JPS61247632A - 熱処理装置用ボ−ト - Google Patents
熱処理装置用ボ−トInfo
- Publication number
- JPS61247632A JPS61247632A JP8944385A JP8944385A JPS61247632A JP S61247632 A JPS61247632 A JP S61247632A JP 8944385 A JP8944385 A JP 8944385A JP 8944385 A JP8944385 A JP 8944385A JP S61247632 A JPS61247632 A JP S61247632A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- boat
- heat
- members
- heat treatment
- treated
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Landscapes
- Re-Forming, After-Treatment, Cutting And Transporting Of Glass Products (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明はガラス等高温において変形する材料の熱処理装
置におけるガラス板等被熱処理物をセットするボートの
形状に関するものである。
置におけるガラス板等被熱処理物をセットするボートの
形状に関するものである。
従来、ガラス板を熱処理する場合第２図における構造の
ボートを用いていた。すなわち、ボート１は棒状部材２
，５，４．５より成り、この各棒状部材には板をセット
出来る様に適位置にみそを設け、このみそに従って、被
熱処理物６，７．Ｂ、・・・・・・・・・％、をボート
にセットする。この様番こセットすれば複数の被熱処理
物は互いに接触する事はなく、又ボートとの接触面積も
極めて少なくてすみ、従って、被熱処理物の表面をコス
リ等によって勘をつける事は無く、島、汚れをきらう被
熱処理物の熱処理には極めて有効な方法であった。
ボートを用いていた。すなわち、ボート１は棒状部材２
，５，４．５より成り、この各棒状部材には板をセット
出来る様に適位置にみそを設け、このみそに従って、被
熱処理物６，７．Ｂ、・・・・・・・・・％、をボート
にセットする。この様番こセットすれば複数の被熱処理
物は互いに接触する事はなく、又ボートとの接触面積も
極めて少なくてすみ、従って、被熱処理物の表面をコス
リ等によって勘をつける事は無く、島、汚れをきらう被
熱処理物の熱処理には極めて有効な方法であった。
しかし、前述の従来技術では熱処理工程において被熱処
理物がたわみ等に依り変形し易いという問題が生じてい
る。すなわち、第３図は、第２図の従来例を、第２図中
の矢印の方向から見た平面図であるが、被熱処理物６〜
％の下側端は部材２及び５でささえられており、さらに
被熱処理物６〜界の左及び右側端は部材４及び５でそれ
ぞれささえられている。ここで従来技術ではボート１へ
の被熱処理物６〜％のセットの容易さから、図中の６で
示した長さを出来るだけ小さくシ、αで示した長さより
短かくなっていた。この様な構成では被熱処理物６〜％
の重心はボートの部材４及び５より上側になってしまい
、従って、熱処理中にボート構成部材４及び５より上に
位置する被熱処理物はたわんでしまう。
理物がたわみ等に依り変形し易いという問題が生じてい
る。すなわち、第３図は、第２図の従来例を、第２図中
の矢印の方向から見た平面図であるが、被熱処理物６〜
％の下側端は部材２及び５でささえられており、さらに
被熱処理物６〜界の左及び右側端は部材４及び５でそれ
ぞれささえられている。ここで従来技術ではボート１へ
の被熱処理物６〜％のセットの容易さから、図中の６で
示した長さを出来るだけ小さくシ、αで示した長さより
短かくなっていた。この様な構成では被熱処理物６〜％
の重心はボートの部材４及び５より上側になってしまい
、従って、熱処理中にボート構成部材４及び５より上に
位置する被熱処理物はたわんでしまう。
そこで本発明はこのような問題点を解決するもので、そ
の目的とするところは、熱処理において、被熱処理物の
変形を最少とする、熱処理装置用ボートを提供するとこ
ろにある。
の目的とするところは、熱処理において、被熱処理物の
変形を最少とする、熱処理装置用ボートを提供するとこ
ろにある。
本発明の熱処理装置用ボートは、ガラス板を垂直に支持
するボートを有し、ボートにガラスを装着し熱処理する
熱処理装置において、ボートは構成部材がガラス板の重
心位置より上方を支持する様にした事を特徴とする。
するボートを有し、ボートにガラスを装着し熱処理する
熱処理装置において、ボートは構成部材がガラス板の重
心位置より上方を支持する様にした事を特徴とする。
本発明の上記の構成によれば、ボートにより、被熱処理
物の重心より高位置を支持するので、熱処理中に被熱処
理物が自重等に依りなわむ事はなくなる。
物の重心より高位置を支持するので、熱処理中に被熱処
理物が自重等に依りなわむ事はなくなる。
ａ）Ａ −ｒ Ｊ％−ｎ）ｌｌｄｔ ｂｌｌ、 Ｎ
Ｖ７ ｅ＜） Ｉ ア ホ、Ｍ Ｍ＋ ’
７” ：Ｊ、 Ａ −〔実施例〕 第１図は本発明の１実施例における平面図である。本実
施例では、ボートの構成部材は９，１０．１１．．１２
であり、部材９及び１０で被熱処理物１６の下側端をさ
さえ、部材１１及び１２で被熱処理物１５の右及び左側
端をそれぞれ支持する。構成部材９，１０．１１及び１
２は、被熱処理物１６のセットを容易にする案内溝を設
ける事も可能である。さらに、本発明においては、部材
９．１０と部材１１．１２の間隔をとり、図中にｄで示
した長さを、Ｃで示した長さよりも大きくする。これに
依り部材１１及び１２は、被熱処理物１５の重心より高
い位置で被熱処理物１３を支持する事になる。
Ｖ７ ｅ＜） Ｉ ア ホ、Ｍ Ｍ＋ ’
７” ：Ｊ、 Ａ −〔実施例〕 第１図は本発明の１実施例における平面図である。本実
施例では、ボートの構成部材は９，１０．１１．．１２
であり、部材９及び１０で被熱処理物１６の下側端をさ
さえ、部材１１及び１２で被熱処理物１５の右及び左側
端をそれぞれ支持する。構成部材９，１０．１１及び１
２は、被熱処理物１６のセットを容易にする案内溝を設
ける事も可能である。さらに、本発明においては、部材
９．１０と部材１１．１２の間隔をとり、図中にｄで示
した長さを、Ｃで示した長さよりも大きくする。これに
依り部材１１及び１２は、被熱処理物１５の重心より高
い位置で被熱処理物１３を支持する事になる。
以上述べたように本発明によれば、被熱処理物をその重
心より高い位置でボートにより支持され、熱処理工程に
おいて、被熱処理物がそり等の変形をする事は無い。こ
の発明は四角の板状被熱処理物に対して特に有効である
が、半導体プロセス
心より高い位置でボートにより支持され、熱処理工程に
おいて、被熱処理物がそり等の変形をする事は無い。こ
の発明は四角の板状被熱処理物に対して特に有効である
が、半導体プロセス
第１図は本発明の熱処理装置用ボートの平面図、第２図
は従来の熱処理用ボートの斜視図、第３図は従来の熱処
理用ボートの平面図。 １・・・・・・熱処理装置用ボート ２．３，４，５，９，１０，１１．１２・・・書・・・
・・・・・・・・ボート構成部材 ６．７．Ｂ、１３ｍ＊・・・・・・被熱処理用ガラス板
ａ、ｈ、ｃ、ｄ・・・・・・長 さ 以 上
は従来の熱処理用ボートの斜視図、第３図は従来の熱処
理用ボートの平面図。 １・・・・・・熱処理装置用ボート ２．３，４，５，９，１０，１１．１２・・・書・・・
・・・・・・・・ボート構成部材 ６．７．Ｂ、１３ｍ＊・・・・・・被熱処理用ガラス板
ａ、ｈ、ｃ、ｄ・・・・・・長 さ 以 上
Claims (1)
- ガラス板を垂直に支持するボートを有し、該ボートに前
記ガラスを装着し熱処理する熱処理装置において、前記
ボートの構成部材は前記ガラス板の重心位置より上方を
支持する様にした事を特徴とする、熱処理装置用ボート
。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8944385A JPS61247632A (ja) | 1985-04-25 | 1985-04-25 | 熱処理装置用ボ−ト |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8944385A JPS61247632A (ja) | 1985-04-25 | 1985-04-25 | 熱処理装置用ボ−ト |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61247632A true JPS61247632A (ja) | 1986-11-04 |
Family
ID=13970821
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8944385A Pending JPS61247632A (ja) | 1985-04-25 | 1985-04-25 | 熱処理装置用ボ−ト |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61247632A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2013538175A (ja) * | 2010-08-30 | 2013-10-10 | コーニング インコーポレイテッド | ガラス基板を熱処理する装置および方法 |
-
1985
- 1985-04-25 JP JP8944385A patent/JPS61247632A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2013538175A (ja) * | 2010-08-30 | 2013-10-10 | コーニング インコーポレイテッド | ガラス基板を熱処理する装置および方法 |
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