不揮発性半導体記憶装置に電源が投入された後、電圧印加ルール設定レジスタ20にリセット動作が行われた後や、更には図示せぬホスト機器から電圧印加ルール設定ROM21の保持するパラメータ読み出しコマンドを受信した場合など、電圧印加ルール設定ROM21に保持された設定情報は電圧印加ルール設定レジスタ20に転送される。
コアドライバ19は、CG線ドライバ回路19_0〜CG線ドライバ回路19_n−1、BG線ドライバ回路19_BG、VCGSEL回路19−4、SGDドライバ19−5、及びSGSドライバ19−6を備える。
CG線ドライバ回路19_0〜CG線ドライバ回路19_n−1の出力端(図中、ノードN4)は、対応するCG線0〜CG線n−1にそれぞれ接続される。
電圧コードレジスタ19−1は、電圧コード発生回路15−2からの電圧コードを受信して、これを一時的に保持可能とする。次いで、電圧コードレジスタ19−1は、この電圧コードを電圧コード&切替回路19−2へと出力する。
<BG線ドライバ回路19_BGの詳細>
図示するようにBG線ドライバ回路19_BGは、電圧コードレジスタ19b−1、電圧デコーダ&切替回路19b−2、及び出力部19b−3を備える。BG線ドライバ回路19_BGは、CG線ドライバ回路19_0と基本構成は同じであるので、構成部分については簡単に説明をする。
出力部19b−3は、MOSトランジスタ19b−3_0〜19b−3_4を備え、各々のMOSトランジスタの電流経路の一端は内部電圧発生回路18に接続され、電流経路の他端(出力端)はノードCG_BGに接続される。
電圧VCGSELは選択ワード線WLに印加する電圧である。内部電圧発生回路18から各動作に応じた電圧の供給を受けて、VCGSEL回路19−4は読み出し動作においては選択ワード線WLに印加する読み出し電圧(V_AR、V_BR等)を出力し、書き込み動作においては、書き込み電圧Vpgmを出力する。VCGSEL回路19−4は、次いでこれら電圧をCG線ドライバ回路19−3やBG線ドライバ回路19b−3に供給する。
図示するように、SGDドライバ19−5にはノードN3を介して内部電圧発生回路18から所定の電圧が供給され、またノードN1を介してタイミング制御信号が供給される。例えば、読み出し動作の場合には5V程度の電圧が供給され、書き込み動作の場合には2V程度の電圧が供給される。
図示するように、SGSドライバ19−6にはノードN3を介して内部電圧発生回路18から所定の電圧が供給され、またノードN1を介してタイミング制御信号が供給される。例えば、読み出し動作の場合には5V程度の電圧が供給され、書き込み動作の場合にはSGSをオフ状態とする電圧が供給される。
次に図6(a)〜図6(c)を用いて、MCBGのゲートBG、及びワード線WLへの電圧印加方法について説明する。
第1の実施形態に係る不揮発性半導体記憶装置であると、書き込みディスターブを抑制することが出来る。
<実験データについて>
図7(a)は、書き込み動作の際、MCBGのゲートBGに印加する電圧Vpassと、閾値変動が生じるメモリセルMCの数とを示した概念図を示す。横軸にMCBGのゲートBGに印加する電圧Vpassを取り、縦軸に書き込みディスターブによって閾値変動が生じたメモリセルMCの数を取る。
次に第2の実施形態に係る不揮発性半導体記憶装置について説明する。第2の実施形態では、電圧VBG1、電圧VBG2以外に電圧VBG3(>電圧VBG2)を更に生成し、これをMCBGのゲートBGに印加するものである。なお、構成については上記第1の実施形態と同一であるため説明を省略する。
次に図8(a)〜図8(d)を用いて、MCBGのゲートBG、及びワード線WLへの電圧印加方法について説明する。なお、上記第1の実施形態と同一の内容については説明を省略する。
第2の実施形態に係る不揮発性半導体記憶装置であると、上記第1の実施形態よりも効果的に閾値変動を生じるメモリセルMCの数を低減させることが出来、書き込みディスターブを低減させることが出来る。
次に第3の実施形態に係る不揮発性半導体記憶装置について説明する。第3の実施形態は、上記第1の実施形態における非選択ワード線WLに電圧VM1の他、電圧VM2を印加する点で異なる。
次に図9(a)〜図9(c)を用いて、MCBGのゲートBG、及びワード線WLへの電圧印加方法について説明する。
第3の実施形態に係る不揮発性半導体記憶装置であると、上記効果に加え、更なる書き込みディスターブを低減することが出来る。
第3の実施形態に係る不揮発性半導体記憶装置であると、選択ワード線WLに隣接する非選択ワード線WLに電圧VM1を印加し、その周囲の非選択ワード線WLに電圧VM2を印加する。これは、具体的には図5に示すように出力部19−3が電圧VM1、及び電圧VM2を出力するMOSトランジスタ19−3_3、及び19−3_4を備え、電圧デコーダ&切替回路19b−2がこれらMOSトランジスタ19−3_3、及び19−3_4のオン・オフを切り替えることが出来るからである。
次に第4の実施形態に係る不揮発性半導体記憶装置について説明する。第4の実施形態は、上記第3の実施形態において、選択ワード線WL3及びWL4に書き込み電圧Vpgmを印加する場合、非選択ワード線WLに印加する電圧を変更した点で異なる。なお、構成については上記第1の実施形態と同一であるため説明を省略し、上記第3の実施形態と異なる点のみ説明する。
図10(a)、及び図10(b)を用いて、MCBGのゲートBG、及びワード線WLへの電圧印加方法について説明する。
第4の実施形態に係る不揮発性半導体記憶装置であっても、上記第3の実施形態と同様な効果を得ることが出来る。すなわち、第4の実施形態に係る不揮発性半導体記憶装置は、ワード線WL3又はワード線WL4のいずれかを選択する際、このワード線WL3、又はワード線WL4のいずれかに隣接するワード線WL2、又はワード線WL5に電圧VM1を印加する。
次に、第5の実施形態に係る不揮発性半導体記憶装置について説明する。第5の実施形態に係る不揮発性半導体記憶装置は、上記第3の実施形態において、更に電圧VBG3を用いている点で異なる。なお、構成については上記第1の実施形態と同一であるため説明を省略し、上記第3の実施形態と異なる点のみ説明する。
図11(a)、及び図11(b)を用いて、MCBGのゲートBG、及びワード線WLへの電圧印加方法について説明する。
第5の実施形態に係る不揮発性半導体記憶装置であると、上記第3の実施形態で得られる効果を、より向上させることが出来る。具体的には、第3の実施形態に係る効果を得つつ、上記第1の実施形態に係る効果を向上させることが出来る。
次に第6の実施形態に係る不揮発性半導体記憶装置について説明する。第6の実施形態に係る不揮発性半導体記憶装置は、上記第3の実施形態において、MCBGに隣接するメモリセルMC3、又はMC4(ワード線WL3、又はWL4)のいずれかに書き込み電圧Vpgmを印加する際、隣接するメモリセルMC(非選択ワード線WL)の片方に電圧VM1を印加する点で異なる。なお、構成については上記第1の実施形態と同一であるため説明を省略し、上記第3の実施形態と異なる点のみ説明する。
図12(a)〜図12(c)を用いて、MCBGのゲートBG、及びワード線WLへの電圧印加方法について説明する。
第6の実施形態に係る不揮発性半導体記憶装置であっても、上記第3の実施形態と同様な効果を得ることが出来る。すなわち、メモリストリングMS内を構成するメモリセルMCの閾値変動を低下させ、書き込みディスターブを低減させることが出来る。
次に第7の実施形態について説明する。第7の実施形態に係る不揮発性半導体記憶装置は、上記第3の実施形態において非選択ワード線WLに電圧VM2よりも小さな電圧VM3を更に印加する点で異なる。なお、構成については上記第1の実施形態と同一であるため説明を省略し、上記第3の実施形態と異なる点のみ説明する。
図13(a)〜図13(d)を用いて、MCBGのゲートBG、及びワード線WLへの電圧印加方法について説明する。
第7の実施形態に係る不揮発性半導体記憶装置であると、上記第1〜第6の実施形態で得られる効果に加え、隣接するメモリセルMC間のチャネルの電位差を緩和することが出来る。
第7の実施形態に係る不揮発性半導体記憶装置であると、電圧VM1、電圧VM2の他、電圧VM3を生成する構成を具備する。具体的には、図5に示すように出力部19−3が電圧VM1〜電圧VM3を転送するMOSトランジスタ19−3_2〜19−3_4、及びこれらMOSトランジスタ19−3_2〜19−3_4を選択的にオン・オフする電圧デコーダ&切替回路19−2を備えるからである。
次に第8の実施形態に係る不揮発性半導体記憶装置について説明する。第8の実施形態に係る不揮発性半導体記憶装置は、上記第4の実施形態において、電圧VM3を用いることで、非選択ワード線WLに印加する電圧を段階的に小さくした点で異なる。なお、構成については上記第1の実施形態と同一であるため説明を省略し、上記第4の実施形態と異なる点のみ説明する。
図14(a)〜図14(d)を用いて、MCBGのゲートBG、及びワード線WLへの電圧印加方法について説明する。
第8の実施形態に係る不揮発性半導体記憶装置であっても、上記第1の実施形態に係る効果を得つつ、上記第3及び第4の実施形態に係る効果を向上させることが出来る。
次に図15を用いて第9の実施形態に係る不揮発性半導体記憶装置について説明する。第9の実施形態に係る不揮発性半導体記憶装置は、上記第5の実施形態において、更に電圧VM3を用いることで、非選択ワード線WLに印加する電圧を段階的に小さくした点で異なる。なお、構成については上記第1の実施形態と同一であるため説明を省略し、上記第5の実施形態と異なる点のみ説明する。
図15(a)〜図15(d)を用いて、MCBGのゲートBG、及びワード線WLへの電圧印加方法について説明する。
第9の実施形態に係る不揮発性半導体記憶装置であると、上記第5の実施形態で得られる効果を、より向上させることが出来る。これは、第9の実施形態に係る不揮発性半導体記憶装置であると、ワード線WL3、WL4を選択ワード線WLとした際、MCBGに、電圧VBG2よりも大きな電圧VBG3を印加しつつ、所定の非選択ワード線WLには、電圧VM1〜電圧VM3のいずれかを印加するからである。
次に図16を用いて第10の実施形態に係る不揮発性半導体記憶装置について説明する。第10の実施形態に係る不揮発性半導体記憶装置は、上記第6の実施形態において、電圧VM1、電圧VM2の他に電圧VM3を更に用いる点、及び選択ワード線WLから離れるにつれて非選択ワード線WLに印加する電圧を段階的に小さくした点で異なる。なお、構成については上記第1の実施形態と同一であるため説明を省略し、上記第6の実施形態と異なる点のみ説明する。
図16(a)〜図16(c)を用いて、MCBGのゲートBG、及びワード線WLへの電圧印加方法について説明する。
第10の実施形態に係る不揮発性半導体記憶装置であると、上記第6の実施形態で得られる効果を、より向上させることが出来る。これは、第10の実施形態に係る不揮発性半導体記憶装置であると、ワード線WL3、WL4を選択ワード線WLとした際、MCBGのゲートBGに、電圧VBG2よりも大きな電圧VBG3を印加しつつ、所定の非選択ワード線WLには、電圧VM1〜電圧VM3のいずれかを印加するからである。
次に図17を用いて第11の実施形態に係る不揮発性半導体記憶装置について説明する。第11の実施形態に係る不揮発性半導体記憶装置は、上記第9の実施形態において選択ワード線WLを中心にソース側に位置する非選択ワード線WLに印加する電圧の大きさと、ドレイン側に位置する非選択ワード線WLに印加する電圧の大きさと、を非対称とするものである。なお、構成については上記第1の実施形態と同一であるため説明を省略し、上記第9の実施形態と異なる点のみ説明する。
図17(a)〜図17(d)を用いて、MCBGのゲートBG、及びワード線WLへの電圧印加方法について説明する。
第11の実施形態に係る不揮発性半導体記憶装置であっても、上記第9の実施形態と同様の効果を得ることが出来る。
すなわち、第11の実施形態に係る不揮発性半導体記憶装置であっても、書き込み動作の際に閾値変動を生じるメモリセルMCの数を低減させることが出来、また書き込みディスターブを低減することが出来る。
次に第12の実施形態に係る不揮発性半導体記憶装置について説明する。第12の実施形態に係る不揮発性半導体記憶装置は、第10の実施形態において選択メモリセルMCを中心にソースSL側に位置する非選択のメモリセルMCの制御ゲートCGに印加する電圧の大きさと、ドレイン側に位置する非選択のメモリセルMCの制御ゲートCGに印加する電圧の大きさと、を非対称とするものである。なお、構成については上記第1の実施形態と同一であるため説明を省略し、上記第10の実施形態と異なる点のみ説明する。
図18(a)〜図18(d)を用いて、MCBGのゲートBG、及びワード線WLへの電圧印加方法について説明する。
第12の実施形態に係る不揮発性半導体記憶装置であっても、上記第10の実施形態と同様の効果を得ることが出来る。
すなわち、第12の実施形態に係る不揮発性半導体記憶装置であっても、書き込み動作の際に閾値変動を生じるメモリセルMCの数を低減させることが出来、また書き込みディスターブを低減することが出来る。
次に図19を用いて第13の実施形態に係る不揮発性半導体記憶装置について説明する。第13の実施形態に係る不揮発性半導体記憶装置は、未だ書き込みがなされていない(消去状態の)メモリセルMCのチャネル電位を高く保つことでディスターブを抑制するため、上記第11の実施形態において選択メモリセルMCからソース側に向かって非選択メモリセルMCの制御ゲートCGに印加する印加電圧を段階的に落とすことで隣接するメモリセルMC間の電位差を小さくし、また一番低い電圧(例えば電圧VM5)になったら、この一番低い電圧を印加するメモリセルMCを境にして再度印加する電圧を上げるものである。
図19(a)〜図19(d)を用いて、MCBGのゲートBG、及びワード線WLへの電圧印加方法について説明する。
第13の実施形態に係る不揮発性半導体記憶装置であると、上記第1〜第12の実施形態の効果に加え、更に書き込み時、ビット線BL側のチャネル電位を高電位に維持することが出来る。
次に図20を用いて第14の実施形態に係る不揮発性半導体記憶装置について説明する。第14の実施形態は、上記第13の実施形態において、MCBGに隣接するメモリセルMC5、又はMC6の制御ゲートCGのいずれかに書き込み電圧Vpgmを印加する際、隣接する非選択メモリセルMCの制御ゲートCGの片方に電圧VM1とは異なる電圧VM2又は電圧VM3のいずれかを印加する点で異なる。なお、構成については上記第1の実施形態と同一であるため説明を省略し、上記第3の実施形態と異なる点のみ説明する。
図20(a)〜図20(c)を用いて、MCBGのゲートBG、及びワード線WLへの電圧印加方法について説明する。
第14の実施形態に係る不揮発性半導体記憶装置であると、上記第1〜第13の実施形態と同様の効果を得ることが出来る。
すなわち、上述したように第14の実施形態に係る不揮発性半導体記憶装置であっても、非選択のメモリセルMCの制御ゲートCGに印加する電圧の値を段階的に小さくしていき、例えば電圧VM5が印加されたメモリセルMCのソース側の領域を切り離すことで、データ書き込み時におけるビット線BLから選択メモリセルMC(上記第13の実施形態では、ビット線BLから例えばワード線WL5まで)のドレイン側の領域までのチャネルの電位低下を抑制させることが出来る。
次に第1変形例に係る不揮発性半導体記憶装置について説明する。第1変形例では、MCBGのゲートBGに印加する電圧を、電圧VM1〜VM3のいずれか電圧で代用するものである。以下、第1変形例に係るコアドライバ19の構成について説明する。なお、上記第1の実施形態で説明したコアドライバ19と同一の構成については説明を省略する。
図21を用いて第1変形例に係るコアドライバ19の構成について説明する。ここでは、CG線ドライバ回路19_0〜19_(n−1)内の出力部19−3_0〜出力部19−3_(n−1)、及びBG線ドライバ回路19_BG内の出力部19b−3について説明する。なお、以下では出力部19−3_0〜出力部19−3_(n−1)は、単に出力部19−3と称する。
次に第2変形例に係る不揮発性半導体記憶装置について説明する。第2変形例では、MCBGのゲートBGに印加する電圧VBG1を、電圧VM1で代用するものである。以下、第2変形例に係るコアドライバ19の構成について説明する。なお、上記第1の実施形態で説明したコアドライバ19と同一の構成については説明を省略する。
図22を用いて第1変形例に係るコアドライバ19の構成について説明する。ここでは、CG線ドライバ回路19_0〜19_(n−1)内の出力部19−3_0〜出力部19−3_(n−1)、及びBG線ドライバ回路19_BG内の出力部19b−3について説明する。なお、以下では出力部19−3_0〜出力部19−3_(n−1)は、単に出力部19−3と称する。
Claims (6)
- 半導体層上に配置され、前記半導体層に対する法線方向に延びた第1柱状半導体及び第2柱状半導体、ゲート絶縁膜を介して前記第1及び第2柱状半導体を覆うよう順に形成された、電荷蓄積層、制御ゲートを含む第1メモリセル及び第2メモリセル、並びに第3メモリセル及び第4メモリセルと、この第2メモリセル及び前記第3メモリセルと、の間に形成され、前記半導体層内に形成された第1トランジスタと、で構成されるメモリストリングを複数含むメモリセルアレイと、
選択ワード線への第1電圧、非選択ワード線への第2電圧、及び前記第1トランジスタのゲートに印加する電圧を生成する電圧発生回路と、
前記第1トランジスタに隣接する前記第2メモリセル、又は前記第3メモリセルの前記制御ゲートに前記第1電圧が印加される場合、前記第2電圧よりも大きな第1制御電圧を前記制御電圧として前記第1トランジスタの前記ゲートに印加し、
前記第1メモリセル、又は前記第4メモリセルの前記制御ゲートに前記第1電圧が印加される場合、前記制御電圧として前記第2電圧以上且つ前記制御電圧よりも小さな第2制御電圧を前記ゲートに印加するよう制御する制御部と
を具備する不揮発性半導体記憶装置。 - 前記メモリストリングは、前記第1メモリセルの上層に位置する第5メモリセルを更に備え、
前記第2メモリセルの前記制御ゲートに前記第1電圧が印加される場合、前記電圧発生回路は、前記第2メモリセルの前記制御ゲートに前記第2電圧を印加し、前記第5メモリセルの前記制御ゲートに前記第2電圧よりも小さな第3電圧を印加する
ことを特徴とする請求項1記載の不揮発性半導体記憶装置。 - 更に前記第5メモリセル上に形成された第7メモリセルを備え、
前記電圧発生回路は、前記第7メモリセルの前記制御ゲートに前記第4電圧を印加する
ことを特徴とする請求項2記載の不揮発性半導体記憶装置。 - 第1方向と、この第1方向に直交する第2方向と、に沿った行及び列毎に半導体層上に配置され、且つ前記第1方向と前記第2方向とにそれぞれ直交する第3方向に延伸し、互いに隣接する第1柱状半導体及び第2柱状半導体、ゲート絶縁膜を介して前記第1及び第2柱状半導体を覆うよう順に形成された、電荷蓄積層と、制御ゲートと、を含むデータ保持可能な第1メモリセル、第2メモリセル及び第3メモリセル、並びに第4メモリセルが、前記第1及び第2柱状半導体毎に前記第3方向に沿って形成され、且つこの第3メモリセル、並びに前記第4メモリセル間の前記半導体層内に形成された第1トランジスタと、で構成されるメモリストリングを複数含むメモリセルアレイと、
選択ワード線への第1電圧、非選択ワード線への第2電圧、及び前記第1トランジスタのゲートに印加する電圧であって、前記第2電圧よりも大きな制御電圧を生成する電圧発生回路と、
前記第1トランジスタに隣接する前記第3メモリセルの前記制御ゲートに前記第1電圧が印加される場合、前記第1トランジスタの前記ゲートに前記制御電圧として前記第2電圧よりも大きな第1制御電圧を印加し、
前記第2メモリセルの前記制御ゲートに前記第1電圧が印加される場合、前記ゲートに前記制御電圧として、前記第2電圧よりも大きく且つ前記第1制御電圧よりも小さな第2制御電圧を印加し、
前記第1メモリセルの前記制御ゲートに前記第1電圧が印加される場合、前記ゲートに前記制御電圧として、前記第2電圧以上で且つ前記第2制御電圧よりも小さな第3制御電圧を印加するよう制御する制御部と
ことを特徴とする不揮発性半導体記憶装置。 - 前記第1トランジスタに隣接する前記第3メモリセルの前記制御ゲートに前記第1電圧が印加される場合、この第3メモリセルに隣接する前記第2メモリセルの前記制御ゲートに前記第2電圧を印加し、
前記第2メモリセルに隣接する前記第1メモリセルMCの前記制御ゲートに前記第2電圧よりも小さな第3電圧を印加し、
ことを特徴とする請求項4記載の不揮発性半導体記憶装置。 - 前記メモリストリングは、前記第1メモリセルの上層に位置する第5メモリセルを更に備え、
前記電圧発生回路は、前記第5メモリセルの前記制御ゲートに前記第3電圧よりも小さな第4電圧を印加する
ことを特徴とする請求項5記載の不揮発性半導体記憶装置。
Priority Applications (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012223507A JP2014075169A (ja) | 2012-10-05 | 2012-10-05 | 不揮発性半導体記憶装置 |
US13/785,666 US8854896B2 (en) | 2012-10-05 | 2013-03-05 | Nonvolatile semiconductor memory device |
TW102127147A TWI515727B (zh) | 2012-10-05 | 2013-07-29 | 非揮發性半導體記憶裝置 |
CN201310345442.5A CN103811063B (zh) | 2012-10-05 | 2013-08-09 | 非易失性半导体存储装置 |
US14/468,149 US9165655B2 (en) | 2012-10-05 | 2014-08-25 | Nonvolatile semiconductor memory device |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012223507A JP2014075169A (ja) | 2012-10-05 | 2012-10-05 | 不揮発性半導体記憶装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2014075169A true JP2014075169A (ja) | 2014-04-24 |
Family
ID=50432554
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2012223507A Ceased JP2014075169A (ja) | 2012-10-05 | 2012-10-05 | 不揮発性半導体記憶装置 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (2) | US8854896B2 (ja) |
JP (1) | JP2014075169A (ja) |
CN (1) | CN103811063B (ja) |
TW (1) | TWI515727B (ja) |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20150130636A (ko) * | 2014-05-13 | 2015-11-24 | 삼성전자주식회사 | 3차원 메모리 장치 및 그것을 포함하는 저장 장치 |
US9214238B2 (en) | 2014-03-14 | 2015-12-15 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Semiconductor memory device |
JP2018046159A (ja) * | 2016-09-14 | 2018-03-22 | 東芝メモリ株式会社 | 半導体記憶装置 |
US10176874B2 (en) | 2016-03-16 | 2019-01-08 | Toshiba Memory Corporation | Storage device and method of controlling the storage device |
US10672478B2 (en) | 2018-09-20 | 2020-06-02 | Toshiba Memory Corporation | Semiconductor memory device |
Families Citing this family (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2014075169A (ja) * | 2012-10-05 | 2014-04-24 | Toshiba Corp | 不揮発性半導体記憶装置 |
KR102273185B1 (ko) | 2014-07-09 | 2021-07-06 | 삼성전자주식회사 | 비휘발성 메모리 장치, 그것을 포함하는 저장 장치 및 그것의 구동 방법 |
US9460792B2 (en) * | 2014-10-20 | 2016-10-04 | Micron Technology, Inc. | Apparatuses and methods for segmented SGS lines |
KR102347182B1 (ko) | 2015-09-04 | 2022-01-04 | 삼성전자주식회사 | 메모리 장치, 메모리 시스템, 상기 메모리 장치의 동작 방법 및 상기 메모리 시스템의 동작 방법 |
US9524784B1 (en) * | 2015-09-09 | 2016-12-20 | Macronix International Co., Ltd. | Device and method for improved threshold voltage distribution for non-volatile memory |
TWI584287B (zh) * | 2015-10-12 | 2017-05-21 | 旺宏電子股份有限公司 | 用以改善非揮發性記憶體之閥電壓分布之裝置及方法 |
US9460805B1 (en) | 2015-10-19 | 2016-10-04 | Sandisk Technologies Llc | Word line dependent channel pre-charge for memory |
US10020048B2 (en) * | 2015-12-30 | 2018-07-10 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Integrated circuit including embedded memory device for performing dual-transient word line assist using triple power source and device having the same |
JP2019161056A (ja) * | 2018-03-14 | 2019-09-19 | 東芝メモリ株式会社 | 不揮発性半導体記憶装置 |
JP2020031149A (ja) * | 2018-08-23 | 2020-02-27 | キオクシア株式会社 | 半導体メモリ及び半導体メモリの製造方法 |
CN111095420B (zh) * | 2019-12-09 | 2021-11-23 | 长江存储科技有限责任公司 | 用于通过调整虚设字线的电压而降低编程干扰的方法和存储器 |
JP2021136042A (ja) * | 2020-02-25 | 2021-09-13 | キオクシア株式会社 | 半導体記憶装置 |
KR20210142986A (ko) * | 2020-05-19 | 2021-11-26 | 에스케이하이닉스 주식회사 | 전압 생성기 및 이를 포함하는 메모리 장치 |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US20120307561A1 (en) * | 2011-06-03 | 2012-12-06 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Non-volatile memory device and method controlling dummy word line voltage according to location of selected word line |
US20150262681A1 (en) * | 2014-03-17 | 2015-09-17 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Non-volatile semiconductor memory device |
Family Cites Families (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4960050B2 (ja) | 2006-09-19 | 2012-06-27 | 株式会社東芝 | 不揮発性半導体記憶装置、及び不揮発性半導体記憶装置のデータ書き込み方法 |
JP2009205728A (ja) | 2008-02-27 | 2009-09-10 | Toshiba Corp | Nand型不揮発性半導体メモリ |
JP5086933B2 (ja) | 2008-08-06 | 2012-11-28 | 株式会社東芝 | 不揮発性半導体記憶装置の駆動方法 |
JP5193796B2 (ja) | 2008-10-21 | 2013-05-08 | 株式会社東芝 | 3次元積層型不揮発性半導体メモリ |
JP2010118530A (ja) | 2008-11-13 | 2010-05-27 | Toshiba Corp | 不揮発性半導体記憶装置 |
JP2011014817A (ja) * | 2009-07-06 | 2011-01-20 | Toshiba Corp | 不揮発性半導体記憶装置 |
JP4913188B2 (ja) * | 2009-09-18 | 2012-04-11 | 株式会社東芝 | 不揮発性半導体記憶装置 |
KR101212678B1 (ko) * | 2010-12-20 | 2012-12-14 | 에스케이하이닉스 주식회사 | 반도체 메모리 장치 및 이의 동작 방법 |
JP2012203969A (ja) * | 2011-03-25 | 2012-10-22 | Toshiba Corp | 不揮発性半導体記憶装置 |
JP2014075169A (ja) * | 2012-10-05 | 2014-04-24 | Toshiba Corp | 不揮発性半導体記憶装置 |
-
2012
- 2012-10-05 JP JP2012223507A patent/JP2014075169A/ja not_active Ceased
-
2013
- 2013-03-05 US US13/785,666 patent/US8854896B2/en active Active
- 2013-07-29 TW TW102127147A patent/TWI515727B/zh not_active IP Right Cessation
- 2013-08-09 CN CN201310345442.5A patent/CN103811063B/zh not_active Expired - Fee Related
-
2014
- 2014-08-25 US US14/468,149 patent/US9165655B2/en active Active
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US20120307561A1 (en) * | 2011-06-03 | 2012-12-06 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Non-volatile memory device and method controlling dummy word line voltage according to location of selected word line |
JP2012252775A (ja) * | 2011-06-03 | 2012-12-20 | Samsung Electronics Co Ltd | 選択ワードラインの位置によってダミーワードライン電圧を制御する不揮発性メモリ装置及び方法 |
US20150262681A1 (en) * | 2014-03-17 | 2015-09-17 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Non-volatile semiconductor memory device |
JP2015176626A (ja) * | 2014-03-17 | 2015-10-05 | 株式会社東芝 | 不揮発性半導体記憶装置 |
Cited By (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US9214238B2 (en) | 2014-03-14 | 2015-12-15 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Semiconductor memory device |
KR20150130636A (ko) * | 2014-05-13 | 2015-11-24 | 삼성전자주식회사 | 3차원 메모리 장치 및 그것을 포함하는 저장 장치 |
KR102200493B1 (ko) | 2014-05-13 | 2021-01-11 | 삼성전자주식회사 | 3차원 메모리 장치 및 그것을 포함하는 저장 장치 |
US10176874B2 (en) | 2016-03-16 | 2019-01-08 | Toshiba Memory Corporation | Storage device and method of controlling the storage device |
JP2018046159A (ja) * | 2016-09-14 | 2018-03-22 | 東芝メモリ株式会社 | 半導体記憶装置 |
US10672478B2 (en) | 2018-09-20 | 2020-06-02 | Toshiba Memory Corporation | Semiconductor memory device |
US11024386B2 (en) | 2018-09-20 | 2021-06-01 | Toshiba Memory Corporation | Semiconductor memory device |
US11238938B2 (en) | 2018-09-20 | 2022-02-01 | Toshiba Memory Corporation | Semiconductor memory device |
US11615850B2 (en) | 2018-09-20 | 2023-03-28 | Kioxia Corporation | Semiconductor memory device |
US11875856B2 (en) | 2018-09-20 | 2024-01-16 | Kioxia Corporation | Semiconductor memory device |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN103811063A (zh) | 2014-05-21 |
US20150016190A1 (en) | 2015-01-15 |
TWI515727B (zh) | 2016-01-01 |
TW201419281A (zh) | 2014-05-16 |
US8854896B2 (en) | 2014-10-07 |
CN103811063B (zh) | 2016-12-07 |
US20140098612A1 (en) | 2014-04-10 |
US9165655B2 (en) | 2015-10-20 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20150205 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20151209 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
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|
A521 | Request for written amendment filed |
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|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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|
A045 | Written measure of dismissal of application [lapsed due to lack of payment] |
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