KR100684566B1

KR100684566B1 - 평판표시장치 열처리공정의 기판로딩용보트

Info

Publication number: KR100684566B1
Application number: KR1020050083031A
Authority: KR
Inventors: 이범희; 이영호; 이병일; 장택용
Original assignee: 주식회사 테라세미콘
Priority date: 2005-09-07
Filing date: 2005-09-07
Publication date: 2007-02-20

Abstract

본 발명에서는 다량의 유리기판이 로딩되어 대량의 공정처리를 가능케 하는 평판표시장치 열처리공정의 기판로딩용 보트가 제공된다.

이를 위한 본 발명은 평판표시장치의 유리기판을 열처리하기 위한 히터장치를 포함한 반응챔버를 갖고, 하부가 개구된 반응챔버를 공정공간으로 유리기판을 수용하기 위하여 공정공간으로 격리하는 보트캡장치가 마련되고 이 보트캡장치에 유리기판이 로딩되는 구조물로서 설치되는 평판표시장치 열처리공정의 기판로딩용 보트에 있어서: 평판표시장치 유리기판(100)의 열처리공정에서 중력에 대해 유리기판(100)의 평면도를 유지하기 위하여 그 저면을 지지하는 평면상의 홀더본체(20)가 마련되고, 수평으로 배치되는 상기 홀더본체(20)가 상방으로 다수 배열되도록 지지로드(22)와 함께 다단의 홀더거치대(24)를 제공하는 홀더보트(26)가 보트캡장치(28)에 설치됨과 더불어, 상기 보트캡장치(28)에는 승강장치(30)가 구비되고 이 승강장치(30)에 상기 홀더보트(26)와의 간섭을 회피하여 승강로드(32)와 함께 유리기판(100)을 승강시키는 기판거치대(34)를 제공하는 승강보트(36)가 설치되어 상기 홀더보트(26)와 함께 듀얼보트(40)로서 구비되는 한편, 상기 홀더본체(20)에는 상기 기판거치대(34)가 관통되어 유리기판(100)을 승강시키도록 관통슬릿(42)이 형성된 것을 특징으로 한다.

Description

평판표시장치 열처리공정의 기판로딩용보트{Glass Panel Loading/Unloading Boat for Display Panel Annealing Process}

도 1 은 평판표시장치 기판 열처리공정 중 그 일례로서 종래 기판로딩용 보트를 설명하기 위한 나타낸 측면개념도,

도 2 는 본 발명에 따른 평판표시장치 열처리공정의 기판 로딩용 보트장치를 나타낸 개념도,

도 3 은 본 발명의 제 1 실시예로서 기판 로딩용 보트를 나타낸 사시설명도,

도 4 는 상기 제 1 실시예의 작용을 나타낸 부분 사시설명도 및 측면 개념설명도,

도 5 는 본 발명에 따른 제 2 실시예의 기판 로딩용 보트의 작용상태를 나타낸 부분 사시설명도 및 측면 개념설명도,

도 6 은 본 발명에 따른 제 3 실시예로서 기판 로딩용 보트를 나타낸 사시설명도,

도 7 은 상기 제 3 실시예의 작용상태를 나타낸 부분 사시설명도이다.

- 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 -

100 - 유리기판, 20 - 홀더본체,

22 - 지지로드, 24 - 홀더거치대,

26 - 홀더보트, 28 - 보트캡장치,

30 - 승강장치, 32 - 승강로드,

34 - 기판거치대, 36 - 승강보트,

40 - 듀얼보트, 42,46 - 관통슬릿,

44 - 승강레일홈, 48 - 개구부,

50 - 로봇아암, 52 - 승강장치,

54 - 스테이지, 56 - 홀더프레임.

58 - 승강프레임.

본 발명은 평판표시장치의 유리기판을 공정처리하기 위한 열처리공정의 기판로딩용 보트에 관한 것으로, 구체적으로는 다량의 유리기판이 로딩되어 대량의 공정처리를 가능케 하는 평판표시장치 열처리공정의 기판로딩용 보트에 관한 것이다.

주지된 바와 같이 근래에 들어 디스플레이 소자로서 가장 널리 사용되는 평판표시소자로는 액정을 이용한 LCD(Liquid Crystal Display) 소자, 플라즈마를 이용한 평판소자(PDP:Plasma Display Panel), 유기EL(Organic Eletroluminecent Display) 등을 들 수 있다.

상기 LCD는 CRT와는 달리 자기발광성이 없어 후광이 필요하지만 동작 전압이 낮아 소비 전력이 적고, 무게와 부피 면에서 휴대용으로 쓰일 수 있어 널리 쓰이는 평판 디스플레이이며, PDP와 유기EL 은 자체발광으로 차세대 평판표시장치라 할 수 있다.

이러한 평판표시에 있어서 천연색을 구현하기 구현하기 위해 적, 녹, 청을 구성하는데 수동형 매트릭스와 능동형 매트릭스가 적용되며, 이 중 능동 매트릭스(active matrix) 방식은 각 화소마다 적,녹,청색 신호를 처리할 수 있는 3개의 트랜지스터를 사용함으로써 선명한 색상을 얻으며, TFT(Thin Film Transister) 구동이 대표적이다.

일반적인 평판표시장치의 제조공정에 있어서는, 유리기판의 표면에 상기 트랜지스터를 형성하기 위하여 반도체 제조공정의 경우와 같이 적층 열처리, 포토리소그라피(photo lithography) 기술이 사용되고 있다.

그 일례로서 예시도면 도 1 은 LCD 유리기판의 화학기상증착장치를 나타낸 평면 및 측면개념도로서, 도시된 것은 하나의 유리기판에 대하여 순차적으로 증착을 수행하는 매엽식의 화학기상증착장치로서, 수직형의 핫월형 반응챔버를 취하고 있는 것을 나타내고 있다.

이러한 화학기상증착장치는 기본적으로는 청정도를 유지하기 위한 격리된 공간으로 구분되어, 유리기판(100)이 대기되는 스테이지(1)와 이 스테이지(1)로부터 유리기판(100)을 이송하기 위한 이송장치로서 로봇아암(2)이 배치되는 이송실(3) 및 상기 로봇아암으로 부터 유리기판(100)이 로딩되는 보트(4)가 장착되어진 보트캡장치가 배치된 대기실(5) 그리고, 보트(4)로 부터 유리기판이 이송되어 증착을 수행하기 위한 반응챔버(6)로 구분된다.

여기서, 상기 반응챔버(6)는 수직형임에 따라 보트(4)의 이송을 위한 승강장치가 대기실(5)에 구비되며, 이것은 승강레일(7)과 구동장치(8)를 포함하며, 구동장치는 보트(4)의 하부에 반응챔버(6)의 열전달 구역을 회피하여 구비된다.

또한, 상기 보트(4)에는 평판형의 홀더가 장착되며, 이것은 열처리 공정 중 유리기판의 휨 등을 방지하고 유리기판의 평편도를 유지하기 위하여 기판 저면 전체를 지지하기 위함이다.

이러한 홀더로의 유리기판 로딩/언로딩을 위하여는 별도의 엑스트라 스테이지를 사용하여 이를 다시 분리하거나, 대기실에서 별도의 승강장치를 이용하여 반도체 기판과 홀더를 분리시킬 수 있다.

상기 반응챔버(6)에는 반응가스의 열분해를 위한 가열장치(9)가 설치되며, 반응가스의 투입 및 회수를 위한 투입노즐(10)과 배기노즐(11)이 연결되고, 투입노즐(10)은 샤워헤드형의 노즐로 설치되어 유리기판에 균일하게 반응가스를 분포시키기 위한 것을 나타내고 있다.

여기서, 문제가 되는 것은 종래에 제시되고 있는 열처리 방법이나 이에 따른 시스템들은 유리기판(100)을 개별적으로 처리하는 매엽식이며, 이것은 하나의 열처리 반응챔버에 하나의 유리기판을 투입하여 열처리를 진행하고 있는데, 이때 열처리 시간이 과도하게 소요되는 경우, 생산성을 확보하기 어렵게 된다는 것이다.

따라서, 대량생산을 위하여는 상기 매엽식의 열처리장치를 하나의 유닛으로 대량으로 배치시켜야 하는 것이며, 이를 수행하기 위한 물리적 공간의 확보와 장치 의 투입은 생산성 확보에 바람직하지 못한 요인인 것이다.

한편, 이러한 문제점을 개선하기 위하여 다수의 기판을 보트에 적층시켜 처리하는 배치식 방식을 고려할 수 있는데, 이 경우 단순 슬릿이 사용되는 배치식 보트가 그대로 적용될 수 없다.

이를 좀 더 상세히 설명하면, 유리기판은 반도체 웨이퍼와는 달리 열에 더 취약하며, 400℃ 부근에 변형이 발생된다.

이러한 유리기판의 열처리 진행 중 평면도를 확보하기 위하여 유리기판 저면 전체를 지지하는 매엽식 처리장치의 평판형 홀더가 적용되어야 할 것이 필요한데, 배치식 보트로 이러한 홀더가 적용될 경우, 이러한 평판형 홀더로의 로딩/언로딩이 용이하지 않게 된다.

이에 본 발명은 상기 문제점을 개선하기 위하여 안출된 것으로, 하나의 반응챔버에서 다수의 유리기판을 처리함으로써, 그 처리량을 향상시켜 대량생산성을 향상시킨 평판표시장치 열처리공정의 기판로딩용 보트를 제공함에 그 목적이 있는 것이다.

이하, 이 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 갖는 자가 이 발명을 용이하게 실시할 수 있을 정도로 상세히 설명하기 위하여, 이 발명의 가장 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참조로 하여 상세히 설명하기로 한다. 이 발명의 목적, 작용효과를 포함하여 기타 다른 목적들, 특징점들, 그리고 동작상의 이점들이 바람 직한 실시예의 설명에 의해 보다 명확해질 것이다.

참고로 여기에서 개시되는 실시예는 여러가지 실시가능한 예중에서 당업자의 이해를 돕기 위하여 가장 바람직한 예를 선정하여 제시한 것일뿐, 이 발명의 기술적 사상이 반드시 이 실시예만 의해서 한정되거나 제한되는 것은 아니고, 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위내에서 다양한 변화와 변경이 가능함은 물론, 균등한 타의 실시예가 가능함을 밝혀 둔다.

예시도면 도 2 는 본 발명에 따른 평판표시장치 열처리공정의 기판 로딩용 보트장치를 나타낸 개념도이고, 도 3 은 본 발명의 제 1 실시예로서 기판 로딩용 보트를 나타낸 사시설명도이며, 도 4 는 상기 제 1 실시예의 작용을 나타낸 부분 사시설명도 및 측면 개념설명도이다.

그리고, 도 5 는 본 발명에 따른 제 2 실시예의 기판 로딩용 보트의 작용상태를 나타낸 부분 사시설명도 및 측면 개념설명도이며, 도 6 은 본 발명에 따른 제 3 실시예로서 기판 로딩용 보트를 나타낸 사시설명도이고, 도 7 은 상기 제 3 실시예의 작용상태를 나타낸 부분 사시설명도이다.

본 발명은 평판표시장치의 유리기판을 열처리하기 위한 히터장치를 포함한 반응챔버를 갖고, 하부가 개구된 반응챔버를 공정공간으로 유리기판을 수용하기 위하여 공정공간으로 격리하는 보트캡장치가 마련되고 이 보트캡장치에 유리기판이 로딩되는 구조물로서 설치되는 평판표시장치 열처리공정의 기판로딩용 보트에 있어서:

평판표시장치 유리기판(100)의 열처리공정에서 중력에 대해 유리기판(100)의 평면도를 유지하기 위하여 그 저면을 지지하는 평면상의 홀더본체(20)가 마련되고, 수평으로 배치되는 상기 홀더본체(20)가 상방으로 다수 배열되도록 지지로드(22)와 함께 다단의 홀더거치대(24)를 제공하는 홀더보트(26)가 보트캡장치(28)에 설치됨과 더불어, 상기 보트캡장치(28)에는 승강장치(30)가 구비되고 이 승강장치(30)에 상기 홀더보트(26)와의 간섭을 회피하여 승강로드(32)와 함께 유리기판(100)을 승강시키는 기판거치대(34)를 제공하는 승강보트(36)가 설치되어 상기 홀더보트(26)와 함께 듀얼보트(40)로서 구비되는 한편, 상기 홀더본체(20)에는 상기 기판거치대(34)가 관통되어 유리기판(100)을 승강시키도록 관통슬릿(42)이 형성된 것을 특징으로 하는 평판표시장치 열처리공정의 기판로딩용 보트이다.

제 1 의 실시예로서 본 발명에 따른 듀얼보트(40)는 도 3 및 도 4 에서와 같이, 홀더보트(26)에 의해 제공되는 지지로드(22) 사이로 승강로드(32)가 배치되어 홀더거치대(24) 사이에 기판거치대(34)가 배치된 것을 특징으로 한다.

제 2 의 실시예로서 본 발명에 따른 듀얼보트(40)는 도 5 에서와 같이 홀더보트(26)와 승강보트(36)가 중첩되도록 홀더보트(26)의 지지로드(22) 내부는 승강보트(36)의 승강로드(32)를 수용하기 위하여 중공으로 마련됨과 더불어, 지지로드(22)의 일측방에 승강보트 기판거치대(34)의 관통과 승강을 위하여 승강레일홈(44)이 형성되며, 홀더거치대(24)에는 지지로드(22)와 승강로드(32)의 상하 결합시 돌출된 기판거치대(34)와의 간섭이 회피되게 관통슬릿(42)과 연장선으로 관통슬릿(46)이 형성된 것을 특징으로 한다.

이러한 제 2 의 실시예에 의해 액정표시기판의 열처리를 위한 듀얼보트가 구 비됨에 있어서, 공정공간인 반응챔버로의 듀얼보트(40) 점유공간이 최소화되고, 이에 의해 유리기판으로의 공정가스 균일분포를 더욱 효과적으로 수행하게 된다.

한편, 제 3 의 실시예로서 본 발명에 따른 듀얼보트는 도 6 및 도 7 에서와 같이 홀더보트(26)와 승강보트(36)가 중첩되면서 홀더본체(20)의 관통슬릿(42) 저부가 홀더거치대(24)에 의해 폐쇄되게 홀더보트(26)의 지지로드(22)는 승강보트(36)의 승강로드(32)를 수용하기 위하여 중공으로 마련되어지되 승강로드의 측방삽입을 위해 개구부(48)가 형성되고, 상기 지지로드(22)의 일측방에는 기판거치대(34)의 관통과 승강을 위해 승강레일홈(44)이 형성된 것을 특징으로 한다.

이러한 제 3 실시예에 의해 홀더보트(26)와 승강보트(36)의 중첩시 승강로드(32)가 지지로드(22)의 측방에서 삽입되어 결합됨으로써, 홀더본체(20)의 관통슬릿(42)이 홀더거치대(24)의 점유면적에 포함되어 폐쇄된다.

기판거치대(34)는 관통슬릿(42)이 제공하는 홀더본체(20)의 두께 사이에 은폐되거나 부족할 경우 홀더거치대(24)에 관통슬릿(42)에 연장되는 홈을 형성하여 이들의 두께사이에 은폐되며, 결국 홀더거치대는 관통슬릿(42) 저부를 폐쇄하여 유리기판(100) 저부가 관통슬릿에 의해 외부로 노출되는 것을 최소화시키게 된다.

상기 실시예에 공통적으로는 홀더보트(26)의 홀더거치대(24)는 홀더본체의 관통슬릿(42)에 따른 절개부의 단을 경계로 홀더본체(20)로의 하중집중을 회피하기 위하여 관통슬릿(42) 보다 내측으로 연장된 거치영역(D)을 갖게 마련된 것을 특징으로 한다.

상술된 바와 같이 본 발명에서는 액정표시장치의 열처리공정에 있어서, 다량 의 유리기판 처리를 가능케 하여, 대량생산을 향상시킨 기판 로딩용 보트를 제공한다.

이를 위한 본 발명은 유리기판의 열처리 공정 중 기판의 처짐(휨)을 방지하기 위한 평판형의 홀더본체(20)와 더불어, 이러한 홀더본체(20)가 배치식으로 배열되기 위한 듀얼보트(40)를 제공한다.

이러한 듀얼보트(40)에 의해 유리기판의 로딩/언로딩시 로봇아암에 의해 가장 간단한 방식으로서 예시도면 도 2 와 같이 로봇아암(50)을 이용한 리프트 방식이 채택될 수 있다.

여기서, 본 발명에 따른 듀얼보트(40)는 보트캡장치(28)에 탑재되며, 보트캡장치(28)는 전술된 승강레일과 구동장치를 포함한 승강장치(52)에 장착되고, 상기 보트캡장치(28)에는 듀얼보트(40)에서 승강보트를 승강시키기 위한 승강장치(미도시)가 내설된다.

상기 듀얼보트(40)는 상기 각 실시예에서와 같이 홀더보트와 승강보트로 구분되어, 홀더보트는 평판표시장치의 유리기판의 열처리공정에서 중력에 대해 유리기판의 평면도를 유지하기 위하여 그 저면을 지지하는 평면상의 홀더본체(20)를 지지하기 위한 지지구조물이다.

그리고, 승강보트는 상기 홀더보트와의 간섭을 회피하여 홀더본체를 관통하는 상태에서 유리기판을 승강시켜 로봇아암이 유리기판을 평판형 홀더본체에 안착시키기 위한 공간을 제공하는 승강구조물이다.

이러한 듀얼보트(40)가 장착됨에 따라, 스테이지(54)로부터 다수 유리기판 (100)의 로딩/언로딩이 가능해져 공정공간인 반응챔버로 투입가능해지며, 듀얼보트(40)에서 상기 홀더보트와 승강보트의 배치상태 그리고, 이에 의한 하위개념상에서 구조물의 조합에 의해 각 실시예로 구분된다.

먼저, 제 1 실시예를 도 3 및 도 4 에 의거하여 좀 더 상세히 설명하면, 평판표시장치 유리기판(100)의 열처리공정에서 중력에 대해 유리기판(100)의 평면도를 유지하기 위하여 그 저면을 지지하는 평면상의 홀더본체(20)가 마련되고, 수평면으로 배치되는 상기 홀더본체(20)가 상방으로 다수 배열되도록 지지로드(22)와 함께 다단의 홀더거치대(24)를 제공하는 홀더보트(26)가 보트캡장치(28)에 설치된다.

상기 보트캡장치(28)에는 승강장치(30)가 구비되고 이 승강장치(30)에 상기 홀더보트(26)와의 간섭을 회피하여 승강로드(32)와 함께 유리기판(100)을 승강시키는 기판거치대(34)를 제공하는 승강보트(36)가 설치되어 상기 홀더보트(26)와 함께 듀얼보트(40)가 구비된다.

자세하기로, 상기 듀얼보트(40)는 홀더보트(26)에 의해 제공되는 지지로드 사이(22)에 승강로드(32)가 배치되어 홀더거치대(24) 사이에 기판거치대(34)가 배치된다.

그리고, 상기 지지로드(22) 및 승강로드(32)를 상하부에서 설치되어 그 배치상태를 보유지지하는 홀더프레임(56)과 승강프레임(58)이 서로 간섭을 회피하여 장착되고, 승강프레임(58)이 상기 보트캡장치(28)의 승강장치(30)와 연결된 것이다.

한편, 상기 홀더본체(20)에는 상기 기판거치대(34)가 관통되어 유리기판 (100)에 접촉되도록 관통슬릿(42)이 형성된다.

그리고, 상기 홀더보트의 홀더거치대(24)는 홀더본체의 관통슬릿(42)에 따른 절개부의 단을 경계로 홀더본체(20)로의 하중집중을 회피하기 위하여 관통슬릿(42)보다 내측으로 연장된 거치영역(D)을 갖게 마련된다(도4a 참조).

이것은 홀더본체(20)가 석영등의 재질로 구비될 경우, 대면적화된 상태에서 열처리온도가 장시간 조성될 경우, 홀더본체(20)가 자중에 의해 휘어질 우려가 있을때, 구조적으로 취약한 지점이 바로 관통슬릿(42)에 의해 절개된 구역이며, 구체적으로는 그 단부를 경계가 취약한 지점이기 때문이다.

따라서, 본 발명에서는 이러한 취약한 지점을 포함하는 영역으로 홀더거치대(24)가 연장되어 그 절개단이 없는 영역에서 홀더본체(20)를 지지하도록 배려된 것이다.

이러한 본 발명에 따라 상기 승강장치에 의해 홀더보트가 상승된 상태에서, 도 2 의 로봇아암(50)에 의해 기판거치대(34) 개별로 유리기판(100)이 적재되고, 승강장치(30)가 구동되어 승강보트(36)가 하강되면 평판형의 홀더본체(20)로 유리기판(100)이 안착되고, 그 저부가 평판형의 홀더본체(20)에 의해 지지되는 것이다.

이때, 홀더본체(20)에는 관통슬릿(42)이 형성되어, 상기 기판거치대(34)의 승강과 간섭되지 않게 되며, 기판거치대(34)는 관통슬릿(42) 사이에 위치되어 그 상당의 점유면적으로 어느 정도는 관통슬릿(42)을 폐쇄시키게 된다.

이 후 상기 듀얼보트는 도 2 의 승강장치에 의해 공정공간(반응챔버)로 투입되고, 열처리 공정이 수행되는 것이며 공정 후 언로딩은 역순이다.

이러한 제 1 실시예는 생산성 측면에서 간단한 구조물로서 본 발명에 따른 배치식의 듀얼보트를 제공하게 된다.

다음으로, 예시도면 도 5 는 본 발명에 따른 제 2 실시예로서 듀얼보트를 나타낸 것으로, 그 전체 형상은 홀더보트 내부로의 승강보트 중첩에 따라 예시도면 도 6 의 제 3 실시예와 비슷하다.

이러한 제 2 실시예는 평판표시장치 유리기판(100)의 열처리공정에서 중력에 대해 유리기판(100)의 평면도를 유지하기 위하여 그 저면을 지지하는 평면상의 홀더본체(20)가 마련되고, 수평으로 배치되는 상기 홀더본체(20)가 상방으로 다수 배열되도록 지지로드(22)와 함께 다단의 홀더거치대(24)를 제공하는 홀더보트(26)가 보트캡장치(28)에 설치된다.

상기 보트캡장치(28)에는 승강장치(30)가 구비되고 이 승강장치(30)에 상기 홀더보트(26)와의 간섭을 회피하여 승강로드(32)와 함께 유리기판(100)을 승강시키는 기판거치대(34)를 제공하는 승강보트(36)가 설치되어 상기 홀더보트와 함께 듀얼보트(40)가 구비되어지되, 홀더보트 내부로 승강보트가 장착되어 기판거치대(34)가 승강경로상으로 홀더거치대(24)와 중첩되게 구비된다.

자세하기로는, 홀더보트(26)으로의 승강보트(36)의 내장을 위하여 홀더보트의 지지로드(22) 일측방에 승강보트의 기판거치대(34)의 관통을 위하여 승강레일홈(44)이 형성된다.

아울러, 그 내부는 승강보트의 승강로드(32)를 수용하기 위하여 중공으로 마련되고, 홀더거치대(24)에는 관통슬릿(42)과 연장선으로 관통슬릿(46)이 형성되어 지지로드(22)의 상하 길이방향으로 승강로드(32)가 삽입되면서 듀얼보트(40)가 구비되는 것이다.

이러한 듀얼보트(40)에서 홀더보트와 승강보트의 중첩에 따라, 승강로드(32)는 그 상부로는 홀더프레임(56)을 관통하여 승강프레임(58)과 결합되고, 그 하부로는 홀더프레임(56)의 내측으로 연장되어 이격된 상태에서 승강프레임(58)과 결합된다(도 5b 및 도 6 참조).

한편, 제 1 실시예와 같은 맥락으로, 홀더본체(20)에는 상기 기판거치대가 관통되어 유리기판에 접촉되도록 관통슬릿(42)이 형성되며, 홀더거치대는 홀더본체의 관통슬릿에 따른 절개부의 단을 경계로 홀더본체로의 하중집중을 회피하기 위하여 관통슬릿보다 내측으로 연장된 거치영역을 갖게 마련된다.

이러한 본 발명에 따라 상기 승강장치에 의해 홀더보트가 상승된 상태에서, 도 2 의 로봇아암에 의해 기판거치대(34) 개별로 유리기판(100)이 적재되고, 승강장치가 구동되어 홀더보트가 하강되면 평판형의 홀더본체(20)로 유리기판(100)이 안착되고, 그 저부가 평판형의 홀더본체(20)에 의해 지지되는 것이다.

이러한 제 2 실시예는 그 중첩에 따라 제 1 실시예에 비해 특히 홀더보트의 구조와 승강보트로의 결합에 의해 구조가 복잡하여지나, 중첩의 구조물에 의해 공정공간에서 공정가스의 흐름에 대한 저항물체로서의 구조물의 점유를 최소화시킬 수 있는 것이다.

다음으로, 예시도면 도 6 및 도 7 은 본 발명에 따른 제 2 실시예로서 듀얼보트를 나타낸 것으로, 그 측면개념은 홀더보트 내부로의 승강보트 중첩에 따라 예 시도면 도 5a 의 제 2 실시예와 맥락을 같이한다.

다만, 제 2 실시예와는 달리, 홀더본체의 관통슬릿(42)을 폐쇄하는 홀더거치대(24)를 갖는 중첩된 듀얼보트(40)가 제공되며, 제 2 실시예에 더욱 개량적으로 응용된 것이다.

즉, 홀더보트(26)와 승강보트(36)가 중첩되도록 홀더보트(26)의 지지로드(22) 내부는 승강보트(36)의 승강로드(32)를 수용하기 위하여 중공으로 마련됨과 더불어, 지지로드(22)의 일측방에 승강보트 기판거치대(34)의 관통과 승강을 위하여 승강레일홈(44)이 형성되며, 타측방은 상기 승강로드(32)가 측방에서 삽입되어 수용되게 개구부(48)가 형성되어져 홀더거치대(24)와 기판거치대(34)가 중첩되면서도 상기 측방삽입을 통한 홀더보트(26)로의 승강보트(36) 내설에 의해 홀더본체(20)가 형성하는 관통슬릿(42)의 저부를 폐쇄하는 홀더거치대(24)가 설치된 것을 특징으로 하는 것이다.

자세하기로는, 홀더보트(26)로의 승강보트(36) 수용 배치는 제 2 실시예와 마찬가지이며, 홀더보트의 지지로드(22) 일측방에 승강보트 기판거치대(34)의 관통과 승강을 위하여 승강레일홈(44)이 형성된다.

반면, 타측방은 승강로드(32)가 삽입되게 개구부(48)가 형성되어져 기판거치대(34)가 홀더거치대(24)와의 승강경로상에서 그 간섭을 회피하여 삽입결합되면서 기판거치대(34)와 중첩되도록 한 것이다.

이에 의해 홀더거치대(24)는 평판형으로 마련될 수 있고, 이 상부로 기판거치대(34)가 배치되는 경우 관통슬릿(42)의 저부는 홀더거치대(24)에 의해 폐쇄될 수 있는 것으로, 관통슬릿(42)에 의해 유리기판(100)의 저부가 노출되는 것을 최소화시킬 수 있는 것이다.

한편, 상기 제 3 실시예로의 홀더거치와 유리기판(100)의 로딩/언로딩은 제2실시예와 마찬가지이다.

상술된 바와 같이 본 발명에 따르면, 홀더보트와 승강보트가 조합된 듀얼보트가 구비되어 다수의 유리기판이 배치됨으로써, 열처리공정 중 그 처리량을 향상시켜 평판표시장치의 제조공정에 있어서 그 대량생산성이 향상되는 효과가 있다.

Claims

평판표시장치의 유리기판을 열처리하기 위한 히터장치를 포함한 반응챔버를 갖고, 하부가 개구된 반응챔버를 공정공간으로 유리기판을 수용하기 위하여 공정공간으로 격리하는 보트캡장치가 마련되고 이 보트캡장치에 유리기판이 로딩되는 구조물로서 설치되는 평판표시장치 열처리공정의 기판로딩용 보트에 있어서:

평판표시장치 유리기판(100)의 열처리공정에서 중력에 대해 유리기판(100)의 평면도를 유지하기 위하여 그 저면을 지지하는 평면상의 홀더본체(20)가 마련되고, 수평으로 배치되는 상기 홀더본체(20)가 상방으로 다수 배열되도록 지지로드(22)와 함께 다단의 홀더거치대(24)를 제공하는 홀더보트(26)가 보트캡장치(28)에 설치됨과 더불어, 상기 보트캡장치(28)에는 승강장치(30)가 구비되고 이 승강장치(30)에 상기 홀더보트(26)와의 간섭을 회피하여 승강로드(32)와 함께 유리기판(100)을 승강시키는 기판거치대(34)를 제공하는 승강보트(36)가 설치되어 상기 홀더보트(26)와 함께 듀얼보트(40)로서 구비되는 한편, 상기 홀더본체(20)에는 상기 기판거치대(34)가 관통되어 유리기판(100)을 승강시키도록 관통슬릿(42)이 형성된 것을 특징으로 하는 평판표시장치 열처리공정의 기판로딩용 보트.
제 1 항에 있어서, 듀얼보트(40)는 홀더보트(26)에 의해 제공되는 지지로드(22) 사이로 승강로드(32)가 배치되어 홀더거치대(24) 사이에 기판거치대(34)가 배치된 것을 특징으로 하는 평판표시장치 열처리공정의 기판로딩용 보트.
제 1 항에 있어서, 듀얼보트(40)는 홀더보트(26)와 승강보트(36)가 중첩되도록 홀더보트(26)의 지지로드(22) 내부는 승강보트(36)의 승강로드(32)를 수용하기 위하여 중공으로 마련됨과 더불어, 지지로드(22)의 일측방에 승강보트 기판거치대(34)의 관통과 승강을 위하여 승강레일홈(44)이 형성되며, 홀더거치대(24)에는 지지로드(22)와 승강로드(32)의 상하 결합시 돌출된 기판거치대(34)와의 간섭이 회피되게 관통슬릿(42)과 연장선으로 관통슬릿(46)이 형성된 것을 특징으로 하는 평판표시장치 열처리공정의 기판로딩용 보트.
제 1 항에 있어서, 듀얼보트(40)는 홀더보트(26)와 승강보트(36)가 중첩되면서 홀더본체(20)의 관통슬릿(42) 저부가 홀더거치대(24)에 의해 폐쇄되게 홀더보트(26)의 지지로드(22)는 승강보트(36)의 승강로드(32)를 수용하기 위하여 중공으로 마련되어지되 승강로드의 측방삽입을 위해 개구부(48)가 형성되고, 상기 지지로드(22)의 일측방에는 기판거치대(34)의 관통과 승강을 위해 승강레일홈(44)이 형성된 것을 특징으로 하는 평판표시장치 열처리공정의 기판로딩용 보트.
제 1 항에 있어서, 홀더거치대(24)는 홀더본체의 관통슬릿(42)에 따른 절개부의 단을 경계로 홀더본체(20)로의 하중집중을 회피하기 위하여 관통슬릿(42) 보다 내측으로 연장된 거치영역을 갖게 마련된 것을 특징으로 하는 평판표시장치 열처리공정의 기판로딩용 보트.