JP2013064202A - めっき装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】めっき装置は、めっき槽10内のめっき液Qに浸漬させて配置されるアノード26と、被めっき体Wを保持しアノードと対向する位置に配置するホルダ24と、被めっき体と平行に往復移動してめっき液を攪拌するパドル32と、所定のピッチで垂直方向に延びる複数のスリット部を有する調整板固定用スリット板96と、電場の拡がりを制限するための開口を有する調整板34とを備え、調整板は、その側端部を調整板固定用スリット板の任意のスリット部に挿入することによって該調整板の位置が調整可能にめっき槽に取付けられる。
【選択図】図1
Description
本発明の好ましい態様は、前記調整板と前記調整板固定用スリット板との間からの電場の漏洩を防止するために、前記調整板のアノード側に電場遮蔽部材を設けたことを特徴とする。
本発明の好ましい態様は、前記調整板は、前記被めっき体の外形に沿った内径を有する筒状部と、前記筒状部のアノード側端部の外周に接続されたフランジ部を有することを特徴とする。
本発明の好ましい態様は、前記調整板は、開口を有するフランジ部と、前記フランジ部の開口の直径よりも小さい直径の開口を有する補助調整板と、前記補助調整板を取り付けるための補助調整板取付け部とを備えており、前記補助調整板は、前記フランジ部の開口および前記補助調整板の開口の中心軸が互いに一致するように、前記補助調整板取付け部によって前記フランジ部のアノード側表面に配置されることを特徴とする。
本発明の好ましい態様は、前記調整板は、前記被めっき体の外形に沿った内径を有する筒状部と、前記筒状部のアノード側端部の外周に接続されたフランジ部を有することを特徴とする。
本発明の好ましい態様は、前記調整板は、開口を有するフランジ部と、金属イオンを通して添加剤を通さない陽イオン交換体、または機能膜から構成された隔壁と、前記隔壁が前記フランジ部の開口の全体を覆うように、前記隔壁を前記フランジ部のアノード側表面に固定する固定板とを有することを特徴とする。
本発明の参考例は、前記板状部材は、3〜5mmの一定の厚みを有することを特徴とする。
筒状部の被めっき体側の端部と被めっき体の距離は、12〜18mmであることが好ましい。
これにより、磁力によって保持力を高めることができる。
このように、ホルダアームとホルダ支持部との接触部の少なくとも双方の一部に接点を設けることで、めっき槽でホルダを吊下げ支持した時、ホルダアーム側の接点とホルダ支持部側の接点を確実に接触させることができる。
本発明の参考例は、前記板状部材は、3〜5mmの一定の厚みを有することを特徴とする。
筒状部の被めっき体側の端部と被めっき体の距離は、12〜18mmであることが好ましい。
これにより、カップリングを介して、パドル駆動軸から延びるシャフトからパドルを容易に切り離して、パドルの交換作業をより迅速かつ容易に行うことができる。
押付け部材は、例えば押付けボルトからなり、押付け部材の押付け量、例えば押付け部材として所定のピッチを有する押付けボルトを使用した場合にあっては、押付けボルトの回転数を管理することで、調整板の移動量を容易に調節することができる。
これにより、調整板と被めっき体との距離を一定にした状態で、案内部を案内として調整板を被めっき体と平行に移動させることができる。しかも、凹部を有し該凹部内に調整板の外周端部を差し込むことができる案内部を使用することで、調整板の外周から電場が漏れることを防止することができる。
これにより、調整板の設置位置を変えたり、交換したりすることなく、調整板と補助調整板を組合せることで、被めっき体の種類に合わせて、最適な電場を形成することができる。
これにより、基板ホルダ、調整板及びアノードホルダを位置決めして保持した位置決め保持部材をめっき槽に設置することで、めっき槽の垂直方向における基板ホルダ、調整板及びアノードホルダの中心位置を容易に一致させることができる。
なお、この例では、遮蔽板82をめっき液供給口18の直上に設置しているが、必ずしもめっき液供給口18の直上にある必要はなく、また遮蔽板82が複数枚あっても良い。
硫酸銅五水塩(CuSO4・5H2O):200g/L
硫酸(H2SO4) :100g/L
塩素(Cl) :60mg/L
12 オーバーフロー槽
18 めっき液供給口
20 恒温ユニット
22 フィルタ
24 基板ホルダ
26 アノード
28 アノードホルダ
32 パドル
32a 長穴
32b 格子部
34 調整板
42 パドル駆動部
44 モータ
46 制御部
50 筒状部
52 フランジ部
60 ホルダ把持部
62 ホルダ支持部
64 ホルダアーム
66 アーム側接点
68 支持部側接点
70 アーム側磁石
72 支持部側磁石
80 分離板
80a めっき液通孔
82 遮蔽板
84 基板処理室
86 めっき液分散室
90 分離板支持部
94 電場遮蔽部材(ゴムシート)
96 調整板固定用スリット板
100 電場遮蔽部材(ゴムシート)
110 アノード側液分離室
112 カソード側液分離室
120 パドル押え
122a,122b カップリング
134 調整板
136 筒状部
138 本体部
140 把持部
142 調整板移動機構
144 調整板支持部
146 ブラケット
148 左右押付けボルト
150 左右固定ボルト
152 案内部
158 電場遮蔽部材(ゴムシート)
160 調整板移動機構
162 上下押付けボルト
164 上下固定ボルト
170 補助調整板
172a 側部フック(補助調整板取付け部)
172b 底部フック(補助調整板取付け部)
180 把持部
182 位置決め保持部
188 隔壁
Claims (11)
- めっき液を保持するめっき槽と、
前記めっき槽内のめっき液に浸漬させて配置されるアノードと、
被めっき体を保持し前記アノードと対向する位置に配置するホルダと、
前記アノードと前記ホルダで保持した被めっき体との間に配置され、該被めっき体と平行に往復移動してめっき液を攪拌するパドルと、
前記アノードと前記パドルとの間の位置において前記めっき槽の側板に固定され、所定のピッチで垂直方向に延びる複数のスリット部を有する調整板固定用スリット板と、
電場の拡がりを制限するための開口を有する調整板とを備え、
前記調整板は、その側端部を前記調整板固定用スリット板の任意のスリット部に挿入することによって該調整板の位置が調整可能に前記めっき槽に取付けられることを特徴とするめっき装置。 - 前記めっき槽と前記調整板との間からの電場の漏洩を防止するために、前記調整板のアノード側下端部に電場遮蔽部材を設けたことを特徴とする請求項1に記載のめっき装置。
- 前記調整板と前記調整板固定用スリット板との間からの電場の漏洩を防止するために、前記調整板のアノード側に電場遮蔽部材を設けたことを特徴とする請求項1に記載のめっき装置。
- 前記調整板は、
前記被めっき体の外形に沿った内径を有する筒状部と、
前記筒状部のアノード側端部の外周に接続されたフランジ部を有することを特徴とする請求項1に記載のめっき装置。 - 前記調整板は、
開口を有するフランジ部と、
金属イオンを通して添加剤を通さない陽イオン交換体、または機能膜から構成された隔壁と、
前記隔壁が前記フランジ部の開口の全体を覆うように、前記隔壁を前記フランジ部のアノード側表面に固定する固定板とを有することを特徴とする請求項1に記載のめっき装置。 - 前記調整板は、
開口を有するフランジ部と、
前記フランジ部の開口の直径よりも小さい直径の開口を有する補助調整板と、
前記補助調整板を取り付けるための補助調整板取付け部とを備えており、
前記補助調整板は、前記フランジ部の開口および前記補助調整板の開口の中心軸が互いに一致するように、前記補助調整板取付け部によって前記フランジ部のアノード側表面に配置されることを特徴とする請求項1に記載のめっき装置。 - めっき液を保持するめっき槽と、
前記めっき槽内のめっき液に浸漬させて配置されるアノードと、
被めっき体を保持し前記アノードと対向する位置に配置するホルダと、
前記アノードと前記ホルダで保持した被めっき体との間に配置され、該被めっき体と平行に往復移動してめっき液を攪拌するパドルと、
前記パドルと前記アノードとの間に配置され、電場の拡がりを制限するための開口を有する調整板と、
前記めっき槽内の前記調整板の外周端部と対向する位置に配置され、内方に開放したチャンネル状の凹部を有し、該凹部内に前記調整板の外周端部が差し込まれることで前記調整板の移動を案内する案内部と、
前記調整板を前記被めっき体と平行に上下方向または左右方向に移動させる調整板移動機構とを備え、
前記調整板移動機構は、
前記調整板を支持する調整板支持部と、
前記調整板支持部に支持された前記調整板を押付けることで、前記調整板と前記被めっき体との距離を一定に保ちながら、前記調整板を上下方向または左右方向に移動させる押付け部材とを備えたことを特徴とするめっき装置。 - 前記めっき槽と前記案内部との間からの電場の漏洩を防止するために、前記案内部のアノード側に電場遮蔽部材を設けたことを特徴とする請求項7に記載のめっき装置。
- 前記調整板は、
前記被めっき体の外形に沿った内径を有する筒状部と、
前記筒状部のアノード側端部の外周に接続されたフランジ部を有することを特徴とする請求項7に記載のめっき装置。 - 前記調整板は、
開口を有するフランジ部と、
金属イオンを通して添加剤を通さない陽イオン交換体、または機能膜から構成された隔壁と、
前記隔壁が前記フランジ部の開口の全体を覆うように、前記隔壁を前記フランジ部のアノード側表面に固定する固定板とを有することを特徴とする請求項7に記載のめっき装置。 - 前記調整板は、
開口を有するフランジ部と、
前記フランジ部の開口の直径よりも小さい直径の開口を有する補助調整板と、
前記補助調整板を取り付けるための補助調整板取付け部とを備えており、
前記補助調整板は、前記フランジ部の開口および前記補助調整板の開口の中心軸が互いに一致するように、前記補助調整板取付け部によって前記フランジ部のアノード側表面に配置されることを特徴とする請求項7に記載のめっき装置。
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