JP2013219354A - 基板製造装置及び基板製造方法 - Google Patents

Abstract

【課題】基板検査工程を効率的に遂行できる基板製造装置及び方法が提供される。
【解決手段】本発明による基板製造装置は、基板に対して検査工程を遂行するテストハンドラーモジュールを有する検査装置を含む。前記テストハンドラーモジュールは、基板を搬送するコンベヤーユニットと、基板に対して前記検査工程を遂行するハンドラーユニットと、前記コンベヤーユニットと前記ハンドラーユニットとの間へ基板を搬送する搬送ユニットと、を包含することができる。前記コンベヤーユニットは供給コンベヤーと前記供給コンベヤーから離隔された排出コンベヤーを有することができる。
【選択図】図１４

Description

本発明は基板を製造する装置及び方法に関し、より詳細には印刷回路基板に対して検査工程を遂行する装置を含む基板製造装置及び方法に関する。

半導体製造技術が発展するにしたがって、不揮発性メモリを利用する大容量格納装置の使用が増加している。一例として、ソリッドステートドライブ（ｓｏｌｉｄ ｓｔａｔｅ ｄｒｉｖｅ）は揮発性メモリと不揮発性メモリを利用する大容量格納装置である。

ソリッドステートドライブは、コントローラとして使用される集積回路素子、バッファメモリとして使用される揮発性メモリ素子、及び大容量格納装置として使用される不揮発性メモリ素子等の多様な種類の素子（ｄｅｖｉｃｅｓ）を印刷回路基板上に搭載することによってなされる。

韓国特許公開第１０−１９９６−００４００９３号公報

本発明の目的は、基板検査工程を効率的に遂行できる基板製造装置及び方法を提供することである。

また、本発明の他の目的は、基板検査工程を含む一連の工程を効率的に遂行できる基板製造装置及び方法を提供することである。

本発明が解決しようとする課題はこれらに制限されず、言及されないその他の課題は、以下の記載から通常の技術者に明確に理解され得る。

本発明の一実施形態によれば、基板製造装置は前記基板に対して検査工程を遂行するテストハンドラーモジュールを有する検査装置を含み、前記テストハンドラーモジュールは前記基板を搬送するコンベヤーユニットと、前記基板上の複数の単位基板に対して前記検査工程を遂行するハンドラーユニットと、前記コンベヤーユニットと前記ハンドラーユニットとの間へ前記基板を搬送する搬送ユニットと、を含み、前記コンベヤーユニットは供給コンベヤーと、前記供給コンベヤーから離隔された排出コンベヤーと、を有する。

一例によれば、前記供給コンベヤーは第１方向と平行に延長され、前記排出コンベヤーは上部から見る時、前記第１方向に対して垂直である第２方向に沿って前記供給コンベヤーから離隔されるように提供され、前記第１方向と平行に延長され得る。

一例によれば、前記基板検査装置は搬出コンベヤーを有するローダーモジュールと、アンロードコンベヤーを有するアンローダーモジュールをさらに含み、前記ローダーモジュール、前記テストハンドラーモジュール、及び前記アンローダーモジュールは順次的に前記第１方向に沿って配置され、前記供給コンベヤーは前記搬出コンベヤーから直接基板を引き受けるように提供され、前記排出コンベヤーは前記アンロードコンベヤーに直接基板を引き渡すように提供され得る。

一例によれば、前記供給コンベヤーは前記排出コンベヤーより前記ローダーモジュールにさらに隣接するように提供され、前記排出コンベヤーは前記供給コンベヤーより前記アンローダーモジュールにさらに隣接するように提供され得る。

一例によれば、前記供給コンベヤーは下方向に凹んでいるように提供された屈曲部を有し、前記搬送ユニットは前記供給コンベヤーの前記屈曲部に対向するように提供される供給リフト部材を有し、前記搬送ロボットは前記供給リフト部材から基板が引き渡されるロードアームを有し、前記供給リフト部材は前記供給コンベヤーの屈曲部を通じて、前記基板が前記供給コンベヤーから持ち上げられるように提供され得る。

一例によれば、前記搬送ユニットは前記供給コンベヤーで前記基板の移動を停止させるストッパー部材をさらに含み、前記ストッパー部材は遮断板と、前記遮断板を乗下降させる駆動器と、を有することができる。

一例によれば、前記搬送ユニットは固定板と、前記固定板に支持されるロードアームと、前記固定板に支持されるアンロードアームと、を具備し、前記ロードアームと前記アンロードアームは前記第２方向に沿って互いに離隔されるように提供され得る。

一例によれば、前記搬送ユニットはピックアップヘッドを有する搬送ロボットを具備し、前記ピックアップヘッドはプレートと、前記プレートの底面から下に突出され、基板と接触する接触部材と、を含み、前記接触部材は前記プレートの前方縁領域に提供される前面接触部と、前記プレートの両側方縁領域に各々提供される側面接触部と、を含み、前記前面接触部と前記側面接触部によって、前記プレートの下には後方及び下方が開放された挿入空間が形成され得る。

一例によれば、前記ハンドラーユニットは内部空間を有するハウジングと、前記内部空間に位置され検査工程が遂行される検査チャンバーと、前記検査チャンバーのソケットに結合されるテスター器と、を含み、前記ハウジングの内部空間には前記検査チャンバーを囲む循環空間が提供され、前記検査チャンバーの側面には前記循環空間と通じる開口が形成され、前記ハンドラーユニットには前記循環空間内の気体の温度を調節する温度調節器をさらに包含させ得る。

一例によれば、前記ハンドラーユニットは内部空間を有するハウジングと、前記内部空間に位置され検査工程が遂行される検査チャンバーと、前記検査チャンバーのソケットに結合されるテスター器と、を含み、前記検査チャンバーは第２方向及び第３方向によって定義された平面にＭｘＮ（Ｍ、Ｎは１以上の自然数）配列で配置され、前記平面は前記供給コンベヤーの横方向と垂直であり得る。

一例によれば、前記ハンドラーユニットは検査工程が遂行される検査チャンバーを含み、前記検査チャンバーは内部空間を有する本体と、前記内部空間を開閉するドアと、基板と電気的に接続できるパッドを有するソケットと、検査工程進行の時、前記本体内で基板を支持する支持台と、を含み、前記支持台は前記ドアに固定結合され、前記ドアは前記本体からスライド移動できるように提供され得る。

一例によれば、前記支持台は基板に提供された通孔へ挿入される整列ピンを有することができる。

一例によれば、前記搬送ユニットは基板を検査チャンバーへ搬送する搬送ロボットと、前記内部空間を開閉するように前記ドアを移動させるドアオープナと、を含み、前記ドアオープナは前記搬送ロボットに設置され得る。

一例によれば、前記ドアには貫通ホールが形成されたドアノブが提供され、前記ドアオープナは前記ドアノブの貫通ホールに挿入できるように提供される掛けがねと、前記ドアノブへ前記掛けがねが嵌められるようにする手掴み位置と前記ドアノブから前記掛けがねが分離されるようにする解除位置との間へ前記掛けがねを移動させる掛けがね駆動器と、を有することができる。

一例によれば、前記第１方向に沿って複数のセットの前記ハンドラーユニットが提供され、各々の前記セットのハンドラーユニットには前記第２方向に沿って前記ハンドラーユニットが複数個提供され、各々の前記セットの前記ハンドラーユニットの前方には各々前記搬送ユニットが配置され得る。

一例によれば、前記ローダーモジュールは基板を検査する電気検査ユニットと、前記電気検査ユニットに基板を搬入する搬入ユニットと、前記電気検査ユニットから基板を搬出する搬出ユニットと、を包含することができる。

一例によれば、前記電気検査ユニットは複数個が相互間に積層されるように配置され、前記搬入ユニットは、搬入コンベヤーと、前記搬入コンベヤーを支持する搬入載置台と、前記複数の電気検査ユニットの中で選択された電気検査ユニットに対応する高さに前記搬入載置台を乗下降させる搬入乗降部材と、を含み、前記搬出ユニットには、搬出コンベヤーと、前記搬出コンベヤーを支持する搬出載置台と、前記複数の電気検査ユニットの中で選択された電気検査ユニットに対応する高さに前記搬出載置台を乗下降させる搬出乗降部材と、を包含させ得る。

一例によれば、前記ローダーモジュールは、不良であると判定された基板を保管する保管マガジンを有する保管マガジンユニットをさらに含み、前記搬入ユニットは前記搬入載置台に設置され、前記保管マガジンへ基板を搬送するグリッパ部材をさらに包含できる。

一例によれば、前記基板製造装置は第１装置と、第２装置と、をさらに含み、前記第１装置、前記検査装置、及び前記第２装置は順次的にインラインに配置され得る。

一例によれば、前記第１装置は基板上に素子（ｄｅｖｉｃｅ）を装着するマウントモジュールと、前記素子が装着された基板に対してリフロ工程を遂行するリフロモジュールと、を含み、前記第２装置は前記基板で前記複数の単位基板を各々分離する切断モジュールを包含することができる。

一例によれば、前記基板は連配列印刷回路基板であり得る。

本発明の一実施形態によれば、基板製造方法は検査端子が形成された複数の単位基板を有する基板を供給コンベヤーにしたがって移動させる段階と、前記供給コンベヤーで前記基板を持ち上げて、前記検査端子が検査チャンバーのソケットへ挿入されるように前記基板を前記検査チャンバー内に位置させる段階と、前記検査チャンバーで前記基板に対して検査工程を遂行する段階と、前記検査チャンバーで検査が完了された基板を排出コンベヤーに下ろす段階と、を含む。

一例によれば、前記供給コンベヤーと前記排出コンベヤーは各々第１方向と平行に延長され、前記供給コンベヤーと前記排出コンベヤーは上部から見る時、前記第１方向に垂直である第２方向に互いに離隔されるように配置され得る。

一例によれば、前記基板は供給リフト部材によって前記供給コンベヤーから持ち上げられて搬送ロボットのロードアームに引き渡され、前記ロードアームによって前記検査チャンバー内へ搬送され、前記搬送ロボットのアンロードアームによって前記検査チャンバーから排出リフト部材に引き渡され、前記排出リフト部材によって前記排出コンベヤーに置かれることができる。

一例によれば、前記基板は搬送ロボットのロードアームによって前記検査チャンバーへ搬送され、前記ロードアームは、下部に後方及び下方が開放された挿入空間を有するピックアップヘッドを有し、前記基板の縁領域は前記挿入空間を定義するように前記挿入空間を囲む接触部材の底面に接触され、前記基板に装着された素子が前記挿入空間内に位置された状態で、前記ロードアームは前記基板を支持することができる。

一例によれば、前記基板は複数個提供され、前記基板は全て横辺の長さが同一であり、前記基板の中で一部は縦辺の長さが互いに異なり得る。

一例によれば、前記基板が前記検査チャンバー内へ搬送される前に前記検査チャンバーのドアを開放する段階をさらに含み、前記ドアは前記搬送ロボットに提供されたドアオープナによって開放され得る。

一例によれば、前記基板は複数の単位基板が形成された連配列印刷回路基板であり、前記連配列印刷回路基板の前方縁領域には検査端子が形成され、前記各々の前記単位基板は前記連配列印刷回路基板に形成された配線を通じて前記検査端子と電気的に連結され得る。

一例によれば、前記単位基板はソリッドステートドライブであり得る。

本発明の一実施形態によれば、電子部品を製造する方法は、複数の単位基板を含む基板を検査装置へ搬送する段階と、前記基板を検査チャンバーに搬入する段階と、前記検査チャンバーで前記基板上の前記単位基板に対して検査を遂行する段階と、前記検査が完了された後、前記検査チャンバーから基板を排出する段階と、を含む。

一例によれば、前記検査結果、良品であるか否かを前記単位基板に表示する段階をさらに包含できる。

一例によれば、前記基板を前記検査装置へ搬送する段階と、その以前に、前記基板に前記複数の単位基板を組み立てる段階と、をさらに含み、各々の前記単位基板は電子部品を有することができる。

一例によれば、前記検査を遂行した後に前記単位基板を互いに分離する段階をさらに包含できる。

一例によれば、前記複数の単位基板を組み立てる段階は各々の前記単位基板にコントローラを装着する段階を包含することができる。

一例によれば、前記複数の単位基板を組み立てる段階は各々の前記単位基板に不揮発性メモリを装着する段階を包含することができる。

一例によれば、前記複数の単位基板を組み立てる段階は各々の前記単位基板にソリッドステートドライブ（ＳＳＤ）を装着する段階を包含することができる。

本発明の一実施形態によれば、基板検査工程を効率的に遂行できる。

また、本発明の一実施形態によれば、基板検査工程を含む一連の工程を効率的に遂行できる。

本発明の効果はこれらに制限されず、言及されないその他の効果は以下の記載から通常の技術者に明確に理解され得る。

本発明の一実施形態による基板の一例を示す図面である。 図１の基板の他の例を示す図面である。 本発明の一実施形態による基板製造装置の概略的な構成を示す平面図である。 図３のローダーモジュールの一例を示す斜視図である。 図４の電気検査ユニットの一例を示す斜視図である。 図４の電気検査ユニット内で連配列印刷回路基板に対して電気検査が行われる過程を順次的に示す図面である。 図４の電気検査ユニット内で連配列印刷回路基板に対して電気検査が行われる過程を順次的に示す図面である。 図４の電気検査ユニット内で連配列印刷回路基板に対して電気検査が行われる過程を順次的に示す図面である。 図４の保管マガジンユニットの一例を示す図面である。 図４の搬入ユニットの一例を示す斜視図である。 図４の搬出ユニットの一例を示す斜視図である。 図３のローダーモジュールの他の例を示す。 図３のローダーモジュールのその他の例を示す。 図３のテストハンドラーモジュールの一例を示す斜視図である。 図１４のコンベヤーユニットの一例を示す平面図である。 図１４のハンドラーユニットでハウジングと検査チャンバーが分離された状態を示す斜視図である。 図１４のハンドラーユニットの内部を示す斜視図である。 図１４のハンドラーユニットの側面図である。 図１４の検査チャンバーでドアが閉じた状態の斜視図である。 図１４の検査チャンバーでドアが開かれた状態の斜視図である。 図１８の‘Ａ’領域を拡大した図面である。 図１４でストッパー部材、供給リフト部材、及び排出リフト部材を示す図面である。 図１４の搬送ロボットの斜視図である。 図２３の搬送ロボットの側面図である。 図２３の搬送ロボットのホルダ部材の正面図である。 図２３の搬送ロボットのアンロードアームの底面図である。 各々ピックアップヘッドに縦辺の長さが互いに異なる連配列印刷回路基板が支持された状態を示す図面である。 各々ピックアップヘッドに縦辺の長さが互いに異なる連配列印刷回路基板が支持された状態を示す図面である。 図２３の搬送ロボットのドアオープナを示す図面である。 図２３のドアオープナによってドアが開放される過程を示す図面である。 図２３のドアオープナによってドアが開放される過程を示す図面である。 図２３のドアオープナによってドアが開放される過程を示す図面である。 図１４のテストハンドラーモジュールで供給コンベヤーから搬送ロボットで連配列印刷回路基板が引き渡される過程を順次的に示す図面である。 図１４のテストハンドラーモジュールで供給コンベヤーから搬送ロボットで連配列印刷回路基板が引き渡される過程を順次的に示す図面である。 図１４のテストハンドラーモジュールで供給コンベヤーから搬送ロボットで連配列印刷回路基板が引き渡される過程を順次的に示す図面である。 図１４のテストハンドラーモジュールで供給コンベヤーから搬送ロボットで連配列印刷回路基板が引き渡される過程を順次的に示す図面である。 図１４のテストハンドラーモジュールの他の例を示す図面である。 図１４のテストハンドラーモジュールのその他の例を示す図面である。 図１４のテストハンドラーモジュールのその他の例を示す図面である。 図１４のテストハンドラーモジュールのその他の例を示す図面である。 図３のアンローダーモジュールの一例を示す図面である。 図３のアンローダーモジュールの他の例を示す図面である。 基板製造装置の他の例を示す図面である。 図４３のローダーモジュールの一例を示す図面である。 図４３のアンローダーモジュールの一例を示す図面である。 基板製造装置のその他の例を示す図面である。 図４６のローダーモジュールの一例を示す図面である。 図４６のアンローダーモジュールの一例を示す図面である。

以下、本発明による実施形態を、添付された図面を参照してさらに詳細に説明する。本発明の実施形態は様々な形態に変形され得、本発明の範囲が以下の実施形態に限定されることとして解釈されてはならない。本実施形態は、当業界で平均的な知識を有する者に本発明をさらに完全に説明するために提供されるものである。したがって、図面での要素の形状は、より明確な説明を強調するために誇張されている。

図１は本発明の一実施形態による基板の一例を示す。基板１１０は連配列印刷回路基板であり得る。連配列印刷回路基板１１０は大体長方形状を有することができる。連配列印刷回路基板１１０には複数の単位基板１１１が提供される。各々の単位基板１１１は長方形状に提供され得る。一例によれば、各々の単位基板１１１はソリッドステートドライブ（ｓｏｌｉｄ ｓｔａｔｅ ｄｒｉｖｅ）であり得る。各々の単位基板１１１には、コントローラとして使用される集積回路素子、バッファメモリとして使用される揮発性メモリ素子、及び大容量格納装置として使用される不揮発性メモリ素子等と共に、多様な種類の素子１１５が装着され得る。単位基板１１１は連配列印刷回路基板１１０の中央領域に提供される。一例によれば、単位基板１１１は４個提供され得る。一例によれば、単位基板１１１は２つずつ２列に提供され得る。

連配列印刷回路基板１１０は縁領域１１２を有する。縁領域１１２には、前方縁領域１１２ａ、２つの側方縁領域１１２ｂ、及び後方縁領域１１２ｃが提供され得る。前方縁領域１１２ａと後方縁領域１１２ｃは連配列印刷回路基板１１０の縦辺であり、２つの側方縁領域１１２ｂは連配列印刷回路基板１１０の横辺に該当する。連配列印刷回路基板１１０の前方縁領域１１２ａには検査端子１１３が提供される。検査端子１１３の両側には各々通孔１１６が形成される。また、連配列印刷回路基板１１０には各々の単位基板１１１に装着された素子１１５と検査端子１１３を電気的に連結する配線１１４が形成される。

連配列印刷回路基板に提供される単位基板の数及び配置は多様に変更できる。図２は多様な種類の連配列印刷回路基板を示す。

連配列印刷回路基板１２０は３つの単位基板１２１を有し、単位基板１２１は一列に提供され得る。選択的に連配列印刷回路基板１３０は８個の単位基板１３１を有し、単位基板１３１は４個ずつ２列に提供され得る。選択的に連配列印刷回路基板１４０は６つの単位基板１４１を有し、単位基板１４１は２つずつ３列に提供され得る。

１つの連配列印刷回路基板１１０、１２０、１３０、１４０に提供された単位基板１１１、１２１、１３１、１４１は全て同一の種類であり得る。選択的に１つの連配列印刷回路基板１５０に提供された単位基板１５１の中で、一部は互いに異なる種類であり得る。

一例によれば、連配列印刷回路基板の一部は横辺の長さ及び縦辺の長さが互いに同一に提供され得る。また、連配列印刷回路基板の一部は横辺の長さが互いに同一であり、縦辺の長さは異なるように提供され得る。例えば、図１及び図２で印刷回路基板１１０、１２０、１３０、１４０、１５０は横辺の長さが互いに全て同一に提供され得る（Ｌ１＝Ｌ２＝Ｌ３＝Ｌ４＝Ｌ５）。また、連配列印刷回路基板１１０、１２０、１４０は縦辺の長さが互いに同一に提供され、連配列印刷回路基板１３０、１５０は縦辺の長さが互いに同一に提供され、連配列印刷回路基板１１０と連配列印刷回路基板１３０は縦辺の長さが互いに異なるように提供され得る（ｄ１＝ｄ２＝ｄ４＜ｄ３＝ｄ５）。

下の実施形態では基板製造装置が連配列印刷回路基板１１０に対して工程を遂行することを例として説明する。しかし、基板製造装置は他の種類の連配列印刷回路基板１２０、１３０、１４０、１５０に対して工程を遂行できる。また、基板製造装置は、互いに異なる種類の連配列印刷回路基板１１０、１２０、１３０、１４０、１５０に対して同時に工程を遂行できる。

図３は本発明の一実施形態による基板製造装置の概略的な構成を示す平面図である。

図３を参照すれば、基板製造装置１０は第１装置（ｆｉｒｓｔ ａｐｐａｒａｔｕｓ）２００、検査装置（ｔｅｓｔ ａｐｐａｒａｔｕｓ）４００、及び第２装置（ｓｅｃｏｎｄ ａｐｐａｒａｔｕｓ）６００を有する。第１装置２００、検査装置４００、及び第２装置６００は順次的に一列に配置される。第１装置２００、検査装置４００、及び第２装置６００はインライン（ｉｎ−ｌｉｎｅ）に連結され、基板１１０は第１装置２００、検査装置４００、及び第２装置６００に連続的に供給される。

以下、第１装置２００、検査装置４００、及び第２装置６００が配置された方向を第１方向１２と称し、上部から見る時、第１方向１２と垂直になる方向を第２方向１４と称し、第１方向１２及び第２方向１４と各々垂直になる方向を第３方向１６と称する。

第１装置２００は連配列印刷回路基板１１０に対して第１工程（ｆｉｒｓｔ ｐｒｏｃｅｓｓ）を遂行する。検査装置４００は連配列印刷回路基板１１０に対して検査工程（ｔｅｓｔ ｐｒｏｃｅｓｓ）を遂行する。第２装置６００は連配列印刷回路基板１１０に対して第２工程（ｓｅｃｏｎｄ ｐｒｏｃｅｓｓ）を遂行する。第１工程、検査工程、及び第２工程は連配列印刷回路基板１１０に対して順次的に遂行される工程であり得る。第１工程は連配列印刷回路基板１１０で、各々の単位基板１１１に素子１１５を組み立てる組立工程を包含することができる。第２工程は連配列印刷回路基板１１０で複数の単位基板１１０を個別化する切断工程を包含することができる。

一例によれば、第１装置２００はマウントモジュール２２０、リフロモジュール２４０、及びアンローダーモジュール２６０を包含することができる。マウントモジュール２２０、リフロモジュール２４０、及びアンローダーモジュール２６０は第１方向１２に沿って順次的に配置され得る。アンローダーモジュール２６０は検査装置４００に隣接するように配置される。マウントモジュール２２０は連配列印刷回路基板１１０の各々の単位基板１１１に素子１１５を装着する。リフロモジュール２４０は加熱によって、各素子１１５のソルダボールを印刷回路基板１１０のパッドに接合させる。アンローダーモジュール２６０は組立工程が完了された連配列印刷回路基板１１０を検査装置４００に引き渡す。マウントモジュール２２０、リフロモジュール２４０、及びアンローダーモジュール２６０には各々コンベヤー部材２８０が提供され得る。コンベヤー部材２８０は連配列印刷回路基板１１０をマウントモジュール２２０、リフロモジュール２４０、及びアンローダーモジュール２６０へ順次的に搬送し、リフロ工程が完了された連配列印刷回路基板１１０を検査装置４００に引き渡す。

第２装置６００はローダーモジュール６１０、切断モジュール６２０、ラベリングモジュール６３０、及びケーシングモジュール６４０を包含することができる。ローダーモジュール６１０、切断モジュール６２０、ラベリングモジュール６３０、及びケーシングモジュール６４０は第１方向１２に沿って順次的に配置される。ローダーモジュール６１０は検査装置４００に隣接するように配置され得る。ローダーモジュール６１０は検査装置４００から連配列印刷回路基板１１０を引き受ける。切断モジュール６２０は連配列印刷回路基板１１０で各々の単位基板１１０を分離する切断工程を遂行する。ラベリングモジュール６３０は各々の単位基板１１０にラベル（ｌａｂｅｌ）を付着するラベリング工程を遂行する。ケーシングモジュール６４０は各々の単位基板１１０をケーシングするケーシング工程を遂行する。ローダーモジュール６１０、切断モジュール６２０、ラベリングモジュール６３０、及びケーシングモジュール６４０には各々コンベヤー部材６５０が提供される。コンベヤー部材６５０は検査装置４００から連配列印刷回路基板１１０を引き受け、連配列印刷回路基板１００又は単位基板１１０をローダーモジュール６１０、切断モジュール６２０、ラベリングモジュール６３０、及びケーシングモジュール６４０へ順次的に搬送する。

検査装置４００はローダーモジュール（ｌｏａｄｅｒ ｍｏｄｕｌｅ）１２００、テストハンドラーモジュール（ｔｅｓｔ ｈａｎｄｌｅｒ ｍｏｄｕｌｅ）１３００、及びアンローダーモジュール（ｕｎｌｏａｄｅｒ ｍｏｄｕｌｅ）１８００を有する。ローダーモジュール１２００、テストハンドラーモジュール１３００、及びアンローダーモジュール１８００は第１方向１２に沿って順次的に一列に提供され得る。ローダーモジュール１２００は第１装置２００に隣接するように位置され、アンローダーモジュール１８００は第２装置６００に隣接するように位置される。

図４はローダーモジュールの一例を示す斜視図である。

図４を参照すれば、ローダーモジュール１２００は入力コンベヤー（ｉｎｐｕｔ ｃｏｎｖｅｙｏｒ）１２１０、搬入ユニット（ｉｎｐｕｔ ｕｎｉｔ）１２２０、電気検査ユニット（ｅｌｅｃｔｒｉｃ ｔｅｓｔ ｕｎｉｔ）１２３０、搬出ユニット（ｏｕｔｐｕｔ ｕｎｉｔ）１２４０、及び保管マガジンユニット（ｂｕｆｆｅｒ ｍａｇａｚｉｎｅ ｕｎｉｔ）１２５０を有する。入力コンベヤー１２１０、搬入ユニット１２２０、電気検査ユニット１２３０、及び搬出ユニット１２４０は第１方向１２に沿って順次的に配置され得る。

入力コンベヤー１２１０は第１装置２００のコンベヤー部材２８０と整列されるように配置される。入力コンベヤー１２１０はコンベヤー部材２８０から直接連配列印刷回路基板１１０を引き受けるように提供される。入力コンベヤー１２１０は一対のベルト１２１２、一対のローラー１２１４、及び駆動器１２１６を有することができる。一対のベルト１２１２は第２方向１４に沿って互いに離隔されるように配置される。一対のローラー１２１４は第１方向１２に沿って互いに離隔されるように配置される。各々のベルト１２１２は一対のローラー１２１４を囲むように配置される。駆動器１２１６は一対のローラー１２１４の中でいずれか１つのローラーに回転力を提供する。駆動器１２１６はモーターを包含することができる。

連配列印刷回路基板１１０の前方縁領域１１２ａが、後方縁領域１１２ｃより前に、第１装置２００から検査装置４００へ搬入され得る。また、連配列印刷回路基板１１０の側方縁領域１１２ｂがベルト１２１２に接触され得る。

電気検査ユニット１２３０は連配列印刷回路基板１１０に対して組立工程の不良があるか否かを検査する。電気検査ユニット１２３０は複数個が互いに積層なるように第３方向１６に沿って配置される。電気検査ユニット１２３０は互いに同一の構造で提供され得る。

図５は電気検査ユニットの一例を示す斜視図である。

図５を参照すれば、電気検査ユニット１２３０はハウジング１２３１、検査コンベヤー１２３２、ストッパー部材１２３４、及び検査器（ｔｅｓｔ ｉｎｓｔｒｕｍｅｎｔ）１２３７を有する。

ハウジング１２３１は大体直六面体形状を有する。ハウジング１２３１の前面及び後面には各々連配列印刷回路基板１１０が出入する開口１２３１ａが形成される。検査コンベヤー１２３２、ストッパー部材１２３４、及び検査器１２３７はハウジング１２３１内に配置される。

検査コンベヤー１２３２は入力コンベヤー１２１０と類似の構造で提供され得る。検査コンベヤー１２３２は連配列印刷回路基板１１０を第１方向１２に沿って搬送するように提供され得る。

ストッパー部材１２３４は検査コンベヤー１２３２によって搬送されている連配列印刷回路基板１１０を停止させる。ストッパー部材１２３４は遮断板（ｂｌｏｃｋｉｎｇ ｐｌａｔｅ）１２３５及び駆動器１２３６を有する。遮断板１２３５は大体薄い板形状を有する。遮断板１２３５で検査コンベヤー１２３２に向かう面には溝１２３５ａが形成される。例えば、遮断板１２３５は大体アルファベット大文字‘Ｌ’形状を有することができる。溝１２３５ａは側面１２３５ｂと底面１２３５ｃによって定義され得る。

連配列印刷回路基板１１０がストッパー部材１２３４によって停止された状態で、連配列印刷回路基板１１０の前方縁領域１１２ａは溝１２３５ａに位置される。溝１２３５ａを定義する側面１２３５ｂは連配列印刷回路基板１１０の前面（ｆｒｏｎｔ ｆａｃｅ）と接触され、溝１２３５ａを定義する底面１２３５ｃは連配列印刷回路基板１１０の底面を支持する。一例によれば、底面１２３５ｃは連配列印刷回路基板１１０で前方縁領域１１２ａを支持することができる。

駆動器１２３６はシリンダーを包含することができる。駆動器１２３６は遮断板１２３５を待機位置と遮断位置との間で移動させる。待機位置は検査コンベヤー１２３２によって搬送されている連配列印刷回路基板１１０と遮断板１２３５が干渉されない位置であり、遮断位置は遮断板１２３５が検査コンベヤー１２３２によって搬送されている連配列印刷回路基板１１０と接触する位置である。一例によれば、遮断位置は待機位置より上部位置であり得る。この場合、駆動器１２３６は遮断板１２３５を第３方向１６に沿って移動させ得る。

上述した例ではストッパー部材１２３４が検査コンベヤー１２３２の下流に位置されると説明した。しかし、これとは異なり、ストッパー部材１２３４は検査コンベヤー１２３２のベルト１２３２ａの間に位置され得る。また、上述した例では遮断板１２３５に溝１２３５ａが形成され、溝１２３５ａを定義する底面１２３５ｃが連配列印刷回路基板１１０の底面を支持すると説明した。しかし、これとは異なり、遮断板１２３５は平板（ｆｌａｔ ｐｌａｔｅ）で提供され得る。

検査器１２３７はコンタクター１２３８及び駆動器１２３９を有する。検査器１２３７は組立工程の不良があるか否かを検査することができる。例えば、検査器１２３７は素子１１５と連配列印刷回路基板１１０の電気的連結状態が良好であるか否かを検査することができる。コンタクター１２３８はストッパー部材１２３４の上部に位置される。コンタクター１２３８は連配列印刷回路基板１１０の検査端子１１３と接触する検査ピン（図６の１２３８ａ）を有する。検査ピン１２３８ａは遮断板１２３５の溝１２３５ａと上下方向に対向する位置に提供され得る。

駆動器１２３９はコンタクター１２３８を検査位置と待機位置との間で移動させる。駆動器１２３９はシリンダーを包含することができる。検査位置は検査ピン１２３８ａがストッパー部材１２３４によって、停止された連配列印刷回路基板１１０の検査端子１１３と接触する位置であり、待機位置はコンタクター１２３８が連配列印刷回路基板１１０の移動を干渉しない位置である。一例によれば、待機位置は接触位置より上部位置であり得る。この場合、駆動器１２３９はコンタクター１２３８を第３方向１６に沿って移動させ得る。

図６乃至図８は電気検査ユニット内で連配列印刷回路基板に対して電気検査が行われる過程を順次的に示す図面である。最初に、図６のようにストッパー部材１２３４が待機位置から遮断位置へ移動される。次に、図７のようにストッパー部材１２３４によって検査コンベヤー１２３２に沿って搬送されている連配列印刷回路基板１１０が停止される。連配列印刷回路基板１１０で検査端子１１３が提供された領域はストッパー部材１２３４によって支持される。以後、図８のようにコンタクター１２３８が検査位置に下降し、検査ピン１２３８ａが連配列印刷回路基板１１０の検査端子１１３に接触される。検査ピン１２３８ａを通じて電気信号が連配列印刷回路基板１１０へ印加され、検査が遂行される。検査が完了された後、良品であると判定された連配列印刷回路基板１１０は搬出ユニット１２４０へ移動され、不良品であると判定された連配列印刷回路基板１１０は搬入ユニット１２２０へ移動され得る。

保管マガジンユニット１２５０は電気検査ユニット１２３０で不良であると判定された連配列印刷回路基板１１０を保管する。保管マガジンユニット１２５０は入力コンベヤー１２１０の上部に位置され得る。

図９は保管マガジンユニットの一例を示す図面である。

図９を参照すれば、保管マガジンユニット１２５０はベース１２５１、支持ブロック１２５２、保管マガジン１２５３、及び駆動器１２５４を有する。

ベース１２５１は大体長方形の板形状を有する。ベース１２５１はその横方向が第２方向１４と平行に配置される。ベース１２５１の上面にはガイドレール１２５１ａが形成される。ガイドレール１２５１ａは保管マガジン１２５３の移動を案内する。ガイドレール１２５１ａはその横方向が第２方向１４と平行に提供される。支持ブロック１２５２はガイドレール１２５１ａに装着される。支持ブロック１２５２は駆動器１２５４によってガイドレール１２５１ａに沿って第２方向１４へ移動される。保管マガジン１２５３は支持ブロック１２５２上に置かれる。保管マガジン１２５３は作業者又はロボット（図示せず）によって支持ブロック１２５２に置かれ得る。一例によれば、保管マガジン１２５３は支持ブロック１２５２に脱着できるように提供され得る。

保管マガジン１２５３は大体直六面体の筒形状を有する。保管マガジン１２５３は内部に連配列印刷回路基板１１０が置かれる空間１２５３ａを有する。保管マガジン１２５３へ提供された空間１２５３ａで電気検査ユニット１２３０に向かう面は開放される。保管マガジン１２５３の両側面内側には連配列印刷回路基板１１０の側方縁領域１１２ｂが挿入されるスロット１２５３ｂが形成される。スロット１２５３ｂは第３方向１６に沿って複数個提供される。保管マガジン１２５３は複数個提供され得る。内部に積載が完了された保管マガジン１２５３は、作業者又はロボットによってベース１２５１から搬出され得る。

上述した例とは異なり、保管マガジンユニットにはベース及び駆動器が提供されないことがあり得る。この場合、保管マガジンユニットは支持ブロックと保管マガジンを有し、保管マガジンは支持ブロック上に置かれ得る。

搬入ユニット１２２０は連配列印刷回路基板１１０を入力コンベヤー１２１０から積層された電気検査ユニット１２３０の中で選択されたいずれか１つの電気検査ユニット１２３０の検査コンベヤー１２３２へ直接搬送する。また、搬入ユニット１２２０は電気検査ユニット１２３０で不良であると判定された連配列印刷回路基板１１０を保管マガジン１２５３へ搬送することができる。搬入ユニット１２２０は入力コンベヤー１２１０と電気検査ユニット１２３０との間に配置される。

図１０は搬入ユニットの一例を示す斜視図である。

図１０を参照すれば、搬入ユニット１２２０は搬入載置台１２２１、搬入乗降部材１２２４、搬入コンベヤー１２２５、及びグリッパ部材１２２６を有する。

搬入載置台１２２１は搬入コンベヤー１２２５とグリッパ部材１２２６を支持する。搬入載置台１２２１は下部プレート１２２２及び側プレート１２２３を有する。側プレート１２２３と下部プレート１２２２は各々長方形の板形状に提供され得る。側プレート１２２３は大体第１方向１２と第３方向１６によって定義される平面と平行に配置される。下部プレート１２２２は第１方向１２と第２方向１４によって定義される平面と平行に配置される。下部プレート１２２２は側プレート１２２３の下端から第２方向１４に向かう方向に突出されるように提供され得る。

下部プレート１２２２には搬入コンベヤー１２２５が設置される。上部から見る時、搬入コンベヤー１２２５は入力コンベヤー１２１０及び検査コンベヤー１２３２と一列に整列されるように配置される。搬入コンベヤー１２２５は入力コンベヤー１２１０から連配列印刷回路基板１１０を直接引き受け、これを電気検査ユニット１２３０の中で選択された電気検査ユニット１２３０の検査コンベヤー１２３２に直接引き渡す。搬入コンベヤー１２２５は大体入力コンベヤー１２１０と類似の構造で提供され得る。

側プレート１２２３にはグリッパ部材１２２６が設置される。グリッパ部材１２２６は電気検査ユニット１２３０で不良であると判定された連配列印刷回路基板１１０を保管マガジンへ搬送する。グリッパ部材１２２６は水平移動ブロック１２２７、垂直移動ブロック１２２８、グリッパ１２２９、水平駆動器１２２６ａ、及び垂直駆動器１２２６ｂを有する。側プレート１２２３にはレール１２２３ａが提供される。レール１２２３ａはその横方向が第１方向１２に沿って提供されるように配置される。レール１２２３ａの上には水平移動ブロック１２２７が装着され、水平移動ブロック１２２７はレール１２２３ａに沿って第１方向１２へ移動される。水平移動ブロック１２２７にはガイドレール１２２７ａが提供される。ガイドレール１２２７ａはその横方向が第３方向１６に沿って提供されるように配置される。ガイドレール１２２７ａの上には垂直移動ブロック１２２８が装着される。垂直駆動器１２２６ｂは垂直移動ブロック１２２８をガイドレール１２２７ａに沿って第３方向１６へ移動させる。グリッパ１２２９は搬入コンベヤー１２２５の上部に位置される。グリッパ１２２９は搬入コンベヤー１２２５上に置かれる連配列印刷回路基板１１０を掴むことができるように提供される。

搬入乗降部材１２２４はベース１２２４ａと駆動器１２２４ｂを有する。ベース１２２４ａはその横方向が第３方向１６に沿って提供されるように配置される。ベース１２２４ａは電気検査ユニット１２３０に対応する長さに提供され得る。ベース１２２４ａの一側面にはガイドレール１２２４ｃが提供される。搬入載置台１２２１はガイドレール１２２４ｃ上に設置される。搬入載置台１２２１は駆動器１２２４ｂによってガイドレール１２２４ｃに沿って第３方向１６へ移動される。駆動器１２２４ｃはモーターを包含することができる。

搬出ユニット１２４０は連配列印刷回路基板１１０を検査コンベヤー１２３２からテストハンドラーモジュール１３００へ搬送する。搬出ユニット１２４０は検査器１２３７とテストハンドラーモジュール１３００との間に配置される。

図１１は搬出ユニットの一例を示す斜視図である。

図１１を参照すれば、搬出ユニット１２４０は搬出載置台１２４２、搬出コンベヤー１２４４、及び搬出乗降部材１２４６を有する。

搬出コンベヤー１２４４及び搬出乗降部材１２４６は大体搬入コンベヤー１２２５及び搬入乗降部材１２２４と類似の構造で提供され得る。搬出載置台１２４２は搬出コンベヤー１２４４を支持する。搬出載置台１２４２は大体長方形の板形状を有する。搬出載置台１２４２は第１方向１２と第２方向１４によって定義される平面と平行に配置され得る。

搬出載置台１２４２には搬出コンベヤー１２４４が設置される。上部から見る時、搬出コンベヤー１２４４は検査コンベヤー１２３２と一列に整列されるように配置される。搬出コンベヤー１２４４は検査コンベヤー１２３２から連配列印刷回路基板１１０を直接引き受け、これをテストハンドラーモジュール１３００に直接引き渡すことができる。搬出コンベヤー１２４４は大体入力コンベヤー１２１０と類似の構造で提供され得る。

ローダーモジュール１２００にはリーダー１２６０が提供され得る。一例によれば、リーダー１２６０は搬入ユニット１２２０より上流に位置され得る。リーダー１２６０は第１装置２００でローダーモジュール１２００へ搬送された連配列印刷回路基板１１０に対する情報データを読み出し、これを制御器８００へ伝送することができる。

図１２はローダーモジュールの他の例を示す。

図１２を参照すれば、ローダーモジュール２２２０は入力コンベヤー２２１０、搬入ユニット２２２０、電気検査ユニット２２３０、搬出ユニット２２４０、及び保管マガジンユニット２２５０を有する。入力コンベヤー２２１０、搬入ユニット２２２０、電気検査ユニット２２３０、及び保管マガジンユニット２２５０は各々図４の入力コンベヤー１２１０、搬入ユニット１２２０、電気検査ユニット１２３０、及び保管マガジンユニット１２５０と大体類似の構造を有することができる。但し、ローダーモジュール２２２０は１つの電気検査ユニット２２３０を有する。搬出ユニット２２４０は搬出コンベヤー２２４４を有し、図４の搬出載置台１２４２と搬出乗降部材１２４６は搬出ユニットに提供されない。

図１３はローダーモジュールのその他の例を示す。

図１３を参照すれば、ローダーモジュール３２２０は入力コンベヤー３２１０、搬入ユニット３２２０、電気検査ユニット３２３０、搬出ユニット３２４０、及び保管マガジンユニット３２５０を有する。入力コンベヤー３２１０、電気検査ユニット３２３０、及び保管マガジンユニット３２５０は各々図４の入力コンベヤー１２１０、電気検査ユニット１２３０、及び保管マガジンユニット１２５０と大体類似の構造を有することができる。保管マガジンユニット３２５０は搬出ユニット３２４０の下流に提供され得る。この場合、搬入ユニット３２２０は図４の搬出ユニット１２４０と大体類似の構造を有し、搬出ユニット３２４０は図４の搬入ユニット１２２０と大体類似の構造を有することができる。

図１４はテストハンドラーモジュールの一例を示す斜視図であり、図１５は図１４のコンベヤーユニットの一例を示す平面図である。

図１４及び図１５を参照すれば、テストハンドラーモジュール１３００はコンベヤーユニット１４００、搬送ユニット１５００、及びハンドラーユニット１６００を有する。コンベヤーユニット１４００は供給コンベヤー１４２０と排出コンベヤー１４３０を有する。

供給コンベヤー１４２０は搬出コンベヤー１２４４から連配列印刷回路基板１１０を直接引き受ける。供給コンベヤー１４２０はハンドラーユニット１６００で検査が行われる前の連配列印刷回路基板１１０を搬送する。排出コンベヤー１４３０はハンドラーユニット１６００で検査が完了された連配列印刷回路基板１１０を搬送する。排出コンベヤー１４３０は連配列印刷回路基板１１０をアンローダーモジュール１８００のアンロードコンベヤー１８２２に直接引き渡す。供給コンベヤー１４２０はその横方向が第１方向１２に沿って提供されるように配置される。上部から見る時、供給コンベヤー１４２０は搬出コンベヤー１２４４と整列されるように位置される。供給コンベヤー１４２０は搬出コンベヤー１２４４に隣接する位置まで延長されるように提供される。排出コンベヤー１４３０は供給コンベヤー１４２０と第２方向１４へ離隔されるように配置される。排出コンベヤー１４３０はその横方向が第１方向１２に沿って提供されるように配置される。排出コンベヤー１４３０はアンローダーモジュール１８００の出力コンベヤー１８４０に隣接する位置まで延長されるように提供される。供給コンベヤー１４２０は排出コンベヤー１４３０よりローダーモジュール１２００にさらに隣接するように提供され、排出コンベヤー１４３０は供給コンベヤー１４２０よりアンローダーモジュール１８００にさらに隣接するように提供される。

供給コンベヤー１４２０は大体入力コンベヤー１２１０と類似の構造で提供され得る。また、供給コンベヤー１４２０は屈曲部１４２２を有する。屈曲部１４２２は後述する供給リフト部材１５２０によって供給コンベヤー１４２０から連配列印刷回路基板１１０が持ち上げられるようになっている。屈曲部１４２２は供給リフト部材１５２０と対向する領域に提供される。屈曲部１４２２は供給コンベヤー１４２０の他の領域に比べて下に凹んでいるように形成される。屈曲部１４２２は互いに隣接するように位置された一対の溝部１４２２ａを有する。一対の溝部１４２２ａは駆動ローラー１４２４より下にアイドルローラー１４２６を提供することによって、供給コンベヤー１４２０の移動経路を変更して形成できる。排出コンベヤー１４３０は供給コンベヤー１４２０と同一の構造で提供され得る。

ハンドラーユニット１６００は連配列印刷回路基板１１０の作動状態を検査する。例えば、ハンドラーユニット１６００は信号を連配列印刷回路基板１１０に提供された各々の単位基板１１０へ印加し、これらから出力された信号から単位基板１１０の作動状態が良好であるか否かを検査する。

図１６乃至図１８はハンドラーユニットの一例を示す図面である。図１６はハンドラーユニットでハウジングと検査チャンバーが分離された状態を示す斜視図である。図１７はハンドラーユニットの内部を示す斜視図である。図１８はハンドラーユニットの側面図である。図１６及び図１８には１つのハンドラーユニットが図示され、図１７には第２方向に沿って配列された２つのハンドラーユニットが図示された。

図１６乃至図１８を参照すれば、ハンドラーユニット１６００はハウジング１６１０、検査チャンバー１６２０、テスター器１６７０、及び温度調節チャンバー１６８０を有する。

ハウジング１６１０は大体直六面体の筒形状を有する。ハウジング１６１０は検査チャンバー１６２０が位置される内部空間１６１１を有する。検査チャンバー１６２０は内部空間１６１１の中央に位置され得る。内部空間１６１１は前面（ｆｒｏｎｔ ｆａｃｅ）に開口１６１２を有する。検査チャンバー１６２０は開口１６１２を通じて内部空間１６１１へ挿入される。検査チャンバー１６２０がハウジング１６１０へ挿入されれば、開口１６１２は検査チャンバー１６２０によって遮断される。また、検査チャンバー１６２０がハウジング１６１０に結合されれば、検査チャンバー１６２０とハウジング１６１０の側壁との間には検査チャンバー１６２０を囲む循環空間１６１３が形成される。

ハウジング１６１０の下には温度調節チャンバー１６８０が配置される。温度調節チャンバー１６８０はハウジング１６１０の内部空間１６１１へ供給される気体の温度を調節する。したがって、検査チャンバー１６２０の内部は検査に適合する温度を維持する。温度調節チャンバー１６８０は外部から密閉された内部空間１６８１を有する。温度調節チャンバー１６８０は大体直六面体の形状を有する。温度調節チャンバー１６８０の一側下端には供給コンベヤー１４２０又は排出コンベヤー１４３０が通る通路１６８２が提供され得る。選択的に温度調節チャンバー１６８０は供給コンベヤー１４２０及び排出コンベヤー１４３０の上部にこれらから離隔されるように位置され得る。

温度調節チャンバー１６８０内には配管１６８３が設置される。配管１６８３の一端はハウジング１６１０の底面に提供された排出口１６１６に結合され、配管１６８３の他端はハウジング１６１０の底面に提供された供給口１６１５に結合される。排出口１６１６と供給口１６１５はハウジング１６１０の内部空間１６１１の中で、検査チャンバー１６２０を基準に互いに反対側に提供される。排出口１６１６と供給口１６１５は各々上述した循環空間１６１３と連結されるように提供される。配管１６８３には送風機１６８４が装着される。送風機１６８４は排出口１６１６を通じてハウジング１６１０の内部空間１６１１内の気体を配管１６８３内へ吸入し、吸入された気体を、供給口１６１５を通じてハウジング１６１０の内部空間１６１１へ再び排出する。送風機１６８４はモーター等のような駆動器１６８８によって動作されることができる。また、配管１６８３には温度調節部材１６８５が設置される。一例によれば、温度調節部材１６８５は加熱器１６８６を含む。加熱器１６８６は配管１６８３を流れる気体を検査工程に適合する温度に加熱する。また温度調節部材１６８５は冷却器１６８７を含み、冷却器１６８７は配管１６８３に設置され得る。

検査チャンバー１６２０は複数個提供される。一例によれば、検査チャンバー１６２０は第２方向１４及び第３方向１６によって定義された平面にＭｘＮ配列（Ｍ、Ｎは自然数）に提供され得る。例えば、検査チャンバー１６２０は４８個提供され、検査チャンバー１６２０は第２方向１４及び第３方向１６によって定義された平面に３ｘ１６の配列に配置され得る。検査チャンバー１６２０は全て同一の構造で提供され得る。

図１９と図２０は図１６の検査チャンバーの一例を示す図面である。図１９は検査チャンバーでドアが閉じた状態の斜視図である。図２０は検査チャンバーでドアが開かれた状態の斜視図である。

図１９と図２０を参照すれば、検査チャンバー１６２０は大体直六面体の筒形状を有する。検査チャンバー１６２０は本体１６３０、支持台１６４０、ドア１６５０、及びソケット１６６０を有する。本体１６３０は前面（ｆｒｏｎｔ ｆａｃｅ）が開放された検査空間１６３１を有する。本体１６３０で検査空間１６３１を定義する下面１６３３にはガイドレール１６３４が提供される。ガイドレール１６３４はその横方向が第１方向１２と平行に提供される。ガイドレール１６３４は２個提供され、ガイドレール１６３４は第２方向１４へ互いに離隔され得る。ガイドレール１６３４は支持台１６４０の移動を案内する。

本体１６３０の両側壁には各々通気口１６３６が形成される。通気口１６３６は大体、本体１６３０の検査空間１６３１に対応する大きさで提供され得る。通気口１６３６はハウジング１６１０の循環空間１６１３内の温度調節された気体が本体１６３０内の検査空間１６３１へ流入されるようにする。通気口１６３６には格子形状に配列された網（ｍｅｓｈ）１６３７が提供され得る。

ドア１６５０は本体１６３０の開放された前面を開閉する。ドア１６５０はスライド方式に移動され得る。ドア１６５０の外面１６５２にはドアノブ１６５４が提供される。ドアノブ１６５４はドアオープナ１５８０がドア１６５０を開く時や、閉じる時に使用され得る。ドアノブ１６５４には第２方向と平行な方向に貫通ホール１６５４ａが形成される。

支持台１６４０は検査工程進行の時、検査空間１６３１内で基板１１０を支持する。支持台１６４０は大体長方形の平らな板形状を有する。支持台１６４０はドア１６５０に固定結合されてドア１６５０と共に移動され得る。一例によれば、支持台１６４０はドア１６５０の下端に結合される。支持台１６４０は本体１６３０のガイドレール１６３４に結合されて、これにしたがって移動されるように設置され得る。

支持台１６４０の後面１６４４には支持台整列ピン１６４６が提供される。支持台整列ピン１６４６は検査工程遂行の時、支持台１６４０がソケット１６６０と整列されるように案内する。支持台整列ピン１６４６は第１方向１２に向かって突出されるように提供され得る。支持台整列ピン１６４６はソケット１６６０の整列溝１６６４に対応する数で提供され得る。

支持台１６４０の上面１６４１の中の前方領域には基板整列ピン１６４７が提供される。基板整列ピン１６４７は支持台１６４０から上部に向かって突出されるように提供される。基板整列ピン１６４７は連配列印刷回路基板１１０に形成された通孔１１６へ挿入できるように提供される。基板整列ピン１６４７は連配列印刷回路基板１１０へ提供された通孔１１６と同一の数で提供され得る。

支持台１６４０の上面の中で側方領域には各々グルーブ１６４８が形成される。グルーブ１６４８は側方領域でこれと隣接する側面１６４５まで延長される。グルーブ１６４８は搬送ロボット１５４０が連配列印刷回路基板１１０を支持台１６４０へローディング又はアンローディングする時、後述する搬送ロボット１５４０のクランプ１５６９が移動する通路として機能する。グルーブ１６４８はクランプ１５６９と同一の数で提供され、クランプ１５６９に対応する位置に提供される。選択的に支持台１６４０にはグルーブ１６４８が提供されず、基板整列ピン１６４７が連配列印刷回路基板１１０へ挿入された状態で、搬送ロボット１５４０は連配列印刷回路基板１１０を支持台１６４０に置くことがある。

本体１６３０の検査空間１６３１内にはソケット１６６０が装着される。図２１は図１８の‘Ａ’領域を拡大した図面である。

図２１を参照すれば、ソケット１６６０はパッド１６６６を有する。パッド１６６６は導電性材質で提供される。検査工程遂行の時、連配列印刷回路基板１１０の検査端子１１３はパッド１６６６に接触する。

一例によれば、ソケット１６６０には検査溝１６６２と整列溝１６６４が形成される。検査溝１６６２はその横方向が第２方向１４に沿って提供される。検査溝１６６２の長さは連配列印刷回路基板１１０の横辺に対応する長さを有することができる。パッド１６６６は検査溝１６６２の横方向に沿って複数個提供される。一例によれば、パッド１６６６は検査溝１６６２を定義する面の中の上面に提供され得る。整列溝１６６４は検査溝１６６２の下に提供される。整列溝１６６４は検査工程遂行の時、後述する支持台の整列ピンが挿入される。一例によれば、整列溝１６６４は２個提供され、整列溝１６６４は第２方向１４に沿って互いに離隔されるように提供され得る。

ソケット１６６０にはテスター器（図１８の１６７０）が接続される。テスター器１６７０はソケット１６６０のパッド１６６６を通じて連配列印刷回路基板１１０に検査のための信号を印加し、パッド１６６６を通じて連配列印刷回路基板１１０から出力された信号を受信する。テスター器１６７０は出力信号から連配列印刷回路基板１１０が不良であるか否かを検査する。テスター器１６７０は制御器８００と電気的に連結され、テスター器１６７０の検査結果は制御器８００へ伝送することができる。また、テスター器１６７０は制御器８００から検査対象である連配列印刷回路基板１１０に対応するファームウェア又は検査プログラムをダウンロードすることができる。また、テスター器１６７０はダウンロードされたファームウェアを利用して、単位基板１１０に提供された素子１１５の中のコントローラを駆動させることができる。

搬送ユニット１５００はストッパー部材１５１０、供給リフト部材１５２０、排出リフト部材１５３０、及び搬送ロボット１５４０を有する。図２２はストッパー部材、供給リフト部材、及び排出リフト部材を示す図面である。

図２２を参照すれば、ストッパー部材１５１０は供給コンベヤー１４２０によって搬送されている連配列印刷回路基板１１０を停止させる。ストッパー部材１５１０は供給コンベヤー１４２０の上部に位置され得る。ストッパー部材１５１０は供給コンベヤー１４２０の屈曲部１４２２とハンドラーユニット１６００との間に位置され得る。ストッパー部材１５１０によって停止された状態で、連配列印刷回路基板１１０は屈曲部１４２２上に位置される。

ストッパー部材１５１０は遮断板（ｂｌｏｃｋｉｎｇ ｐｌａｔｅ）１５１２と駆動器１５１４を有する。遮断板１５１２は大体ロッド形状を有する。遮断板１５１２はその横方向が第２方向１４と平行になるように配置され得る。駆動器１５１４は遮断板１５１２を待機位置と遮断位置との間で移動させる。待機位置は、遮断板１５１２が供給コンベヤー１４２０によって搬送されている連配列印刷回路基板１１０と干渉しない位置であり、遮断位置は、遮断板１５１２が供給コンベヤー１４２０によって搬送されている連配列印刷回路基板１１０に接触する位置である。一例によれば、待機位置は遮断位置より上部であり、遮断位置は供給コンベヤー１４２０から上部に離隔された位置であり得る。駆動器１５１４はシリンダーを包含することができる。駆動器１５１４は遮断板１５１２を第３方向１６に沿って移動させ得る。

供給リフト部材１５２０と排出リフト部材１５３０は第２方向１４へ互いに離隔されるように配置される。供給コンベヤー１４２０と排出コンベヤー１４３０は供給リフト部材１５２０と排出リフト部材１５３０の間を通るように提供される。供給リフト部材１５２０は供給コンベヤー１４２０に隣接するように位置される。供給リフト部材１５２０は連配列印刷回路基板１１０を供給コンベヤー１４２０から持ち上げて搬送ロボット１５４０に引き渡す。排出リフト部材１５３０は排出コンベヤー１４３０に隣接するように配置される。排出リフト部材１５３０は搬送ロボット１５４０から連配列印刷回路基板１１０を引き受け、これを排出コンベヤー１４３０に下ろす。

供給リフト部材１５２０と排出リフト部材１５３０は互いに同一の構造を有することができる。供給リフト部材１５２０はベース１５２１、支持台１５２２、水平駆動器１５２５、乗降軸１５２６、及び垂直駆動器１５２７を有する。ベース１５２１は大体直六面体形状を有することができる。ベース１５２１の両側面の各々にはガイド溝１５２１ａが形成される。ガイド溝１５２１ａはその横方向が第２方向１４と平行に提供される。ガイド溝１５２１ａには支持台１５２２が結合されることができる。

支持台１５２２はガイド溝１５２１ａに沿って移動できるように提供される。支持台１５２２はハンド１５２３と結合ロード１５２４を有する。ハンド１５２３は連配列印刷回路基板１１０を支持する。結合ロード１５２４はハンド１５２３から延長され、ガイド溝１５２１ａに結合される。ハンド１５２３は２つの支持ロード１５２３ａを有する。支持ロード１５２３ａは互いに平行に提供され、第１方向１２に沿って互いに離隔されるように配置される。ハンド１５２３は大体フォーク形状で提供され得る。

上述したように供給リフト部材１５２０は屈曲部１４２２に対向する位置に提供され、屈曲部１４２２は２つの溝部１４２２ａを有する。ハンド１５２３が第２方向１４へ移動される時、各々の溝部１４２２ａには１つの支持ロード１５２３ａが挿入される。水平駆動器１５２５はハンド１５２３を第２方向１４に沿って移動させるように駆動力を提供する。水平駆動器１５２５はモーターを包含することができる。乗降軸１５２６はベース１５２１の底面に結合される。乗降軸１５２６はその横方向が第３方向１６と平行に提供される。垂直駆動器１５２７は乗降軸１５２６を第３方向１６に沿って移動させる。垂直駆動器１５２７はシリンダーを包含することができる。

搬送ロボット１５４０は供給リフト部材１５２０から連配列印刷回路基板１１０を引き受け、これを検査チャンバー１６２０の中の１つへ搬送する。また、搬送ロボット１５４０は検査チャンバー１６２０から基板１１０を引き受け、これを排出リフト部材１５３０に引き渡す。

図２３は搬送ロボットの斜視図であり、図２４は搬送ロボットの側面図である。そして、図２５はホルダ部材の正面図であり、図２６はアンロードアームの底面図である。

図２３乃至図２６を参照すれば、搬送ロボット１５４０は垂直ベース１５４１、垂直支持台１５４２、垂直駆動器１５４３、水平ベース１５４４、水平支持台１５４５、水平駆動器１５４６、ホルダ部材１５５０、及びドアオープナ１５８０を有する。

垂直ベース１５４１は供給コンベヤー１４２０から第２方向１４へ離隔されるように配置される。垂直ベース１５４１はその横方向が第３方向１６と平行に提供される。垂直ベース１５４１の一側面にはレール１５４１ａが形成される。レール１５４１ａはその横方向が第３方向１６と平行に提供される。垂直支持台１５４２はレール１５４１ａに沿って移動できるようにレール１５４１ａに結合される。垂直駆動器１５４３は垂直支持台１５４２をレール１５４１ａに沿って第３方向１６へ移動させる。垂直駆動器１５４３はモーターを包含することができる。

水平ベース１５４４は垂直支持台１５４２上に固定結合される。水平ベース１５４４はその横方向が第２方向１４と平行に提供される。水平ベース１５４４の上面にはレール１５４４ａが形成される。レール１５４４ａはその横方向が第２方向１４と平行に提供される。水平支持台１５４５はレール１５４４ａに沿って移動できるようにレール１５４４ａに結合される。水平支持台１５４５はその横方向が第１方向１２と平行に提供され、ハンドラーユニット１６００に向かう方向に水平ベース１５４４から突出されるように提供される。水平駆動器１５４６は水平支持台１５４５をレール１５４４ａに沿って第２方向１４へ移動させる。

ホルダ部材１５５０は水平支持台１５４５に固定結合される。ホルダ部材１５５０はロードアーム１５５２、アンロードアーム１５５４、及び固定板１５５６を有する。固定板１５５６は水平支持台１５４５に固定結合される。固定板１５５６はロードアーム１５５２とアンロードアーム１５５４を支持する。ロードアーム１５５２とアンロードアーム１５５４は固定板１５５６を基準に互いに反対側に位置される。ロードアーム１５５２とアンロードアーム１５５４は第２方向１４に沿って互いに離隔されるように配置される。ロードアーム１５５２は供給リフト部材１５２０から連配列印刷回路基板１１０を引き受け、これを検査チャンバー１６２０の中で選択された検査チャンバー１６２０へ供給する。アンロードアーム１５５４は検査チャンバー１６２０から連配列印刷回路基板１１０を取り出して排出リフト部材１５３０に引き渡す。

ロードアーム１５５２とアンロードアーム１５５４は大体同一の構造を有する。アンロードアーム１５５２はピックアップヘッド１５６１、ヘッド支持台１５６５、支持台駆動器１５６６、固定ピン１５６７、弾性部材１５６８、クランプ１５６９、及びクランプ駆動器１５７０を有する。ヘッド支持台１５６５は大体長方形の板形状を有する。ヘッド支持台１５６５は固定板１５５６から離隔されるように固定板１５５６の下に配置される。支持台駆動器１５６６は固定板１５５６にヘッド支持台１５６５を結合させ、固定板１５５６に対してヘッド支持台１５６５を第３方向１６へ相対移動させる。一例によれば、支持台駆動器１５６６はシリンダーを包含することができる。

ピックアップヘッド１５６１は連配列印刷回路基板１１０を支持する。ピックアップヘッド１５６１はヘッド支持台１５６５の下にヘッド支持台１５６５から離隔されるように位置される。ピックアップヘッド１５６１は大体直六面体形状を有する。

ピックアップヘッド１５６１はプレート１５６２と接触部材１５６３を有する。プレート１５６２は大体長方形の板形状を有する。接触部材１５６３はプレート１５６２の底面から下方向に突出されるように提供される。接触部材１５６３は前面接触部１５６３ａと側面接触部１５６３ｂを有する。前面接触部１５６３ａはプレート１５６２の縁領域の中の前方縁領域１１２ａへ提供される。前面接触部１５６３ａは連配列印刷回路基板１１０の横辺と対応する長さを有することができる。側面接触部１５６３ｂはプレート１５６２の縁領域の中の側方縁領域１１２ｂに各々提供される。前面接触部１５６３ａと側面接触部１５６３ｂによってプレート１５６２の下には、下方及び後方が開放された挿入空間１５６１ａが提供される。

連配列印刷回路基板１１０が搬送ロボット１５４０によって搬送される時、連配列印刷回路基板１１０の前方縁領域１１２ａは前面接触部１５６３ａの底面に接触され、側方縁領域１１２ｂは側面接触部１５６３ｂの底面に接触される。連配列印刷回路基板１１０へ提供された素子１１５は挿入空間１５６１ａ内に位置される。プレート１５６２の下に形成された挿入空間１５６１ａにより、後方縁領域１１２ｃが開放されるので、ピックアップヘッド１５６１は縦辺の長さが異なる多様な種類の連配列印刷回路基板１１０を支持することができる。したがって、連配列印刷回路基板１１０の縦辺の長さにしたがって連配列印刷回路基板１１０の側方縁領域１１２ｂの全体が側面接触部１５６３ｂに接触されるか、或いは側方縁領域１１２ｂの中の一部が側面接触部１５６３ｂに接触され得る。図２７と図２８は各々ピックアップヘッド１５６１に縦辺の長さが互いに異なる連配列印刷回路基板１１０、１３０が支持された状態を示す。

ピックアップヘッド１５６１の終端にはガイド部材１５６４が提供され得る。ガイド部材１５６４は、連配列印刷回路基板１１０がピックアップヘッド１５６１に接触される時、連配列印刷回路基板１１０の前方縁領域１１２ａがピックアップヘッド１５６１の前面接触部１５６３ａと整列されるようにする。ガイド部材１５６４はプレート１５６２の前面から前面接触部１５６３ａより低い位置まで突出されるように提供される。ガイド部材１５６４で前面接触部１５６３ａに向かう面は下に行くほど、前面接触部１５６３ａから遠くなるように傾くように提供され得る。

ピックアップヘッド１５６１は固定ピン１５６７によってヘッド支持台１５６５に結合される。固定ピン１５６７はその横方向が第３方向１６と平行に提供される。固定ピン１５６７はピックアップヘッド１５６１に固定され、ヘッド支持台１５６５に形成されたホールを通じて挿入され得る。固定ピン１５６７の上端にはヘッド支持台１５６５から固定ピン１５６７が抜けないように閂部１５６７ａが提供される。また、ピックアップヘッド１５６１とヘッド支持台１５６５は弾性部材１５６８によって連結される。弾性部材１５６８はスプリングを包含することができる。弾性部材１５６８は固定ピン１５６７を囲むように提供される。上述した固定ピン１５６７はヘッド支持台１５６５の４つの角の各々に提供され得る。

クランプ１５６９は連配列印刷回路基板１１０をヘッド支持台１５６５に固定させる。クランプ１５６９はヘッド支持台１５６５の両側部に各々提供される。一例によれば、クランプ１５６９はヘッド支持台１５６５の側面接触部１５６３ｂの横方向に沿って、複数個が互いに離隔されるように配置される。クランプ１５６９は側板１５６９ａと下板１５６９ｂを有する。側板１５６９ａはその横方向が第３方向１６と平行に配置される。側板１５６９ａはヘッド支持台１５６５及びピックアップヘッド１５６１から第２方向１４へ離隔されるように配置される。下板１５６９ｂは側板１５６９ａと垂直に提供され、ヘッド１５６９ａの下端からヘッド支持台１５６５に向かう方向に突出される。下板１５６９ｂはピックアップヘッド１５６１より下に位置される。

クランプ駆動器１５７０はクランプ１５６９を第２方向１４に沿って移動させる。クランプ駆動器１５７０はクランプ１５６９を固定位置と待機位置との間で移動させる。待機位置は、連配列印刷回路基板１１０がピックアップヘッド１５６１に接触する前に連配列印刷回路基板１１０の移動を干渉しない位置である。例えば、待機位置でクランプ１５６９の下板は上部から見る時、ピックアップヘッド１５６１と重畳しない位置であり得る。固定位置は、連配列印刷回路基板１１０がピックアップヘッド１５６１に接触するように位置した状態で、クランプ１５６９の下板が連配列印刷回路基板１１０の縁を押している位置である。

クランプ駆動器１５７０は連結板１５７１とシリンダー１５７２を包含することができる。シリンダー１５７２はヘッド支持台１５６５の上面に固定設置され得る。同一の列へ提供されたクランプ１５６９は連結板１５７１に結合され、連結板１５７１はシリンダー１５７２によって第２方向１４に沿って駆動され得る。選択的にクランプの各々にシリンダーが各々連結され得る。

ドアオープナ１５８０は検査チャンバー１６２０のドア１６５０を開閉する。図２９はドアオープナを示す図面である。

図２９を参照すれば、ドアオープナ１５８０は移動ブロック１５８１、ブロック駆動器１５８２、掛けがね支持台１５８３、掛けがね１５８４、及び掛けがね駆動器１５８５を有する。ドアオープナ１５８０は搬送ロボット１５４０に装着され得る。一例によれば、ドアオープナ１５８０は搬送ロボット１５４０の垂直支持台１５４２に装着される。

移動ブロック１５８１は垂直支持台１５４２の底面に配置される。ブロック駆動器１５８２は移動ブロック１５８１を第１方向１２へ移動させる。一例によれば、ブロック駆動器１５８２は移動ブロック１５８１を待機位置と作動位置との間で移動させる。作動位置は掛けがね１５８４がドア１６５０のドアノブ１６５４に隣接するように位置されるように、移動ブロック１５８１がドア１６５０に向かって前進した位置であり、待機位置は掛けがね１５８４がハンドラーユニット１６００のハウジングから後退した位置である。

一例によれば、ブロック駆動器１５８２はスクリュー１５８２ａ及びこれを回転させるモーター１５８２ｂを有する。移動ブロック１５８１にはスクリュー１５８２ａが挿入されるネジ溝１５８１ａが形成され、移動ブロック１５８１はスクリュー１５８２ａの回転によって直線移動される。垂直支持台１５４２にはガイド１５８６が提供される。ガイド１５８６は移動ブロック１５８１が第１方向１２に沿って安定的に移動するように案内する。ガイド１５８６はその横方向がスクリュー１５８２ａと平行に配置される。ガイド１５８６はスクリュー１５８２ａと第２方向１４へ離隔されるように配置される。移動ブロック１５８１はガイド１５８６に沿って第１方向１２へ移動できるようにガイド１５８６上に設置される。

移動ブロック１５８１には掛けがね支持台１５８３が固定設置される。掛けがね支持台１５８３はロッド形状を有する。掛けがね支持台１５８３はその横方向が第１方向１２と平行に配置される。掛けがね支持台１５８３の終端には掛けがね駆動器１５８５が固定設置される。掛けがね駆動器１５８５は掛けがね１５８４を第２方向１４に沿って直線移動させる。掛けがね駆動器１５８５はシリンダーを包含することができる。掛けがね１５８４は上述したドア１６５０のドアノブ１６５４へ挿入できるように提供される。

図３０乃至図３２はドアオープナによってドアが開放される過程を示す図面である。

図３０乃至図３２を参照すれば、搬送ロボット１５４０が検査チャンバー１６２０へ連配列印刷回路基板１１０を搬送するか、又は検査チャンバー１６２０から連配列印刷回路基板１１０を取り出す時、ドア１６５０は搬送ロボット１５４０によって開放される。最初に、図３０のようにブロック駆動器１５８２によって移動ブロック１５８１が待機位置から動作位置へ第１方向１２に沿って移動する。以後、図３１のように掛けがね駆動器１５８５によって掛けがね１５８４が第２方向１４へ移動されて掛けがね１５８４がドアノブ１６５４へ嵌められる。以後、図３２のように、ブロック駆動器１５８２によって移動ブロック１５８１が動作位置から待機位置へ第１方向１２に沿って移動され、検査チャンバー１６２０のドア１６５０が開放される。以後、ピックアップヘッド１５６１は連配列印刷回路基板１１０を検査チャンバー１６２０へ挿入するか、或いは検査チャンバー１６２０から取り出す。

上述した例ではドアオープナ１５８０が搬送ロボット１５４０に設置されると説明した。しかし、これとは異なり、ドアオープナ１５８０は搬送ロボット１５４０とは独立的に提供され得る。

また、上述した例でドア１６５０は掛けがね１５８４とドアノブ１６５４によって開閉されると説明した。しかし、これとは異なり、ドア１６５０はこれと異なる多様な機械的なメカニズムによって開閉され得る。選択的にドア１６５０は電気的な信号によって自動に開閉され得る。

図３３乃至図３６は供給コンベヤーから搬送ロボットへ連配列印刷回路基板が引き渡される過程を順次的に示す図面である。

図３３のようにストッパー部材１５１０が待機位置から遮断位置へ移動される。供給コンベヤー１４２０で連配列印刷回路基板１１０がストッパー部材１５１０によって停止される。以後、図３４のように供給リフト部材１５２０のハンド１５２３が屈曲部１４２２へ挿入される。ハンド１５２３が乗降することにしたがって、連配列印刷回路基板１１０は供給コンベヤー１４２０から持ち上げられる。以後、図３５のようにロードアーム１５５２のクランプ１５６９が待機位置へ移動された状態で、連配列印刷回路基板１１０はピックアップヘッド１５６１に接触される。以後、図３６のようにクランプ１５６９が固定位置へ移動され、供給リフト部材１５２０は下降する。

アンロードアーム１５５４から連配列印刷回路基板１１０が排出コンベヤー１４３０に置かれる時には、図３６、図３４の順序で行われる。一例によれば、供給コンベヤー１４２０からロードアーム１５５２へ連配列印刷回路基板１１０が引き渡される間に、アンロードアーム１５５４から排出コンベヤー１４３０へ連配列印刷回路基板１１０が置かれ得る。

図３７はテストハンドラーモジュールの他の例を示す図面である。

図３７を参照すれば、テストハンドラーモジュール２３００はコンベヤーユニット２４００、搬送ユニット２５００、及び複数のハンドラーユニット２６００を有する。コンベヤーユニット２４００及び搬送ユニット２５００は図１４のコンベヤーユニット１４００及び搬送ユニット１５００と大体類似の構造及び配置を有することができる。また、各々のハンドラーユニット２６００は図１４のハンドラーユニット１６００と大体類似の構造を有することができる。ハンドラーユニット２６００は第１方向１２及び第２方向１４の各々に対して複数個提供される。例えば、図３６のように第１方向１２に沿って、２セットのハンドラーユニット２６００が配置され、各々のセットには２つのハンドラーユニット２６００が第２方向１４に沿って配置され得る。この場合各々のセットのハンドラーユニット２６００の前方には搬送ユニット２５００が各々設置される。

図３８はテストハンドラーモジュールのその他の例を示す図面である。

図３８を参照すれば、テストハンドラーモジュール３３００はコンベヤーユニット３４００、搬送ユニット３５００、及び複数のハンドラーユニット３６００を有することができる。コンベヤーユニット３４００及び搬送ユニット３５００は図１４のコンベヤーユニット１４００及び搬送ユニット１５００と大体類似の構造及び配置を有することができる。また、各々のハンドラーユニット３６００は図１４のハンドラーユニット１６００と大体類似の構造を有することができる。ハンドラーユニット３６００は複数個提供される。ハンドラーユニットは全て第１方向１２に沿って一列に配置される。各々のハンドラーユニット３６００の前方には搬送ユニット３５００が各々設置される。

図３９はテストハンドラーモジュールのその他の例を示す。

図３９を参照すれば、テストハンドラーモジュール４３００はコンベヤーユニット４４００、搬送ユニット４５００、及び複数のハンドラーユニット４６００を有する。搬送ユニット４５００及びハンドラーユニット４６００は図１４の搬送ユニット１５００及びハンドラーユニット１６００と大体類似の構造及び配置を有することができる。コンベヤーユニット４４００は供給コンベヤー４４２０と排出コンベヤー４４３０を有する。供給コンベヤー４４２０と排出コンベヤー４４３０は大体類似の構造を有する。排出コンベヤー４４２０は前方コンベヤー４４２２、媒介コンベヤー４４２４、及び後方コンベヤー４４２６を有する。前方コンベヤー４４２２、媒介コンベヤー４４２４、及び後方コンベヤー４４２６は互いに整列されるように配置される。前方コンベヤー４４２２と媒介コンベヤー４４２４との間に、そして媒介コンベヤー４４２４と後方コンベヤー４４２６との間には間隔４４２８が形成される。間隔４４２８は排出リフト部材４５３０が第３方向１６に沿って移動される移動通路として提供され得る。

図４０はテストハンドラーモジュールのその他の例を示す。

図４０を参照すれば、テストハンドラーモジュール５３００はコンベヤーユニット５４００、搬送ユニット５５００、及び複数のハンドラーユニット５６００を有する。ハンドラーユニット５６００は図１４のハンドラーユニット１６００と大体類似の構造を有することができる。搬送ユニット５５００はストッパー部材（図示せず）と搬送ロボット５５４０を有する。ストッパー部材（図示せず）は図１４のストッパー部材（図示せず）と類似の構造を有することができる。

コンベヤーユニット５４００は供給コンベヤー５４２０と排出コンベヤー５４３０を有する。供給コンベヤー５４２０と排出コンベヤー５４３０は図１４の供給コンベヤー１４２０及び排出コンベヤー１４３０と大体類似の構造及び配置を有することができる。但し、供給コンベヤー５４２０及び排出コンベヤー５４３０は図１４の屈曲部１４２２を包含しない。

搬送ロボット５５４０は連配列印刷回路基板１１０を真空によって支持する。搬送ロボット５５４０は垂直ベース５５４１、垂直支持台５５４２、垂直駆動器５５４３、水平ベース５５４４、水平支持台５５４５、水平駆動器５５４６、ホルダ部材５５５０、及びドアオープナ（図示せず）を有する。垂直ベース５５４１、垂直支持台５５４２、垂直駆動器５５４３、水平ベース５５４４、水平支持台５５４５、水平駆動器５５４５、及びドアオープナ（図示せず）は大体、図１４の垂直ベース１５４１、垂直支持台１５４２、垂直駆動器１５４３、水平ベース１５４４、水平支持台１５４５、水平駆動器１５４５、及びドアオープナ（図示せず）と類似の構造及び配置を有することができる。ホルダ部材５５５０はロードアーム５５５２とアンロードアーム５５５４を有する。ロードアーム５５５２はアンロードアーム５５５４と大体類似の構造で提供される。アンロードアーム５５５４はピックアップヘッド５５６１、ヘッド駆動器５５６２、及び真空パッド５５６３を有する。ピックアップヘッド５５６１とヘッド駆動器５５６２は大体、図１４のピックアップヘッド１５６１及び支持台駆動器１５６６と類似の構造を有することができる。ヘッド駆動器５５６２はピックアップヘッド１５６１に結合されてピックアップヘッド１５６１を第３方向１６へ移動させる。

真空パッド５５６５はピックアップヘッド５５６１の接触部材５５６３に固定設置される。ロードアーム５５５２は真空パッド５５６３へ真空を印加して供給コンベヤー５４２０から連配列印刷回路基板１１０を直接持ち上げる。アンロードアーム５５５４は真空パッド５５６３から真空を除去して排出コンベヤー５４３０に連配列印刷回路基板１１０を直接下ろす。

図４１はアンローダーモジュールの一例を示す図面である。

図４１を参照すれば、アンローダーモジュール１８００はマーキングユニット１８２０、出力コンベヤー１８４０を有する。マーキングユニット１８２０及び出力コンベヤー１８４０は第１方向１２に沿って配置される。

マーキングユニット１８２０はテストハンドラーモジュール１３００と出力コンベヤー１８４０との間に位置される。マーキングユニット１８２０はテストハンドラーモジュール１３００での検査結果にしたがって連配列印刷回路基板１１０に良品又は不良品に該当する検査マークを形成できる。マーキングユニット１８２０はアンロードコンベヤー１８２２及びマーキング部材１８２４を有する。

アンロードコンベヤー１８２２はテストハンドラーモジュール１３００の排出コンベヤー１４３０と整列されるように配置される。アンロードコンベヤー１８２２は排出コンベヤー１４３０から直接連配列印刷回路基板１１０を引き受ける。マーキング部材１８２４はアンロードコンベヤー１８２２の上部に配置され、連配列印刷回路基板１１０に検査マークを形成する。マーキング部材１８２４はマーカー１８２４ａと駆動器１８２４ｂを有する。マーカー１８２４ａは連配列印刷回路基板１１０上にマークを印刷する。駆動器１８２４ｂはマーカー１８２４ａを第３方向に沿って移動させる。駆動器１８２４ｂはシリンダーを包含することができる。

マーキングユニット１８２０とテストハンドラーモジュール１３００との間にはリーダー１８６０が配置され得る。リーダー１８６０はアンロードコンベヤー１８２４を通じて排出される連配列印刷回路基板１１０に対する情報データを獲得し、これを制御器８００へ伝送する。マーキング部材１８２４は制御器８００と電気的に連結され、制御器８００から該当連配列印刷回路基板１１０に対する良品であるか否かに対する情報が伝送される。

出力コンベヤー１８４０はアンロードコンベヤー１８２２と整列されるように配置される。出力コンベヤー１８４０はアンロードコンベヤー１８２２から連配列印刷回路基板１１０が伝送され、これを第２装置６００へ直接伝達する。

上述した例とは異なり、アンローダーモジュール１８００で、出力コンベヤー１８４０とアンロードコンベヤーは一体になった１つのコンベヤーとして提供され得る。

図４２はアンローダーモジュールの他の例を示す図面である。

図４２を参照すれば、アンローダーモジュール２８００はマーキングユニット２８２０、出力ユニット２８４０、及び保管マガジンユニット２８５０を有する。マーキングユニット２８２０と出力ユニット２８４０は第１方向に沿って順次的に提供される。マーキングユニット２８２０は大体、図４１のマーキングユニット１８２０と類似の構造を有することができる。出力ユニット２８４０は載置台２８４１、乗降部材２８４４、出力コンベヤー２８４６、及びグリッパ部材２８２６を有する。載置台２８４１、乗降部材２８４４、出力コンベヤー２８４６、及びグリッパ部材２８２６は図４の搬入載置台１２２１、搬入乗降部材１２２４、搬入コンベヤー１２２５、及びグリッパ部材１２２６と類似の構造及び配置を有することができる。

上部から見る時、出力コンベヤー２８４６はアンロードコンベヤー２８２４と整列されるように配置される。保管マガジンユニット２８５０は図４の保管マガジンユニット１２５０と類似の構造を有することができる。保管マガジンユニット２８５０は出力ユニット２８４０と隣接するように配置される。保管マガジンユニット２８５０はアンロードコンベヤー２８２４の上部に提供され得る。グリッパ部材２８２６はテストハンドラーモジュール１３００で不良であると判定された連配列印刷回路基板１１０を保管マガジン２８５３に積載する。

上述した例で、アンローダーモジュールにはマーキングユニットが提供されると説明した。しかし、これとは異なり、マーキングユニットはアンローダーモジュールに提供されないことがあり得る。選択的にマーキングユニットは第２装置６００に提供され得る。

図４３は基板製造装置の他の例を示す図面であり、図４４は図４３のローダーモジュールの一例を示す図面であり、図４５は図４３のアンローダーモジュールの一例を示す図面である。

図４３を参照すれば、基板製造装置７０は検査装置７４０１を有する。検査装置７４０１はローダーモジュール７２００、テストハンドラーモジュール７４００、及びアンローダーモジュール７８００を有する。テストハンドラーモジュール７４００は大体、図１４のテストハンドラーモジュール１３００と類似の構造を有することができる。

図４４を参照すれば、ローダーモジュール７２００は入力マガジンユニット７２１０、搬入ユニット７２２０、電気検査ユニット７２３０、搬出ユニット７２４０、及び保管マガジンユニット７２５０を有する。電気検査ユニット７２３０、搬出ユニット７２４０、及び保管マガジンユニット７２５０は大体、図４の電気検査ユニット１２３０、搬出ユニット１２４０、及び保管マガジンユニット１２５０と類似の構造及び配置を有することができる。

入力マガジンユニット７２１０は検査装置７４０１で検査を遂行しようとする連配列印刷回路基板１１０を保管する。入力マガジンユニット７２１０はベース７２５１、支持ブロック７２５２、入力マガジン７２５３、及び駆動器７２５４を有する。ベース７２５１、支持ブロック７２５２、入力マガジン７２５３、及び駆動器７２５４は大体、図９の保管マガジンユニット１２５０のベース１２５１、支持ブロック１２５２、保管マガジン１２５３、及び駆動器１２５４と類似の構造を有する。入力マガジンユニット７２１０は保管マガジンユニット７２５０と上下方向に積層されるように提供され得る。

搬入ユニット７２２０は搬入載置台７２２１、搬入乗降部材７２２４、及びグリッパ部材７２２６を有する。搬入載置台７２２１、搬入乗降部材７２２４、及びグリッパ部材７２２６は大体、図１０の搬入載置台１２２１の側プレート１２２３、搬入乗降部材１２２４、及びグリッパ部材１２２６と類似の構造及び配置を有することができる。グリッパ部材７２２６は入力マガジン７２５３と保管マガジン７２５３の各々に対して、連配列印刷回路基板１１０を挿入するか、或いは取り出すように提供される。

図４５を参照すれば、アンローダーモジュール７８００は出力マガジンユニット７８１０、マーキングユニット７８２０、出力ユニット７８４０、及び保管マガジンユニット７８５０を有する。マーキングユニット７８２０、出力ユニット７８４０、及び保管マガジンユニット７８５０は大体、図４２のマーキングユニット２８２０、出力ユニット２８４０、及び保管マガジンユニット２８５０と類似の構造及び配置を有することができる。

出力マガジンユニット７８１０はテストハンドラーモジュール７４００で良品であると判定された連配列印刷回路基板１１０を保管する。出力マガジンユニット７８１０はベース７８５１、支持ブロック７８５２、出力マガジン７８５３、及び駆動器７８５４を有する。ベース７８５１、支持ブロック７８５２、出力マガジン７８５３、及び駆動器７８５４は大体、図４３の入力マガジンユニット７２１０のベース７２５１、支持ブロック７２５２、入力マガジン７２５３、及び駆動器７２５４と類似の構造及び配置を有することができる。出力マガジンユニット７８１０は保管マガジンユニット７８５０と上下方向に積層されるように提供され得る。

出力ユニット７８４０は出力マガジンユニット７８１０の出力マガジン７８５３と保管マガジンユニット７８５０の保管マガジンの各々に対して、連配列印刷回路基板１１０を挿入するか、或いは取り出すように提供される。

図４６は基板製造装置のその他の例を示す図面であり、図４７は図４６のローダーモジュールの一例を示す図面であり、図４８は図４６のアンローダーモジュールの一例を示す図面である。

図４６を参照すれば、基板製造装置８０は第１装置８２００、検査装置８４００、及び第２装置８６００を有する。第１装置８２００と第２装置８６００は大体、図３の第１装置２００及び第２装置６００と類似の構造を有する。検査装置８４００はローダーモジュール９２００、テストハンドラーモジュール９３００、及びアンローダーモジュール９８００を有する。テストハンドラーモジュール９３００は大体、図１４のテストハンドラーモジュール１３００と類似の構造を有することができる。

図４７を参照すれば、ローダーモジュール９２００は入力コンベヤー９２１０、搬入ユニット９２２０、電気検査ユニット９２３０、搬出ユニット９２４０、保管マガジンユニット９２５０、及び入力マガジンユニット９２６０を有する。入力コンベヤー９２１０、搬入ユニット９２２０、電気検査ユニット９２３０、搬出ユニット９２４０、及び保管マガジンユニット９２５０は図４の入力コンベヤー１２１０、搬入ユニット１２２０、電気検査ユニット１２３０、搬出ユニット１２４０、及び保管マガジンユニット１２５０と大体類似の構造及び配置を有することができる。

入力マガジンユニット９２６０は検査工程が遂行される前の連配列印刷回路基板１１０を保管する。したがって、連配列印刷回路基板１１０は第１装置８２００から入力コンベヤー９２１０を通じて検査装置８４００内へ供給されるか、又は入力マガジンユニット９２６０によって検査装置８４００内へ供給され得る。入力マガジンユニット９２６０は図４３の入力マガジンユニット７２１０と類似の構造で提供され得る。

図４８を参照すれば、アンローダーモジュール９８００はマーキングユニット９８２０、出力ユニット９８４０、保管マガジンユニット９８５０、及び出力マガジンユニット９８６０を有する。マーキングユニット９８２０及び保管マガジンユニット９８５０は大体、図４２のマーキングユニット２８２０及び保管マガジンユニット２８５０と類似の構造及び配置に提供され得る。出力ユニット９８４０は図４の搬入ユニット１２２０と大体類似の構造で提供され得る。出力マガジンユニット９８６０は図４５の出力マガジンユニット７８１０と大体類似の構造で提供され得る。保管マガジンユニット９８５０と出力マガジンユニット９８６０は上下方向に積層されるように提供され得る。テストハンドラーユニット９３００で検査工程が完了された良品の連配列印刷回路基板１１０は、出力コンベヤー９８４６を通じて第２装置８６００へ排出されるか、或いはグリッパ部材９８４２によって出力マガジン９８５３に保管され得る。

上述した例で、基板製造装置１０はローダーモジュールに電気検査ユニット１２３０を有すると説明した。しかし、テストハンドラーモジュール１３００と独立的に電気検査ユニット１２３０が提供されずに、テストハンドラーモジュール１３００で接触検査を共に遂行することができる。また、選択的に基板製造装置１０で接触検査は行わないことがあり得る。この場合、ローダーモジュールには保管マガジン、電気検査ユニット１２３０、搬入ユニット１２２０、及び搬出ユニット１２４０は提供されず、入力コンベヤー１２１０で基板検査ユニットに直接連配列印刷回路基板１１０を引き渡すことができる。

上述した例では、コンベヤーユニットが供給コンベヤーと排出コンベヤーを有すると説明した。しかし、これとは異なり、ハンドラーコンベヤー部材は供給コンベヤーを有し、供給コンベヤーは搬出コンベヤー及びアンロードコンベヤーと整列されるように提供され得る。

上述した例で、基板は連配列印刷回路基板であると説明した。しかし、これに限定されず、基板は単位基板であり得る。また、上述した例で単位基板はソリッドステートドライブであると説明した。しかし、これに限定されず、単位基板は揮発性メモリ素子が搭載されたメモリモジュール、グラフィックカード、オーディオカード、ＬＡＮカード、又はモバイル機器等のメーンボード等であり得る。

１１０・・・連配列印刷回路基板
２００・・・第１装置
４００・・・検査装置
１２００・・・ローダーモジュール
１２１０・・・入力コンベヤー
１２２０・・・搬入ユニット
１２３０・・・電気検査ユニット
１２４０・・・搬出ユニット
１２５０・・・保管マガジンユニット
１３００・・・テストハンドラーモジュール
１５００・・・搬送ユニット
１５１０・・・ストッパー部材
１５２０・・・供給リフト部材
１５３０・・・排出リフト部材
１６００・・・ハンドラーユニット
１６１０・・・ハウジング
１６２０・・・検査チャンバー
１５４０・・・搬送ロボット
１８００・・・アンローダーモジュール
１８２０・・・マーキングユニット
１８４０・・・出力コンベヤー

Claims (36)

1. 基板を製造する装置において、
   前記基板に対して検査工程を遂行するテストハンドラーモジュールを有する検査装置を含み、
   前記テストハンドラーモジュールは、
   前記基板を搬送するコンベヤーユニットと、
   前記基板上の複数の単位基板に対して前記検査工程を遂行するハンドラーユニットと、
   前記コンベヤーユニットと前記ハンドラーユニットとの間へ前記基板を搬送する搬送ユニットと、を含み、
   前記コンベヤーユニットは、
   供給コンベヤーと、
   前記供給コンベヤーから離隔された排出コンベヤーと、を有する基板製造装置。
2. 前記供給コンベヤーは第１方向と平行に延長され、
   前記排出コンベヤーは上部から見る時、前記第１方向に対して垂直である第２方向に沿って前記供給コンベヤーから離隔されるように提供され、前記第１方向と平行に延長される請求項１に記載の基板製造装置。
3. 前記基板検査装置は、
   搬出コンベヤーを有するローダーモジュールと、
   アンロードコンベヤーを有するアンローダーモジュールと、をさらに含み、
   前記ローダーモジュール、前記テストハンドラーモジュール、及び前記アンローダーモジュールは順次的に前記第１方向に沿って配置され、
   前記供給コンベヤーは前記搬出コンベヤーから直接基板を引き受けるように提供され、
   前記排出コンベヤーは前記アンロードコンベヤーに直接基板を引き渡すように提供される請求項２に記載の基板製造装置。
4. 前記供給コンベヤーは前記排出コンベヤーより前記ローダーモジュールにさらに隣接するように提供され、
   前記排出コンベヤーは前記供給コンベヤーより前記アンローダーモジュールにさらに隣接するように提供される請求項３に記載の基板製造装置。
5. 前記供給コンベヤーは下方向に凹んでいるように提供された屈曲部を有し、
   前記搬送ユニットは前記供給コンベヤーの前記屈曲部に対向するように提供される供給リフト部材を有し、
   前記搬送ロボットは前記供給リフト部材から基板が引き渡されるロードアームを有し、
   前記供給リフト部材は前記供給コンベヤーの屈曲部を通じて、前記基板が前記供給コンベヤーから持ち上げられるように提供される請求項２に記載の基板製造装置。
6. 前記搬送ユニットは前記供給コンベヤーで前記基板の移動を停止させるストッパー部材をさらに含み、
   前記ストッパー部材は、
   遮断板と、
   前記遮断板を乗下降させる駆動器と、を有する請求項５に記載の基板製造装置。
7. 前記搬送ユニットは、
   固定板と、
   前記固定板に支持されるロードアームと、
   前記固定板に支持されるアンロードアームと、を具備し、
   前記ロードアームと前記アンロードアームは前記第２方向に沿って互いに離隔されるように提供される請求項２に記載の基板製造装置。
8. 前記搬送ユニットはピックアップヘッドを有する搬送ロボットを具備し、
   前記ピックアップヘッドは、
   プレートと、
   前記プレートの底面から下に突出され、基板と接触する接触部材と、を含み、
   前記接触部材は、
   前記プレートの前方縁領域に提供される前面接触部と、
   前記プレートの両側方縁領域に各々提供される側面接触部と、を含み、
   前記前面接触部と前記側面接触部によって前記プレートの下には後方及び下方が開放された挿入空間が形成される、請求項２に記載の基板製造装置。
9. 前記ハンドラーユニットは、
   内部空間を有するハウジングと、
   前記内部空間に位置され検査工程が遂行される検査チャンバーと、
   前記検査チャンバーのソケットに結合されるテスター器と、を含み、
   前記ハウジングの内部空間には前記検査チャンバーを囲む循環空間が提供され、
   前記検査チャンバーの側面には前記循環空間と通じる開口が形成され、
   前記ハンドラーユニットは前記循環空間内の気体の温度を調節する温度調節器をさらに含む請求項１に記載の基板製造装置。
10. 前記ハンドラーユニットは、
    内部空間を有するハウジングと、
    前記内部空間に位置され、検査工程が遂行される検査チャンバーと、
    前記検査チャンバーのソケットに結合されるテスター器と、を含み、
    前記検査チャンバーは第２方向及び第３方向によって定義された平面にＭｘＮ（Ｍ、Ｎは１以上の自然数）配列に配置され、
    前記平面は前記供給コンベヤーの横方向と垂直になる請求項１に記載の基板製造装置。
11. 前記ハンドラーユニットは検査工程が遂行される検査チャンバーを含み、
    前記検査チャンバーは、
    内部空間を有する本体と、
    前記内部空間を開閉するドアと、
    基板と電気的に接続できるパッドを有するソケットと、
    検査工程進行の時、前記本体内で基板を支持する支持台と、を含み、
    前記支持台は前記ドアに固定結合され、
    前記ドアは前記本体からスライド移動できるように提供される請求項１に記載の基板製造装置。
12. 前記支持台は基板に提供された通孔へ挿入される整列ピンを有する請求項１１に記載の基板製造装置。
13. 前記搬送ユニットは、
    基板を検査チャンバーへ搬送する搬送ロボットと、
    前記内部空間を開閉するように前記ドアを移動させるドアオープナと、を含み、
    前記ドアオープナは前記搬送ロボットに設置される請求項１１に記載の基板製造装置。
14. 前記ドアには貫通ホールが形成されたドアノブが提供され、
    前記ドアオープナは、
    前記ドアノブの貫通ホールに挿入できるように提供される掛けがねと、
    前記ドアノブへ前記掛けがねが嵌められるようにする手掴み位置と前記ドアノブから前記掛けがねが分離されるようにする解除位置との間へ前記掛けがねを移動させる掛けがね駆動器と、を有する請求項１３に記載の基板製造装置。
15. 前記第１方向に沿って複数のセットの前記ハンドラーユニットが提供され、
    各々の前記セットのハンドラーユニットには前記第２方向に沿って前記ハンドラーユニットが複数個提供され、
    各々の前記セットの前記ハンドラーユニットの前方には各々前記搬送ユニットが配置される請求項２に記載の基板製造装置。
16. 前記ローダーモジュールは、
    基板を検査する電気検査ユニットと、
    前記電気検査ユニットへ基板を搬入する搬入ユニットと、
    前記電気検査ユニットから基板を搬出する搬出ユニットと、を含む請求項３に記載の基板製造装置。
17. 前記電気検査ユニットは複数個が相互間に積層されるように配置され、
    前記搬入ユニットは、
    搬入コンベヤーと、
    前記搬入コンベヤーを支持する搬入載置台と、
    前記複数の電気検査ユニットの中で選択された電気検査ユニットに対応する高さに前記搬入載置台を乗下降させる搬入乗降部材と、を含み、
    前記搬出ユニットは、
    搬出コンベヤーと、
    前記搬出コンベヤーを支持する搬出載置台と、
    前記複数の電気検査ユニットの中で選択された電気検査ユニットに対応する高さに前記搬出載置台を乗下降させる搬出乗降部材と、を含む請求項１６に記載の基板製造装置。
18. 前記ローダーモジュールは、不良であると判定された基板を保管する保管マガジンを有する保管マガジンユニットをさらに含み、
    前記搬入ユニットは前記搬入載置台に設置され、前記保管マガジンへ基板を搬送するグリッパ部材をさらに含む請求項１７に記載の基板製造装置。
19. 前記基板製造装置は、
    第１装置と、
    第２装置と、をさらに含み、
    前記第１装置、前記検査装置、及び前記第２装置は順次的にインラインに配置される請求項１に記載の基板製造装置。
20. 前記第１装置は、
    基板上に素子を装着するマウントモジュールと、
    前記素子が装着された基板に対してリフロ工程を遂行するリフロモジュールと、を含み、
    前記第２装置は、
    前記基板で前記複数の単位基板を各々分離する切断モジュールを含む請求項１９に記載の基板製造装置。
21. 前記基板は連配列印刷回路基板である請求項１に記載の基板製造装置。
22. 検査端子が形成された複数の単位基板を有する基板を供給コンベヤーにしたがって移動させる段階と、
    前記供給コンベヤーで前記基板を持ち上げて前記検査端子が検査チャンバーのソケットへ挿入されるように、前記基板を前記検査チャンバー内に位置させる段階と、
    前記検査チャンバーで前記基板に対して検査工程を遂行する段階と、
    前記検査チャンバーで検査が完了された基板を排出コンベヤーに下ろす段階と、を含む基板製造方法。
23. 前記供給コンベヤーと前記排出コンベヤーは各々第１方向と平行に延長され、
    前記供給コンベヤーと前記排出コンベヤーは上部から見る時、前記第１方向に垂直である第２方向に互いに離隔されるように配置される請求項２２に記載の基板製造方法。
24. 前記基板は、
    供給リフト部材によって前記供給コンベヤーから持ち上げられて搬送ロボットのロードアームに引き渡され、前記ロードアームによって前記検査チャンバー内へ搬送され、
    前記搬送ロボットのアンロードアームによって前記検査チャンバーから排出リフト部材に引き渡し、前記排出リフト部材によって前記排出コンベヤーに置かれる請求項２３に記載の基板製造方法。
25. 前記基板は搬送ロボットのロードアームによって前記検査チャンバーへ搬送され、
    前記ロードアームは、下部に後方及び下方が開放された挿入空間を有するピックアップヘッドを有し、
    前記基板の縁領域は前記挿入空間を定義するように、前記挿入空間を囲む接触部材の底面に接触され、前記基板に装着された素子が前記挿入空間内に位置された状態で、前記ロードアームは前記基板を支持する請求項２２に記載の基板製造方法。
26. 前記基板は複数個提供され、
    前記基板は全て横辺の長さが同一であり、
    前記基板の中で一部は縦辺の長さが互いに異なる請求項２５に記載の基板製造方法。
27. 前記基板が前記検査チャンバー内へ搬送される前に前記検査チャンバーのドアを開放する段階をさらに含み、
    前記ドアは前記搬送ロボットに提供されたドアオープナによって開放される、請求項２５に記載の基板製造方法。
28. 前記基板は複数の単位基板が形成された連配列印刷回路基板であり、
    前記連配列印刷回路基板の前方縁領域には検査端子が形成され、
    前記各々の前記単位基板は前記連配列印刷回路基板に形成された配線を通じて前記検査端子と電気的に連結される、請求項２２に記載の基板製造方法。
29. 前記単位基板はソリッドステートドライブである請求項２８に記載の基板製造方法。
30. 電子部品を製造する方法において、
    複数の単位基板を含む基板を検査装置へ搬送する段階と、
    前記基板を検査チャンバーへ搬入する段階と、
    前記検査チャンバーで前記基板上の前記単位基板に対して検査を遂行する段階と、
    前記検査が完了された後、前記検査チャンバーから基板を排出する段階と、を含む電子部品製造方法。
31. 前記検査結果、良品であるか否かを前記単位基板に表示する段階をさらに含む請求項３０に記載の電子部品製造方法。
32. 前記基板を前記検査装置へ搬送する段階の以前に、前記基板に前記複数の単位基板を組み立てる段階をさらに含み、各々の前記単位基板は電子部品を有する請求項３０に記載の電子部品製造方法。
33. 前記検査を遂行した後に前記単位基板を互いに分離する段階をさらに含む、請求項３１に記載の電子部品製造方法。
34. 前記複数の単位基板を組み立てる段階は各々の前記単位基板にコントローラを装着する段階を含む、請求項３１に記載の電子部品製造方法。
35. 前記複数の単位基板を組み立てる段階は各々の前記単位基板に不揮発性メモリを装着する段階を含む、請求項３４に記載の電子部品製造方法。
36. 前記複数の単位基板を組み立てる段階は各々の前記単位基板にソリッドステートドライブ（ＳＳＤ）を装着する段階を含む、請求項３４に記載の電子部品製造方法。

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