JP2013210383A - 光学的に未処理の表面特徴の特性を測定する干渉計及び方法 - Google Patents
光学的に未処理の表面特徴の特性を測定する干渉計及び方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2013210383A JP2013210383A JP2013113241A JP2013113241A JP2013210383A JP 2013210383 A JP2013210383 A JP 2013210383A JP 2013113241 A JP2013113241 A JP 2013113241A JP 2013113241 A JP2013113241 A JP 2013113241A JP 2013210383 A JP2013210383 A JP 2013210383A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- interference
- test
- interferometry
- signal
- information
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 149
- 238000012360 testing method Methods 0.000 claims abstract description 261
- 238000005305 interferometry Methods 0.000 claims abstract description 162
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 69
- 230000004044 response Effects 0.000 claims description 59
- 230000000694 effects Effects 0.000 claims description 43
- 238000005530 etching Methods 0.000 claims description 33
- 238000012545 processing Methods 0.000 claims description 33
- 230000008859 change Effects 0.000 claims description 26
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 21
- 238000004611 spectroscopical analysis Methods 0.000 claims description 21
- 238000000059 patterning Methods 0.000 claims description 14
- 239000000203 mixture Substances 0.000 claims description 12
- 238000000151 deposition Methods 0.000 claims description 7
- 230000008021 deposition Effects 0.000 claims description 7
- 238000002955 isolation Methods 0.000 claims description 7
- 238000001465 metallisation Methods 0.000 claims description 5
- 238000007517 polishing process Methods 0.000 claims description 4
- 229910021420 polycrystalline silicon Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 229920005591 polysilicon Polymers 0.000 claims description 4
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 abstract description 70
- 230000006870 function Effects 0.000 description 96
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 82
- 230000000875 corresponding effect Effects 0.000 description 80
- 238000001228 spectrum Methods 0.000 description 71
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 62
- 230000010287 polarization Effects 0.000 description 61
- 239000000523 sample Substances 0.000 description 57
- 230000003595 spectral effect Effects 0.000 description 57
- 239000010408 film Substances 0.000 description 48
- 238000005286 illumination Methods 0.000 description 32
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 29
- 210000001747 pupil Anatomy 0.000 description 27
- 238000012876 topography Methods 0.000 description 26
- 230000008569 process Effects 0.000 description 24
- 230000010363 phase shift Effects 0.000 description 22
- 239000000463 material Substances 0.000 description 21
- 238000002310 reflectometry Methods 0.000 description 21
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 21
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 18
- 238000004088 simulation Methods 0.000 description 18
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 17
- 238000005498 polishing Methods 0.000 description 16
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 15
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 15
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 description 14
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 14
- 238000012512 characterization method Methods 0.000 description 13
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 13
- 238000013519 translation Methods 0.000 description 13
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 12
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 12
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 12
- 238000004364 calculation method Methods 0.000 description 11
- 239000006185 dispersion Substances 0.000 description 10
- 230000010354 integration Effects 0.000 description 10
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 10
- 230000001419 dependent effect Effects 0.000 description 9
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 9
- 238000005314 correlation function Methods 0.000 description 8
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 8
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 7
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 description 7
- 230000009897 systematic effect Effects 0.000 description 7
- PVNIIMVLHYAWGP-UHFFFAOYSA-N Niacin Chemical compound OC(=O)C1=CC=CN=C1 PVNIIMVLHYAWGP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 238000004886 process control Methods 0.000 description 6
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 6
- 230000006399 behavior Effects 0.000 description 5
- 238000000691 measurement method Methods 0.000 description 5
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 5
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 5
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 5
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 5
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 4
- 238000004590 computer program Methods 0.000 description 4
- 230000009977 dual effect Effects 0.000 description 4
- 238000000572 ellipsometry Methods 0.000 description 4
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 4
- 238000001459 lithography Methods 0.000 description 4
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 4
- 230000003746 surface roughness Effects 0.000 description 4
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 4
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 3
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 3
- 238000004422 calculation algorithm Methods 0.000 description 3
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 3
- 230000002596 correlated effect Effects 0.000 description 3
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 3
- 239000003989 dielectric material Substances 0.000 description 3
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 3
- 230000003993 interaction Effects 0.000 description 3
- 230000002452 interceptive effect Effects 0.000 description 3
- 230000033001 locomotion Effects 0.000 description 3
- 238000000386 microscopy Methods 0.000 description 3
- 238000010606 normalization Methods 0.000 description 3
- 230000036961 partial effect Effects 0.000 description 3
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 3
- 235000012239 silicon dioxide Nutrition 0.000 description 3
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 description 3
- 239000002002 slurry Substances 0.000 description 3
- 241000270295 Serpentes Species 0.000 description 2
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 2
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 2
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 2
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 2
- 230000005672 electromagnetic field Effects 0.000 description 2
- 230000005670 electromagnetic radiation Effects 0.000 description 2
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 2
- 238000007654 immersion Methods 0.000 description 2
- 239000011229 interlayer Substances 0.000 description 2
- 238000012886 linear function Methods 0.000 description 2
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 2
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 2
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 2
- 238000001020 plasma etching Methods 0.000 description 2
- 238000005211 surface analysis Methods 0.000 description 2
- 230000009466 transformation Effects 0.000 description 2
- 238000001429 visible spectrum Methods 0.000 description 2
- VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N Chromium Chemical compound [Cr] VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 241000276498 Pollachius virens Species 0.000 description 1
- 239000000654 additive Substances 0.000 description 1
- 230000000996 additive effect Effects 0.000 description 1
- 230000002411 adverse Effects 0.000 description 1
- 230000004075 alteration Effects 0.000 description 1
- 230000002238 attenuated effect Effects 0.000 description 1
- 230000003190 augmentative effect Effects 0.000 description 1
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 description 1
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 description 1
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011651 chromium Substances 0.000 description 1
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 1
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 1
- 230000001427 coherent effect Effects 0.000 description 1
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 1
- 238000011109 contamination Methods 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 238000012937 correction Methods 0.000 description 1
- 238000005260 corrosion Methods 0.000 description 1
- 230000007797 corrosion Effects 0.000 description 1
- 238000013480 data collection Methods 0.000 description 1
- 238000013500 data storage Methods 0.000 description 1
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 1
- 230000003111 delayed effect Effects 0.000 description 1
- 238000009795 derivation Methods 0.000 description 1
- 238000002050 diffraction method Methods 0.000 description 1
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 1
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 1
- 238000002592 echocardiography Methods 0.000 description 1
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 1
- 210000000887 face Anatomy 0.000 description 1
- 239000000835 fiber Substances 0.000 description 1
- 238000011049 filling Methods 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 229910052736 halogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000002367 halogens Chemical class 0.000 description 1
- 238000011065 in-situ storage Methods 0.000 description 1
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 1
- 230000004807 localization Effects 0.000 description 1
- 238000013178 mathematical model Methods 0.000 description 1
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 1
- 239000012528 membrane Substances 0.000 description 1
- 229910001507 metal halide Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000005309 metal halides Chemical class 0.000 description 1
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 1
- 238000002156 mixing Methods 0.000 description 1
- 239000003921 oil Substances 0.000 description 1
- 238000005457 optimization Methods 0.000 description 1
- 238000005192 partition Methods 0.000 description 1
- 230000000737 periodic effect Effects 0.000 description 1
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 description 1
- 230000001902 propagating effect Effects 0.000 description 1
- 238000004445 quantitative analysis Methods 0.000 description 1
- 238000004151 rapid thermal annealing Methods 0.000 description 1
- 230000002829 reductive effect Effects 0.000 description 1
- 230000003252 repetitive effect Effects 0.000 description 1
- 238000005096 rolling process Methods 0.000 description 1
- 239000002356 single layer Substances 0.000 description 1
- 238000006467 substitution reaction Methods 0.000 description 1
- 239000002344 surface layer Substances 0.000 description 1
- 230000002123 temporal effect Effects 0.000 description 1
- 230000001131 transforming effect Effects 0.000 description 1
- 239000013598 vector Substances 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
- G01B11/02—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness
- G01B11/06—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness for measuring thickness ; e.g. of sheet material
- G01B11/0616—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness for measuring thickness ; e.g. of sheet material of coating
- G01B11/0675—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness for measuring thickness ; e.g. of sheet material of coating using interferometry
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B9/00—Measuring instruments characterised by the use of optical techniques
- G01B9/02—Interferometers
- G01B9/02055—Reduction or prevention of errors; Testing; Calibration
- G01B9/02056—Passive reduction of errors
- G01B9/02057—Passive reduction of errors by using common path configuration, i.e. reference and object path almost entirely overlapping
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B9/00—Measuring instruments characterised by the use of optical techniques
- G01B9/02—Interferometers
- G01B9/02083—Interferometers characterised by particular signal processing and presentation
- G01B9/02084—Processing in the Fourier or frequency domain when not imaged in the frequency domain
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B9/00—Measuring instruments characterised by the use of optical techniques
- G01B9/02—Interferometers
- G01B9/02083—Interferometers characterised by particular signal processing and presentation
- G01B9/02088—Matching signals with a database
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B9/00—Measuring instruments characterised by the use of optical techniques
- G01B9/02—Interferometers
- G01B9/0209—Low-coherence interferometers
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/8422—Investigating thin films, e.g. matrix isolation method
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/70—Microphotolithographic exposure; Apparatus therefor
- G03F7/70483—Information management; Active and passive control; Testing; Wafer monitoring, e.g. pattern monitoring
- G03F7/70605—Workpiece metrology
- G03F7/70616—Monitoring the printed patterns
- G03F7/70625—Dimensions, e.g. line width, critical dimension [CD], profile, sidewall angle or edge roughness
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B2290/00—Aspects of interferometers not specifically covered by any group under G01B9/02
- G01B2290/50—Pupil plane manipulation, e.g. filtering light of certain reflection angles
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B2290/00—Aspects of interferometers not specifically covered by any group under G01B9/02
- G01B2290/70—Using polarization in the interferometer
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Signal Processing (AREA)
- Mathematical Physics (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Databases & Information Systems (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Instruments For Measurement Of Length By Optical Means (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
Abstract
【解決手段】試験対象物の異なる表面箇所に対応する複数の干渉分光信号から導出可能な情報と、試験対象物の複数のモデルに対応する情報とを比較することであって、複数のモデルは、試験対象物の1つまたは複数の十分に分解できない横方向の特徴に関連する一連の特性によってパラメータ化されている、比較すること、比較に基づいて十分に分解できない表面特徴についての情報を出力することを含む干渉分光解析法を開示する。
【選択図】図27
Description
現在、表面トポグラフィの定量測定を行なうことは、特に半導体業界を含む様々な業界においてかなり関心が持たれている。典型的なチップ特徴のサイズが小さいために、これらの測定を行なうために使用される機器は通常、チップ表面に平行および垂直の両方において高い空間分解能を有していなければならない。エンジニアおよび科学者は、表面トポグラフィ測定システムを用いて、プロセス制御を行ない、また製造の過程で生じる欠陥、特にエッチング、研磨、クリーニング、およびパターニングなどのプロセスの結果として生じる欠陥を検出する。
ノマルスキー顕微鏡および他の差動技法は、互いと比較させることで表面高さにおける差を測定する。
一般的に、一態様では、(i)試験対象物の異なる表面箇所に対応する複数の走査干渉分光信号から導出可能な情報と前験対象物の複数のモデルに対応する情報とを比較すること、ここで、複数のモデルは、試験対象物の1つまたは複数の十分に分解できない横方向の特徴に関連する一連の特性によってパラメータ化されており、(ii)比較に基づいて十分に分解できない表面特徴についての情報を出力することを備える方法が開示される。
試験対象物の1つまたは複数の十分に分解できない横方向の特徴は、試験対象物上の十分に分解できないパターン化された横方向の構造に対するピッチ、変調深さ、および、素子幅の1つまたは複数に対応してもよい。たとえば、一連の特性は、変調深さに対する異なる値を含んでもよい。更に、複数のモデルは、複数の干渉分光信号から導出可能な情報に対する可能な結果を、変調深さに対する異なる値の対応する一つの値にマッピングする相関関係によって表され、比較することは、変調深さに対する異なる値の内のどの値が複数の干渉分光信号から導出可能な情報に最良に対応するかを判断することを含んでもよい。
少なくとも幾らかの干渉分光信号は、偏光がパターン化された素子の横方向の構造に対して方向付けられる試験対象物の照明から得られてもよい。たとえば、偏光は、パターン化された横方向の構造を形成する個々の素子の長さに対して直交するよう位置合わせされる直線偏光でもよい(本明細書ではx偏光と称される)。
モデルは、厳密結合波解析(RCWA)を用いて計算的に生成されてもよい。
十分に分解できない表面特徴についての情報は、ユーザに出力されてもよい。
十分に分解できない表面特徴についての情報は、半導体製造のために自動処理制御システムに出力されてもよい。
別の態様では、試験対象物上の格子構造の1つまたは複数の空間特性を決定する方法であって、格子構造が400nm未満の幅を有するライン素子を備えるためライン素子が干渉顕微鏡によって完全に分解できない、方法が開示される。本方法は、(i)干渉顕微鏡によって測定された試験対象物の異なる箇所における干渉信号から少なくとも幾らかの格子ラインの集まりに対する見かけの高さを決定すること、(ii)格子構造の特性への異なる可能な値に対する干渉顕微鏡の期待応答を提供すること、期待応答は格子構造の十分に分解できないライン素子からの影響を含み、(iii)見かけの高さを、異なる可能な値に対する期待応答と比較して格子構造の空間特性についての情報を決定すること、(iv)格子構造の空間特性についての決定された情報を出力することを含む。
見かけの高さは試験対象物の基準部分を参照して決定されてもよい。
干渉顕微鏡は、見かけの高さを決定する際に個々の格子ライン(x偏光)の長さに直交して偏光する光で格子構造を照明してもよい。
格子構造は、試験対象物のライン間の部分をエッチングすることで少なくとも部分的に形成される一連の周期的に離間されたラインでもよい。
別の態様では、(i)干渉分光システムによって生成される干渉分光信号から試験表面の1つまたは複数の見かけの特性を決定すること、(ii)干渉分光信号から決定される見かけの特性と、試験表面の1つまたは複数の十分に分解できない特徴への異なる可能な値に対する干渉分光システムの期待応答と比較すること、(ii)比較に基づいて試験表面の1つまたは複数の十分に分解できない特徴についての情報を出力することを備える方法が開示される。
干渉分光システムは走査型干渉分光システムでもよい。
試験表面の見かけの特性は干渉位相、干渉コントラスト、および、表面反射率のいずれかにおける変化に基づいて干渉分光信号から決定されてもよい。
試験表面は変調深さ、周期性、及び、幅のある素子を有するパターン化された構造を有し、期待応答は変調深さ、周期性、および、素子幅の1つまたは複数における変化について計算されてもよい。たとえば、期待応答は変調深さにおける変化について計算されてもよい。
別の態様では、(i)干渉分光システムによって生成された干渉分光信号(たとえば、操作干渉分光信号)から試験表面の1つまたは複数の見かけの特性を決定すること、(ii)試験表面(たとえば、表面高さおよび表面組成の1つまたは複数における変化)の特性への異なる可能な値に対する干渉顕微鏡の期待応答を提供すること、ここで、期待応答は試験表面の十分に分解できない特徴からの影響を含み、(iii)干渉分光信号から決定される見かけの特性と、特徴の異なる値に対する期待応答と比較して、決定された特性の精度を向上することを備える方法が開示される。
試験表面の見かけの特性は干渉位相、干渉コントラスト、および、表面反射率のいずれかにおける変化に基づいて干渉分光信号から決定されてもよい。
本方法はさらに、比較に基づいて試験対象物に対する正確な特性を決定することを含んでいてもよい。
比較することは、走査干渉分光信号から導出可能な情報を、モデルに対応する情報に対する表現にフィッティングすることを含んでもよい。
複数のモデルに対応する情報は、変換分に対する座標の関数であってもよい。たとえば、複数のモデルに対応する情報は、各モデルに対する変換分の振幅プロファイルを含んでもよい。さらに、比較することは、試験対象物に対する走査干渉分光信号の変換分の振幅プロファイルと、モデルに対する各振幅プロファイルとを比較することを含んでもよい。
一連の特性は、試験対象物の少なくとも1つの物理パラメータに対する一連の値を含んでもよい。たとえば、試験対象物は、厚みを有する薄膜層を含み、物理パラメータは、第1の箇所における薄膜の厚みであってもよい。
走査干渉分光信号が、走査干渉分光システムによって生成されてもよく、また比較することは、走査干渉分光システムから生じる走査干渉分光信号に対する系統的な影響を明確にすることを含んでいてもよい。たとえば、系統的な影響は、走査干渉分光システムのコンポーネントからの反射時の位相変化の分散についての情報を含んでもよい。さらに本方法は、さらなる表面箇所に対する走査干渉分光信号から導出可能な情報と複数のモデルに対応する情報とを比較することを含んでいてもよい。この場合、系統的な影響を、表面箇所の複数に対して解析してもよい。本方法はさらに、特性が既知の他の試験対象物を用いて、走査干渉分光システムの系統的な影響を校正することを含んでいてもよい。
共通の光源がスペクトルのコヒーレンス長を有し、光路長差をスペクトルのコヒーレンス長よりも長い範囲に亘って変えて、走査干渉分光信号を生成してもよい。
本方法はさらに、走査干渉分光信号を生成することを含んでいてもよい。
他の態様においては、本発明の特徴は、走査干渉分光信号を生成するように構成された走査干渉分光システムと、走査干渉分光システムに結合されて走査干渉分光信号を受け取る電子プロセッサであって、試験対象物の第1の表面箇所に対する走査干渉分光信号から導出可能な情報と、試験対象物の複数のモデルに対応する情報とを比較するようにプログラムされた電子プロセッサと、を含む装置であって、複数のモデルは、試験対象物に対する一連の特性によってパラメータ化される装置である。
一般的に、他の態様においては、本発明の特徴は、試験対象物を化学的機械的研磨することと、試験対象物の表面トポグラフィに対する走査干渉分光データを収集することと、走査干渉分光データから得られる情報に基づいて試験対象物の化学的機械的研磨に対するプロセス条件を調整することと、を含む方法である。たとえば、プロセス条件は、パッド圧力および/または研磨用スラリ組成であってもよい。好ましい実施形態においては、走査干渉分光データから得られる情報に基づいてプロセス条件を調整することは、試験対象物の少なくとも第1の表面箇所に対する走査干渉分光信号から導出可能な情報と、試験対象物の複数のモデルに対応する情報とを比較することを含み、複数のモデルは、試験対象物に対する一連の特性によってパラメータ化されていてもよい。走査干渉分光信号の解析はさらに、最初に述べた方法とともに前述した特徴のどれを含んでもよい。
図1を参照して、試験対象物の表面からのデータを測定するために、干渉計を用いて、基準経路と測定経路との間の光路差(OPD)を機械的または電気光学的に走査する。測定経路は、対象物表面に向けられている。OPDは、走査の開始時には、対象物表面の局所的な高さの関数である。複数のカメラ画素が、対象物表面の異なる表面箇所に対応しており、各カメラ画素に対するOPD走査中の干渉強度信号を、コンピュータが記録する。次に、異なる表面箇所のそれぞれに対して、干渉強度信号をOPD走査位置の関数として記憶した後に、コンピュータが変換(たとえばフーリエ変換)を行なって、信号の周波数ドメイン・スペクトルを生成する。スペクトルは、振幅情報および位相情報の両方を、走査範囲における信号の空間周波数の関数として含む。たとえば、このようなスペクトルを生成するための好適な周波数ドメイン解析(FDA)が、以下の文献に開示されている。共通所有の米国特許第5,398,113号明細書(ピータ・デ・グルート)、発明の名称「インターフェログラムの空間周波数解析による表面トポグラフィ測定のための方法および装置」。なお、この文献の内容は本明細書において参照により組み込まれる。
INTERFEROMETRIC ANALYSIS OF SURFACES AND RELATED APPLICATIONS)」、およびPeter de Grootによる共通所有の米国特許出願第11/437,002号(2006年5月18日出願)「薄膜構造に関する情報について低コヒーレンス干渉分光信号を解析する方法およびシステム(METHOD AND SYSTEM FOR ANALYZING LOW−COHERENCE INTERFEROMETRY SIGNALS FOR INFORMATION ABOUT THIN FILM STRUCTURES)」に開示されるように、干渉分光信号から薄膜効果を排除することを試みるより高度な処理技術を使用することも可能である。当然のことながら、比較に使用されるモデル・ライブラリも実験的に導出される情報を抽出するために用いられる処理技術を考慮すべきである。
図4を参照して、光源モジュール205によって、照明光206がビーム・スプリッタ208に供給される。ビーム・スプリッタ208は、照明光206を、ミラウ干渉分光対物レンズ・アセンブリ210へ送る。アセンブリ210は、対物レンズ211、基準平面212(その小さい中心部分上に反射性のコーティングが施されていて、基準ミラー215を規定している)、およびビーム・スプリッタ213を含んでいる。動作中、対物レンズ211によって照明光が、試験サンプル220の方へ、基準平面212を通してフォーカスされる。ビーム・スプリッタ213によって、フォーカス光の第1の部分が基準ミラー215へ反射されて、基準光222が規定され、またフォーカス光の第2の部分が試験サンプル220に透過されて、測定光224が形成される。次に、ビーム・スプリッタ213は、試験サンプル220から反射された(または散乱された)測定光を、基準ミラー215から反射された基準光と、再結合する。そして対物レンズ211および結像レンズ230が、組み合わされた光を結像して、検出器(たとえば、マルチ画素カメラ)240上で干渉させる。図3のシステムの場合と同様に、検出器からの測定信号は、コンピュータ(図示せず)に送られる。
次に、走査干渉分光信号に対する物理モデルについて説明する。
of Technical Optics, ITO)は、エム.トットツェク(M.Totzek)の仕事を基にマイクロシム(Microsim)と呼ばれるRCWAを実行するソフトウェアを開発した。これらの技術は、小容積に、つまり、片側数波長にしばしば限られるが、メモリ要件とランタイムの両方を適当に維持するためには有力である。それにも関わらず、好適なライブラリを生成するためにこのような技術が予め使用され得るため、ライブラリを生成するに使用される大量の計算時間は本願で開示する技術のイン・プロセス適用法を妨げることはない。
次の積分に対する変数の理論的な変形は、したがって次のようになる。
プルが存在する。方程式(60)および後述の式において、導出時には重要であったが空間周波数Kに対する代わりとしてはもはや必要ではない自由変数Kを用いることは、やめている。したがって、予測される正の周波数FDA複素スペクトルは、以下のようになる。
図7に示すのは、薄膜あり/なしの2つの表面タイプである。両方の場合において、有効な振幅反射率Zβ,kを、以下に従って規定する。
15または16個の値である。このROIの外側の残りの値はゼロである。ROIの範囲は、空間周波数の定義から得られる。
システム特徴付け手順を行なう間に収集されたデータを用いて、位相オフセットγsysおよび線形分散τsysを定義する。システム特徴付けデータを含めるために、フーリエ変換された実験データを、ライブラリ検索の前におよび画素間ベースの他の任意のFDA処理の前に、以下を用いて補正する。
このアプローチでは、干渉パターンについての仮定として、以下のように述べる以外はどんな仮定も除外している。すなわち、同じ複雑な表面特性を有する表面箇所に対応するデータ・セット内では、すべての画素に、同じ基本的な局所化された干渉パターンが含まれ、このパターンは、各画素に対して単に位置がシフトしている(あるいは再スケーリングされた)だけである、ということである。信号は、実際にどのように見えるか、すなわちそれがガウシアン包絡線であろうと、周波数ドメインにおいて線形的な位相挙動であろうと、その他何であっても、問題ではない。考え方は、試験対象物に対する複雑な表面構造の種々のモデルに対するこの局所的な干渉パターンを表わすサンプル信号またはテンプレートを生成し、そして各画素に対して、局所的な干渉パターンが実際の局所的な干渉パターンの形状に最良にマッチングするモデルを見出し、そしてそのモデルに対して、干渉パターン・テンプレートと表面高さを与える観察信号との間の最良のマッチングが得られるデータ・セット内の走査位置を見出すことである。パターン・マッチングに対して、複数の技術が利用可能である。1つのアプローチは、各テンプレートをデータと数学的に相関させることである。各モデルに対して、複素数(すなわち実部プラス虚部)のテンプレート関数を用いることで、2つのプロファイルが再生される。一方は、信号の包絡線に密接に関連し、他方は、その下にある搬送波信号の位相に関連する。
光リソグラフィによってパターン化されているが、フロント・エンドまたはトランジスタ・レベルの半導体製造工程は、可視波長顕微鏡の解像限界よりはるかに低い特徴を伴う。トランジスタ・ゲート等の最小特徴が40nm幅のオーダであるのに対し、典型的な走査型干渉計の機器の伝達関数は400nmの周期的な構造についてゼロになる。たとえば、図28は100X、0.8NAのミラウ型対物レンズおよび非コヒーレント照明を用いる白色光干渉顕微鏡に対する理論的および実験的な機器の伝達関数を示している。この下限にゲート、シャロー・トレンチ・アイソレーション(STI)、配線、および、ビアの分離がしばしば相当し、全てではないが幾らかの表面構造を見ることができる。従って、これら十分に分解できない特徴は、白色光干渉顕微鏡を用いた通常の方法では高さの対象物として直接的に測定することができない。しかし、分解能未満の高さの変化が走査干渉分光データの生成にどのような悪影響を及ぼすかを把握することができれば、該特徴をパラメータ・モニタリング(たとえば、深さおよび幅)することがまだ可能である。
スカラーまたはアッベ・モデルは、基本的な測定の問題に幾らかの重要な見識を提示するものの、複雑(多材料)な十分に分解できない表面構造に対する定量解析は、上述したレイリー仮説に基づく2Dアプローチまたはより厳密なRCWAアプローチ等、帯域幅や入射角の範囲にわたってマックスウェル方程式を解くことで干渉分光信号のより厳密なモデリングの点で利益を受けることができる。
前述したコンピュータ解析方法はどれも、ハードウェアもしくはソフトウェアまたは両方の組み合わせにおいて、実施することができる。本方法は、本明細書で説明した方法および図に従って、標準的なプログラミング技術を用いて、コンピュータ・プログラムで実現することができる。プログラム・コードを入力データに適用して、本明細書で説明した関数を実行し、出力情報を生成する。出力情報を、1つまたは複数の出力装置たとえばディスプレイ・モニタに加える。各プログラムを、高レベルの手続き型またはオブジェクト指向のプログラミング言語で実現して、コンピュータ・システムと通信してもよい。しかしプログラムは、必要に応じて、アセンブリまたは機械語で実現することができる。どの場合でも、言語は、コンパイルされた言語またはインタープリットされた言語とすることができる。さらに、プログラムを、その目的用に事前にプログラムされた専用の集積回路上で実行させることができる。
Claims (20)
- 試験対象物上の格子構造の1つまたは複数の空間特性を決定する方法であって、前記格子構造が400nm未満の幅を有するライン素子を備えるため前記ライン素子が干渉顕微鏡によって完全に分解できない、方法において、
前記干渉顕微鏡によって測定された前記試験対象物の異なる箇所における干渉信号から少なくとも幾らかの格子ラインの集まりに対する見かけの高さを決定すること、
前記格子構造の特性への異なる可能な値に対する前記干渉顕微鏡の期待応答を提供することであって、前記期待応答は前記格子構造の十分に分解できないライン素子からの影響を含む、期待応答を提供すること、
前記見かけの高さを、前記異なる可能な値に対する前記期待応答と比較して格子構造の空間特性についての情報を決定すること、
前記格子構造の前記空間特性についての前記決定された情報を出力することを備える方法。 - 請求項1に記載の方法において、前記見かけの高さは前記試験対象物の基準部分を参照して決定される、方法。
- 請求項1に記載の方法において、前記干渉顕微鏡は、前記見かけの高さを決定する際に個々の格子ラインの長さに直交して偏光する光で前記格子構造を照明する、方法。
- 請求項1に記載の方法において、前記格子構造の前記空間特性についての前記決定された情報は、前記格子構造に対する変調深さに対応する、方法。
- 請求項1に記載の方法において、前記格子構造は、前記試験対象物の前記ライン間の部分をエッチングすることで少なくとも部分的に形成される一連の周期的に離間されたラインである、方法。
- 請求項1に記載の方法において、前記干渉信号は、試験対象物から発生する試験光を結像して検出器上で基準光と干渉させ、前記試験光の干渉部分と前記基準光の干渉部分との間における共通の光源から検出器までの光路長差を変えることとによって生成される走査干渉分光信号であり、前記試験光および前記基準光が共通の光源から引き出され、前記各走査干渉分光信号は、光路長差を変えたときに前記検出器によって測定される干渉強度に対応する、方法。
- 請求項6に記載の方法において、前記光路長差は、前記干渉顕微鏡のコヒーレンス長よりも長い範囲に亘って変えられる、方法。
- 方法であって、
試験対象物の異なる箇所において干渉分光システムによって生成される複数の干渉分光信号から試験表面の1つまたは複数の見かけの特性を決定すること、
前記干渉分光信号から決定される前記見かけの特性と、前記試験表面の1つまたは複数の横方向に十分に分解できない特徴への異なる可能な値に対する前記干渉分光システムの期待応答と比較すること、
前記比較に基づいて前記試験表面の前記1つまたは複数の横方向に十分に分解できない特徴についての情報を出力することを備える方法。 - 請求項8に記載の方法において、前記干渉分光システムは走査型干渉分光システムである、方法。
- 請求項8に記載の方法において、前記試験表面の前記見かけの特性は干渉位相、干渉コントラスト、および、表面反射率のいずれかにおける変化に基づいて前記干渉分光信号から決定される、方法。
- 請求項8に記載の方法において、前記期待応答は、表面高さと表面組成の1つまたは複数における変化について計算される、方法。
- 請求項8に記載の方法において、前記試験表面は変調深さ、周期性、及び、幅のある素子を有するパターン化された構造を有し、
前記期待応答は前記変調深さ、前記周期性、および、素子幅の1つまたは複数における変化について計算される、方法。 - 請求項12に記載の方法において、前記期待応答は前記変調深さにおける変化について計算される、方法。
- 請求項13に記載の方法において、実際の変調深さと、前記期待応答に対して計算された見かけの変調との対応は、実際の変調深さの第1の範囲に亘る正の相関関係と実際の変調深さの第2の範囲に亘る負の相関関係とを含む、方法。
- 請求項8に記載の方法において、前記1つまたは複数の横方向に十分に分解できない特徴についての情報は、1つまたは複数の半導体処理段階をモニタリングするために使用される、方法。
- 請求項15に記載の方法において、前記半導体処理段階は、アイソレーション・パターニングおよびエッチング、ポリシリコン・ゲート電極パターニングおよびエッチング、ソース/ドレイン・エッチングおよび堆積、並びに、メタライゼーション・パターニング、エッチング、および、研磨処理のいずれかを含む、方法。
- 試験対象物上の格子構造の1つまたは複数の空間特性を決定する装置であって、前記格子構造が400nm未満の幅を有するライン素子を備えるため前記ライン素子が干渉顕微鏡によって完全に分解できない、装置において、
コンピュータ内のプロセッサに、
1)前記干渉顕微鏡によって測定された前記試験対象物の異なる箇所における干渉信号から少なくとも幾らかの格子ラインの集まりに対する見かけの高さを決定させ、
2)前記格子構造の特性への異なる可能な値に対する前記干渉顕微鏡の期待応答を提供させ、ここで、前記期待応答は前記格子構造の十分に分解できないライン素子からの影響を含み、
3)前記見かけの高さを、前記異なる可能な値に対する前記期待応答と比較させて格子構造の空間特性についての情報を決定させ、
4)前記格子構造の前記空間特性についての前記決定された情報を出力させるプログラムを有するコンピュータ読取可能な媒体を備える装置。 - 試験対象物上の格子構造の1つまたは複数の空間特性を決定する装置であって、前記格子構造が400nm未満の幅を有するライン素子を備えるため前記ライン素子が干渉顕微鏡によって完全に分解できない、装置において、
干渉顕微鏡と、
前記干渉顕微鏡に接続される電子プロセッサであって、
1)前記干渉顕微鏡によって測定された前記試験対象物の異なる箇所における干渉信号から少なくとも幾らかの格子ラインの集まりに対する見かけの高さを決定し、
2)前記格子構造の特性への異なる可能な値に対する前記干渉顕微鏡の期待応答を提供し、ここで、前記期待応答は前記格子構造の十分に分解できないライン素子からの影響を含み、
3)前記見かけの高さを、前記異なる可能な値に対する前記期待応答と比較して格子構造の空間特性についての情報を決定し、
4)前記格子構造の前記空間特性についての前記決定された情報を出力するようにプログラミングされた電子プロセッサとを備える装置。 - 装置であって、
コンピュータ内のプロセッサに、
1)干渉分光システムによって生成される干渉分光信号から試験表面の1つまたは複数の見かけの特性を決定させ、
2)前記干渉分光信号から決定される前記見かけの特性と、前記試験表面の1つまたは複数の十分に分解できない特徴への異なる可能な値に対する前記干渉分光システムの期待応答とを比較させ、
3)前記比較に基づいて前記試験表面の前記1つまたは複数の十分に分解できない特徴についての情報を出力させるプログラムを有するコンピュータ読取可能な媒体を備える、装置。 - 装置であって、
試験対象物の異なる表面箇所に対応する複数の干渉分光信号を生成するように構成された干渉分光システムと、
前記干渉分光システムに接続され、前記干渉分光信号を受信する電子プロセッサであって、
1)前記干渉分光信号から試験表面の1つまたは複数の見かけの特性を決定し、
2)前記干渉分光信号から決定される前記見かけの特性と、前記試験表面の1つまたは複数の十分に分解できない特徴への異なる可能な値に対する前記干渉分光システムの期待応答とを比較し、
3)前記比較に基づいて前記試験表面の前記1つまたは複数の十分に分解できない特徴についての情報を出力するようにプログラミングされた電子プロセッサとを備える装置。
Applications Claiming Priority (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US73701605P | 2005-11-15 | 2005-11-15 | |
US60/737,016 | 2005-11-15 | ||
US11/525,355 US7324214B2 (en) | 2003-03-06 | 2006-09-21 | Interferometer and method for measuring characteristics of optically unresolved surface features |
US11/525,355 | 2006-09-21 |
Related Parent Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008540268A Division JP2009516171A (ja) | 2005-11-15 | 2006-11-13 | 光学的に未処理の表面特徴の特性を測定する干渉計及び方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2013210383A true JP2013210383A (ja) | 2013-10-10 |
JP5654636B2 JP5654636B2 (ja) | 2015-01-14 |
Family
ID=38049220
Family Applications (2)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2013113241A Active JP5654636B2 (ja) | 2005-11-15 | 2013-05-29 | 光学的に未処理の表面特徴の特性を測定する干渉計及び方法 |
JP2013113240A Pending JP2013224945A (ja) | 2005-11-15 | 2013-05-29 | 光学的に未処理の表面特徴の特性を測定する干渉計及び方法 |
Family Applications After (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2013113240A Pending JP2013224945A (ja) | 2005-11-15 | 2013-05-29 | 光学的に未処理の表面特徴の特性を測定する干渉計及び方法 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (3) | US7324214B2 (ja) |
JP (2) | JP5654636B2 (ja) |
TW (1) | TWI417518B (ja) |
WO (1) | WO2007059088A2 (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN104406539A (zh) * | 2014-11-21 | 2015-03-11 | 浙江工业大学 | 全天候主动式全景感知装置及3d全景建模方法 |
JP7351758B2 (ja) | 2020-01-29 | 2023-09-27 | レーザーテック株式会社 | 検査装置 |
Families Citing this family (150)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7139081B2 (en) * | 2002-09-09 | 2006-11-21 | Zygo Corporation | Interferometry method for ellipsometry, reflectometry, and scatterometry measurements, including characterization of thin film structures |
US7869057B2 (en) * | 2002-09-09 | 2011-01-11 | Zygo Corporation | Multiple-angle multiple-wavelength interferometer using high-NA imaging and spectral analysis |
US7106454B2 (en) * | 2003-03-06 | 2006-09-12 | Zygo Corporation | Profiling complex surface structures using scanning interferometry |
US7324214B2 (en) * | 2003-03-06 | 2008-01-29 | Zygo Corporation | Interferometer and method for measuring characteristics of optically unresolved surface features |
EP1664932B1 (en) * | 2003-09-15 | 2015-01-28 | Zygo Corporation | Interferometric analysis of surfaces |
US7277183B2 (en) * | 2004-04-22 | 2007-10-02 | Zygo Corporation | Vibration resistant interferometry |
WO2005114096A2 (en) * | 2004-05-18 | 2005-12-01 | Zygo Corporation | Methods and systems for determining optical properties using low-coherence interference signals |
DE102004026193B4 (de) * | 2004-05-28 | 2012-03-29 | Carl Mahr Holding Gmbh | Messverfahren zur Formmessung |
GB0415766D0 (en) * | 2004-07-14 | 2004-08-18 | Taylor Hobson Ltd | Apparatus for and a method of determining a characteristic of a layer or layers |
US20060012582A1 (en) * | 2004-07-15 | 2006-01-19 | De Lega Xavier C | Transparent film measurements |
US7428057B2 (en) * | 2005-01-20 | 2008-09-23 | Zygo Corporation | Interferometer for determining characteristics of an object surface, including processing and calibration |
US7884947B2 (en) * | 2005-01-20 | 2011-02-08 | Zygo Corporation | Interferometry for determining characteristics of an object surface, with spatially coherent illumination |
US7595891B2 (en) * | 2005-07-09 | 2009-09-29 | Kla-Tencor Corporation | Measurement of the top surface of an object with/without transparent thin films in white light interferometry |
US7636168B2 (en) * | 2005-10-11 | 2009-12-22 | Zygo Corporation | Interferometry method and system including spectral decomposition |
US7408649B2 (en) * | 2005-10-26 | 2008-08-05 | Kla-Tencor Technologies Corporation | Method and apparatus for optically analyzing a surface |
US7545512B2 (en) * | 2006-01-26 | 2009-06-09 | Koh Young Technology Inc. | Method for automated measurement of three-dimensional shape of circuit boards |
US7522288B2 (en) * | 2006-07-21 | 2009-04-21 | Zygo Corporation | Compensation of systematic effects in low coherence interferometry |
WO2008055060A2 (en) * | 2006-10-27 | 2008-05-08 | Zygo Corporation | Vibration resistant interferometry |
KR101519932B1 (ko) * | 2006-12-22 | 2015-05-13 | 지고 코포레이션 | 표면 특징물의 특성을 측정하기 위한 장치 및 방법 |
US7889355B2 (en) | 2007-01-31 | 2011-02-15 | Zygo Corporation | Interferometry for lateral metrology |
TWI322884B (en) * | 2007-03-27 | 2010-04-01 | Ind Tech Res Inst | Singal analysis method for vibratory interferometry |
US7505863B2 (en) * | 2007-07-13 | 2009-03-17 | Veeco Instruments, Inc. | Interferometric iterative technique with bandwidth and numerical-aperture dependency |
WO2009009831A1 (en) * | 2007-07-18 | 2009-01-22 | Iatia Imaging Pty Ltd | Method and apparatus for determining the surface profile of an object |
US7619746B2 (en) * | 2007-07-19 | 2009-11-17 | Zygo Corporation | Generating model signals for interferometry |
US7823440B2 (en) * | 2007-08-16 | 2010-11-02 | Micron Technology, Inc. | Systems and methods for characterizing thickness and topography of microelectronic workpiece layers |
WO2009024970A2 (en) * | 2007-08-19 | 2009-02-26 | Camtek Ltd. | Depth measurement of narrow holes |
US8072611B2 (en) * | 2007-10-12 | 2011-12-06 | Zygo Corporation | Interferometric analysis of under-resolved features |
US7978337B2 (en) * | 2007-11-13 | 2011-07-12 | Zygo Corporation | Interferometer utilizing polarization scanning |
FR2923905B1 (fr) * | 2007-11-19 | 2014-09-05 | Centre Nat Etd Spatiales | Procede et dispositif pour l'inversion interferometrique a echantillonnage libre |
KR101254161B1 (ko) * | 2007-12-14 | 2013-04-18 | 지고 코포레이션 | 주사 간섭계를 사용해서 표면 구조를 분석하는 방법 및 장치 |
US7821647B2 (en) * | 2008-02-21 | 2010-10-26 | Corning Incorporated | Apparatus and method for measuring surface topography of an object |
US7728984B2 (en) * | 2008-02-28 | 2010-06-01 | Inficon Gmbh | Method for evaluating a measured parameter |
US20090296365A1 (en) * | 2008-04-18 | 2009-12-03 | Coinsecure, Inc. | Calibrated and color-controlled multi-source lighting system for specimen illumination |
US8023121B2 (en) * | 2008-04-18 | 2011-09-20 | Coinsecure, Inc. | Method for optically collecting numismatic data and associated algorithms for unique identification of coins |
EP2281279B1 (en) * | 2008-04-18 | 2015-11-04 | Coinsecure, Inc. | Apparatus for producing optical signatures from coinage |
US20090295912A1 (en) * | 2008-05-12 | 2009-12-03 | Coinsecure, Inc. | Coin edge imaging device |
US20090296073A1 (en) * | 2008-05-28 | 2009-12-03 | Lam Research Corporation | Method to create three-dimensional images of semiconductor structures using a focused ion beam device and a scanning electron microscope |
JP6185693B2 (ja) * | 2008-06-11 | 2017-08-23 | ケーエルエー−テンカー・コーポレーションKla−Tencor Corporation | ウェーハー上の設計欠陥および工程欠陥の検出、ウェーハー上の欠陥の精査、設計内の1つ以上の特徴を工程監視特徴として使用するための選択、またはそのいくつかの組み合わせのためのシステムおよび方法 |
US8004688B2 (en) * | 2008-11-26 | 2011-08-23 | Zygo Corporation | Scan error correction in low coherence scanning interferometry |
US8107084B2 (en) * | 2009-01-30 | 2012-01-31 | Zygo Corporation | Interference microscope with scan motion detection using fringe motion in monitor patterns |
FI20095619A0 (fi) * | 2009-06-04 | 2009-06-04 | Gasera Ltd | Järjestelmä ja menetelmä suhteellisen liikkeen mittaamiseksi |
WO2010149403A1 (en) * | 2009-06-22 | 2010-12-29 | Asml Netherlands B.V. | Object inspection systems and methods |
US9075106B2 (en) * | 2009-07-30 | 2015-07-07 | International Business Machines Corporation | Detecting chip alterations with light emission |
US8189202B2 (en) * | 2009-08-04 | 2012-05-29 | Zygo Corporation | Interferometer for determining overlay errors |
TWI412940B (zh) * | 2009-10-06 | 2013-10-21 | Univ Nat Chiao Tung | Image reconstruction method, device and computer program for diffuse optical tomography |
US8379227B2 (en) * | 2009-10-28 | 2013-02-19 | Nanometrics Incorporated | Optical metrology on textured samples |
JP5591063B2 (ja) * | 2009-11-12 | 2014-09-17 | キヤノン株式会社 | 測定方法及び測定装置 |
US8610899B2 (en) * | 2009-12-02 | 2013-12-17 | Lumetrics, Inc. | Rotational and linear system and methods for scanning of objects |
JP5427896B2 (ja) | 2010-01-06 | 2014-02-26 | パナソニック株式会社 | 干渉を用いた膜厚計測装置及び干渉を用いた膜厚計測方法 |
US8729495B2 (en) * | 2010-03-24 | 2014-05-20 | President And Fellows Of Harvard College | Methods and apparatus for detecting neutral chemical units via nanostructures |
CN103119704A (zh) | 2010-07-23 | 2013-05-22 | 第一太阳能有限公司 | 在线计量系统及方法 |
US20120089365A1 (en) * | 2010-10-08 | 2012-04-12 | Zygo Corporation | Data interpolation methods for metrology of surfaces, films and underresolved structures |
US9066657B2 (en) * | 2010-11-23 | 2015-06-30 | General Electric Company | Methods and systems of optical imaging for target detection in a scattering medium |
RU2503922C2 (ru) * | 2010-11-24 | 2014-01-10 | Константин Васильевич Индукаев | Изображающий микроэллипсометр |
US8909491B2 (en) * | 2010-12-09 | 2014-12-09 | The United States Of America As Represented By The Adminstrator Of The National Aeronautics And Space Adminstration | Multi-point interferometric phase change detection method |
JP2014508921A (ja) * | 2011-01-31 | 2014-04-10 | ビアメトリクス ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング | 複数の波長の光を用いて薄膜層における強度を同時に測定することによって光学特性を決定する方法及び装置 |
US8379800B2 (en) * | 2011-03-29 | 2013-02-19 | Microsoft Corporation | Conference signal anomaly detection |
KR101186464B1 (ko) * | 2011-04-13 | 2012-09-27 | 에스엔유 프리시젼 주식회사 | Tsv 측정용 간섭계 및 이를 이용한 측정방법 |
US8818754B2 (en) * | 2011-04-22 | 2014-08-26 | Nanometrics Incorporated | Thin films and surface topography measurement using reduced library |
WO2012171687A1 (en) * | 2011-06-14 | 2012-12-20 | Asml Netherlands B.V. | Inspection for lithography |
US20130017762A1 (en) * | 2011-07-15 | 2013-01-17 | Infineon Technologies Ag | Method and Apparatus for Determining a Measure of a Thickness of a Polishing Pad of a Polishing Machine |
NL2009273A (en) * | 2011-08-31 | 2013-03-04 | Asml Netherlands Bv | Level sensor arrangement for lithographic apparatus, lithographic apparatus and device manufacturing method. |
CN103105283B (zh) * | 2011-11-15 | 2015-03-11 | 中国科学院西安光学精密机械研究所 | 单光谱大口径长焦距透镜的焦距测量装置 |
WO2013086350A1 (en) * | 2011-12-07 | 2013-06-13 | Celloptic, Inc. | Apparatus for producing a hologram |
JP2013160543A (ja) * | 2012-02-02 | 2013-08-19 | Canon Inc | 計測方法およびプログラム |
TWI484154B (zh) * | 2012-02-24 | 2015-05-11 | 光學檢測裝置及其運作方法 | |
JP5965167B2 (ja) * | 2012-03-16 | 2016-08-03 | 株式会社ミツトヨ | 白色光干渉測定装置 |
EP2677271B1 (en) | 2012-06-18 | 2017-04-26 | Mitutoyo Corporation | Broadband interferometer for determining a property of a thin film |
KR102231730B1 (ko) * | 2012-06-26 | 2021-03-24 | 케이엘에이 코포레이션 | 각도 분해형 반사율 측정에서의 스캐닝 및 광학 계측으로부터 회절의 알고리즘적 제거 |
CN102768024B (zh) * | 2012-07-05 | 2015-02-11 | 哈尔滨工业大学 | 一种基于分离反射镜组的共焦测量装置 |
US9311700B2 (en) | 2012-09-24 | 2016-04-12 | Kla-Tencor Corporation | Model-based registration and critical dimension metrology |
GB201219761D0 (en) * | 2012-11-02 | 2012-12-19 | Res & Dev Ltd | Method and apparatus for processing the signal in spectral interferometry and method and apparatus for spectral optical coherence tomography |
US9091650B2 (en) * | 2012-11-27 | 2015-07-28 | Kla-Tencor Corporation | Apodization for pupil imaging scatterometry |
US20150157199A1 (en) * | 2012-12-06 | 2015-06-11 | Noam Sapiens | Method and apparatus for scatterometric measurement of human tissue |
US8869081B2 (en) * | 2013-01-15 | 2014-10-21 | International Business Machines Corporation | Automating integrated circuit device library generation in model based metrology |
US9655521B2 (en) * | 2013-01-31 | 2017-05-23 | Physical Sciences, Inc. | Combined reflectance confocal microscopy-optical coherence tomography system for imaging of biological tissue |
KR102048793B1 (ko) * | 2013-02-12 | 2019-11-26 | 지고 코포레이션 | 표면 컬러를 이용한 표면 토포그래피 간섭측정계 |
US9696264B2 (en) | 2013-04-03 | 2017-07-04 | Kla-Tencor Corporation | Apparatus and methods for determining defect depths in vertical stack memory |
CN114594550B (zh) * | 2013-05-22 | 2023-12-29 | 菲尼萨公司 | 光学系统中像差校正的系统的方法 |
JP6190168B2 (ja) * | 2013-06-04 | 2017-08-30 | キヤノン株式会社 | 合焦方法、合焦装置、露光方法、およびデバイス製造方法 |
MX367557B (es) * | 2013-07-09 | 2019-08-26 | Ford Global Tech Llc | Sistema y metodo para caracterizar superficies usando datos de tamaño. |
US9377292B2 (en) * | 2013-08-06 | 2016-06-28 | Zygo Corporation | Interferometry employing refractive index dispersion broadening of interference signals |
US8930858B1 (en) * | 2013-11-27 | 2015-01-06 | United Microelectronics Corp. | Method for optical proximity correction |
US9194692B1 (en) | 2013-12-06 | 2015-11-24 | Western Digital (Fremont), Llc | Systems and methods for using white light interferometry to measure undercut of a bi-layer structure |
US10061111B2 (en) * | 2014-01-17 | 2018-08-28 | The Trustees Of Columbia University In The City Of New York | Systems and methods for three dimensional imaging |
US9335146B1 (en) | 2014-01-29 | 2016-05-10 | The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Navy | Dimensional measurement apparatus for a cylindrical object |
US9651356B1 (en) | 2014-01-29 | 2017-05-16 | The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Navy | Measuremental evaluation of dimensional tolerancing compliance of a cylindrical object |
GB2529131B (en) * | 2014-05-06 | 2019-06-05 | Taylor Hobson Ltd | Method and apparatus for characterising instrument error |
WO2015183994A1 (en) | 2014-05-28 | 2015-12-03 | Santec Corporation | Non-invasive optical measurement of blood analyte |
KR20170092522A (ko) | 2014-09-08 | 2017-08-11 | 더 리서치 파운데이션 포 더 스테이트 유니버시티 오브 뉴욕 | 금속 격자 및 이의 측정 방법 |
US9658150B2 (en) * | 2015-01-12 | 2017-05-23 | Kla-Tencor Corporation | System and method for semiconductor wafer inspection and metrology |
US10548520B2 (en) | 2015-04-01 | 2020-02-04 | Santec Corporation | Non-invasive optical measurement of blood analyte |
TWI568989B (zh) * | 2015-05-21 | 2017-02-01 | 財團法人工業技術研究院 | 全域式影像檢測系統及其檢測方法 |
CN106168466B (zh) | 2015-05-21 | 2019-06-28 | 财团法人工业技术研究院 | 全域式影像检测系统及其检测方法 |
CN106198568B (zh) * | 2015-05-24 | 2019-03-12 | 上海微电子装备(集团)股份有限公司 | 一种具有透明基底的薄膜的测量装置及测量方法 |
US10426336B2 (en) | 2015-06-01 | 2019-10-01 | Santec Corporation | Optical coherence tomography system combining two wavelengths |
JP6815336B2 (ja) * | 2015-06-30 | 2021-01-20 | コーニング インコーポレイテッド | 静的縞パターンを使用した干渉ロールオフ測定 |
CN105115940B (zh) * | 2015-09-08 | 2017-10-20 | 福州大学 | 光学材料折射率曲线测量方法及装置 |
CN108292106B (zh) * | 2015-10-09 | 2021-05-25 | Asml荷兰有限公司 | 用于检查及量测的方法和设备 |
JP6577342B2 (ja) | 2015-11-16 | 2019-09-18 | 株式会社村上開明堂 | ヘッドアップディスプレイ装置のコールドミラー、およびヘッドアップディスプレイ装置 |
EP3397949B1 (en) * | 2015-12-31 | 2022-05-18 | Zygo Corporation | Method and apparatus for optimizing the optical performance of interferometers |
US10136120B2 (en) | 2016-04-15 | 2018-11-20 | Microsoft Technology Licensing, Llc | Depth sensing using structured illumination |
US10677580B2 (en) | 2016-04-27 | 2020-06-09 | Santec Corporation | Optical coherence tomography system using polarization switching |
US9993153B2 (en) | 2016-07-06 | 2018-06-12 | Santec Corporation | Optical coherence tomography system and method with multiple apertures |
KR102216013B1 (ko) * | 2016-07-19 | 2021-02-15 | 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드 | 디지털 리소그래피를 위한 포커스 센터링 방법 |
JP6762608B2 (ja) * | 2016-09-06 | 2020-09-30 | 株式会社日立ハイテクサイエンス | 走査型白色干渉顕微鏡を用いた三次元形状計測方法 |
WO2018067243A1 (en) * | 2016-10-04 | 2018-04-12 | Kla-Tencor Corporation | Expediting spectral measurement in semiconductor device fabrication |
US10571248B2 (en) * | 2017-01-09 | 2020-02-25 | Kla-Tencor Corporation | Transparent film error correction pattern in wafer geometry system |
US9992472B1 (en) * | 2017-03-13 | 2018-06-05 | Heptagon Micro Optics Pte. Ltd. | Optoelectronic devices for collecting three-dimensional data |
US10426337B2 (en) | 2017-06-01 | 2019-10-01 | Santec Corporation | Flow imaging in an optical coherence tomography (OCT) system |
TWI778072B (zh) | 2017-06-22 | 2022-09-21 | 以色列商奧寶科技有限公司 | 用於在超高解析度面板中偵測缺陷之方法 |
US10408600B2 (en) * | 2017-06-22 | 2019-09-10 | Santec Corporation | Optical coherence tomography with a fizeau-type interferometer |
US10206567B2 (en) | 2017-07-12 | 2019-02-19 | Santec Corporation | Dual wavelength resampling system and method |
DE102017115922C5 (de) * | 2017-07-14 | 2023-03-23 | Precitec Gmbh & Co. Kg | Verfahren und Vorrichtung zur Messung und Einstellung eines Abstands zwischen einem Bearbeitungskopf und einem Werkstück sowie dazugehöriges Verfahren zur Regelung |
CN109752354A (zh) * | 2017-11-06 | 2019-05-14 | 锐准医光股份有限公司 | 整合米洛光学干涉显微术与荧光显微术的光学切层装置 |
US10502546B2 (en) | 2017-11-07 | 2019-12-10 | Santec Corporation | Systems and methods for variable-range fourier domain imaging |
KR102570888B1 (ko) | 2017-11-23 | 2023-08-28 | 삼성전자주식회사 | 마스크 레이아웃의 보정 방법 및 이를 이용한 반도체 소자의 제조방법 |
US11213200B2 (en) | 2018-03-22 | 2022-01-04 | Santec Corporation | Topographical imaging using combined sensing inputs |
CN108535863B (zh) * | 2018-03-30 | 2020-10-27 | 武汉华星光电技术有限公司 | 一种盖板的处理方法、控制器、盖板处理装置及存储介质 |
US10838047B2 (en) | 2018-04-17 | 2020-11-17 | Santec Corporation | Systems and methods for LIDAR scanning of an environment over a sweep of wavelengths |
US11067671B2 (en) | 2018-04-17 | 2021-07-20 | Santec Corporation | LIDAR sensing arrangements |
WO2019212959A1 (en) * | 2018-05-03 | 2019-11-07 | Arizona Board Of Regents On Behalf Of The University Of Arizona | Interferometer with multiple wavelength sources of different coherence lengths |
CN110658196B (zh) * | 2018-06-29 | 2022-07-08 | 上海微电子装备(集团)股份有限公司 | 一种缺陷检测装置及缺陷检测方法 |
TWI718557B (zh) * | 2018-06-29 | 2021-02-11 | 美商伊路米納有限公司 | 用於預測結構照明參數之方法、系統和非暫時性電腦可讀取媒體 |
CN110726702A (zh) * | 2018-07-17 | 2020-01-24 | 锐准医光股份有限公司 | 采用进阶光学干涉显微术的光学切层装置 |
TWI691700B (zh) * | 2018-07-18 | 2020-04-21 | 薩摩亞商銳準醫光股份有限公司 | 採用進階光學干涉顯微術之光學切層裝置 |
CN113396312B (zh) * | 2018-10-12 | 2024-03-01 | 电力研究所有限公司 | 用于在光学失真介质中测量表面特性的方法 |
US11011435B2 (en) * | 2018-11-20 | 2021-05-18 | Asm Technology Singapore Pte Ltd | Apparatus and method inspecting bonded semiconductor dice |
KR102506803B1 (ko) * | 2018-11-23 | 2023-03-07 | 삼성전자주식회사 | 배선 기판 테스트 방법 및 이를 수행하기 위한 장치 |
FR3089286B1 (fr) * | 2018-11-30 | 2022-04-01 | Unity Semiconductor | Procédé et système pour mesurer une surface d’un objet comprenant des structures différentes par interférométrie à faible cohérence |
JP7481090B2 (ja) * | 2019-01-09 | 2024-05-10 | 株式会社ディスコ | 厚み計測装置、及び厚み計測装置を備えた加工装置 |
US11614321B2 (en) * | 2019-03-29 | 2023-03-28 | Topcon Corporation | Method and apparatus for measuring tear film thickness using optical interference |
US11150195B2 (en) | 2019-09-25 | 2021-10-19 | Onto Innovation Inc. | Sample surface polarization modification in interferometric defect inspection |
JP7358204B2 (ja) * | 2019-11-11 | 2023-10-10 | 大塚電子株式会社 | 膜厚測定装置および膜厚測定方法 |
WO2021104631A1 (de) * | 2019-11-28 | 2021-06-03 | Ev Group E. Thallner Gmbh | Vorrichtung und verfahren zur vermessung eines substrats |
CN111076659B (zh) * | 2019-12-02 | 2022-05-24 | 深圳市太赫兹科技创新研究院有限公司 | 一种信号处理方法、装置、终端和计算机可读存储介质 |
CN113008160B (zh) * | 2020-02-24 | 2023-02-10 | 长江存储科技有限责任公司 | 用于半导体芯片表面形貌计量的系统和方法 |
CN111406198B (zh) | 2020-02-24 | 2021-02-19 | 长江存储科技有限责任公司 | 用于半导体芯片表面形貌计量的系统和方法 |
TW202146861A (zh) * | 2020-02-24 | 2021-12-16 | 以色列商諾發股份有限公司 | 光學量測系統及方法 |
CN111386441B (zh) * | 2020-02-24 | 2021-02-19 | 长江存储科技有限责任公司 | 用于半导体芯片表面形貌计量的系统 |
WO2021168613A1 (en) | 2020-02-24 | 2021-09-02 | Yangtze Memory Technologies Co., Ltd. | Systems and methods for semiconductor chip surface topography metrology |
JP6758736B1 (ja) * | 2020-04-08 | 2020-09-23 | 大塚電子株式会社 | 光学測定システムおよび光学測定方法 |
TWI799875B (zh) * | 2021-05-28 | 2023-04-21 | 國立中央大學 | 折射率量測系統、方法與其所使用的全反射子系統 |
CN113740034B (zh) * | 2021-08-19 | 2024-04-30 | 中国科学院合肥物质科学研究院 | 基于光学干涉的薄膜均匀性检测系统 |
CN113624459A (zh) * | 2021-08-19 | 2021-11-09 | 中国科学院合肥物质科学研究院 | 基于相干层析成像的薄膜均匀性检测系统 |
CN113784043B (zh) * | 2021-08-26 | 2023-07-18 | 昆山丘钛微电子科技股份有限公司 | 摄像模组控制电路、控制方法、摄像模组及电子设备 |
CN113837947B (zh) * | 2021-11-29 | 2022-05-20 | 南开大学 | 一种获得光学相干层析大焦深图像的处理方法 |
CN114322836B (zh) * | 2022-03-17 | 2022-05-27 | 板石智能科技(深圳)有限公司 | 基于启发式搜索的周期纳米结构形貌参数测量方法及装置 |
CN114910015A (zh) * | 2022-04-29 | 2022-08-16 | 深圳市中图仪器股份有限公司 | 白光干涉信号的重建方法 |
CN117059512B (zh) * | 2023-10-13 | 2024-01-26 | 苏州瑞霏光电科技有限公司 | 一种晶圆的三维表面微观测量方法及系统 |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002005634A (ja) * | 2000-06-16 | 2002-01-09 | Toshiba Corp | 段差測定方法とその装置およびエッチング方法 |
JP2003068639A (ja) * | 2001-06-15 | 2003-03-07 | Nikon Corp | 重ね合わせ測定方法、テストマークおよび非像化測定装置 |
JP2003229414A (ja) * | 2002-02-04 | 2003-08-15 | Toshiba Corp | モニタ方法、エッチング方法及び半導体装置の製造方法 |
WO2004079294A2 (en) * | 2003-03-06 | 2004-09-16 | Zygo Corporation | Characterizing and profiling complex surface structures using scanning interferometry |
Family Cites Families (184)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US585871A (en) * | 1897-07-06 | Nicholas koeler | ||
US2612074A (en) | 1949-03-30 | 1952-09-30 | Prec Mecanique Paris Soc | Interferometer |
US4199219A (en) | 1977-04-22 | 1980-04-22 | Canon Kabushiki Kaisha | Device for scanning an object with a light beam |
US4188122A (en) | 1978-03-27 | 1980-02-12 | Rockwell International Corporation | Interferometer |
US4340306A (en) | 1980-02-04 | 1982-07-20 | Balasubramanian N | Optical system for surface topography measurement |
US4355903A (en) * | 1980-02-08 | 1982-10-26 | Rca Corporation | Thin film thickness monitor |
DE3145633A1 (de) | 1981-11-17 | 1983-08-11 | Byk-Mallinckrodt Chemische Produkte Gmbh, 4230 Wesel | Vorrichtung zur farbmessung |
US4576479A (en) * | 1982-05-17 | 1986-03-18 | Downs Michael J | Apparatus and method for investigation of a surface |
US4523846A (en) | 1982-09-10 | 1985-06-18 | The United States Of America As Represented By The Administrator Of The National Aeronautics And Space Administration | Integrated optics in an electrically scanned imaging Fourier transform spectrometer |
JPS60127403A (ja) * | 1983-12-13 | 1985-07-08 | Anritsu Corp | 厚み測定装置 |
US4618262A (en) * | 1984-04-13 | 1986-10-21 | Applied Materials, Inc. | Laser interferometer system and method for monitoring and controlling IC processing |
US4710642A (en) | 1985-08-20 | 1987-12-01 | Mcneil John R | Optical scatterometer having improved sensitivity and bandwidth |
US4639139A (en) | 1985-09-27 | 1987-01-27 | Wyko Corporation | Optical profiler using improved phase shifting interferometry |
US4818110A (en) * | 1986-05-06 | 1989-04-04 | Kla Instruments Corporation | Method and apparatus of using a two beam interference microscope for inspection of integrated circuits and the like |
US4806018A (en) | 1987-07-06 | 1989-02-21 | The Boeing Company | Angular reflectance sensor |
US4869593A (en) | 1988-04-22 | 1989-09-26 | Zygo Corporation | Interferometric surface profiler |
US4923301A (en) | 1988-05-26 | 1990-05-08 | American Telephone And Telegraph Company | Alignment of lithographic system |
US4964726A (en) | 1988-09-27 | 1990-10-23 | General Electric Company | Apparatus and method for optical dimension measurement using interference of scattered electromagnetic energy |
US4948253A (en) | 1988-10-28 | 1990-08-14 | Zygo Corporation | Interferometric surface profiler for spherical surfaces |
GB8903725D0 (en) * | 1989-02-18 | 1989-04-05 | Cambridge Consultants | Coherent tracking sensor |
US5042949A (en) * | 1989-03-17 | 1991-08-27 | Greenberg Jeffrey S | Optical profiler for films and substrates |
US4999014A (en) | 1989-05-04 | 1991-03-12 | Therma-Wave, Inc. | Method and apparatus for measuring thickness of thin films |
US5042951A (en) * | 1989-09-19 | 1991-08-27 | Therma-Wave, Inc. | High resolution ellipsometric apparatus |
US5073018A (en) | 1989-10-04 | 1991-12-17 | The Board Of Trustees Of The Leland Stanford Junior University | Correlation microscope |
DE3942896A1 (de) | 1989-12-23 | 1991-06-27 | Zeiss Carl Fa | Interferometrischer sensor zur messung von abstandsaenderungen einer kleinen flaeche |
US5112129A (en) * | 1990-03-02 | 1992-05-12 | Kla Instruments Corporation | Method of image enhancement for the coherence probe microscope with applications to integrated circuit metrology |
US5135307A (en) * | 1990-05-30 | 1992-08-04 | Hughes Danbury Optical System, Inc. | Laser diode interferometer |
US5241369A (en) | 1990-10-01 | 1993-08-31 | Mcneil John R | Two-dimensional optical scatterometer apparatus and process |
US5129724A (en) * | 1991-01-29 | 1992-07-14 | Wyko Corporation | Apparatus and method for simultaneous measurement of film thickness and surface height variation for film-substrate sample |
US5164790A (en) | 1991-02-27 | 1992-11-17 | Mcneil John R | Simple CD measurement of periodic structures on photomasks |
DE69231715D1 (de) * | 1991-03-04 | 2001-04-12 | At & T Corp | Herstellungsverfahren von integrierten Halbleiterschaltungen unter Anwendung von latenten Bildern |
DE4108944A1 (de) | 1991-03-19 | 1992-09-24 | Haeusler Gerd | Verfahren und einrichtung zur beruehrungslosen erfassung der oberflaechengestalt von diffus streuenden objekten |
US5153669A (en) | 1991-03-27 | 1992-10-06 | Hughes Danbury Optical Systems, Inc. | Three wavelength optical measurement apparatus and method |
US5194918A (en) | 1991-05-14 | 1993-03-16 | The Board Of Trustees Of The Leland Stanford Junior University | Method of providing images of surfaces with a correlation microscope by transforming interference signals |
US5173746A (en) | 1991-05-21 | 1992-12-22 | Wyko Corporation | Method for rapid, accurate measurement of step heights between dissimilar materials |
US5133601A (en) * | 1991-06-12 | 1992-07-28 | Wyko Corporation | Rough surface profiler and method |
US5204734A (en) | 1991-06-12 | 1993-04-20 | Wyko Corporation | Rough surface profiler and method |
JPH05304627A (ja) | 1991-08-19 | 1993-11-16 | Fuji Photo Film Co Ltd | ビデオカメラのサイドグリップ |
US5181080A (en) | 1991-12-23 | 1993-01-19 | Therma-Wave, Inc. | Method and apparatus for evaluating the thickness of thin films |
US5390023A (en) | 1992-06-03 | 1995-02-14 | Zygo Corporation | Interferometric method and apparatus to measure surface topography |
US5402234A (en) | 1992-08-31 | 1995-03-28 | Zygo Corporation | Method and apparatus for the rapid acquisition of data in coherence scanning interferometry |
US5539571A (en) | 1992-09-21 | 1996-07-23 | Sdl, Inc. | Differentially pumped optical amplifer and mopa device |
US5384717A (en) | 1992-11-23 | 1995-01-24 | Ford Motor Company | Non-contact method of obtaining dimensional information about an object |
US5398113A (en) * | 1993-02-08 | 1995-03-14 | Zygo Corporation | Method and apparatus for surface topography measurement by spatial-frequency analysis of interferograms |
US5777742A (en) | 1993-03-11 | 1998-07-07 | Environmental Research Institute Of Michigan | System and method for holographic imaging with discernible image of an object |
DE4309056B4 (de) | 1993-03-20 | 2006-05-24 | Häusler, Gerd, Prof. Dr. | Verfahren und Vorrichtung zur Ermittlung der Entfernung und Streuintensität von streuenden Punkten |
US5386119A (en) | 1993-03-25 | 1995-01-31 | Hughes Aircraft Company | Apparatus and method for thick wafer measurement |
JPH074922A (ja) * | 1993-06-21 | 1995-01-10 | Jasco Corp | 半導体多層薄膜膜厚測定装置およびその測定方法 |
EP0767361B1 (en) | 1993-07-22 | 2000-02-23 | Applied Spectral Imaging Ltd. | Method and apparatus for spectral imaging |
US5856871A (en) | 1993-08-18 | 1999-01-05 | Applied Spectral Imaging Ltd. | Film thickness mapping using interferometric spectral imaging |
US5481811A (en) | 1993-11-22 | 1996-01-09 | The Budd Company | Universal inspection workpiece holder |
US5483064A (en) | 1994-01-21 | 1996-01-09 | Wyko Corporation | Positioning mechanism and method for providing coaxial alignment of a probe and a scanning means in scanning tunneling and scanning force microscopy |
US5459564A (en) | 1994-02-18 | 1995-10-17 | Chivers; James T. | Apparatus and method for inspecting end faces of optical fibers and optical fiber connectors |
US5471303A (en) | 1994-04-29 | 1995-11-28 | Wyko Corporation | Combination of white-light scanning and phase-shifting interferometry for surface profile measurements |
US5633714A (en) | 1994-12-19 | 1997-05-27 | International Business Machines Corporation | Preprocessing of image amplitude and phase data for CD and OL measurement |
US5555471A (en) | 1995-05-24 | 1996-09-10 | Wyko Corporation | Method for measuring thin-film thickness and step height on the surface of thin-film/substrate test samples by phase-shifting interferometry |
US5589938A (en) * | 1995-07-10 | 1996-12-31 | Zygo Corporation | Method and apparatus for optical interferometric measurements with reduced sensitivity to vibration |
US5703692A (en) | 1995-08-03 | 1997-12-30 | Bio-Rad Laboratories, Inc. | Lens scatterometer system employing source light beam scanning means |
US5748318A (en) | 1996-01-23 | 1998-05-05 | Brown University Research Foundation | Optical stress generator and detector |
US5602643A (en) * | 1996-02-07 | 1997-02-11 | Wyko Corporation | Method and apparatus for correcting surface profiles determined by phase-shifting interferometry according to optical parameters of test surface |
US5640270A (en) | 1996-03-11 | 1997-06-17 | Wyko Corporation | Orthogonal-scanning microscope objective for vertical-scanning and phase-shifting interferometry |
GB9610471D0 (en) | 1996-05-18 | 1996-07-24 | Univ Nottingham | Optical measurement |
US5880838A (en) | 1996-06-05 | 1999-03-09 | California Institute Of California | System and method for optically measuring a structure |
JP3459327B2 (ja) | 1996-06-17 | 2003-10-20 | 理化学研究所 | 積層構造体の層厚および屈折率の測定方法およびその測定装置 |
US5923423A (en) | 1996-09-12 | 1999-07-13 | Sentec Corporation | Heterodyne scatterometer for detecting and analyzing wafer surface defects |
US5956141A (en) | 1996-09-13 | 1999-09-21 | Olympus Optical Co., Ltd. | Focus adjusting method and shape measuring device and interference microscope using said focus adjusting method |
US5757502A (en) | 1996-10-02 | 1998-05-26 | Vlsi Technology, Inc. | Method and a system for film thickness sample assisted surface profilometry |
US5774224A (en) * | 1997-01-24 | 1998-06-30 | International Business Machines Corporation | Linear-scanning, oblique-viewing optical apparatus |
US5777740A (en) | 1997-02-27 | 1998-07-07 | Phase Metrics | Combined interferometer/polarimeter |
US5867276A (en) | 1997-03-07 | 1999-02-02 | Bio-Rad Laboratories, Inc. | Method for broad wavelength scatterometry |
US5784164A (en) | 1997-03-20 | 1998-07-21 | Zygo Corporation | Method and apparatus for automatically and simultaneously determining best focus and orientation of objects to be measured by broad-band interferometric means |
JP3275797B2 (ja) | 1997-09-10 | 2002-04-22 | 松下電器産業株式会社 | 低圧水銀蒸気放電ランプ |
US6031615A (en) | 1997-09-22 | 2000-02-29 | Candela Instruments | System and method for simultaneously measuring lubricant thickness and degradation, thin film thickness and wear, and surface roughness |
US20020015146A1 (en) | 1997-09-22 | 2002-02-07 | Meeks Steven W. | Combined high speed optical profilometer and ellipsometer |
US6665078B1 (en) | 1997-09-22 | 2003-12-16 | Candela Instruments | System and method for simultaneously measuring thin film layer thickness, reflectivity, roughness, surface profile and magnetic pattern in thin film magnetic disks and silicon wafers |
US6392749B1 (en) | 1997-09-22 | 2002-05-21 | Candela Instruments | High speed optical profilometer for measuring surface height variation |
US5912741A (en) | 1997-10-10 | 1999-06-15 | Northrop Grumman Corporation | Imaging scatterometer |
US5963329A (en) | 1997-10-31 | 1999-10-05 | International Business Machines Corporation | Method and apparatus for measuring the profile of small repeating lines |
US5900633A (en) * | 1997-12-15 | 1999-05-04 | On-Line Technologies, Inc | Spectrometric method for analysis of film thickness and composition on a patterned sample |
US6124141A (en) | 1998-01-07 | 2000-09-26 | International Business Machines Corporation | Non-destructive method and device for measuring the depth of a buried interface |
US6028670A (en) | 1998-01-19 | 2000-02-22 | Zygo Corporation | Interferometric methods and systems using low coherence illumination |
US5953124A (en) | 1998-01-19 | 1999-09-14 | Zygo Corporation | Interferometric methods and systems using low coherence illumination |
US6407816B1 (en) | 1998-02-23 | 2002-06-18 | Zygo Corporation | Interferometer and method for measuring the refractive index and optical path length effects of air |
US6483580B1 (en) | 1998-03-06 | 2002-11-19 | Kla-Tencor Technologies Corporation | Spectroscopic scatterometer system |
DE19814057B4 (de) * | 1998-03-30 | 2009-01-02 | Carl Zeiss Meditec Ag | Anordnung zur optischen Kohärenztomographie und Kohärenztopographie |
US6242739B1 (en) * | 1998-04-21 | 2001-06-05 | Alexander P. Cherkassky | Method and apparatus for non-destructive determination of film thickness and dopant concentration using fourier transform infrared spectrometry |
US6275297B1 (en) | 1998-08-19 | 2001-08-14 | Sc Technology | Method of measuring depths of structures on a semiconductor substrate |
USH1972H1 (en) * | 1998-10-06 | 2001-07-03 | Nikon Corporation | Autofocus system using common path interferometry |
JP2000121317A (ja) | 1998-10-12 | 2000-04-28 | Hitachi Electronics Eng Co Ltd | 光干渉計の干渉位相検出方式 |
US6159073A (en) | 1998-11-02 | 2000-12-12 | Applied Materials, Inc. | Method and apparatus for measuring substrate layer thickness during chemical mechanical polishing |
JP3569726B2 (ja) | 1998-12-15 | 2004-09-29 | 独立行政法人理化学研究所 | 試料の幾何学的厚さおよび屈折率測定装置およびその測定方法 |
US6184984B1 (en) | 1999-02-09 | 2001-02-06 | Kla-Tencor Corporation | System for measuring polarimetric spectrum and other properties of a sample |
KR100290086B1 (ko) | 1999-03-23 | 2001-05-15 | 윤덕용 | 백색광주사간섭법을 이용한 투명한 박막층의 3차원 두께 형상 측정 및 굴절률 측정 방법 및 그 기록매체 |
US6449066B1 (en) * | 1999-04-29 | 2002-09-10 | Kaiser Optical Systems, Inc. | Polarization insensitive, high dispersion optical element |
US6888638B1 (en) | 1999-05-05 | 2005-05-03 | Zygo Corporation | Interferometry system having a dynamic beam steering assembly for measuring angle and distance |
TW477897B (en) * | 1999-05-07 | 2002-03-01 | Sharp Kk | Liquid crystal display device, method and device to measure cell thickness of liquid crystal display device, and phase difference plate using the method thereof |
US6507405B1 (en) * | 1999-05-17 | 2003-01-14 | Ultratech Stepper, Inc. | Fiber-optic interferometer employing low-coherence-length light for precisely measuring absolute distance and tilt |
US6249351B1 (en) * | 1999-06-03 | 2001-06-19 | Zygo Corporation | Grazing incidence interferometer and method |
US6381009B1 (en) | 1999-06-29 | 2002-04-30 | Nanometrics Incorporated | Elemental concentration measuring methods and instruments |
US6160621A (en) | 1999-09-30 | 2000-12-12 | Lam Research Corporation | Method and apparatus for in-situ monitoring of plasma etch and deposition processes using a pulsed broadband light source |
US6259521B1 (en) * | 1999-10-05 | 2001-07-10 | Advanced Micro Devices, Inc. | Method and apparatus for controlling photolithography parameters based on photoresist images |
JP3642996B2 (ja) | 1999-11-18 | 2005-04-27 | 独立行政法人科学技術振興機構 | 光干渉法による測定対象物の屈折率と厚さの同時測定方法及びそのための装置 |
US6545761B1 (en) | 1999-11-30 | 2003-04-08 | Veeco Instruments, Inc. | Embedded interferometer for reference-mirror calibration of interferometric microscope |
AU2001260975A1 (en) | 2000-01-25 | 2001-08-20 | Zygo Corporation | Optical systems for measuring form and geometric dimensions of precision engineered parts |
JP4673955B2 (ja) | 2000-03-24 | 2011-04-20 | オリンパス株式会社 | 光学装置 |
US6429943B1 (en) | 2000-03-29 | 2002-08-06 | Therma-Wave, Inc. | Critical dimension analysis with simultaneous multiple angle of incidence measurements |
LU90580B1 (fr) | 2000-05-08 | 2001-11-09 | Europ Economic Community | M-thode d'identification d'un objet |
US6449048B1 (en) | 2000-05-11 | 2002-09-10 | Veeco Instruments, Inc. | Lateral-scanning interferometer with tilted optical axis |
US6597460B2 (en) * | 2000-05-19 | 2003-07-22 | Zygo Corporation | Height scanning interferometer for determining the absolute position and surface profile of an object with respect to a datum |
US6417109B1 (en) * | 2000-07-26 | 2002-07-09 | Aiwa Co., Ltd. | Chemical-mechanical etch (CME) method for patterned etching of a substrate surface |
EP1303778A2 (en) | 2000-07-27 | 2003-04-23 | Zetetic Institute | Differential interferometric scanning near-field confocal microscopy |
US6847029B2 (en) | 2000-07-27 | 2005-01-25 | Zetetic Institute | Multiple-source arrays with optical transmission enhanced by resonant cavities |
US7317531B2 (en) | 2002-12-05 | 2008-01-08 | Kla-Tencor Technologies Corporation | Apparatus and methods for detecting overlay errors using scatterometry |
US6694284B1 (en) | 2000-09-20 | 2004-02-17 | Kla-Tencor Technologies Corp. | Methods and systems for determining at least four properties of a specimen |
US6917419B2 (en) | 2000-09-20 | 2005-07-12 | Kla-Tencor Technologies Corp. | Methods and systems for determining flatness, a presence of defects, and a thin film characteristic of a specimen |
US6891627B1 (en) | 2000-09-20 | 2005-05-10 | Kla-Tencor Technologies Corp. | Methods and systems for determining a critical dimension and overlay of a specimen |
US6798511B1 (en) | 2000-10-18 | 2004-09-28 | Regents Of The University Of Minnesota | Imaging ellipsometry |
ATE464534T1 (de) * | 2000-11-02 | 2010-04-15 | Zygo Corp | Verfahren und vorrichtung zur höhenabtastenden interferometrie mit phasendifferenz-analyse |
US6633389B1 (en) | 2000-11-28 | 2003-10-14 | Nanometrics Incorporated | Profiling method |
US6909509B2 (en) | 2001-02-20 | 2005-06-21 | Zygo Corporation | Optical surface profiling systems |
US6721094B1 (en) * | 2001-03-05 | 2004-04-13 | Sandia Corporation | Long working distance interference microscope |
KR100393429B1 (ko) | 2001-04-09 | 2003-08-02 | 한국과학기술원 | 각기 다른 금속 물질의 단차 측정을 위한 두 파장 백색광간섭법과 간섭계 |
US6624894B2 (en) * | 2001-06-25 | 2003-09-23 | Veeco Instruments Inc. | Scanning interferometry with reference signal |
US7382447B2 (en) | 2001-06-26 | 2008-06-03 | Kla-Tencor Technologies Corporation | Method for determining lithographic focus and exposure |
US6867866B1 (en) | 2001-08-10 | 2005-03-15 | Therma-Wave, Inc. | CD metrology analysis using green's function |
US6741357B2 (en) | 2001-08-14 | 2004-05-25 | Seagate Technology Llc | Quadrature phase shift interferometer with unwrapping of phase |
EP1430270A4 (en) | 2001-09-21 | 2006-10-25 | Kmac | METHOD AND DEVICE FOR MEASURING THE THICK PROFILE AND THE DISTRIBUTION OF THIN FILM MULTI-LAYER REFRACTIVE INDICES BY TWO-DIMENSIONAL REFLECTOMETRY |
US6714307B2 (en) | 2001-10-16 | 2004-03-30 | Zygo Corporation | Measurement of complex surface shapes using a spherical wavefront |
KR100437024B1 (ko) * | 2001-10-18 | 2004-06-23 | 엘지전자 주식회사 | 박막 검사 방법 및 그 장치 |
US6630982B2 (en) | 2001-10-18 | 2003-10-07 | Motorola, Inc. | Color and intensity tunable liquid crystal device |
KR100354613B1 (ko) * | 2001-11-06 | 2002-10-11 | 박헌휘 | 교체 가능한 침지형 중공사막 모듈 |
US7030995B2 (en) | 2001-12-10 | 2006-04-18 | Zygo Corporation | Apparatus and method for mechanical phase shifting interferometry |
US6856384B1 (en) | 2001-12-13 | 2005-02-15 | Nanometrics Incorporated | Optical metrology system with combined interferometer and ellipsometer |
US6934035B2 (en) * | 2001-12-18 | 2005-08-23 | Massachusetts Institute Of Technology | System and method for measuring optical distance |
CN1623085A (zh) | 2002-01-24 | 2005-06-01 | 通用医疗公司 | 使用光谱带并行检测的低相干干涉测量法(lci)和光学相干层析成像(oct)信号的测距和降噪的装置和方法 |
GB2385417B (en) | 2002-03-14 | 2004-01-21 | Taylor Hobson Ltd | Surface profiling apparatus |
CN1320334C (zh) | 2002-03-14 | 2007-06-06 | 泰勒·霍布森有限公司 | 表面成型设备和获得数据方法,数据处理设备及其相关器 |
US7068376B2 (en) | 2002-04-19 | 2006-06-27 | Zygo Corporation | Interferometry method and apparatus for producing lateral metrology images |
AU2003241356A1 (en) | 2002-05-02 | 2003-11-17 | Zygo Corporation | Phase gap analysis for scanning interferometry |
DE10392828T5 (de) | 2002-06-17 | 2005-07-21 | Zygo Corp., Middlefield | Interferometrieverfahren und -systeme mit gekoppelter Hohlraumgeometrie zur Verwendung mit einer erweiterten Quelle |
WO2003106921A1 (en) | 2002-06-17 | 2003-12-24 | Zygo Corporation | Interferometric optical system and methods providing simultaneously scanned optical path length and focus |
WO2004003463A2 (en) | 2002-07-01 | 2004-01-08 | Lightgage, Inc. | Interferometer system of compact configuration |
JP4313006B2 (ja) | 2002-08-30 | 2009-08-12 | コニカミノルタビジネステクノロジーズ株式会社 | 画像形成方法 |
US7139081B2 (en) * | 2002-09-09 | 2006-11-21 | Zygo Corporation | Interferometry method for ellipsometry, reflectometry, and scatterometry measurements, including characterization of thin film structures |
US7869057B2 (en) | 2002-09-09 | 2011-01-11 | Zygo Corporation | Multiple-angle multiple-wavelength interferometer using high-NA imaging and spectral analysis |
US6925860B1 (en) | 2003-02-21 | 2005-08-09 | Nanometrics Incorporated | Leveling a measured height profile |
US7271918B2 (en) * | 2003-03-06 | 2007-09-18 | Zygo Corporation | Profiling complex surface structures using scanning interferometry |
US7324214B2 (en) | 2003-03-06 | 2008-01-29 | Zygo Corporation | Interferometer and method for measuring characteristics of optically unresolved surface features |
US7106454B2 (en) * | 2003-03-06 | 2006-09-12 | Zygo Corporation | Profiling complex surface structures using scanning interferometry |
US6985232B2 (en) * | 2003-03-13 | 2006-01-10 | Tokyo Electron Limited | Scatterometry by phase sensitive reflectometer |
US7049156B2 (en) | 2003-03-19 | 2006-05-23 | Verity Instruments, Inc. | System and method for in-situ monitor and control of film thickness and trench depth |
US6999180B1 (en) | 2003-04-02 | 2006-02-14 | Kla-Tencor Technologies Corporation | Optical film topography and thickness measurement |
DE10327019A1 (de) | 2003-06-12 | 2004-12-30 | Carl Zeiss Sms Gmbh | Verfahren zur Bestimmung der Abbildungsgüte eines optischen Abbildungssystems |
US7102761B2 (en) | 2003-06-13 | 2006-09-05 | Zygo Corporation | Scanning interferometry |
US6956716B2 (en) | 2003-07-30 | 2005-10-18 | Hitachi Global Storage Technologies Netherlands, B.V. | Magnetic head having multilayer heater for thermally assisted write head and method of fabrication thereof |
FI20031143A0 (fi) | 2003-08-08 | 2003-08-08 | Wallac Oy | Optinen fokusointimenetelmä ja -järjestely |
US7061623B2 (en) | 2003-08-25 | 2006-06-13 | Spectel Research Corporation | Interferometric back focal plane scatterometry with Koehler illumination |
EP1664932B1 (en) * | 2003-09-15 | 2015-01-28 | Zygo Corporation | Interferometric analysis of surfaces |
TWI335417B (en) | 2003-10-27 | 2011-01-01 | Zygo Corp | Method and apparatus for thin film measurement |
WO2005067579A2 (en) * | 2004-01-06 | 2005-07-28 | Zygo Corporation | Multi-axis interferometers and methods and systems using multi-axis interferometers |
US20050179911A1 (en) | 2004-02-17 | 2005-08-18 | Digital Optics Corporation | Aspheric diffractive reference for interferometric lens metrology |
US7492469B2 (en) | 2004-03-15 | 2009-02-17 | Zygo Corporation | Interferometry systems and methods using spatial carrier fringes |
WO2005119169A2 (en) | 2004-04-19 | 2005-12-15 | Arist Instruments, Inc. | Beam profile complex reflectance system and method for thin film and critical dimension measurements |
US7177030B2 (en) | 2004-04-22 | 2007-02-13 | Technion Research And Development Foundation Ltd. | Determination of thin film topography |
US7277183B2 (en) * | 2004-04-22 | 2007-10-02 | Zygo Corporation | Vibration resistant interferometry |
WO2005114096A2 (en) | 2004-05-18 | 2005-12-01 | Zygo Corporation | Methods and systems for determining optical properties using low-coherence interference signals |
US7119909B2 (en) | 2004-06-16 | 2006-10-10 | Veeco Instruments, Inc. | Film thickness and boundary characterization by interferometric profilometry |
US20060012582A1 (en) * | 2004-07-15 | 2006-01-19 | De Lega Xavier C | Transparent film measurements |
US20060066842A1 (en) | 2004-09-30 | 2006-03-30 | Saunders Winston A | Wafer inspection with a customized reflective optical channel component |
US7884947B2 (en) | 2005-01-20 | 2011-02-08 | Zygo Corporation | Interferometry for determining characteristics of an object surface, with spatially coherent illumination |
US7428057B2 (en) | 2005-01-20 | 2008-09-23 | Zygo Corporation | Interferometer for determining characteristics of an object surface, including processing and calibration |
JP2006214856A (ja) | 2005-02-03 | 2006-08-17 | Canon Inc | 測定装置及び方法 |
EP1883781B1 (en) | 2005-05-19 | 2019-08-07 | Zygo Corporation | Analyzing low-coherence interferometry signals for thin film structures |
US7595891B2 (en) | 2005-07-09 | 2009-09-29 | Kla-Tencor Corporation | Measurement of the top surface of an object with/without transparent thin films in white light interferometry |
US7636168B2 (en) | 2005-10-11 | 2009-12-22 | Zygo Corporation | Interferometry method and system including spectral decomposition |
EP1946412A2 (en) | 2005-10-11 | 2008-07-23 | Clear Align LLC | Apparatus and method for generating short optical pulses |
US7408649B2 (en) | 2005-10-26 | 2008-08-05 | Kla-Tencor Technologies Corporation | Method and apparatus for optically analyzing a surface |
US20070127036A1 (en) | 2005-12-07 | 2007-06-07 | Chroma Ate Inc. | Interference measurement system self-alignment method |
US7612891B2 (en) | 2005-12-15 | 2009-11-03 | Veeco Instruments, Inc. | Measurement of thin films using fourier amplitude |
WO2007101026A2 (en) | 2006-02-24 | 2007-09-07 | The General Hospital Corporation | Methods and systems for performing angle-resolved fourier-domain optical coherence tomography |
US7522288B2 (en) | 2006-07-21 | 2009-04-21 | Zygo Corporation | Compensation of systematic effects in low coherence interferometry |
KR101519932B1 (ko) | 2006-12-22 | 2015-05-13 | 지고 코포레이션 | 표면 특징물의 특성을 측정하기 위한 장치 및 방법 |
US7619746B2 (en) | 2007-07-19 | 2009-11-17 | Zygo Corporation | Generating model signals for interferometry |
US7978337B2 (en) | 2007-11-13 | 2011-07-12 | Zygo Corporation | Interferometer utilizing polarization scanning |
-
2006
- 2006-09-21 US US11/525,355 patent/US7324214B2/en not_active Expired - Lifetime
- 2006-11-13 WO PCT/US2006/044102 patent/WO2007059088A2/en active Application Filing
- 2006-11-14 TW TW095142033A patent/TWI417518B/zh active
-
2008
- 2008-01-22 US US12/017,531 patent/US7684049B2/en not_active Expired - Fee Related
-
2010
- 2010-02-08 US US12/701,690 patent/US7948636B2/en not_active Expired - Lifetime
-
2013
- 2013-05-29 JP JP2013113241A patent/JP5654636B2/ja active Active
- 2013-05-29 JP JP2013113240A patent/JP2013224945A/ja active Pending
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002005634A (ja) * | 2000-06-16 | 2002-01-09 | Toshiba Corp | 段差測定方法とその装置およびエッチング方法 |
JP2003068639A (ja) * | 2001-06-15 | 2003-03-07 | Nikon Corp | 重ね合わせ測定方法、テストマークおよび非像化測定装置 |
JP2003229414A (ja) * | 2002-02-04 | 2003-08-15 | Toshiba Corp | モニタ方法、エッチング方法及び半導体装置の製造方法 |
WO2004079294A2 (en) * | 2003-03-06 | 2004-09-16 | Zygo Corporation | Characterizing and profiling complex surface structures using scanning interferometry |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN104406539A (zh) * | 2014-11-21 | 2015-03-11 | 浙江工业大学 | 全天候主动式全景感知装置及3d全景建模方法 |
JP7351758B2 (ja) | 2020-01-29 | 2023-09-27 | レーザーテック株式会社 | 検査装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
TWI417518B (zh) | 2013-12-01 |
WO2007059088A3 (en) | 2007-08-16 |
US7324214B2 (en) | 2008-01-29 |
US20070046953A1 (en) | 2007-03-01 |
US20080266574A1 (en) | 2008-10-30 |
US7684049B2 (en) | 2010-03-23 |
JP5654636B2 (ja) | 2015-01-14 |
TW200730796A (en) | 2007-08-16 |
US7948636B2 (en) | 2011-05-24 |
WO2007059088A2 (en) | 2007-05-24 |
JP2013224945A (ja) | 2013-10-31 |
US20100265516A1 (en) | 2010-10-21 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5654636B2 (ja) | 光学的に未処理の表面特徴の特性を測定する干渉計及び方法 | |
JP5443209B2 (ja) | 走査干渉分光を用いた複雑な表面構造のプロファイリング | |
JP5827794B2 (ja) | 走査干渉分光を用いた複雑な表面構造のプロファイリング | |
KR101321861B1 (ko) | 광학적으로 분석되지 않은 표면 형상의 특징을 측정하는방법 및 간섭계 | |
KR101519932B1 (ko) | 표면 특징물의 특성을 측정하기 위한 장치 및 방법 | |
US7466429B2 (en) | Profiling complex surface structures using scanning interferometry | |
US7271918B2 (en) | Profiling complex surface structures using scanning interferometry | |
KR101195101B1 (ko) | 간섭 측정을 위한 모델 신호 발생 | |
EP1604169B1 (en) | Method for profiling complex surface structures using scanning interferometry |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20140213 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20140304 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20140530 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20141111 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20141120 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5654636 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |