JP2014072523A - 活性層のイオン注入方法及び薄膜トランジスタの活性層のイオン注入方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】該活性層のイオン注入方法は、活性層にフォトレジストを塗布するステップと、前記フォトレジストを介して前記活性層にイオンを注入すると、を備える。本発明の一局面は、活性層にフォトレジストを塗布するステップと、前記フォトレジストを介して前記活性層にイオンを注入するステップと、を備える活性層のイオン注入方法を提供する。本発明の他の局面は、活性層にフォトレジストを塗布するステップと、前記フォトレジストを介して薄膜トランジスタTFTのチャンネル領域に対応する活性層の第1の領域にイオンを注入するステップと、を備える薄膜トランジスタの活性層のイオン注入方法を提供する。
【選択図】図3A
Description
本発明は、以下の技術案によって実現される。
活性層にフォトレジストを塗布するステップと、
前記フォトレジストを介して前記活性層にイオンを注入するステップと、を備える活性層のイオン注入方法を提供する。
活性層にフォトレジストを塗布するステップと、
前記フォトレジストを介して薄膜トランジスタTFTのチャンネル領域に対応する活性層の第1の領域にイオンを注入するステップと、を備える薄膜トランジスタの活性層のイオン注入方法を提供する。
例えば、ガラスの基板における有害物質が多結晶薄膜層の性能に影響することを防止するように、化学気相成長(例えばPECVD)法によって、基板11上にバッファ層12を堆積する。さらに、バッファ層12を堆積する前に、基板11をプレクリーニングして、基板11の清潔度を向上する必要がある。
例えば、バッファ層12上に、1層のアモルファスシリコン層a‐Siを堆積し、そして、脱水素工程及び低温結晶化処理を行って、ポリシリコン層を得る。
例えば、結晶化が完了してポリシリコン層を得た後、活性層のマスクによって、ポリシリコン層に対して露光、現像、エッチング及び剥離等の工程をして、活性層13を形成する。
例えば、本発明の実施例では、活性層13にイオン注入するとき、活性層13及びゲート絶縁層14をダメージしないように、活性層13の上方にフォトレジスト15を塗布する。フォトレジスト15が感光性を有し、かつ異なる厚みのフォトレジスト15はイオン注入に対する透過率が異なる(例えば、フォトレジストの厚みが2μm以上である場合、イオンが透過できなくなる)ため、実際の要求によって、活性層の一部に便利にイオンを注入するように、活性層に異なる厚みのフォトレジスト15を塗布する。
図3Bは、活性層13の上方にフォトレジスト15を塗布した後の概略図である。
例えば、フォトレジストの厚みが異なると、イオン注入に対する透過率が異なるため、フォトレジスト15においてイオンを注入する必要がある領域によって、異なる厚みのフォトレジスト15を活性層上に塗布すればよい。当然ながら、同じ厚みのフォトレジスト15を塗布した後、フォトレジスト15を一部露光し、一部露光した後、フォトレジスト15の露光された部分はイオンが透過できる厚みを有し、残りの露光されない部分は、イオンが透過できない厚みを有しているので、イオンボンバードメントによって下の活性層を破壊することが避けられる。
P12 バッファ層
P13 活性層
P14 ゲート絶縁層
11 基板
12 バッファ層
13 活性層
14 ゲート絶縁層
15 フォトレジスト
41 HTMマスク
42 マスク
131 第1の領域
132 第2の領域
151 フォトレジスト半保留領域
152 フォトレジスト完全保留領域
411 不透明領域
412 半透明領域
421 パターン領域
422 露光領域
Claims (9)
- 活性層のイオン注入方法であって、
活性層にフォトレジストを塗布するステップと、
前記フォトレジストを介して前記活性層にイオンを注入するステップと、を備えることを特徴とする活性層のイオン注入方法。 - 前記フォトレジストを介して前記活性層にイオンを注入するステップの後は、
前記フォトレジストを剥離するステップをさらに備えることを特徴とする請求項1に記載の活性層のイオン注入方法。 - 薄膜トランジスタの活性層のイオン注入方法であって、
活性層にフォトレジストを塗布するステップと、
前記フォトレジストを介してTFTのチャンネル領域に対応する前記活性層の第1の領域にイオンを注入するステップと、を備えることを特徴とする薄膜トランジスタの活性層のイオン注入方法。 - 前記TFTのチャンネル領域に対応する前記活性層の第1の領域にイオンを注入するステップは、
前記活性層の上方に塗布された前記フォトレジストを露光・現像して、現像後に、フォトレジスト完全保留領域及びフォトレジスト半保留領域を形成し、前記フォトレジスト半保留領域を介して前記活性層の第1の領域にイオンを注入するステップを備え、
前記フォトレジスト完全保留領域は、TFTのソース・ドレイン電極の領域に対応し、且つ厚みが前記イオンが透過できないように設けられ、
前記フォトレジスト半保留領域は、前記TFTのチャンネル領域に対応し、且つ厚みが前記イオンが透過できるように設けられることを特徴とする請求項3に記載の薄膜トランジスタの活性層のイオン注入方法。 - 前記活性層の上方に塗布される前記フォトレジストを露光するステップは、
半透過型マスクによって前記フォトレジストを露光するステップを備え、
前記半透過型マスクは、半透明領域が前記フォトレジスト半保留領域に対応し、不透明領域が前記フォトレジスト完全保留領域に対応することを特徴とする請求項4に記載の薄膜トランジスタの活性層のイオン注入方法。 - 前記活性層の上方に塗布される前記フォトレジストを露光するステップは、
グレートーンマスクによって前記フォトレジストを露光するステップを備え、
前記グレートーンマスクは、半透明領域が前記フォトレジスト半保留領域に対応し、不透明領域が前記フォトレジスト完全保留領域に対応することを特徴とする請求項4に記載の薄膜トランジスタの活性層のイオン注入方法。 - 前記活性層の上方に塗布される前記フォトレジストを露光するステップは、
前記TFTのソース・ドレイン電極のパターンを形成する前記TFTのソース・ドレイン電極のマスクによって、前記フォトレジストを露光するステップを備え、
前記TFTのソース・ドレイン電極のマスクは、露光領域が前記フォトレジスト半保留領域に対応し、パターン領域が前記フォトレジスト完全保留領域に対応することを特徴とする請求項4に記載の薄膜トランジスタの活性層のイオン注入方法。 - イオンが前記TFTのソース・ドレイン電極領域に対応する前記活性層第の2の領域に注入される時、
前記ソース・ドレイン電極領域に対応する前記活性層の第2の領域にイオンを逆方向で高濃度ドープするステップを備えることを特徴とする請求項3〜7のいずれか1項に記載の薄膜トランジスタの活性層のイオン注入方法。 - イオン注入が完了した後、
前記フォトレジストを剥離するステップを備えることを特徴とする請求項3〜7のいずれか1項に記載の薄膜トランジスタの活性層のイオン注入方法。
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