JP2015204351A - 感光膜の設置方法、半導体装置の製造方法、電気光学装置および電子機器 - Google Patents
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- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 51
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 25
- 238000009434 installation Methods 0.000 title abstract 2
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 63
- 238000002834 transmittance Methods 0.000 claims abstract description 7
- 239000012535 impurity Substances 0.000 claims description 89
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 59
- 238000002513 implantation Methods 0.000 claims description 23
- 239000010408 film Substances 0.000 abstract description 226
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 abstract description 87
- 239000010409 thin film Substances 0.000 abstract description 7
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 42
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 33
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 16
- 238000005468 ion implantation Methods 0.000 description 12
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 description 10
- 239000011229 interlayer Substances 0.000 description 8
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 8
- 239000000463 material Substances 0.000 description 7
- 238000004380 ashing Methods 0.000 description 6
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 6
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 5
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 description 5
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 4
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 4
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 4
- WGTYBPLFGIVFAS-UHFFFAOYSA-M tetramethylammonium hydroxide Chemical compound [OH-].C[N+](C)(C)C WGTYBPLFGIVFAS-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 4
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 description 3
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 3
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 3
- -1 phosphorus ions Chemical class 0.000 description 3
- QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N Ammonia Chemical compound N QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- GQPLMRYTRLFLPF-UHFFFAOYSA-N Nitrous Oxide Chemical compound [O-][N+]#N GQPLMRYTRLFLPF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- BLRPTPMANUNPDV-UHFFFAOYSA-N Silane Chemical compound [SiH4] BLRPTPMANUNPDV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- BOTDANWDWHJENH-UHFFFAOYSA-N Tetraethyl orthosilicate Chemical compound CCO[Si](OCC)(OCC)OCC BOTDANWDWHJENH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 2
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 2
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 2
- PZPGRFITIJYNEJ-UHFFFAOYSA-N disilane Chemical compound [SiH3][SiH3] PZPGRFITIJYNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 2
- 229910052698 phosphorus Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000011574 phosphorus Substances 0.000 description 2
- 238000005268 plasma chemical vapour deposition Methods 0.000 description 2
- 229910021420 polycrystalline silicon Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 description 1
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000012670 alkaline solution Substances 0.000 description 1
- 229910021529 ammonia Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910021417 amorphous silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052785 arsenic Inorganic materials 0.000 description 1
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 1
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 1
- 239000000470 constituent Substances 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 238000007598 dipping method Methods 0.000 description 1
- 238000001312 dry etching Methods 0.000 description 1
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 1
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000007943 implant Substances 0.000 description 1
- AMGQUBHHOARCQH-UHFFFAOYSA-N indium;oxotin Chemical compound [In].[Sn]=O AMGQUBHHOARCQH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000002347 injection Methods 0.000 description 1
- 239000007924 injection Substances 0.000 description 1
- 238000005224 laser annealing Methods 0.000 description 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 1
- 229960001730 nitrous oxide Drugs 0.000 description 1
- 235000013842 nitrous oxide Nutrition 0.000 description 1
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 1
- 238000000059 patterning Methods 0.000 description 1
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000004528 spin coating Methods 0.000 description 1
- 238000004506 ultrasonic cleaning Methods 0.000 description 1
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-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/027—Making masks on semiconductor bodies for further photolithographic processing not provided for in group H01L21/18 or H01L21/34
- H01L21/0271—Making masks on semiconductor bodies for further photolithographic processing not provided for in group H01L21/18 or H01L21/34 comprising organic layers
- H01L21/0273—Making masks on semiconductor bodies for further photolithographic processing not provided for in group H01L21/18 or H01L21/34 comprising organic layers characterised by the treatment of photoresist layers
- H01L21/0274—Photolithographic processes
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- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/0035—Multiple processes, e.g. applying a further resist layer on an already in a previously step, processed pattern or textured surface
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- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/26—Processing photosensitive materials; Apparatus therefor
- G03F7/40—Treatment after imagewise removal, e.g. baking
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- H—ELECTRICITY
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- H01L27/00—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate
- H01L27/02—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having potential barriers; including integrated passive circuit elements having potential barriers
- H01L27/12—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having potential barriers; including integrated passive circuit elements having potential barriers the substrate being other than a semiconductor body, e.g. an insulating body
- H01L27/1214—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having potential barriers; including integrated passive circuit elements having potential barriers the substrate being other than a semiconductor body, e.g. an insulating body comprising a plurality of TFTs formed on a non-semiconducting substrate, e.g. driving circuits for AMLCDs
- H01L27/1259—Multistep manufacturing methods
- H01L27/1288—Multistep manufacturing methods employing particular masking sequences or specially adapted masks, e.g. half-tone mask
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- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- Liquid Crystal (AREA)
- High Energy & Nuclear Physics (AREA)
- Thin Film Transistor (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Toxicology (AREA)
- Preparing Plates And Mask In Photomechanical Process (AREA)
- Devices For Indicating Variable Information By Combining Individual Elements (AREA)
Abstract
Description
本発明に係る感光膜の設置方法は、3階調以上の異なる光透過率の領域を有するフォトマスクを用いて基板上に形成された第1の感光膜を露光して第2の感光膜を形成し、前記第2の感光膜を所定の現像液で現像して形成した第3の感光膜の一部が、その後に前記基板上に注入される所定の不純物の注入を行わない領域と前記所定の不純物の注入を行っても行わなくてもよい領域とを覆うことを特徴とする。
本発明に係る半導体装置の製造方法は、基板上に感光膜を形成する第1の工程と、3階調以上の異なる光透過率の領域を有するフォトマスクを用いて前記感光膜を露光する第2の工程と、露光された前記感光膜の現像を現像液を用いて行う第3の工程と、現像された前記感光膜をマスクとして前記基板上に第1の所定の不純物を注入する第4の工程と、を含み、前記3階調以上の階調は、前記第2の工程で用いられる露光光を遮蔽する第1の階調、前記露光光をほぼ透過させる第2の階調及び前記露光光を所定の割合で透過させる1つ以上の第3の階調であり、前記フォトマスクにおける前記第1の階調の領域は、前記基板において前記第1の所定の不純物の注入を行わない第1の領域と前記第1の所定の不純物の注入を行っても行わなくてもよい第2の領域とに対応する領域であり、前記第3の工程の後において、前記第1の領域及び前記第2の領域における前記感光膜の厚さは、前記第3の階調で露光された第3の領域における前記感光膜の厚さよりも厚く、前記第3の領域における前記感光膜の厚さは、前記第1の所定の不純物を遮蔽することができる厚さであることを特徴とする。
上記の半導体装置の製造方法において、前記現像液は、新液であることが好ましい。
上記の半導体装置の製造方法において、前記現像液は、スリットノズルを用いて前記基板上に塗布されることが好ましい。
上記の半導体装置の製造方法において、前記現像液は、パドル現象またはスピン現象を用いて前記基板上に塗布されることが好ましい。
上記の半導体装置の製造方法において、更に、前記第3の領域の前記感光膜を除去する第5の工程と、前記基板上に第2の所定の不純物の注入を行う第6の工程と、を含み、前記第5の工程後の前記第1の領域及び前記第2の領域における前記感光膜の厚さは、前記第2の所定の不純物の注入を遮蔽することができる厚さであることが好ましい。
本発明に係る電気光学装置は、上記の半導体装置の製造方法により製造された半導体装置を用いていることが好ましい。
本発明に係る電子機器は、上記の電気光学装置を備えていることが好ましい。
(第1の実施形態)
(電気光学装置の構造)
図1〜図3に基づいて、本実施形態の電気光学装置の構造について説明する。本実施形態では、スイッチング素子としてTFT(薄膜半導体装置)を用いたアクティブマトリクス型の透過型液晶装置を例として説明する。図1は本実施形態の液晶装置の画像表示領域を構成するマトリクス状に配置された複数のドットにおけるスイッチング素子、信号線等の等価回路図である。図2はデータ線、走査線、画素電極等が形成されたTFTアレイ基板の1ドットを拡大して示す模式平面図である。図3は本実施形態の液晶装置の構造を示す模式側断面図であって、図2のA−A’線断面図である。尚、図3においては、図示上側が光入射側、図示下側が視認側(観察者側)である場合について図示している。
図4〜図7は、半導体装置の製造方法を説明するための模式図である。図4〜図7では本実施形態におけるLDD構造を有するnチャネル型のTFTの半導体装置の製造方法を工程順に示している。
まず、図4(a)に示すように、基板本体10として超音波洗浄等により清浄化したガラス基板等の透光性基板を用意する。その後、基板の表面温度が150〜450℃となる条件下で、基板本体10の全面にシリコン酸化膜等からなる下地保護膜12(緩衝膜)をプラズマCVD法等により100nm〜500nmの厚さに成膜する。この工程において用いる原料ガスとしては、モノシランと一酸化二窒素との混合ガスや、TEOS(テトラエトキシシラン、Si(OC2H5)4)と酸素、ジシランとアンモニア等が好適である。
[電子機器]
以下、第1の実施形態の液晶装置1を備えた電子機器としての液晶表示テレビジョン1200の具体例について図8を用いて説明する。図8は、液晶表示テレビジョンの構成を示す概略斜視図である。図8において、液晶表示テレビジョン1200はテレビジョン本体1202を備えている。テレビジョン本体1202にはスピーカー1203及び電気光学装置としての液晶装置1201が設置されている。そして、液晶装置1201には第1の実施形態における液晶装置1が用いられている。
Claims (8)
- 3階調以上の異なる光透過率の領域を有するフォトマスクを用いて基板上に形成された第1の感光膜を露光して第2の感光膜を形成し、
前記第2の感光膜を所定の現像液で現像して形成した第3の感光膜の一部が、その後に前記基板上に注入される所定の不純物の注入を行わない領域と前記所定の不純物の注入を行っても行わなくてもよい領域とを覆うことを特徴とする感光膜の設置方法。 - 基板上に感光膜を形成する第1の工程と、
3階調以上の異なる光透過率の領域を有するフォトマスクを用いて前記感光膜を露光する第2の工程と、
露光された前記感光膜の現像を現像液を用いて行う第3の工程と、
現像された前記感光膜をマスクとして前記基板上に第1の所定の不純物を注入する第4の工程と、を含み、
前記3階調以上の階調は、前記第2の工程で用いられる露光光を遮蔽する第1の階調、前記露光光をほぼ透過させる第2の階調及び前記露光光を所定の割合で透過させる1つ以上の第3の階調であり、
前記フォトマスクにおける前記第1の階調の領域は、前記基板において前記第1の所定の不純物の注入を行わない第1の領域と前記第1の所定の不純物の注入を行っても行わなくてもよい第2の領域とに対応する領域であり、
前記第3の工程の後において、前記第1の領域及び前記第2の領域における前記感光膜の厚さは、前記第3の階調で露光された第3の領域における前記感光膜の厚さよりも厚く、
前記第3の領域における前記感光膜の厚さは、前記第1の所定の不純物を遮蔽することができる厚さであることを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 前記現像液は、新液であることを特徴とする請求項2に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記現像液は、スリットノズルを用いて前記基板上に塗布されることを特徴とする請求項2または3に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記現像液は、パドル現象またはスピン現象を用いて前記基板上に塗布されることを特徴とする請求項2または3に記載の半導体装置の製造方法。
- 更に、前記第3の領域の前記感光膜を除去する第5の工程と、
前記基板上に第2の所定の不純物の注入を行う第6の工程と、を含み、
前記第5の工程後の前記第1の領域及び前記第2の領域における前記感光膜の厚さは、前記第2の所定の不純物の注入を遮蔽することができる厚さであることを特徴とする請求項2乃至5のいずれか1項に記載の半導体装置の製造方法。 - 請求項2乃至6のいずれか1項に記載された半導体装置の製造方法により製造された半導体装置を用いた電気光学装置。
- 請求項7に記載の電気光学装置を備えた電子機器。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014082547A JP2015204351A (ja) | 2014-04-14 | 2014-04-14 | 感光膜の設置方法、半導体装置の製造方法、電気光学装置および電子機器 |
US14/681,344 US9786501B2 (en) | 2014-04-14 | 2015-04-08 | Photoresist film placing method, semiconductor device manufacturing method, electro-optical device, and electronic device |
CN201510174089.8A CN104977819A (zh) | 2014-04-14 | 2015-04-13 | 感光膜的设置方法、半导体装置的制造方法及电子设备 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014082547A JP2015204351A (ja) | 2014-04-14 | 2014-04-14 | 感光膜の設置方法、半導体装置の製造方法、電気光学装置および電子機器 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2015204351A true JP2015204351A (ja) | 2015-11-16 |
JP2015204351A5 JP2015204351A5 (ja) | 2017-03-23 |
Family
ID=54265664
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2014082547A Withdrawn JP2015204351A (ja) | 2014-04-14 | 2014-04-14 | 感光膜の設置方法、半導体装置の製造方法、電気光学装置および電子機器 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US9786501B2 (ja) |
JP (1) | JP2015204351A (ja) |
CN (1) | CN104977819A (ja) |
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-
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-
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Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20150294859A1 (en) | 2015-10-15 |
US9786501B2 (en) | 2017-10-10 |
CN104977819A (zh) | 2015-10-14 |
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