KR20100012532A - 화학기상 증착장치 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (11)
- 동일 챔버 내에서 비정질 실리콘층 및 금속층 중 적어도 한 층을 증착할 수 있는 플라즈마 화학기상 증착장치로서,챔버;플라즈마 발생용 전원과 연결되고 실리콘을 포함하는 제1 가스가 유출되는 제1 샤워 헤드;금속을 포함하는 제2 가스가 유출되는 제2 샤워 헤드; 및기판이 배치되는 서셉터를 포함하는 것을 특징으로 하는 화학기상 증착장치.
- 제1항에 있어서,상기 제2 샤워 헤드는 상기 챔버의 일측 프레임 내에 설치되되, 상기 제2 샤워 헤드의 위치는 상기 기판의 위치보다 높은 것을 특징으로 하는 화학기상 증착장치.
- 제2항에 있어서,상기 제2 샤워 헤드의 단부는 상기 챔버의 일측 프레임의 내주면으로부터 돌출되지 않는 것을 특징으로 하는 화학기상 증착장치.
- 제1항에 있어서,상기 제2 샤워 헤드는 상기 챔버의 하측 프레임 상에 설치되되, 상기 비정질 실리콘층을 증착하는 동안에 상기 제2 샤워 헤드의 위치는 상기 기판의 위치보다 낮으며, 상기 금속층을 증착하는 동안에 상기 제2 샤워 헤드의 위치는 상기 기판의 위치보다 높은 것을 특징으로 하는 화학기상 증착장치.
- 제4항에 있어서,상기 챔버 내에서 상기 기판이 승강하도록 하는 기판 승강 수단 및 상기 제2 샤워 헤드가 승강하도록 하는 제2 샤워 헤드 승강 수단 중 적어도 하나를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 화학기상 증착장치.
- 제1항에 있어서,상기 제2 샤워 헤드에는 상기 제2 가스가 유출되는 복수개의 홀이 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 화학기상 증착장치.
- 제6항에 있어서,상기 제2 샤워 헤드 상에 상기 홀이 형성되는 위치에 따라 상기 홀의 직경이 변경되는 것을 특징으로 하는 화학기상 증착장치.
- 제6항에 있어서,상기 제2 샤워 헤드의 중앙부에는 홀 폐쇄 구간이 설정되는 것을 특징으로 하는 화학기상 증착장치.
- 제8항에 있어서,상기 홀 폐쇄 구간에 인접하여 제1 홀 구간이 설정되고, 상기 제1 홀 구간에 인접하여 제2 홀 구간이 설정되며, 상기 제1 홀 구간의 홀의 직경은 상기 제2 홀 구간의 홀의 직경보다 작은 것을 특징으로 하는 화학기상 증착장치.
- 제1항에 있어서,상기 챔버의 하측 프레임에 설치되어 상기 챔버 내의 가스를 상기 챔버 외부로 배기하는 가스 배기부를 더 포함하되, 상기 가스 배기부는 상기 기판을 사이에 두고 상기 제2 샤워 헤드의 반대측에 배치되는 것을 특징으로 하는 화학기상 증착장치.
- 제1항에 있어서,상기 금속은 Ni을 포함하는 것을 특징으로 하는 화학기상 증착장치.
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