JP2015023085A - 基板洗浄装置および基板洗浄方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】基板の洗浄効果を向上させることができ、かつ洗浄屑を含んだ洗浄液を速やかに基板から排除することができる基板洗浄装置を提供する。
【解決手段】基板洗浄装置は、基板Wを水平面に対して所定の角度で傾けた状態で回転させる基板保持部71〜74,75と、基板Wの表面上の上側領域に洗浄液を供給する洗浄液供給ノズル85A,85B,87A,87Bと、洗浄液の存在下で基板Wの表面に接触するロール洗浄具77,78と、ロール洗浄具77,78を、基板Wを引き上げる方向に回転させる洗浄具回転機構80,81とを備える。
【選択図】図2
【解決手段】基板洗浄装置は、基板Wを水平面に対して所定の角度で傾けた状態で回転させる基板保持部71〜74,75と、基板Wの表面上の上側領域に洗浄液を供給する洗浄液供給ノズル85A,85B,87A,87Bと、洗浄液の存在下で基板Wの表面に接触するロール洗浄具77,78と、ロール洗浄具77,78を、基板Wを引き上げる方向に回転させる洗浄具回転機構80,81とを備える。
【選択図】図2
Description
本発明は、ウェーハなどの基板に洗浄液を供給しながら基板をロール洗浄具で洗浄する基板洗浄装置および基板洗浄方法に関する。本発明の基板洗浄装置及び基板洗浄方法は、直径300mmのウェーハのみならず、直径450mmのウェーハの洗浄にも適用でき、さらにはフラットパネル製造工程やCMOSやCCDなどのイメージセンサー製造工程、MRAMの磁性膜製造工程などにも適用することが可能である。
半導体デバイスの製造工程では、シリコン基板上に物性の異なる様々な膜が形成され、これら膜に様々な加工が施されることで微細な金属配線が形成される。例えば、ダマシン配線形成工程においては、膜に配線溝を形成し、この配線溝にCuなどの金属を埋め込み、その後、化学機械研磨(CMP)により余分な金属を除去することで金属配線が形成される。基板を研磨した後は、通常、基板洗浄装置によって基板が洗浄される。基板の洗浄は、基板を回転させ、かつ薬液などの洗浄液を供給ノズルから基板に供給しながら、ロールスポンジなどのロール洗浄具を基板に摺接させることによって行われる。
従来の基板洗浄装置として、基板を鉛直姿勢にして回転させながら、ロールスポンジを基板の表面に接触させることで基板の表面を洗浄する装置が知られている。図6は、従来の基板洗浄装置を模式的に示す側面図であり、図7は図6に示す基板洗浄装置の正面図である。図6および図7に示すように、基板洗浄装置は、基板Wを鉛直姿勢に支持し、かつ回転させる2つのローラー101,102と、ローラー101,102に支持された基板Wの両面に接触する2つのロールスポンジ104,105と、基板Wの両面に洗浄液を供給する洗浄液供給ノズル106,107,108とを備えている。
基板Wは次のようにして洗浄される。基板Wを2つのローラー101,102で回転させるとともに、ロールスポンジ104,105をその軸心まわりに回転させる。この状態で、基板Wに洗浄液をロールスポンジ104,105の上から供給する。基板Wの両面は、洗浄液の存在下でロールスポンジ104,105によりこすり洗いされる。
図6および図7に示す従来の装置では、ロールスポンジ104,105は基板Wを下方に押し出す方向に回転し、2つのローラー101,102が基板Wの下向きの荷重を支持している。しかしながら、このような構造には次のような問題点がある。基板Wの表面は、洗浄液の存在下でロールスポンジ104,105と基板Wとの摺接により洗浄されるため、基板Wの表面上で最も洗浄効果が高い領域は、ロールスポンジ104,105と基板Wとの相対速度が最も高い領域Cである。
この領域C上に存在する洗浄液は、基板Wの回転に伴って再び領域Dでロールスポンジ104,105に接触する。領域Cで基板Wの洗浄に使用された洗浄液にはパーティクルなどの洗浄屑が含まれている。このため、一旦洗浄に使用された洗浄液が再び領域Dでロールスポンジ104,105に接触すると、洗浄屑がロールスポンジ104,105に付着するおそれがある。さらに、洗浄屑を含んだ洗浄液は、基板Wの外側から供給される新たな洗浄液によって基板Wの内側に押し戻され、基板Wから排除されにくい。その結果、新たな洗浄液が使用済みの洗浄液によって希釈され、洗浄効果が低下することがある。
本発明は、このような従来の問題点を解決するためになされたもので、基板の洗浄効果を向上させることができ、かつ洗浄屑を含んだ洗浄液を速やかに基板から排除することができる基板洗浄装置および基板洗浄方法を提供することを目的とする。
上述した目的を達成するために、本発明の一態様は、基板を水平面に対して所定の角度で傾けた状態で回転させる基板保持部と、前記基板の表面上の上側領域に洗浄液を供給する洗浄液供給ノズルと、前記洗浄液の存在下で前記基板の表面に接触するロール洗浄具と、前記ロール洗浄具を、前記基板を引き上げる方向に回転させる洗浄具回転機構と、前記基板の表面上の下側領域に純水を供給する純水供給ノズルとを備えたことを特徴とする基板洗浄装置である。
本発明の好ましい態様は、前記ロール洗浄具は、前記基板の幅よりも長いことを特徴とする。
本発明の好ましい態様は、前記基板保持部は、前記基板の周縁部を保持する少なくとも3つの保持ローラーと、前記保持ローラーのうちの少なくとも1つを回転させる基板回転機構とを備え、前記保持ローラーのうちの少なくとも1つは、前記ロール洗浄具から前記基板に伝えられる上向きの力を支持する位置に配置されることを特徴とする。
本発明の好ましい態様は、前記所定の角度は、30度以上であり、かつ80度以下であることを特徴とする。
本発明の好ましい態様は、前記基板保持部は、前記基板の周縁部を保持する少なくとも3つの保持ローラーと、前記保持ローラーのうちの少なくとも1つを回転させる基板回転機構とを備え、前記保持ローラーのうちの少なくとも1つは、前記ロール洗浄具から前記基板に伝えられる上向きの力を支持する位置に配置されることを特徴とする。
本発明の好ましい態様は、前記所定の角度は、30度以上であり、かつ80度以下であることを特徴とする。
本発明の他の態様は、基板を水平面に対して所定の角度で傾けた状態で基板を回転させ、前記基板の表面上の上側領域に洗浄液を供給し、かつ前記基板の表面上の下側領域に純水を供給しながら、前記洗浄液の存在下で前記基板の表面にロール洗浄具を接触させ、前記ロール洗浄具を、前記基板を引き上げる方向に回転させることを特徴とする基板洗浄方法である。
本発明の好ましい態様は、前記所定の角度は、30度以上であり、かつ80度以下であることを特徴とする。
本発明によれば、ロール洗浄具と基板との相対速度が最も高い領域に供給された洗浄液は、基板の回転に伴って基板の表面上の下側領域に移動される。基板は所定の角度で傾斜しているので、下側領域に移動した洗浄液は、その自重と遠心力とにより基板から速やかに排除される。したがって、基板の洗浄効果を向上させることができる。
以下、本発明の実施形態について図面を参照して説明する。図1は、本発明の実施形態に係る基板洗浄装置を備えた基板処理装置の全体構成を示す平面図である。図1に示すように、基板処理装置は、略矩形状のハウジング10と、多数のウェーハ等の基板をストックする基板カセットが載置されるロードポート12を備えている。ロードポート12は、ハウジング10に隣接して配置されている。ロードポート12には、オープンカセット、SMIF(Standard Manufacturing Interface)ポッド、またはFOUP(Front Opening Unified Pod)を搭載することができる。SMIF、FOUPは、内部に基板カセットを収納し、隔壁で覆うことにより、外部空間とは独立した環境を保つことができる密閉容器である。
ハウジング10の内部には、複数(この実施形態では4つ)の研磨ユニット14a〜14dと、研磨後の基板を洗浄する第1洗浄ユニット16及び第2洗浄ユニット18と、洗浄後の基板を乾燥させる乾燥ユニット20が収容されている。研磨ユニット14a〜14dは、基板処理装置の長手方向に沿って配列され、洗浄ユニット16,18及び乾燥ユニット20も基板処理装置の長手方向に沿って配列されている。
ロードポート12、研磨ユニット14a、及び乾燥ユニット20に囲まれた領域には、第1基板搬送ロボット22が配置され、また研磨ユニット14a〜14dと平行に、基板搬送ユニット24が配置されている。第1基板搬送ロボット22は、研磨前の基板をロードポート12から受け取って基板搬送ユニット24に渡すとともに、乾燥後の基板を乾燥ユニット20から受け取ってロードポート12に戻す。基板搬送ユニット24は、第1基板搬送ロボット22から受け取った基板を搬送して、各研磨ユニット14a〜14dとの間で基板の受け渡しを行う。各研磨ユニットは、研磨面に研磨液(スラリー)を供給しながら、ウェーハなどの基板を研磨面に摺接させることで、基板の表面を研磨する。
第1洗浄ユニット16と第2洗浄ユニット18の間に位置して、これらの洗浄ユニット16,18および基板搬送ユニット24の間で基板を搬送する第2基板搬送ロボット26が配置され、第2洗浄ユニット18と乾燥ユニット20との間に位置して、これらの各ユニット18,20の間で基板を搬送する第3基板搬送ロボット28が配置されている。更に、ハウジング10の内部に位置して、基板処理装置の各ユニットの動きを制御する動作制御部30が配置されている。
第1洗浄ユニット16として、洗浄液の存在下で、基板の表裏両面にロールスポンジなどのロール洗浄具を擦り付けて基板を洗浄する本発明の実施形態に係る基板洗浄装置が使用されている。第2洗浄ユニット18として、ペンスポンジタイプの基板洗浄装置が使用されている。また、乾燥ユニット20として、基板を保持し、移動するノズルからIPA蒸気を噴出して基板を乾燥させ、更に高速で回転させ遠心力によって基板を乾燥させるスピン乾燥装置が使用されている。
基板は、研磨ユニット14a〜14dの少なくとも1つにより研磨される。研磨された基板は、第1洗浄ユニット16と第2洗浄ユニット18により洗浄され、さらに洗浄された基板は乾燥ユニット20により乾燥される。
図2は、第1洗浄ユニット(基板洗浄装置)16を示す側面図であり、図3は、図2に示す第1洗浄ユニット16の正面図である。第1洗浄ユニット16は、ウェーハWを保持して回転させる4つの保持ローラー71,72,73,74と、ウェーハWの上下面に接触する円柱状のロールスポンジ(ロール洗浄具)77,78と、上側のロールスポンジ77をその軸心まわりに回転させる洗浄具回転機構80と、下側のロールスポンジ78をその軸心まわりに回転させる洗浄具回転機構81と、ウェーハWの上面にリンス液(例えば純水)を供給する上側リンス液供給ノズル85A,85Bと、ウェーハWの上面に薬液を供給する上側薬液供給ノズル87A,87Bとを備えている。
さらに、第1洗浄ユニット16は、ウェーハWの下面にリンス液(例えば純水)を供給する下側リンス液供給ノズル85Cと、ウェーハWの下面に薬液を供給する下側薬液供給ノズル87Cとを備えている。本明細書では、薬液およびリンス液を総称して洗浄液といい、薬液供給ノズル87A〜87Cおよびリンス液供給ノズル85A〜85Cを総称して洗浄液供給ノズルということがある。これら洗浄液供給ノズルからの洗浄液のウェーハ面に対する入射角は鋭角である。具体的には、洗浄液供給ノズルは、ウェーハ面上を下方に流れる洗浄液の流れを形成する角度で配置される。
保持ローラー71,72,73,74は図示しない駆動機構(例えばエアシリンダ)によって、ウェーハWに近接および離間する方向に移動可能となっている。4つの保持ローラーのうちの2つの保持ローラー72,73は、基板回転機構75に連結されており、これら保持ローラー72,73は基板回転機構75によって同じ方向に回転されるようになっている。4つの保持ローラー71,72,73,74がウェーハWの周縁部を保持した状態で、2つの保持ローラー72,73が回転することにより、ウェーハWはその軸心まわりに回転する。
本実施形態では、ウェーハWを保持して回転させる基板保持部は、保持ローラー71,72,73,74と基板回転機構75から構成される。基板回転機構75は、モータと、このモータの駆動力を保持ローラー72,73に伝達するベルトなどから構成される。本実施形態では基板回転機構75は2つの保持ローラー72,73に連結されているが、基板回転機構75は保持ローラー71,72,73,74のうちの1つに連結されていてもよく、または3つ以上の保持ローラーに連結されていてもよい。
保持ローラー71,72,73,74の軸心は、鉛直方向に対して傾いて傾斜しており、その結果として、保持ローラー71,72,73,74に保持されたウェーハWは水平面に対して所定の角度αで傾いている。ウェーハWは、デバイス面(すなわち、デバイスが形成された面)が上を向いた状態で保持ローラー71,72,73,74に保持される。
上側薬液供給ノズル87A,87Bおよび上側リンス液供給ノズル85A,85Bは、傾いたウェーハWの上面の上側領域に薬液およびリンス液を供給する。同様に、下側薬液供給ノズル87Cおよび下側リンス液供給ノズル85Cは、傾いたウェーハWの下面の上側領域に薬液およびリンス液を供給する。ウェーハWに供給された薬液およびリンス液は、その自重によってウェーハW上を下方に流れてロールスポンジ77,78に接触する。ここで、ウェーハWの上面の上側領域とは、ウェーハWの上面上を水平に延びる中心線(図3において符号Lで表す)の上方の領域であり、ウェーハWの下面の上側領域とは、ウェーハWの下面上を水平に延びる中心線(図示せず)の上方の領域である。
図2の矢印で示すように、ロールスポンジ77,78は、保持ローラー71,72,73,74に保持されたウェーハWを引き上げる方向に洗浄具回転機構80,81によって回転される。回転するロールスポンジ77,78からウェーハWに伝えられる上向きの力は、上側の2つの保持ローラー71,74によって支持される。基板保持部を構成する保持ローラーの数および配置は、図2および図3に示す実施形態に限られない。例えば、3つの保持ローラーをウェーハWの周囲に配置し、そのうちの1つを上記上向きの力を支持する位置に配置してもよい。保持ローラーの数は、少なくとも3つであり、好ましくは4つ以上である。
ロールスポンジ77,78は、図示しない移動機構によってウェーハWに接触および離間する方向に移動されるようになっている。このような移動機構としては、例えばボールねじを用いたモータ駆動機構またはエアシリンダが使用される。ウェーハWの洗浄時には、ロールスポンジ77,78は互いに近接する方向に移動してウェーハWの上下面に接触する。ロール洗浄具として、ロールスポンジに代えて、ロールブラシが使用されることもある。
次に、ウェーハWを洗浄する工程について説明する。まず、保持ローラー71,72,73,74によりウェーハWをその軸心まわりに回転させる。次いで、上側薬液供給ノズル87A,87Bおよび下側薬液供給ノズル87CからウェーハWの上面及び下面に薬液が供給される。この状態で、ロールスポンジ77,78がその水平に延びる軸心周りに回転しながらウェーハWの上下面に摺接することによって、ウェーハWの上下面をスクラブ洗浄する。ロールスポンジ77,78は、ウェーハWの直径(幅)よりも長く、ウェーハWの上下面全体に接触するようになっている。
スクラブ洗浄後、ロールスポンジ77,78をウェーハWの上下面に摺接させながら、回転するウェーハWの上面及び下面にリンス液供給ノズル85A〜85Cからリンス液を供給することによってウェーハWの濯ぎ(リンス)が行われる。ウェーハWの濯ぎ時に、ロールスポンジ77,78をウェーハWの上下面から離間させてもよい。ウェーハWのスクラブ洗浄時に薬液をリンス液で希釈するために、薬液とリンス液が同時にウェーハWに供給されてもよい。
ウェーハWの表面は、洗浄液の存在下でロールスポンジ77とウェーハWとの摺接により洗浄されるため、ウェーハWの表面上で最も洗浄効果が高い領域は、ロールスポンジ77とウェーハWとの相対速度が最も高い領域D(図3参照)である。この領域Dに存在する洗浄液(薬液および/またはリンス液)は、ウェーハWの回転に伴ってその上面の下側領域に移動される。ウェーハWは所定の角度αで傾いているので、洗浄液はその自重および遠心力によってウェーハWから速やかに排出される。従って、洗浄液に含まれるパーティクルなどの洗浄屑がロールスポンジ77に付着せず、さらには新たな洗浄液が使用済みの洗浄液によって希釈されない。よって、ロールスポンジ77の寿命を伸ばすことができ、さらにウェーハWの洗浄効果を向上させることができる。このような効果は、ウェーハWの下面についても同様に得られる。
ウェーハWの水平面に対する角度αは、0度よりも大きく、90度以下であり、好ましくは、30度以上、かつ80度以下である。
洗浄屑を含む洗浄液(薬液および/またはリンス液)を確実にウェーハWから排除するために、図4および図5に示すように、ウェーハWの上面の下側領域に純水を供給する上側純水供給ノズル90A、およびウェーハWの下面の下側領域に純水を供給する下側純水供給ノズル90Bを設けることが好ましい。純水供給ノズル90A,90Bは、ロールスポンジ77,78に平行な領域に純水を供給するように構成されている。純水供給ノズル90A,90Bとしては、フラットノズルが使用される。ただし、ロールスポンジ77,78の長手方向に沿った直線的な領域に純水を供給することができるのであれば、純水供給ノズル90A,90Bはフラットノズルに限られない。例えば、スリット状の液体吐出口を持つスリットノズルまたは直線上に配列された複数の液体吐出口を持つ多孔ノズルを純水供給ノズル90A,90Bとして使用してもよい。
純水供給ノズル90A,90Bは、ウェーハ面と垂直な方向に対して傾いて配置されている。より具体的には、純水供給ノズル90A,90Bは、ウェーハ面上を下方に流れる純水の流れを形成する角度で配置されている。純水は、ロールスポンジ77,78の直ぐ下方の領域に供給され、ウェーハWの上下面の下側領域上を下方に流れる。ここで、ウェーハWの上面の下側領域とは、ウェーハWの上面上を水平に延びる中心線(図5において符号Lで表す)の下方の領域であり、ウェーハWの下面の下側領域とは、ウェーハWの下面上を水平に延びる中心線(図示せず)の下方の領域である。
領域Dに存在する洗浄液(薬液および/またはリンス液)は、ウェーハWの回転に伴ってその上面および下面の下側領域に移動される。洗浄液は、図5に示すように、その自重、遠心力、および純水の流れによってウェーハWから速やかに排出される。
これまで本発明の実施形態について説明したが、本発明は上述の実施形態に限定されず、その技術的思想の範囲内において種々異なる形態にて実施されてよい。
10 ハウジング
12 ロードポート
14a〜14d 研磨ユニット
16 第1洗浄ユニット(基板洗浄装置)
18 第2洗浄ユニット
20 乾燥ユニット
22 第1基板搬送ロボット
24 基板搬送ユニット
26 第2基板搬送ロボット
28 第3基板搬送ロボット
30 動作制御部
71〜74 保持ローラー
75 基板回転機構
77,78 ロールスポンジ
80,81 洗浄具回転機構
85A,85B 上側リンス液供給ノズル
85C 下側リンス液供給ノズル
87A,87B 上側薬液供給ノズル
87C 下側薬液供給ノズル
90A,90B 純水供給ノズル
12 ロードポート
14a〜14d 研磨ユニット
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28 第3基板搬送ロボット
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71〜74 保持ローラー
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85C 下側リンス液供給ノズル
87A,87B 上側薬液供給ノズル
87C 下側薬液供給ノズル
90A,90B 純水供給ノズル
Claims (6)
- 基板を水平面に対して所定の角度で傾けた状態で回転させる基板保持部と、
前記基板の表面上の上側領域に洗浄液を供給する洗浄液供給ノズルと、
前記洗浄液の存在下で前記基板の表面に接触するロール洗浄具と、
前記ロール洗浄具を、前記基板を引き上げる方向に回転させる洗浄具回転機構と、
前記基板の表面上の下側領域に純水を供給する純水供給ノズルとを備えたことを特徴とする基板洗浄装置。 - 前記ロール洗浄具は、前記基板の幅よりも長いことを特徴とする請求項1に記載の基板洗浄装置。
- 前記基板保持部は、前記基板の周縁部を保持する少なくとも3つの保持ローラーと、前記保持ローラーのうちの少なくとも1つを回転させる基板回転機構とを備え、
前記保持ローラーのうちの少なくとも1つは、前記ロール洗浄具から前記基板に伝えられる上向きの力を支持する位置に配置されることを特徴とする請求項1または2に記載の基板洗浄装置。 - 前記所定の角度は、30度以上であり、かつ80度以下であることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか一項に記載の基板洗浄装置。
- 基板を水平面に対して所定の角度で傾けた状態で基板を回転させ、
前記基板の表面上の上側領域に洗浄液を供給し、かつ前記基板の表面上の下側領域に純水を供給しながら、前記洗浄液の存在下で前記基板の表面にロール洗浄具を接触させ、
前記ロール洗浄具を、前記基板を引き上げる方向に回転させることを特徴とする基板洗浄方法。 - 前記所定の角度は、30度以上であり、かつ80度以下であることを特徴とする請求項5に記載の基板洗浄方法。
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2013
- 2013-07-17 JP JP2013148403A patent/JP2015023085A/ja active Pending
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