JP2013538175A - ガラス基板を熱処理する装置および方法 - Google Patents
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Abstract
Description
14 炉
16 内側炉壁
18 外側炉壁
20 断熱材
22 加熱素子
23 内部容積
24 第1側面
26 第2側面
28 カート
30 スペーサ部材
34 拘束ピン
36 第1組の拘束ピン
38 第2組の拘束ピン
40 付勢アセンブリ
56 接触足部
58 延長部材
60 継手
63 キャスター
64 レール
66 誘導部材
68 外側壁部分
72 積層体
Claims (10)
- 複数のガラス基板を炉内で熱処理する方法において、
前記複数のガラス基板の隣接するガラス基板対の間に、内部開口の境界をつける閉鎖した外側フレーム部分を備えた少なくとも1つのスペーサ部材を位置付けるステップであって、前記少なくとも1つのスペーサ部材のCTEと前記複数のガラス基板のCTEとの差が10×10-7/℃未満であるステップ、
前記複数のガラス基板を支持プラットフォーム上で実質上鉛直配向で支持するステップであって、このとき前記複数のガラス基板と、隣接するガラス基板間に位置付けられた前記少なくとも1つのスペーサ部材とが、付勢力により共に付勢されて接触関係にあるステップ、
前記複数のガラス基板を前記炉内で加熱するステップ、
前記複数のガラス基板を冷却するステップ、
を含み、さらに、
前記複数のガラス基板の冷却後の面外の歪みが、100μmを超えないことを特徴とする方法。 - 前記少なくとも1つのスペーサ部材が、各隣接するガラス基板対の間に鉛直アレイおよび/または水平アレイの状態で配列された、複数のスペーサ部材を備えていることを特徴とする請求項1記載の方法。
- 前記複数のスペーサ部材の隣接するスペーサ部材が、各隣接するスペーサ部材の外側のエッジ部分で互いに接触していることを特徴とする請求項2記載の方法。
- 前記複数のガラス基板が、該複数のガラス基板のアニール点を上回りかつ該複数のガラス基板の軟化温度を下回る温度まで、加熱されることを特徴とする請求項1または2記載の方法。
- 前記少なくとも1つのスペーサ部材が、ガラス材料またはガラスセラミック材料であることを特徴とする請求項1から4いずれか1項記載の方法。
- 前記隣接するガラス基板と該隣接するガラス基板間に位置付けられた前記少なくとも1つのスペーサ部材とが、該隣接するガラス基板と該少なくとも1つのスペーサ部材とで境界付けされた、包囲された空間を形成することを特徴とする請求項1から5いずれか1項記載の方法。
- 複数のガラス基板を熱処理する装置であって、
外側エンクロージャ壁と、内側エンクロージャ壁と、第1側面と、および第2側面とを備えている炉、
前記炉の前記第1側面を貫通して、前記炉により画成される内部容積内へと延在している第1の複数の拘束ピンであって、該ピンが運動しないように制限されている、第1の複数の拘束ピン、および、
前記炉の前記第2側面を貫通して延在している第2の複数の拘束ピンであって、前記第2の複数の拘束ピンの各拘束ピンが該拘束ピンの縦軸に沿って可動である、第2の複数の拘束ピン、
を備え、さらに前記第2の複数の拘束ピンの各拘束ピンが、前記複数のガラス基板に対して付勢力を加えるための付勢アセンブリを備えていることを特徴とする装置。 - 前記第1の複数の拘束ピンの各拘束ピンが、前記複数のガラス基板のうちのあるガラス基板に接触する接触部材と、前記付勢アセンブリに連結される延長部材とを備え、さらに該接触部材および該延長部材が、継手により可動に接続されていることを特徴とする請求項7記載の装置。
- 前記第2の複数の拘束ピンの各拘束ピンが、前記複数のガラス基板のうちのあるガラス基板に接触する接触部材と、前記付勢アセンブリに連結される延長部材とを備え、さらに該接触部材および該延長部材が、継手により可動に接続されていることを特徴とする請求項7または8記載の装置。
- 前記複数のガラス基板を鉛直配向で支持する、前記炉内へと延在している誘導部材をさらに備え、かつ前記複数のガラス基板を前記炉の外部位置から前記炉の内部位置へと移動させる間に、前記複数のガラス基板のうちのあるガラス基板が前記誘導部材と滑動接触することを特徴とする請求項7から9いずれか1項記載の装置。
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