JP2013175496A5 - - Google Patents
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Description
洗浄ブラシを使用したスクラブ洗浄と、2流体ノズルを使用した2流体ジェット洗浄を連続して行うことで、洗浄性能を向上させた基板処理方法が提案されている(特許文献1参照)。また、銅配線における信頼性の低下や配線のショートやオープンによる歩留まり低下を防止するため、スクラブ洗浄等の洗浄液にアルカリ性洗浄液を使用することが提案されている(特許文献2参照)。
本発明の基板洗浄方法は、銅配線が形成された基板表面の化学機械的研磨により銅配線の表面が露出した基板表面を、中性乃至アルカリ性薬液を洗浄液に使用したスクラブ洗浄で一次洗浄を行い、純水または超純水にCO2ガスを溶解させた炭酸水を2流体ノズルから基板表面に向けて噴出させて該表面を非接触で洗浄する2流体ジェット洗浄で基板表面の仕上げ洗浄を行い、しかる後、中性乃至アルカリ性薬液を洗浄液に使用したスクラブ洗浄で基板表面の最終仕上げ洗浄を行って乾燥させる。
本発明の好ましい一態様において、基板表面は疎水性である。また、基板表面の絶縁膜は低誘電率膜である。
ロードポート12、該ロードポート12側に位置する研磨ユニット14a及び乾燥ユニット20に囲まれた領域には、第1基板搬送ロボット22が配置され、また研磨ユニット14a〜14dと平行に、基板搬送ユニット24が配置されている。第1基板搬送ロボット22は、研磨前の基板をロードポート12から受け取って基板搬送ユニット24に受け渡すとともに、乾燥後の基板を乾燥ユニット20から受け取ってロードポート12に戻す。基板搬送ユニット24は、第1基板搬送ロボット22から受け取った基板を搬送して、各研磨ユニット14a〜14dとの間で基板の受け渡しを行う。
図7は、図5に示す第2洗浄ユニット18の概要を示す斜視図で、図8は、図7の要部を示す平面図である。図7及び図8に示すように、第2洗浄ユニット18は、図示しないチャック等で表面を上向きに保持され該チャック等の回転で水平回転する基板Wの周囲を囲繞する洗浄槽40と、この洗浄槽40の側方に立設した回転自在な支持軸42と、この支持軸42の上端に基部を連結した水平方向に延びる揺動アーム44を備えている。揺動アーム44の自由端(先端)に、2流体ノズル46が上下動自在に取り付けられている。
次に、ペンシル型洗浄具60の下端を、回転中の基板Wの表面に所定の押圧力で接触させながら、揺動アーム44を揺動させてペンシル型洗浄具60を移動させ、同時に、基板Wの表面に、中性乃至アルカリ性薬液からなる洗浄液を供給することで、基板Wの表面のペンシルスクラブ洗浄を行う。そして、基板Wの表面にリンス液を供給して、基板Wの表面に残る洗浄液(薬液)をリンス液で洗い流す。
回転軸405の内部には、純水供給源465に接続されたバックノズル463と、乾燥気体供給源466に接続されたガスノズル464とが配置されている。純水供給源465には、リンス液として純水が貯留されており、バックノズル463を通じて基板Wの裏面に純水が供給される。また、乾燥気体供給源466には、乾燥気体として、N2ガスまたは乾燥空気などが貯留されており、ガスノズル464を通じて基板Wの裏面に乾燥気体が供給される。
図13は、第2の磁石482と第3の磁石483の配置を説明するための模式図であり、基板支持部材402の軸方向から見た図である。図13に示すように、第2の磁石482と第3の磁石483とは、基板支持部材402の周方向においてずれて配置されている。すなわち、第2の磁石482と基板支持部材402との中心を結ぶ線と、第3の磁石483と基板支持部材402との中心を結ぶ線とは、基板支持部材402の軸方向から見たときに所定の角度αで交わっている。
図14(a)は、リフト機構470により基板支持部材402を上昇させたときの基板支持部材402およびアーム401aの一部を示す平面図であり、図14(b)は、リフト機構470により基板支持部材402を上昇させたときの図11のA−A線断面図であり、図14(c)は、図14(b)のC−C線断面図である。
この例によれば、中性乃至アルカリ性薬液を洗浄液として使用したロールスクラブ洗浄による一次洗浄、及び中性乃至アルカリ性薬液を洗浄液として使用したペンシルスクラブ洗浄による最終仕上げ洗浄を行うことで、例えば絶縁体の内部に表面を露出させて埋込んだ銅からなる銅配線を表面に有する研磨後の基板の該表面を、銅腐食を抑制しつつ洗浄することができる。
図18から、実施例1によれば、比較例1〜4と比較して、洗浄後にLow-k膜表面に残るパーティクル数(ディフェクト数)を大幅に低減させた基板洗浄方法を確立できることが判る。
図20から、実施例1によれば、比較例4と比較して、洗浄後に銅膜表面及びLow-k膜表面に残るパーティクル数(ディフェクト数)を大幅に低減させた基板洗浄方法を確立できることが判る。
Claims (4)
- 銅配線が形成された基板表面の化学機械的研磨により銅配線の表面が露出した基板表面を、中性乃至アルカリ性薬液を洗浄液に使用したスクラブ洗浄で一次洗浄を行い、
純水または超純水にCO2ガスを溶解させた炭酸水を2流体ノズルから基板表面に向けて噴出させて該表面を非接触で洗浄する2流体ジェット洗浄で基板表面の仕上げ洗浄を行い、しかる後、
中性乃至アルカリ性薬液を洗浄液に使用したスクラブ洗浄で基板表面の最終仕上げ洗浄を行って乾燥させることを特徴とする基板洗浄方法。 - 前記一次洗浄は、ロール洗浄部材を基板表面に擦り付けて該表面を洗浄するロールスクラブ洗浄で、前記最終仕上げ洗浄は、ペンシル型洗浄部材を基板表面に擦り付けて該表面を洗浄するペンシルスクラブ洗浄であることを特徴とする請求項1に記載の基板洗浄方法。
- 基板表面が疎水性であることを特徴とする請求項1に記載の基板洗浄方法。
- 基板表面の絶縁膜が低誘電率膜であることを特徴とする請求項1に記載の基板洗浄方法。
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