JP5515056B1 - めっき装置、ノズル−アノードユニット、めっき部材の製造方法、および被めっき部材固定装置 - Google Patents

Abstract

被めっき部材の形状によらず均一にかつ高速に電気めっきを行う手段として、めっき槽；前記めっき槽内に配置された不溶性アノード；前記不溶性アノードと被めっき部材との間に電圧を印加可能なめっき電源；前記不溶性アノードを前記めっき槽内で移動させること、および前記不溶性アノードを前記めっき槽内の所定の位置で保持することが可能なアノード変位機構；および前記不溶性アノード変位機構の動作を制御するための制御信号を発生させること、およびその制御信号を前記アノード変位機構に出力することが可能なアノード位置制御装置を有する制御装置を備えることを特徴とするめっき装置が提供される。

Description

本発明は、めっき装置に関し、詳しくは、高速で均一なめっきを行うことが可能なめっき装置、そのめっき装置に用いられるノズル−アノードユニット、そのめっき装置を用いるめっき部材の製造方法、およびそのめっき装置において好適に使用される被めっき部材の固定装置に関する。

電子・電気部品、自動車など輸送機器の部品、建設部材など各種被めっき部材に対して、均一な厚さのめっき皮膜を高速で形成したいという要求は高く、この要求に応えるべく、さまざまな方式が提案されている。

その一つとして、多数の被めっき部材を連続的にめっき液に浸漬させ（めっき液を噴射させる場合もある。）、被めっき部材をめっき液中で移動させながら（めっき液が噴射される領域を移動させながら）めっきを行うライン式のめっき方式が提案されている。この方式によれば、被めっき部材一つ当たりのめっき時間は長いものの、被めっき部材の被めっき面にめっき皮膜が形成されてなるものであるめっき部材を短時間で多数得ることができる。この方式は、標準品など被めっき部材の総数が多い場合であって、被めっき部材が単純な形状（例えば平板など）である場合に好適である。

しかしながら、このライン式を行うほど被めっき部材数が多くないなどの理由により、バッチ式でめっきを行うことが選択されることもある。このようなバッチ式でめっきを行う場合には、例えば特許文献１や２に開示されるように、被めっき部材をめっき槽内で回転させることによって、被めっき部材が受けるめっき液の流れを均一にすることによってめっき皮膜の厚さの均一性を高めることが行われていた。

特開２０００−２５６８９７号公報 特開２００４−３００４６２号公報

ところが、特許文献１や２に開示されるめっき方式では、被めっき部材は基本的に平板状であること、または回転する被めっき部材の保持機構に対して十分に小さいことが前提とされており、エンジンブロックやプレス部品などといった複雑形状を有する被めっき部材に対して、めっき皮膜の厚さの均一性を高めつつ、高速で電気めっきを行う手段はいまだ提供されていない。

本発明は、このような技術背景を鑑み、被めっき部材の形状によらず、均一にかつ高速に電気めっきを行うめっき装置を提供することを課題とする。また、本発明は、そのような高速のめっき装置において使用されるノズル−アノードユニットを提供することを課題とする。さらに、本発明は、かかるめっき装置により製造されるめっき部材を提供することを課題とする。加えて、本発明は、かかるめっき装置において好適に使用される被めっき部材の固定装置を提供することを課題とする。

上記課題を解決するために提供される本発明は次のとおりである。
（１）めっき槽；前記めっき槽内に配置された不溶性アノード；前記不溶性アノードと被めっき部材との間に電圧を印加可能なめっき電源；前記不溶性アノードを前記めっき槽内で移動させること、および前記不溶性アノードを前記めっき槽内の所定の位置で保持することが可能なアノード変位機構；前記不溶性アノード変位機構の動作を制御するための制御信号を発生させること、およびその制御信号を前記アノード変位機構に出力することが可能なアノード位置制御装置を有する制御装置；めっき液取り込み部とポンプとめっき液噴出部とを有し前記めっき槽内のめっき液を循環させるための循環機構；前記制御装置が有するものであって、前記循環機構の動作を制御するための制御信号を発生させること、およびその制御信号を前記循環機構に出力することが可能な循環制御装置；前記めっき液噴出部を前記めっき槽内で移動させること、および前記めっき液噴出部を前記めっき槽内の所定の位置で保持することが可能な噴出部変位機構；および前記制御装置が有するものであって、前記噴出部変位機構の動作を制御するための制御信号を発生させること、およびその制御信号を前記噴出部変位機構に出力することが可能な噴出部位置制御装置を備えることを特徴とするめっき装置。

（２）前記めっき電源から電圧を印加しているときの前記不溶性アノードを流れる電流および前記不溶性アノードの前記被めっき部材に対する電位の少なくとも一方を測定することが可能な測定機器を備える上記（１）に記載のめっき装置。

（３）前記制御装置は、前記測定機器により測定された結果に基づいて、前記不溶性アノードに印加する電流および電圧の少なくとも一方を制御するための制御信号を発生させること、およびその制御信号を前記めっき電源に出力することが可能な電気出力制御装置を備える上記（２）に記載のめっき装置。

（４）前記アノード位置制御装置は、前記測定機器により測定された結果に基づいて、前記不溶性アノード変位機構の動作を制御するための制御信号を発生させること、およびその制御信号を前記アノード変位機構に出力することが可能である上記（２）または（３）に記載のめっき装置。

（５）前記循環機構は、前記めっき液噴出部から噴出するめっき液噴出量を調整することが可能な噴出量調整機構を有し、前記循環制御装置は、前記噴出量調整機構の動作を制御するための制御信号を発生させること、およびその制御信号を前記噴出量調整機構に出力することが可能な噴出量制御装置を備える上記（１）から（４）のいずれかに記載のめっき装置。

（６）前記噴出部位置制御装置は、前記測定機器により測定された結果に基づいて、前記噴出部位置制御機構の動作を制御するための制御信号を発生させること、およびその制御信号を前記噴出部変位機構に出力することが可能である上記（２）から（５）のいずれか一項に記載のめっき装置。

（７）前記循環機構は、前記めっき液噴出部から噴出するめっき液噴出量を調整することが可能な噴出量調整機構を有し、前記循環制御装置は、前記測定機器により測定された結果に基づいて、前記噴出量調整機構の動作を制御するための制御信号を発生させること、およびその制御信号を前記噴出量調整機構に出力することが可能な噴出量制御装置を備える上記（２）から（６）のいずれかに記載のめっき装置。

（８）被めっき部材を移動させることおよび前記被めっき部材の少なくとも一部が前記めっき槽内に配置されるような位置で前記被めっき部材を保持することが可能な部材変位機構；および前記制御装置が有するものであって、前記部材変位機構の動作を制御するための制御信号を発生させること、およびその制御信号を前記部材変位機構に出力することが可能な部材位置制御装置をさらに備える上記（１）から（７）のいずれか一項に記載のめっき装置。

（９）前記部材位置制御装置は、前記不溶性アノードと前記被めっき部材との間に前記めっき電源から電圧が印加されている間も、前記部材変位機構の動作を制御するための制御信号を前記部材変位機構に出力可能である上記（８）に記載のめっき装置。

（１０）前記不溶性アノードは前記めっき液噴出部に対する相対位置が管理され、前記不溶性アノードの少なくとも一部は前記めっき液噴出部の噴出孔を臨む位置に配置され、前記噴出部変位機構と前記アノード変位機構とは統合され、前記噴出部位置制御装置と前記アノード位置制御装置とは統合されている上記（１）から（９）のいずれか一項に記載のめっき装置。

（１１）前記不溶性アノードは、前記めっき液噴出部の噴出孔を臨む位置に配置された部分が、前記めっき液噴出部から噴出するめっき液を所定の方向に導くことが可能なガイドの形状を有する上記（１０）に記載のめっき装置。

（１２）前記不溶性アノードは、前記めっき液噴出部の噴出孔を臨む位置に配置された部分が、貫通孔を有する板状部材から形成された構造体または板状部材を二次加工して得られる構造体の形状を有する上記（１０）または（１１）に記載のめっき装置。

（１３）前記部材位置制御装置が、前記被めっき部材の少なくとも一部がめっき液中に浸漬するように前記部材変位機構を動作させたことを条件として、前記制御装置が有する複数の位置制御装置の少なくとも一つは、当該少なくとも一つの位置制御装置によって制御される前記部材変位機構以外の変位機構の少なくとも一つを、当該少なくとも一つの変位機構により前記めっき槽内で移動可能とされる部材が前記被めっき部材に近位な向きに移動するように、動作させる上記（８）または（９）に記載のめっき装置。

（１４）前記制御装置が有する複数の位置制御装置の少なくとも一つが、当該少なくとも一つの位置制御装置によって制御される前記部材変位機構以外の変位機構の少なくとも一つを、当該少なくとも一つの変位機構により前記めっき槽内での移動可能とされる部材を前記被めっき部材から遠位な向きに移動するように、動作させたことを条件として、前記部材位置制御装置は、前記被めっき部材が前記めっき液中から取り出されるように前記部材変位機構を動作させる上記（１３）に記載のめっき装置。

（１５）めっき槽内のめっき液に被めっき部材の少なくとも一部を浸漬させる部材配置工程；めっき槽内に配置される不溶性アノードを、前記めっき液中の前記被めっき部材に対してより近位となるように移動させ、前記不溶性アノードを第一の位置にて保持するアノード配置工程；前記被めっき部材と前記不溶性アノードとの間に電圧を所定の時間印加して前記被めっき部材上にめっき皮膜を形成する印加工程；前記不溶性アノードを、前記めっき皮膜が形成された前記被めっき部材からより遠位となるように移動させ、前記不溶性アノードを第二の位置にて保持するアノード退避工程；および前記めっき皮膜が形成された被めっき部材を前記めっき液から取り出し、当該部材をめっき部材として得る部材回収工程を備え、少なくとも前記印加工程は、めっき液取り込み部とポンプとめっき液噴出部とを備える循環機構により前記めっき槽内の前記めっき液を循環させながら行われ、前記部材配置工程の開始から前記印加工程の終了までの期間に開始される工程であって、前記めっき槽内に配置される前記めっき液噴出部を、前記めっき液中の前記被めっき部材に対してより近位となるように移動させ、前記めっき液噴出部を第三の位置にて保持する噴出部配置工程；および前記印加工程の開始から前記部材回収工程の終了までの期間に開始される工程であって、前記めっき液噴出部を、前記めっき皮膜が形成された被めっき部材からより遠位となるように移動させ、第四の位置にて保持する噴出部退避工程をさらに備えるめっき部材の製造方法。

（１６）前記部材配置工程の終了前に前記アノード配置工程は開始される上記（１５）に記載の製造方法。

（１７）前記アノード退避工程の終了前に前記部材回収工程は開始される上記（１５）または（１６）に記載の製造方法。

（１８）前記第一の位置は、前記被めっき部材を前記めっき液から取り出すように移動させたときに前記被めっき部材が前記不溶性アノードと干渉する位置であり、前記第二の位置は、前記被めっき部材を前記めっき液から取り出すように移動させたときに前記被めっき部材が前記不溶性アノードと干渉しない位置である上記（１５）から（１７）のいずれか一項に記載の製造方法。

（１９）前記印加工程中に、前記被めっき部材の前記めっき槽内の配置および前記不溶性アノードの前記めっき槽内の配置の少なくとも一つを変更させる上記（１５）から（１８）のいずれか一項に記載の製造方法。

（２０）前記被めっき部材と前記不溶性アノードとの相対的な位置関係を管理しつつ、前記被めっき部材の前記めっき槽内の配置および前記不溶性アノードの前記めっき槽内の配置を変更させる上記（１９）に記載の製造方法。

（２１）前記第三の位置は、前記被めっき部材を前記めっき液から取り出すように移動させたときに前記被めっき部材が前記不溶性アノードおよび前記めっき液噴出部の少なくとも一方と干渉する位置であり、前記第四の位置は、前記被めっき部材を前記めっき液から取り出すように移動させたときに前記被めっき部材が前記不溶性アノードおよび前記めっき液噴出部のいずれとも干渉しない位置である上記（１５）から（２０）のいずれか一項に記載の製造方法。

（２２）前記印加工程中に、前記被めっき部材の前記めっき槽内の配置、前記不溶性アノードの前記めっき槽内の配置、前記めっき液噴出部の前記めっき槽内の配置および前記めっき液噴出部から噴出させるめっき液量の少なくとも一つを変更させる上記（１５）から（２１）のいずれか一項に記載の製造方法。

（２３）前記被めっき部材、前記不溶性アノードおよび前記めっき液噴出部の相対的な位置関係を管理しつつ、前記被めっき部材の前記めっき槽内の配置、前記不溶性アノードの前記めっき槽内の配置および前記めっき液噴出部の前記めっき槽内の配置を変更させる上記（２２）に記載の製造方法。

（２４）前記不溶性アノードは前記めっき液噴出部に対する相対位置が管理され、前記不溶性アノードの少なくとも一部は前記めっき液噴出部の噴出孔を臨む位置に配置され、前記アノード配置工程と前記噴出部配置工程とは統合され、前記アノード退避工程と前記噴出部退避工程とも統合されている上記（１５）から（２３）のいずれか一項に記載の製造方法。

（２５）めっき液取り込み部から取り込んだめっき槽内のめっき液をポンプで循環させて前記めっき槽に戻すために前記めっき槽内に配置されるめっき液噴出部と、少なくともその一部が前記めっき液噴出部の噴出孔を臨む位置に配置された不溶性アノードとを備え、前記不溶性アノードは前記噴出孔に対する相対位置が管理されていることを特徴とするノズル−アノードユニット。

（２６）前記不溶性アノードは、前記めっき液噴出部の噴出孔を臨む位置に配置された部分が、貫通孔を有する板状部材からなるまたは当該板状部材を二次加工して得られる構造体の形状を有する上記（２５）に記載のノズル−アノードユニット。

（２７）前記不溶性アノードは、前記めっき液噴出部の噴出孔を臨む位置に配置された部分が、前記めっき液噴出部から噴出するめっき液を所定の方向に導くガイドの形状を有する上記（２５）または（２６）に記載のノズル−アノードユニット。

（２８）前記不溶性アノードは、前記めっき液噴出部の噴出孔を臨む位置に一方の端部である第一の端部が配置された筒状体からなる部分を有し、前記めっき液噴出部の噴出孔から噴出しためっき液は前記筒状体からなる部分の内部を通って、めっき槽内へと供給される上記（２６）または（２７）に記載のノズル−アノードユニット。

（２９）前記筒状体からなる部分における前記第一の端部の反対側の端部である第二の端部は、当該第二の端部の開口の外接円よりも大きな直径の内接円を有する板状部材により閉塞され、前記めっき液噴出部は貫通孔を備え、当該貫通孔の一方の開口は前記めっき液の噴出孔であり、前記筒状体からなる部分は前記貫通孔の他方の開口側から貫装されて、前記第一の端部は前記めっき液の噴出孔を臨む位置に配置される上記（２８）に記載のノズル−アノードユニット。

（３０）いずれも少なくとも１つの開口を有する２つの中空部を備える被めっき部材を固定するための固定装置であって、前記２つの中空部の一方の内部に当該中空部の前記開口から一方の端部を挿入可能とされる第一の棒状体；前記２つの中空部の他方の内部に当該中空部の前記開口から一方の端部を挿入可能とされる第二の棒状体；および前記第一の棒状体が前記一方の中空部の少なくとも２か所に圧接するとともに、前記第二の棒状体が前記他方の中空部の少なくとも２か所に圧接することにより、前記被めっき部材が前記第一の棒状体および前記第二の棒状体により保持されるように、前記第一の棒状体および前記第二の棒状体が、それぞれの他方の端部を互いに近接する方向および互いに離間する方向の双方に移動すること、および前記他方の端部が互いに近接する向きに付勢された状態および前記他方の端部が互いに離間する向きに付勢された状態の双方で保持されることを可能とする棒状体可動保持機構を備える被めっき部材の固定装置。

（３１）前記第一の棒状体および前記第二の棒状体の少なくとも一方の前記中空部における前記被めっき部材への接触部が、前記被めっき部材に対する電気接点部をなす上記（３０）に記載の固定装置。

（３２）前記第一の棒状体の他方の端部および前記第二の棒状体の他方の端部を、互いに離間する向きおよび互いに近接する向きの双方に移動させることが可能であるとともに、前記第一の棒状体の他方の端部および前記第二の棒状体の他方の端部が移動した向きに付勢された状態を保持することが可能である駆動機構を有する棒状体駆動機構を備える上記（３０）または（３１）に記載の固定装置。

上記の発明によれば、被めっき部材の形状が平板状である場合に限らず、複雑な三次元形状を有する場合であっても、不溶性アノードおよび／またはめっき液噴出部が被めっき部材の形状に合わせた位置に配置された状態で電気めっきが行われるため、被めっき部材上に形成されるめっき皮膜の厚さの均一性を高めつつ高速で電気めっきを行うことが可能となる。特に、本発明に係るノズル−アノードユニットを用いれば、従来技術によれば他の部分に比べてめっき皮膜が形成されにくかった部分に対しても、十分な厚さのめっき皮膜を高速で形成することが可能となる。さらに、本発明に係る被めっき部材の固定装置を用いれば、被めっき部材の着脱が容易であり、好ましい一態様では大電流を被めっき部材に対して流すことが可能となる。

本発明の一実施形態に係るめっき装置の構成を概念的に示す図である。 本発明の一実施形態に係るめっき装置の制御を概念的に示すブロック図である。 本発明の一実施形態に係るめっき装置の動作の一例を示すフロー図である。 本実施形態の一例（可動めっき液噴出部を有さない例）に係るめっき装置のめっき槽内の部材の配置状態を概念的に示す斜視図である。 本実施形態の一例（筒型の形状を有するノズル−アノードユニットを備える例）に係るめっき装置のめっき槽内の部材の配置状態を概念的に示す斜視図である。 図５に示されるノズル−アノードユニットの構造を概念的に示す斜視図である。 図５に示されるノズル−アノードユニットの構造を概念的に示す断面図である。 図５に示されるノズル−アノードユニットを構成するめっき液噴出部および筒型の形状を有する部分を備える不溶性アノードのそれぞれの構造を概念的に示す斜視図である。 本実施形態の一例（箱型ノズル−アノードユニットを備える例）に係るめっき装置のめっき槽内の部材の配置状態を概念的に示す斜視図である。 図９に示されるノズル−アノードユニットの構造を概念的に示す斜視図である。 図９に示されるノズル−アノードユニットの構造を概念的に示す断面図である。 図９に示されるノズル−アノードユニットを構成するめっき液噴出部およびかご形の形状を有する部分を備える不溶性アノードのそれぞれの構造を概念的に示す斜視図である。 本実施形態の一例として、図４，５および９に示される例に係る不溶性アノードおよびノズル−アノードユニットが全てめっき槽内に配置されためっき装置のめっき槽内の部材の配置状態を概念的に示す、視点を上方とする斜視図である。 図１３に示される例に係るめっき装置のめっき槽内の部材の配置状態を概念的に示す、視点を下方とする斜視図である。 図１３に示される例に係るめっき装置のめっき槽およびめっき槽内の部材の配置状態を概念的に示す斜視図である。 図４に示される例に係るめっき装置の不溶性アノードのアノード変位機構の構成を概念的に示す斜視図である。 図５に示される例に係るめっき装置のノズル−アノードユニットのＮＡＵ変位機構の構成を概念的に示す斜視図である。 図１３に示される例に係るめっき装置の不溶性アノード、ノズル−アノードユニット、被めっき部材、被めっき部材の固定装置の一部、アノード変位機構、ＮＡＵ変位機構、部材変位機構および各機構を保持するフレームの構成を概念的に示す斜視図である。 図１８に示される例に係るめっき装置の部材変位機構および被めっき部材の固定装置の構造を概念的に示す正面図である。 図１９に示される被めっき部材の固定装置の構成を概念的に示す斜視図である。 図２０に示される被めっき部材の固定装置の主要部分を概念的に示す斜視図である。 図２１に示される被めっき部材の固定装置の棒状体駆動機構が作動して、第一の棒状体および第二の棒状体の他方の端部が離間する方向に各棒状体が移動した状態を概念的に示す斜視図である。 図２１に示される被めっき部材の固定装置の動作を概念的に示す斜視図であり、固定装置の下方に被めっき部材が配置された状態を示している。 図２１に示される被めっき部材の固定装置の動作を概念的に示す斜視図であり、図２３に示される状態から、固定装置と被めっき部材とが近位になるように固定装置が下方に移動して、被めっき部材の中空部内に第一および第二の棒状体の一方の端部が挿入された状態を示している。 図２１に示される被めっき部材の固定装置の動作を概念的に示す斜視図であり、図２４に示される状態から、棒状体駆動機構が作動して第一の棒状体および第二の棒状体の他方の端部が離間する方向に各棒状体が移動し、第一および第二の棒状体によって被めっき部材が保持された状態を示している。

以下、図面を参照しつつ、本発明の実施形態について説明する。
図１は、本発明の一実施形態に係るめっき装置の構成を概念的に示す図である。なお、図１では、めっき電源、被めっき部材およびアノードに電圧を印加する電気配線、制御配線など電気関連の構成は表示を省略しており、これらのめっき装置の制御に関する構成は図２を用いて説明する。

本実施形態に係るめっき装置１００が備えるめっき槽１はその内部にめっき液が入っている。そのめっき液内に、被めっき部材２が浸漬した状態にあり、この被めっき部材２は、部材変位機構３により保持されている。

部材変位機構３は、被めっき部材２の移動および被めっき部材２の少なくとも一部がめっき槽１内に配置されるような位置での被めっき部材２の保持を行うものであり、後述する部材位置制御装置により制御される。部材変位機構３は、被めっき部材２に直接接してこれを保持する固定装置３Ａと、固定装置３Ａの上下方向の移動をガイドするものであって、図１では鉛直方向下側の端部またはその近傍に固定装置３Ａが設けられている垂直方向直動摺動軸３Ｂと、固定装置３Ａの水平方向の移動をガイドする水平方向直動摺動軸３Ｃと、垂直方向直動摺動軸３Ｂ上および水平方向直動摺動軸３Ｃ上を移動することにより被めっき部材２の位置を変動させたり、垂直方向直動摺動軸３Ｂ上および水平方向直動摺動軸３Ｃ上の所定の位置で停止した状態を維持することにより被めっき部材２を所定の位置に保持したりする摺動保持装置３Ｄとからなる。

固定装置３Ａはその一部の部材が被めっき部材２との通電部をも兼ねる。固定装置３Ａの具体的な構造およびその動作については後述する。垂直方向直動摺動軸３Ｂおよび水平方向直動摺動軸３Ｃの具体的な構成は特に限定されない。摺動保持装置３Ｄが駆動可能な距離や耐荷重などが目的に適合するものを、いわゆるリニアガイドとして市場から入手できるものの中から適宜選択すればよい。摺動保持装置３Ｄもその具体的な構成は特に限定されない。被めっき部材２の位置を適切に制御できれば、駆動および保持の方式は空圧方式でもよいし、油圧方式でもよいし、電気方式でもよい。

本実施形態に係るめっき装置１００は、めっき槽１内に複数の不溶性アノードを備える。具体的には、めっき槽１の側壁に付設される固定の不溶性アノード（以下「固定アノード」ともいう。）４Ａ、アノード変位機構５によりその位置を可変とされる可動の不溶性アノード（以下「可動アノード」ともいう。）４Ｂおよびノズル−アノードユニット（詳細は後述、以下、「ＮＡＵ」ともいう。）の一構成要素をなす不溶性アノード（以下「ＮＡＵアノード」ともいう。）４Ｃを備える。不溶性アノードの材質は特に限定されない。一般的に用いられる材質を採用すればよく、チタン材上に白金をめっきしたものが具体例として挙げられる。

アノード変位機構５は、可動アノード４Ｂのめっき槽１内で移動させたり、可動アノード４Ｂをめっき槽１内の所定の位置で保持したりするものであり、後述するアノード位置制御装置により制御される。アノード変位機構５の基本構成は部材変位機構３と同様であり、垂直方向直動摺動軸５Ａおよび水平方向直動摺動軸５Ｂならびに摺動保持装置５Ｃから構成される。

垂直方向直動摺動軸５Ａは可動アノード４Ｂを上下方向に移動する際のガイドとなるものであって、図１ではその鉛直方向下側の端部またはその近傍に可動アノード４Ｂが設けられている。水平方向直動摺動軸５Ｂは可動アノード４Ｂの水平方向の移動をガイドするものである。摺動保持装置５Ｃは、垂直方向直動摺動軸５Ａおよび水平方向直動摺動軸５Ｂ上を移動することにより可動アノード４Ｂの位置を変動させたり、垂直方向直動摺動軸５Ａおよび水平方向直動摺動軸５Ｂ上の所定の位置で停止した状態を維持することにより可動アノード４Ｂを所定の位置に保持したりするものである。

垂直方向直動摺動軸５Ａおよび水平方向直動摺動軸５Ｂの具体的な構成は特に限定されない。摺動保持装置５Ｃが駆動可能な距離や耐荷重などが目的に適合するものを、いわゆるリニアガイドとして市場から入手できるものの中から適宜選択すればよい。摺動保持装置５Ｃもその具体的な構成は特に限定されない。可動アノード４Ｂの位置を適切に制御できれば、駆動および保持の方式は空圧方式でもよいし、油圧方式でもよいし、電気方式でもよい。後述するように、可動アノード４Ｂは被めっき部材２と相対位置が管理されながら連動する場合もあり、その場合には、部材変位機構３とアノード変位機構５とは同一の方式で駆動されるものであることが好ましい。

本実施形態に係るめっき装置１００は、めっき槽１内のめっき液を循環させるための循環機構６を有する。本実施形態に係るめっき装置１００の循環機構６は、めっき液取り込み部６Ａ、往路配管６Ｂ、ポンプ６Ｃ、復路配管６Ｄ、第一の復路配管６Ｅ、固定めっき液噴出部６Ｆ、第一の流量調整バルブ６Ｇ、第二の復路配管６Ｈ、第二の流量調整バルブ６Ｉ、可動めっき液噴出部６Ｊ、その噴出孔６Ｋ、第三の復路配管６Ｌ、ノズル−アノードユニット（ＮＡＵ）のめっき液噴出部（以下、「ＮＡＵ噴出部」という。）６Ｍ、その噴出孔６Ｎ、および第三の流量調整バルブ６Ｏを備える。

めっき液取り込み部６Ａは、めっき槽１のオーバフロー用仕切板１Ａにより区切られた領域（以下、この領域を「取り込み用領域」といい、めっき槽内の取り込み用領域以外の領域を「主領域」ともいう。）の底部に設けられ、めっき槽１内のめっき液を取り込むものである。めっき液取り込み部６Ａから取り込まれためっき液は、往路配管６Ｂ内を通ってポンプ６Ｃに至る。ポンプ６Ｃから吐出されためっき液が流れる復路配管６Ｄは、第一の復路配管６Ｅ、第二の復路配管６Ｈおよび第三の復路配管６Ｌに分岐する。

第一の復路配管６Ｅの一方の端部はめっき槽１の主領域の底部に設けられた固定めっき液噴出部６Ｆに接続されている。このため、循環機構６により、主領域から取り込み用領域へとオーバフローしためっき液をめっき液取り込み部６Ａから取り込み、そのめっき液をポンプ６Ｃで加圧して固定めっき液噴出部６Ｆから主領域に戻すという循環系統（以下、「第一の循環系統」ともいう。）が構築されている。この第一の循環系統を流れるめっき液量は、ポンプ６Ｃおよび第一の復路配管６Ｅの途中に設置された第一の流量調整バルブ６Ｇにより調整される。

第二の復路配管６Ｈの一方の端部は、めっき槽１内に配置された可動めっき液噴出部６Ｊに接続されている。このため、循環機構６により、主領域から取り込み用領域へとオーバフローしためっき液をめっき液取り込み部６Ａから取り込み、そのめっき液をポンプ６Ｃで加圧して可動めっき液噴出部６Ｊの噴出孔６Ｋから主領域内に噴出させて戻すという循環系統（以下、「第二の循環系統」ともいう。）が構築されている。この第二の循環系統を流れるめっき液量は、ポンプ６Ｃおよび第二の復路配管６Ｈの途中に設置された第二の流量調整バルブ６Ｉにより調整される。

可動めっき液噴出部６Ｊは、垂直方向直動摺動軸７Ａと水平方向直動摺動軸７Ｂと摺動保持装置７Ｃとを備える噴出部変位機構７によりそのめっき槽１内の配置を変動可能とされている。垂直方向直動摺動軸７Ａは可動めっき液噴出部６Ｊを上下方向に移動する際のガイドとなるものであって、図１ではその鉛直方向下側の端部またはその近傍に可動めっき液噴出部６Ｊが設けられている。水平方向直動摺動軸７Ｂは可動めっき液噴出部６Ｊの水平方向の移動をガイドするものである。摺動保持装置７Ｃは、垂直方向直動摺動軸７Ａおよび水平方向直動摺動軸７Ｂ上を移動することにより可動めっき液噴出部６Ｊの位置を変動させたり、垂直方向直動摺動軸７Ａおよび水平方向直動摺動軸７Ｂ上の所定の位置で停止した状態を維持することにより可動めっき液噴出部６Ｊを所定の位置に保持したりするものである。

垂直方向直動摺動軸７Ａおよび水平方向直動摺動軸７Ｂの具体的な構成は特に限定されない。摺動保持装置７Ｃが駆動可能な距離や耐荷重などが目的に適合するものを、いわゆるリニアガイドとして市場から入手できるものの中から適宜選択すればよい。摺動保持装置７Ｃもその具体的な構成は特に限定されない。可動めっき液噴出部６Ｊの位置を適切に制御できれば、駆動および保持の方式は空圧方式でもよいし、油圧方式でもよいし、電気方式でもよい。後述するように、可動めっき液噴出部６Ｊは可動アノード４Ｂおよび／または被めっき部材２と相対位置が管理されながら連動する場合もあり、この場合には、噴出部変位機構７は、部材変位機構３および／またはアノード変位機構５と同一の方式で駆動されるものであることが好ましい。

第三の復路配管６Ｌの一方の端部は、めっき槽１内に配置されたノズル−アノードユニット（ＮＡＵ）８のめっき液噴出部（ＮＡＵ噴出部）６Ｍに接続されている。このため、循環機構６により、主領域から取り込み用領域へとオーバフローしためっき液をめっき液取り込み部６Ａから取り込み、そのめっき液をポンプ６Ｃで加圧してＮＡＵ噴出部６Ｍの噴出孔６Ｎから主領域に噴出させて戻すという循環系統（以下、「第三の循環系統」ともいう。）が構築されている。この第三の循環系統を流れるめっき液量は、ポンプ６Ｃおよび第三の復路配管６Ｌの途中に設置された第三の流量調整バルブ６Ｏにより調整される。

ノズル−アノードユニット（ＮＡＵ）８は、ＮＡＵ噴出部６Ｍと、ＮＡＵ噴出部６Ｍに対する相対位置が管理され（管理の具体的な一例として固定されていることが挙げられる。）ＮＡＵ噴出部６Ｍの噴出孔６Ｎを臨む位置、すなわち噴出孔６Ｎに対向する位置に少なくともその一部が配置されるＮＡＵアノード４Ｃとを備える。図１では、ＮＡＵアノード４Ｃは噴出孔６Ｎに接するように配置され、ＮＡＵアノード４Ｃの貫通孔４Ｄと噴出孔６Ｎとが連通している。このような配置とすることで、噴出孔６Ｎから吐出されるめっき液はＮＡＵアノード４Ｃに少なくとも一部が接しながら、めっき槽１内へと拡散する。したがって、ＮＡＵアノード４Ｃに正電圧が印加されると、ＮＡＵアノード４Ｃの貫通孔４Ｄから吐出しためっき液の流れる方向と電気力線の方向とが平行になりやすく、被めっき部材２の被めっき面におけるめっき金属の析出状態が一様になりやすい。なお、ＮＡＵアノード４ＣとＮＡＵ噴出部６Ｍとの相対位置は、何らかの変位機構によって変動可能に管理されていてもよい。

ＮＡＵ８は、垂直方向直動摺動軸９Ａと水平方向直動摺動軸９Ｂと摺動保持装置９Ｃとを備えるＮＡＵ変位機構９によりそのめっき槽１内の配置を変動可能とされている。ＮＡＵ変位機構９は、アノード変位機構と噴出部変位機構とが統合されたものと位置づけられる。垂直方向直動摺動軸９ＡはＮＡＵ８を上下方向に移動する際のガイドとなるものであって、図１ではその鉛直方向下側の端部またはその近傍にＮＡＵ８が設けられている。水平方向直動摺動軸９ＢはＮＡＵ８の水平方向の移動をガイドするものである。摺動保持装置９Ｃは、垂直方向直動摺動軸９Ａおよび水平方向直動摺動軸９Ｂ上を移動することによりＮＡＵ８の位置を変動させたり、垂直方向直動摺動軸９Ａおよび水平方向直動摺動軸９Ｂ上の所定の位置で停止した状態を維持することによりＮＡＵ８を所定の位置に保持したりするものである。

垂直方向直動摺動軸９Ａおよび水平方向直動摺動軸９Ｂの具体的な構成は特に限定されない。摺動保持装置９Ｃが駆動可能な距離や耐荷重などが目的に適合するものを、いわゆるリニアガイドとして市場から入手できるものの中から適宜選択すればよい。摺動保持装置９Ｃもその具体的な構成は特に限定されない。ＮＡＵ８の位置を適切に制御できれば、駆動および保持の方式は空圧方式でもよいし、油圧方式でもよいし、電気方式でもよい。後述するように、ＮＡＵ８は可動めっき液噴出部６Ｊ、可動アノード４Ｂおよび／または被めっき部材２と相対位置が管理されながら連動する場合もあり、この場合には、ＮＡＵ変位機構９は、噴出部変位機構７、部材変位機構３および／またはアノード変位機構５と同一の方式で駆動されるものであることが好ましい。

なお、本実施形態に係るめっき装置１００の循環機構６は、めっき液を循環させるための装置としてポンプ６Ｃのみを備えるが、循環機構６は複数のポンプを備えていてもよい。その場合におけるポンプの配置は限定されない。一例を挙げれば、第一の循環系統、第二の循環系統および第三の循環系統のそれぞれにポンプが設けられ、これらが相互に関連しながら制御されている構成が挙げられる。

また、本実施形態に係るめっき装置１００が備える不溶性アノード（具体的には固定アノード４Ａ、可動アノード４ＢおよびＮＡＵアノード４Ｃの少なくとも一つ）は、被めっき部材２と接触して短絡を生じる可能性を低減させるために、絶縁性の保護部材を、被めっき部材２に近位な側に備えていてもよい。そのような保護部材の具体的な構成は特に限定されない。具体例として、プラスチックなどからなるメッシュが不溶性アノードの被めっき部材２に近位な側に付設されている構成が挙げられる。

図２は、本発明の一実施形態に係るめっき装置の制御を概念的に示すブロック図である。
めっき槽１内に配置される固定アノード４Ａ、可動アノード４ＢおよびＮＡＵアノード４Ｃは、それぞれ、固定アノード４Ａ用配線１１Ａ、可動アノード４Ｂ用配線１１ＢおよびＮＡＵアノード４Ｃ用配線１１Ｃによって、めっき電源１０の陽極端子１０Ａに電気的に接続されている。また、図１に示されるめっき装置１００のめっき電源１０は、固定アノード４Ａ用配線１１Ａから出力される電圧および電流、可動アノード４Ｂ用配線１１Ｂから出力される電圧および電流ならびにＮＡＵアノード４Ｃ用配線１１Ｃから出力される電圧および電流はそれぞれ独立に制御可能とされている。また、めっき槽１内に配置される被めっき部材２は、被めっき部材用配線１１Ｄによって、めっき電源１０の陰極端子１０Ｂに電気的に接続されている。

本実施形態に係るめっき装置１００は、めっき電源１０から電圧を印加しているときの、固定アノード４Ａ、可動アノード４ＢおよびＮＡＵアノード４Ｃ（これらを総称して「不溶性アノード４Ａ〜Ｃ」という。）のそれぞれを流れる電流および不溶性アノード４Ａ〜Ｃの被めっき部材２に対する電位の少なくとも一方を測定する測定機器１２Ａ，１２Ｂ，１２Ｃを備える。測定機器の具体的な構成は特に限定されない。電流計であってもよいし、シャント抵抗と電圧計とからなっていてもよいし、電圧計であってもよいし、これらの組み合わせであってもよい。なお、図２では、固定アノード４Ａ用配線１１Ａ、可動アノード４Ｂ用配線１１ＢおよびＮＡＵアノード４Ｃ用配線１１Ｃのそれぞれに、電流計からなる測定機器またはシャント抵抗と電圧計とからなる測定機器が設けられている構成を示している。不溶性アノード４Ａ〜Ｃの被めっき部材２に対する電位を測定する場合の具体的な一例を挙げれば、不溶性アノード４Ａ〜Ｃのそれぞれとめっき電源１０の陰極端子１０Ｂとを、電圧計を介在させた配線にて互いに並列になるように接続すれば、不溶性アノード４Ａ〜Ｃのそれぞれの被めっき部材２に対する電位を電圧計にて個別に計測することができる。

本実施形態に係るめっき装置１００は、測定機器１２Ａ，１２Ｂ，１２Ｃによる測定結果としての信号を入力とし、めっき装置１００が備える装置（めっき電源１０、摺動保持装置３Ｄ、ポンプ６Ｃなど）の動作を制御するための制御信号を発生させ、その制御信号を対応する装置に出力する制御装置１３を有する。制御装置１３は、測定機器１２Ａ，１２Ｂ，１２Ｃからの信号を受け入れるための信号入力部１３Ａ、ならびにこの信号入力部１３Ａで受け取った信号を入力とする電気出力制御装置１３Ｂ、位置制御装置１３Ｃおよび循環制御装置１３Ｄを備える。この制御装置１３が備える複数の装置は、独立していてもよいし、一つの制御装置が複数の制御装置の機能を果たすことができるものであってもよい。この制御装置１３は、あらかじめ規定された制御プログラムやキーボードなどのインターフェース装置からの入力信号に基づいて、各装置を制御するための制御信号を発生させ、その制御信号を対応する装置に出力する機能も有する。

電気出力制御装置１３Ｂは、測定機器１２Ａ，１２Ｂ，１２Ｃにより測定された結果に基づいて、不溶性アノード４Ａ〜Ｃに印加する電流および電圧の少なくとも一方を制御するための制御信号を発生させ、その制御信号をめっき電源１０に出力する。めっき電源１０は、電気出力制御装置１３Ｂから制御信号を入力したことを条件として、その入力信号とあらかじめ関連付けられた動作（出力電流の増加もしくは減少、または出力電圧の増加もしくは減少）を行う。また、電気出力制御装置１３Ｂは、あらかじめ規定された制御プログラムやユーザーインターフェース装置からの入力信号に基づいて、めっき電源１０を制御するための制御信号を発生させ、その制御信号をめっき電源１０に出力する機能も有する。

位置制御装置１３Ｃは、部材変位機構３の摺動保持装置３Ｄの動作（移動、保持など。以下同じ。）を制御するための制御信号を発生させ、その制御信号を摺動保持装置３Ｄに対して出力する部材位置制御装置、アノード変位機構５の摺動保持装置５Ｃの動作を制御するための制御信号を発生させ、その制御信号を摺動保持装置５Ｃに対して出力するアノード位置制御装置、噴出部変位機構７の摺動保持装置７Ｃの動作を制御するための制御信号を発生させ、その制御信号を摺動保持装置７Ｃに対して出力する噴出部位置制御装置、ＮＡＵ変位機構９の摺動保持装置９Ｃの動作を制御するための制御信号を発生させ、その制御信号を摺動保持装置９Ｃに対して出力するＮＡＵ位置制御装置および固定装置３Ａを動作させるための駆動装置の動作を制御するための制御信号を発生させ、その制御信号をその駆動装置に対して出力する固定装置制御装置を備える。ＮＡＵ位置制御装置は、ＮＡＵアノード４Ｃのめっき槽１内の配置を制御するためのものであるアノード位置制御装置と、ＮＡＵ噴出部６Ｍのめっき槽１内の配置を制御するためのものである噴出部位置制御装置とが統合されたものと位置づけることができる。

位置制御装置１３Ｃは、測定機器１２Ａ，１２Ｂ，１２Ｃにより測定された結果に基づいて、上記の複数の位置制御装置に制御信号を発生させることができる。また、位置制御装置１３Ｃは、あらかじめ規定された制御プログラムやインターフェース装置からの入力信号に基づいても、上記の複数の位置制御装置に制御信号を発生させることができる。

位置制御装置１３Ｃは、当該装置が備える上記の複数の制御装置に対して個別に制御信号を発生させることができる。また、複数の制御装置を協働させ、複数の摺動保持装置を連動させることもできる。そのような連動の具体例として、部材位置制御装置からの制御信号により部材変位機構３の摺動保持装置３Ｄを駆動させて被めっき部材２を水平方向に往復動（揺動）させた際に、この往復動によっても、可動アノード４Ｂ、可動めっき液噴出部６ＪおよびＮＡＵ８の被めっき部材２に対する相対位置が変動しないように、アノード位置制御装置、噴出部位置制御装置およびＮＡＵ位置制御装置から適切な制御信号を出力させて、摺動保持装置５Ｃ，７Ｃおよび９Ｃを駆動させることが挙げられる。

循環制御装置１３Ｄは、ポンプ６Ｃを駆動するためのポンプ駆動装置１４Ａの動作を制御するための制御信号を発生させ、その制御信号をポンプ駆動装置１４Ａに対して出力するポンプ制御装置、第一の流量調整バルブ６Ｇの動作させる第一の流量調整装置１４Ｂの動作を制御するための制御信号を発生させ、その制御信号を第一の流量調整装置１４Ｂに対して制御信号を出力する第一のバルブ制御装置、第二の流量調整バルブ６Ｉの動作させる第二の流量調整装置１４Ｃの動作を制御するための制御信号を発生させ、その制御信号を第二の流量調整装置１４Ｃに対して第二のバルブ制御装置および第三の流量調整バルブ６Ｏの動作させる第二の流量調整装置１４Ｄの動作を制御するための制御信号を発生させ、その制御信号を第二の流量調整装置１４Ｄに対して出力する第三のバルブ制御装置を備える。

循環制御装置１３Ｄは、測定機器１２Ａ，１２Ｂ，１２Ｃにより測定された結果に基づいて、上記の複数の位置制御装置に制御信号を発生させることができる。また、循環制御装置１３Ｄは、あらかじめ規定された制御プログラムやインターフェース装置からの入力信号に基づいても、上記の複数の位置制御装置に制御信号を発生させることができる。さらに、循環制御装置１３Ｄは、当該装置が備える上記の複数の制御装置に対して個別に制御信号を発生させることも、複数の制御装置を協働させることもできる。なお、第一の復路配管６Ｅ、第二の復路配管６Ｈおよび第三の復路配管６Ｌのそれぞれに流量計を設置し、それらの流量計からの情報に基づいて、循環制御装置１３Ｄが備える各制御装置の動作を設定してもよい。

制御装置１３は、制御装置１３が備える複数の制御装置を協働させることができる。そのような協働の具体例の具体例として、被めっき部材２をめっき槽１内のめっき液中に配置し、めっき電源から電圧を所定時間印加し、めっき皮膜が形成された被めっき部材（めっき部材）２をめっき槽１内のめっき液から取り出すまでの一連のプロセスを、図３を参照しつつ説明する。

図３は、本発明の一実施形態に係るめっき装置の動作の一例を示すフロー図である。本例では、部材取付工程、部材配置工程、配置工程、噴出開始工程、印加工程、噴出終了工程、退避工程および部材回収工程がこの順番で行われている。

（部材取付工程）
本例に係る部材取付工程では、位置制御装置１３Ｃが備える部材位置制御装置から出力される制御信号に基づき部材変位機構３の摺動保持装置３Ｄを動作させるとともに、制御装置１３が備える固定装置制御装置からの出力される制御信号に基づき固定装置３Ａを動作させて、被めっき部材２を固定装置３Ａに固定させる。その動作の詳細については、固定装置３Ａの具体例とともに後述する。

（部材配置工程）
部材配置工程では、位置制御装置１３Ｃが備える部材位置制御装置から出力される制御信号に基づき部材変位機構３の摺動保持装置３Ｄを動作させることにより、部材取付工程の実施によって固定装置３Ａに対して固定された被めっき部材２の少なくとも一部をめっき槽１内のめっき液中に浸漬させる。

（配置工程）
配置工程では、可動アノード４Ｂなどめっき槽１の内部に配置される構成要素を、被めっき部材２により近位となるように移動させる。配置工程の開始時期と部材配置工程の開始時期との関係は特に限定されない。いずれかを先に開始してもよいし、双方を同時に開始してもよい。いずれかを先に開始する場合において、一方の工程の終了時期と他方の工程の開始時期との関係も限定されない。一方の工程が終了した後に他方の工程を開始してもよいし、一方の工程が終了する前に他方の工程を開始してもよい。

本例に係る配置工程では、アノード配置工程、噴出部配置工程およびＮＡＵ部配置工程の３つの工程が行われる。これらの３工程の開始時期の関係は特に限定されず、同時に開始してもよいし、順次開始してもよい。

アノード配置工程では、位置制御装置１３Ｃが備えるアノード位置制御装置から出力される制御信号に基づきアノード変位機構５の摺動保持装置５Ｃを動作させることにより、めっき槽１内の所定の位置（「アノード初期位置」ともいう。）に配置された状態にある可動アノード４Ｂを、部材配置工程によりめっき槽１内のめっき液中に配置されてた状態にある被めっき部材２に近づくように、すなわち、より近位となるように移動させ、あらかじめ設定された第一の位置にて保持する。

アノード配置工程により可動アノード４Ｂが配置される第一の位置は、被めっき部材２をめっき液から取り出すように移動させたときに被めっき部材２が可動アノード４Ｂと干渉する位置であってもよい。この場合には、部材配置工程により被めっき部材２がある程度めっき液中に浸漬された状態となってから、可動アノード４Ｂは第一の位置に配置される。

通常、不溶性アノードは、固定アノード４Ａのようにめっき槽１に対して固定されている場合が多い。そのような場合には、上記の第一の位置のように、被めっき部材２の取り出し動作に対して干渉する様な位置に、不溶性アノードを配置することは不可能である。しかしながら、本実施形態に係るめっき装置１００が備える不溶性アノードは、可動アノード４Ｂのようにめっき槽１内で移動させることが可能であるため、被めっき部材２と干渉を生じるような位置にも不溶性アノードを配置することができる。したがって、本実施形態に係るめっき装置１００によれば、被めっき部材２の形状に関わらず不溶性アノードの配置を適切に設定することが可能である。

そのような配置の具体例として、被めっき部材２のすべての被めっき面について、被めっき面と不溶性アノードとの距離のばらつきを所定の範囲以内（例えば２０％以内）に設定することができる。この場合には、被めっき部材２の被めっき面におけるめっき時の電流密度のばらつきは、被めっき面と不溶性アノードとの距離のばらつきに基づき被めっき面と不溶性アノードとの間の溶液抵抗がばらつくことが主要な原因の一つである。したがって、被めっき面と不溶性アノードとの距離のばらつきを所定の範囲内に制御することができる場合には、被めっき面における電流密度のばらつきが小さくなって、被めっき部材２上に形成されためっき皮膜は、その厚さや膜質の均一性に優れたものとなる。

また、このように、電流密度のばらつきが少ないため、めっき液中に均一電着性を高めるための添加剤を含有させる必要がない、またはその含有量を少なくすることができる。均一電着性を高めるための添加剤は、一般的に、電流密度の高い被めっき面におけるめっき皮膜の析出速度を低下させてしまう。このため、均一電着性を高める添加剤を使用するとめっき皮膜の析出速度が全体的に遅くなってしまい、高速でめっき皮膜を形成することは困難となる傾向がある。これに対し、本実施形態に係るめっき装置１００を用いれば、上記の様な添加剤を使用しない、または使用量を少なくすることができるため、被めっき部材２に高速でめっき皮膜を形成することが容易である。

さらに、上記のような添加剤を用いることは、電流密度を高めてもめっき析出速度が低くなってしまうため、無添加の場合に比べてエネルギーの利用効率を低下させることをも意味する。したがって、本実施形態に係るめっき装置１００を用いて、添加剤を使用せず、またはその使用量を少なくしてめっきを行うことにより、めっき処理におけるエネルギーの利用効率を高めることができる。

噴出部配置工程では、位置制御装置１３Ｃが備える噴出部位置制御装置から出力される制御信号に基づき噴出部変位機構７の摺動保持装置７Ｃを動作させることにより、めっき槽１内の所定の位置（「噴出部初期位置」ともいう。）に配置された状態にあるめっき液噴出部６Ｊを、部材配置工程によりめっき槽１内のめっき液中に配置されている被めっき部材２に近づくように、すなわち、より近位となるように移動させ、あらかじめ設定された第三の位置にて保持する。

従来技術に係るめっき装置では、めっき液の循環機構におけるめっき液の噴出部は、固定めっき液噴出部６のように、めっき液の特定の位置に固定されているため、めっき槽１における固定のめっき液噴出部から遠位の位置では、めっき液の流動が不十分となる場合があった。このようなめっき液の流動が不十分な領域に被めっき部材２が配置されていると、その領域にある被めっき面では、めっき金属イオンの供給が不十分となり、めっき析出速度が他の被めっき面に比べて低下してしまい、めっき皮膜の厚さにばらつきが生じやすくなっていた。

ところが、本実施形態に係るめっき装置１００のようにめっき液噴出部６Ｊがめっき槽１内で移動可能である場合には、上記のような固定のめっき液噴出部からのめっき液循環のみではめっき金属イオンの供給が不十分となる領域があっても、その領域にめっき液が噴出されるようにめっき液噴出部６Ｊを配置することにより、被めっき部材２の被めっき面上のめっき皮膜の厚さを均一化することが容易となる。上記のようなめっき金属イオンの供給不足の問題はめっき析出速度が高い場合に特に顕著となることから、本実施形態に係るめっき装置１００を用いることにより、高速でめっきを析出させることが容易となる。なお、この第三の位置は、第一の位置と同様に、被めっき部材２をめっき液から取り出すように移動させたときに被めっき部材２がめっき液噴出部６Ｊと干渉する位置であってもよい。

ＮＡＵ部配置工程では、位置制御装置１３Ｃが備えるＮＡＵ位置制御装置から出力される制御信号に基づきＮＡＵ変位機構９の摺動保持装置９Ｃを動作させることにより、めっき槽１内の所定の位置（「ＮＡＵ初期位置」ともいう。）に配置された状態にあるＮＡＵ８を、部材配置工程によりめっき槽１内のめっき液中に配置されている被めっき部材２に近づくように、すなわち、より近位となるように移動させ、あらかじめ設定された第五の位置にて保持する。ＮＡＵ８は、ＮＡＵアノード４ＣとＮＡＵ噴出部６Ｍとが一体化して可動とされたものであるから、前述の可動アノード４Ｂとめっき液噴出部６Ｊとの双方の機能を有し、被めっき部材２上に高速でかつ均一性高くめっき皮膜を形成することができる。なお、この第五の位置も、第一の位置や第三の位置と同様に、被めっき部材２をめっき液から取り出すように移動させたときに被めっき部材２がＮＡＵ８と干渉する位置であってもよい。

（噴出開始工程）
配置工程により可動アノード４Ｂ、めっき液噴出部６ＪおよびＮＡＵ８を、それぞれ、第一の位置、第三の位置および第五の位置に配置したら、循環制御装置１３Ｄが備える第二のバルブ制御装置および第三のバルブ制御装置から制御信号を出力し、これらの制御信号を入力した第二の流量調整装置１４Ｃおよび第三の流量調整装置１４Ｄが、その制御信号に従って、第二の流量調整バルブ６Ｉおよび第三の流量調整バルブ６Ｏを動作させることにより、めっき液噴出部６ＪおよびＮＡＵ噴出部６Ｍからめっき液を噴出させる。

なお、本例に係る方法では、ポンプ６Ｃおよび第一の流量調整バルブ６Ｇは部材配置工程の段階から動作していることにより、第一の循環経路によるめっき液の循環は継続的に行われ、往路配管６Ｂに取り付けられたストレーナーによりめっき液に含まれる異物などの除去が行われている。

本例では、噴出開始工程を配置工程の後に実施しているが、噴出開始工程は配置工程の前または途中に開始されてもよいし、特に噴出開始工程を設けず、第一の復路配管６Ｅの場合と同様にめっき液噴出部６ＪおよびＮＡＵ８のめっき液噴出部６Ｍから継続的にめっき液の噴出が行われていてもよい。あるいは、めっき液噴出部６ＪおよびＮＡＵ８のめっき液噴出部６Ｍから継続的にめっき液の少量の噴出を行わせておき、噴出開始工程において、めっき液噴出部６ＪおよびＮＡＵ８のめっき液噴出部６Ｍからの噴出量を増加させてもよい。

（印加工程）
印加工程では、電気出力制御装置１３Ｂからの制御信号に基づいてめっき電源１０を動作させることにより、被めっき部材２と不溶性アノード４Ａ〜Ｃとの間に電圧を所定の時間印加して被めっき部材２上にめっき皮膜を形成する。この電圧値は特に限定されず、被めっき部材２の形状、めっきの種類、求めるめっき皮膜の厚さなどを考慮して適宜設定すればよい。また、電圧を印加するにあたり、電圧値を制御してもよいし、電流値を制御してもよい。

電気出力制御装置１３Ｂは印加工程中に電流または電圧が変動するような制御を行ってもよい。その変動はあらかじめ設定されたプログラムに従って行ってもよいし、ユーザーインターフェース装置からの入力操作によって行ってもよいし、次に説明するフィードバック制御によって行ってもよい。

このフィードバック制御では、固定アノード４Ａへの配線１１Ａ上の測定機器１２Ａ、可動アノード４Ｂへの配線１１Ｂ上の測定機器１２ＢおよびＮＡＵアノード４Ｃへの配線１１Ｃ上の測定機器１２Ｃにおいて測定された電流および／または電圧に関する信号を入力として、制御装置１３が備える電気出力制御装置１３Ｂは、固定アノード４Ａ，可動アノード４ＢおよびＮＡＵアノード４Ｃに印加する電流および電圧の少なくとも一つを制御するための信号を発生させ、その信号をめっき電源１０に出力する。かかる信号を入力しためっき電源１０は、その信号に従って、固定アノード４Ａ、可動アノード４ＢおよびＮＡＵアノード４Ｃの少なくとも一つに対して印加する電流および／または電圧を変動させる。

かかるフィードバック制御の具体例として、ＮＡＵアノード４Ｃへの配線１１Ｃ上の測定機器１２Ｃにおいて測定された電流値がある所定の値から低下してめっき金属の析出速度が低下している場合には、ＮＡＵアノード４Ｃに印加する電圧を上昇させ、ＮＡＵアノード４Ｃへの配線１１Ｃ上の測定機器１２Ｃにおいて測定される電流値が所定の値に回復したときに、その印加電圧を保持することが挙げられる。

また、印加工程中に、被めっき部材２、可動アノード４Ｂ、可動めっき液噴出部６ＪおよびＮＡＵ８の少なくとも一つのめっき槽１内の位置を変動させてもよい。その変動はあらかじめ設定されたプログラムに従って行ってもよいし、ユーザーインターフェース装置からの入力操作によって行ってもよいし、次に説明するフィードバック制御を行ってもよい。

このフィードバック制御では、固定アノード４Ａへの配線１１Ａ上の測定機器１２Ａ、可動アノード４Ｂへの配線１１Ｂ上の測定機器１２ＢおよびＮＡＵアノード４Ｃへの配線１１Ｃ上の測定機器１２Ｃにおいて測定された電流および／または電圧に関する信号を入力として、制御装置１３が備える位置制御装置１３Ｃは、摺動保持装置３Ｄ，５Ｃ，７Ｃおよび９Ｃの少なくとも一つを制御するための信号を発生させ、その信号を該当する摺動保持装置３Ｄ，５Ｃ，７Ｃおよび／または９Ｃに出力する。かかる信号を入力した摺動保持装置３Ｄ，５Ｃ，７Ｃおよび／または９Ｃは、その信号に従って、被めっき部材２、可動アノード４Ｂ、可動めっき液噴出部６ＪおよびＮＡＵ８の少なくとも一つのめっき槽１内の位置を変動させる。

かかるフィードバック制御の具体例として、ＮＡＵアノード４Ｃへの配線１１Ｃ上の測定機器１２Ｃにおいて測定された電流値がある所定の値から低下してめっき金属の析出速度が低下している場合には、ＮＡＵ８を被めっき部材２に対してより近位となるように移動させ、ＮＡＵアノード４Ｃへの配線１１Ｃ上の測定機器１２Ｃにおいて測定される電流値が所定の値に回復したときに、その位置を保持することが挙げられる。

位置制御装置１３は、摺動保持装置３Ｄ，５Ｃ，７Ｃおよび９Ｃを連動させて、被めっき部材２をめっき槽１内で揺動させてもよい。従来技術に係るめっき装置では、不溶性アノードはめっき槽内のある特定の位置に固定されているため、被めっき部材をめっき槽内で揺動させると、被めっき部材の不溶性アノードに対する相対的な位置関係が、被めっき部材のめっき槽内の揺動によって変動してしまう。しかしながら、本実施形態に係るめっき装置１００によれば、被めっき部材２と可動アノード４ＢおよびＮＡＵアノード４Ｃとの相対的な位置関係を保持したまま被めっき部材２をめっき槽１内で揺動させることができる。したがって、固定アノード４Ａに電圧を印加しなければ、被めっき部材２の被めっき面の電流密度分布をほとんど変更することなく被めっき部材２をめっき槽１内で揺動させることができる。

さらに、印加工程中に、固定めっき液噴出部６Ｆ、可動めっき液噴出部６ＪおよびＮＡＵ噴出部６Ｍの少なくとも一つからのめっき液の噴出量を変動させてもよい。その変動はあらかじめ設定されたプログラムに従って行ってもよいし、ユーザーインターフェース装置からの入力操作によって行ってもよいし、次に説明するフィードバック制御を行ってもよい。

このフィードバック制御では、固定アノード４Ａへの配線１１Ａ上の測定機器１２Ａ、可動アノード４Ｂへの配線１１Ｂ上の測定機器１２ＢおよびＮＡＵアノード４Ｃへの配線１１Ｃ上の測定機器１２Ｃにおいて測定された電流および／または電圧に関する信号を入力として、制御装置１３が備える循環制御装置１３Ｄは、第一の流量調整バルブ６Ｇ、第二の流量調整バルブ６Ｉおよび第三の流量調整バルブ６Ｏの少なくとも一つを制御するための信号を発生させ、その信号を該当する第一の流量調整バルブ６Ｇ、第二の流量調整バルブ６Ｉおよび／または第三の流量調整バルブ６Ｏに出力する。かかる信号を入力した第一の流量調整バルブ６Ｇ、第二の流量調整バルブ６Ｉおよび／または第三の流量調整バルブ６Ｏは、その信号に従って、固定めっき液噴出部６Ｆ、可動めっき液噴出部６ＪおよびＮＡＵ噴出部６Ｍの少なくとも一つからのめっき液の噴出量を変動させる。

かかるフィードバック制御の具体例として、ＮＡＵアノード４Ｃへの配線１１Ｃ上の測定機器１２Ｃにおいて測定された電流値がある所定の値から低下してめっき金属の析出速度が低下している場合には、ＮＡＵ噴出部６Ｍからのめっき液の噴出量を増加させ、ＮＡＵ８のアノード４Ｃへの配線上の測定機器１２Ｃにおいて測定される電流値が所定の値に回復したときに、その噴出量を保持することが挙げられる。

上記の複数のフィードバック制御は、独立していてもよいし、互いに連携するように制御が行われてもよい。

（噴出停止工程）
噴出停止工程では、可動めっき液噴出部６ＪおよびＮＡＵ噴出部６Ｍなどからのめっき液の噴出を停止する。具体的には、循環制御装置１３Ｄが備える第二のバルブ制御装置および第三のバルブ制御装置から制御信号を出力し、これらの制御信号を入力した第二の流量調整装置１４Ｃおよび第三の流量調整装置１４Ｄが、その制御信号に従って、第二の流量調整バルブ６Ｉおよび第三の流量調整バルブ６Ｏを動作させることにより、めっき液噴出部６ＪおよびＮＡＵ液噴出部６Ｍからのめっき液の噴出を停止させる。

噴出停止工程の開始時期は、印加工程の終了後であれば、特に限定されない。次に説明する退避工程を実施した結果、依然としてめっき液噴出がめっき槽１内のめっき液中に向けて行われうる状態である場合には、退避工程の完了後に噴出停止工程を実施してもよく、噴出停止工程を実施せず、可動めっき液噴出部６Ｊ、ＮＡＵ噴出部６Ｍなどからのめっき液の噴出を、固定めっき液噴出部６Ｆからのめっき液噴出と同様に継続的に行ってもよい。

（退避工程）
退避工程では、可動アノード４Ｂなどめっき槽１の内部に配置される可動の構成要素を、めっき皮膜が形成された被めっき部材からより遠位となるように移動させる。退避工程の実施時期は、印加工程の終了後であれば、特に限定されない。上記の噴出停止工程との開始時期の関係は任意である。また、前述の配置工程によって所定の位置に配置された可動アノード４Ｂなどの可動の構成要素が、後述する部材回収工程において、めっき液から取り出される被めっき部材２の移動と干渉しなければ、退避工程は部材回収工程の後に行ってもよい。

本例に係る退避工程では、アノード退避工程、噴出部退避工程およびＮＡＵ退避工程の３つの工程が行われる。これらの３工程の開始時期の関係は特に限定されず、同時に開始してもよいし、順次開始してもよい。

アノード退避工程では、位置制御装置１３Ｃが備えるアノード位置制御装置から出力される制御信号に基づきアノード変位機構５の摺動保持装置５Ｃを動作させることにより、印加工程が終了したことによりめっき槽１内の所定の位置（例えば第一の位置）に保持された状態にある可動アノード４Ｂを、印加工程が終了してその表面にめっき皮膜が形成された状態にある被めっき部材（めっき部材）２から離れるように、すなわち、より遠位となるように移動させ、あらかじめ設定された第二の位置にて保持する。この第二の位置は、アノード配置工程の際に可動アノード４Ｂが当初配置されていた位置であるアノード初期位置であってもよい。

印加工程が終了したことによりめっき槽１内の所定の位置が、被めっき部材２をめっき液から取り出すように移動させたときに被めっき部材２が可動アノード４Ｂと干渉する位置である場合には、可動アノード４Ｂを第二の位置に移動させるアノード退避工程を行ってから後述する部材回収工程が行われる。

噴出部退避工程では、位置制御装置１３Ｃが備える噴出部位置制御装置から出力される制御信号に基づき噴出部変位機構７の摺動保持装置７Ｃを動作させることにより、印加工程が終了したことによりめっき槽１内の所定の位置（例えば第三の位置）に保持された状態にあるめっき液噴出部６Ｊを、めっき部材２から離れるように、すなわち、より遠位となるように移動させ、あらかじめ設定された第四の位置にて保持する。この第四の位置は、噴出部配置工程の際にめっき液噴出部６Ｊが当初配置されていた位置である噴出部初期位置であってもよい。

ＮＡＵ退避工程では、位置制御装置１３Ｃが備えるＮＡＵ位置制御装置から出力される制御信号に基づきＮＡＵ変位機構９の摺動保持装置９Ｃを動作させることにより、印加工程が終了したことによりめっき槽１内の所定の位置（例えば第五の位置）に保持された状態にあるＮＡＵ８を、めっき部材２から離れるように、すなわち、より遠位となるように移動させ、あらかじめ設定された第六の位置にて保持する。この第六の位置は、ＮＡＵ部配置工程の際にＮＡＵ８が当初配置されていた位置であるＮＡＵ初期位置であってもよい。

（部材回収工程）
部材回収工程では、位置制御装置１３Ｃが備える部材位置制御装置から出力される制御信号に基づき部材変位機構３の摺動保持装置３Ｄを動作させることにより、めっき槽１内のめっき液中に少なくとも一部が浸漬し、浸漬部分の表面にめっき皮膜が形成された状態にある被めっき部材２をめっき槽１から取り出し、めっき部材として得る。

続いて、図４から図１８を用いて、本実施形態に係るめっき装置の構成について、さらに具体的な例を用いて説明する。

図４は、本実施形態の一例に係るめっき装置のめっき槽内の部材の配置状態を概念的に示す斜視図である。本例に係るめっき装置１０１は、複数の可動アノードを有する。

本例に係るめっき装置１０１は、図示しないめっき槽１内に、複雑な３次元形状を有する被めっき部材２が、固定装置３Ａにより保持されて所定の位置に配置されている。固定装置３Ａによる被めっき部材２の固定方法については後述する。本例に係るめっき装置１０１は、いずれも平板状で複数の貫通孔を有する可動アノード４１から４４を備える。

これらの可動アノード４１，４２，４３，４４は、図示しないアノード変位機構５によって個別に変位可能とされ、各アノード変位機構５との接続部をなす連結バー４１Ａ，４２Ａ，４３Ａ，４４Ａを備える。これらの可動アノード４１，４２，４３，４４のうち、可動アノード４１，４２は、被めっき部材２を内包し、鉛直方向に平行な方向の４辺を有する最小の直方体における最大の面をなす２面のそれぞれと対向するように配置されている。以下、この直方体を外接直方体ともいう。

可動アノード４３は、被めっき部材２の上方に配置されている。前述したように図示しない部材変位機構３は固定装置３Ａを上方に持ち上げることにより被めっき部材２をめっき液から取り出すため、可動アノード４３は、この固定装置３Ａによる被めっき部材２の取り出し動作と干渉する位置に配置される。しかしながら、可動アノード４３は、連結バー４３Ａを介して図示しないアノード変位機構５に保持されているため、固定装置３Ａによる被めっき部材２の取り出し動作が行われるときには干渉しない位置に可動アノード４３を退避させることができる。可動アノード４４は被めっき部材２の下方に配置されている。

図５は、本実施形態の別の一例に係るめっき装置のめっき槽内の部材の配置状態を概念的に示す斜視図である。本例に係るめっき装置１０２は、複数のＮＡＵを有する。

本例に係るめっき装置１０２は、図示しないめっき槽１内に、複雑な３次元形状を有する被めっき部材２が、固定装置３Ａにより保持されて所定の位置に配置されている。本例に係るめっき装置１０２はいずれもＮＡＵアノードが筒型の形状を有するＮＡＵ（以下、「筒型ＮＡＵ」ともいう。）８１，８２，８３，８４を備える。本例では、筒型ＮＡＵ８１，８２，８３，８４は同一の構造を有する。

これらの筒型ＮＡＵ８１，８２，８３，８４は、被めっき部材２が有する屈曲部分に近い位置に配置されている。ここで、筒型ＮＡＵ８２，８３は、固定装置３Ａによる被めっき部材２の取り出し動作と干渉する位置に配置される。しかしながら、筒型ＮＡＵ８１，８２，８３，８４は、それぞれ、図５では図示しない連結バーを介して図示しないＮＡＵ変位機構９に保持されているため、固定装置３Ａによる被めっき部材２の取り出し動作が行われるときには干渉しない位置に筒型ＮＡＵ８２，８３を退避させることができる。

筒型ＮＡＵ８１の具体的な構造について、図６から９を用いて説明する。図６は筒型ＮＡＵの構造を概念的に示す斜視図である。図７は筒型ＮＡＵの構造を概念的に示す断面図である。図８は、筒型ＮＡＵを構成するめっき液噴出部および筒型の形状を有する部分を備える不溶性アノードのそれぞれの構造を概念的に示す斜視図である。

筒型ＮＡＵ８１は、めっき液取り込み部６Ａから取り込んだめっき槽１内のめっき液をポンプ６Ｃで循環させてめっき槽１に戻すためにめっき槽１内に配置されるめっき液噴出部８１Ａと、少なくともその一部がめっき液噴出部８１Ａの噴出孔８１Ｂを臨む位置に配置された不溶性アノード８１Ｃとを備える。ＮＡＵ８は、ＮＡＵ噴出部６Ｍの噴出孔６Ｎに対するＮＡＵアノード４Ｃの相対位置が管理されており、ＮＡＵ８の一例である筒型ＮＡＵ８１では、不溶性アノード８１Ｃの噴出孔８１Ｂに対する相対位置が固定されている。なお、ＮＡＵ噴出部６Ｍの噴出孔６Ｎに対するＮＡＵアノード４Ｃの相対位置の管理の他の一例としては、ＮＡＵ噴出部６ＭとＮＡＵアノード４Ｃとの相対位置を変動または保持させる駆動装置が別途設けられ、この駆動装置が制御装置１３によって制御されている場合が挙げられる。

本例に係る不溶性アノード８１Ｃは、めっき液噴出部８１Ａの噴出孔８１Ｂを臨む位置に配置された部分が、複数の貫通孔８１Ｄを有する板状部材を筒状に二次加工して得られる筒型の構造体の形状を有する。

不溶性アノード８１Ｃが有する筒型の形状はめっき液を所定の方向に導くガイドの形状となっている。すなわち、不溶性アノード８１Ｃが設けられていない場合には、めっき液噴出部８１Ａの噴出孔８１Ｂからめっき液は噴出し、その多くは噴出孔８１の開口部が作る面の法線に平行な方向（この方向を「単純噴出方向」という。）に進行する。これに対し、本例に係る不溶性アノード８１Ｃが設けられていることにより、めっき液噴出部８１Ａから噴出するめっき液は、筒型の不溶性アノード８１Ｃの内部にまず導かれ、さらにこの不溶性アノード８１Ｃに設けられた複数の貫通孔８１Ｄからめっき槽内へとめっき液は噴出する。このため、めっき液は、単純噴出方向のみならず、これに直交する方向にも進行する。したがって、図５に示されるような配置に筒型ＮＡＵ８１から８４を配置すると、被めっき部材２の屈曲部に直接到達しうるような向きにめっき液は噴出することになる。通常、屈曲部は、めっき液の流れが相対的に少なくなりやすいため、めっき金属イオンが供給されない場合が多いが、筒型ＮＡＵ８１から８４を用いれば、そのような屈曲部に対して十分な量のめっき金属イオンを供給することができる。

以下、さらに具体的に筒型ＮＡＵ８１の構造について説明する。筒型の不溶性アノード８１Ｃは、めっき液噴出部８１Ａの噴出孔８１Ｂを臨む位置に一方の端部である第一の端部８１Ｅが配置された筒状体からなる部分８１Ｆを有する。また、この筒状体からなる部分（以下、「筒状部分」ともいう。）８１Ｆにおける第一の端部８１Ｅの反対側の端部である第二の端部８１Ｇは、この第二の端部８１Ｇの開口の外接円よりも大きな直径の内接円を有する板状部材８１Ｈにより閉塞されている。本例では、筒状部分８１Ｆと板状部材８１Ｈとは個別に作成されて溶接により一体化されている。さらに、板状部材８１Ｈには図示しないＮＡＵ変位機構９と接続するための導電性の連結バー８１Ｉが溶接されている。

めっき液噴出部８１Ａは貫通孔８１Ｊを備え、この貫通孔８１Ｊの一方の開口はめっき液の噴出孔８１Ｂであり、筒状部分８１Ｆは貫通孔８１Ｊの他方の開口側から貫装されて、第一の端部８１Ｅは噴出孔８１Ｂを臨む位置に配置される。図８に示されるように、めっき液噴出部８１Ａの貫通孔８１Ｊの他方の開口を含む面にはねじ穴が設けられ、この面に当接するように配置される板状部材８１Ｈにもこのねじ穴に対応する貫通孔が設けられ、このねじ穴にボルトを締結することによって、めっき液噴出部８１Ａと筒型の不溶性アノード８１Ｃとは固定される。

めっき液噴出部８１Ａは貫通孔８１Ｊの中心軸に直交する方向に中空パイプ８１Ｋが設けられ、図７に示されるように、中空パイプ８１Ｋの中空部と貫通孔８１Ｋとは連通している。中空パイプ８１Ｋのめっき液噴出部８１Ａが取り付けられている端部と反対側の端部は図示しない第三の復路配管６Ｌに接続される。したがって、第三の復路配管６Ｌからのめっき液は、中空パイプ８１Ｋの中空部を通ってめっき液噴出部８１Ａの貫通孔８１Ｊの内部に到達し、さらに噴出孔８１Ｂから筒型の不溶性アノード８１Ｃの筒状部分８１Ｆの内部へと導かれ、筒状部分８１Ｆの貫通孔８１Ｄからめっき槽１内へと噴出する。

図９は、本実施形態のまた別の一例に係るめっき装置のめっき槽内の部材の配置状態を概念的に示す斜視図である。本例に係るめっき装置１０３は、複数のＮＡＵを有する。

本例に係るめっき装置１０３は、図示しないめっき槽１内に、複雑な３次元形状を有する被めっき部材２が、固定装置３Ａにより保持されて所定の位置に配置されている。本例に係るめっき装置１０３はいずれもＮＡＵアノードが箱型の形状を有するＮＡＵ（以下、「箱型ＮＡＵ」ともいう。）８５、８６を備える。本例では、箱型ＮＡＵ８５、８６は同一の構造を有する。

これらの箱型ＮＡＵ８５、８６は、その不溶性アノード８５Ａ，８６Ａが被めっき部材２の外接直方体の内部に入り込んで、被めっき部材２におけるその外接直方体から凹んだ部分（以下、「凹み部分」という。）に近位な位置で対向するように配置されている。このように配置されることによって、凹み部分にも十分な量のめっき金属イオンが供給され、凹み部分にも適切な厚さのめっき皮膜を形成することが容易となる。また、このような配置によって、被めっき部材２に設けられた貫通孔の内部にも十分な量のめっき金属イオンが供給されるため、貫通孔の内部にも適切な厚さのめっき皮膜を形成することが容易となる。

図１０から１２は、箱形ＮＡＵ８５の構造を説明するための図であり、それぞれ、図１０は箱形ＮＡＵの構造を概念的に示す斜視図、図１１は箱形ＮＡＵの構造を概念的に示す断面図、ならびに図１２は箱形ＮＡＵを構成するめっき液噴出部およびかご形の形状を有する部分を備える不溶性アノードのそれぞれの構造を概念的に示す斜視図である。

図１２に示されるように、箱形ＮＡＵ８５は、複数の貫通孔８５Ｃを有する板状部材を二次加工して得られるかご型の構造体の形状を有し図示しないＮＡＵ変位機構９と接続するための導電性の連結バー８５Ｄが溶接された不溶性アノード８５Ａと、一方の開口がめっき液の噴出孔８５Ｅをなし他方の開口が中空パイプ８５Ｆの中空部と連通する貫通孔を有するめっき液噴出部８５Ｂとを備える。図１０に示されるように、不溶性アノード８５Ａのかご型の形状を有する部分は、めっき液噴出部８５Ｂの噴出孔８５Ｅを臨む位置に固定される。

中空パイプ８５Ｆのめっき液噴出部８５Ｂに対向する開口と反対側の開口は第三の復路配管６Ｌに接続されている。このため、第三の復路配管６Ｌからのめっき液は、中空パイプ８５Ｆの中空部を通ってめっき液噴出部８５Ｂの内部に到達し、さらに噴出孔８５Ｅからかご型の不溶性アノード８５Ａの内部へと導かれ、かご型の不溶性アノード８５Ａの貫通孔８５Ｃからめっき槽内へと噴出する。

図１３から１５は、本実施形態のさらに別の一例に係るめっき装置のめっき槽内の部材の配置状態を概念的に示す図である。具体的には、図１３は本例に係るめっき装置のめっき槽内の部材の配置状態を概念的に示す、視点を上方とする斜視図であり、図１４は、視点を下方とする斜視図である。図１５は、本例に係るめっき装置のめっき槽およびめっき槽内の部材の配置状態を概念的に示す斜視図である。

本例に係るめっき装置１０４は、固定装置３Ａに保持された被めっき部材２、めっき装置１０１が備えるものと同じ可動アノード４１，４２，４３，４４、めっき装置１０２が備える筒型ものと同じＮＡＵ８１，８２，８３，８４、ならびにめっき装置１０３が備えるものと同じ箱型ＮＡＵの８５，８６を備える。図１５に示すように、これらは全てめっき槽１の主領域内に配置される。被めっき部材２を図示しない部材変位機構３により揺動する場合には、可動アノード４１，４２，４３，４４、筒型ＮＡＵ８１，８２，８３，８４、および箱型ＮＡＵの８５，８６（以下、これらを総称して「可動要素」ともいう。）の位置をその揺動に合わせて変化させることにより、被めっき部材２と可動要素との相対的な位置関係を保持して被めっき部材２を揺動させることができる。また、そのように揺動させつつ、可動要素の個々について、被めっき部材２との相対的な位置関係を変動させることもできる。

続いて、可動要素の変位機構の具体的な構造例を図１６および１７を用いて説明する。図１６はめっき装置１０１が備える不溶性アノード４４のアノード変位機構５１の構成を概念的に示す斜視図である。図１７は、めっき装置１０２が備える筒型ＮＡＵ８１のＮＡＵ変位機構９１の構成を概念的に示す斜視図である。

図１６および１７に示される例では、可動要素の変位機構は、ステッピングモータにより駆動されるボールねじによる直動機構を３軸備える。そして、その変位機構の端部に連結バーおよび中空パイプを固定することにより、不溶性アノード４４や筒型ＮＡＵ８１のめっき槽１内の位置を変動可能としている。

図１８は、めっき装置１０４が備える可動要素、可動要素の変位機構、被めっき部材の固定装置の一部、部材変位機構および各機構を保持するフレームの構成を概念的に示す斜視図である。フレームの形状を適切に設定し、連結バーの形状、中空パイプの形状、および可動要素の変位機構の端部における連結バーや中空パイプを固定する部分の形状を適切に設定することにより、可動要素をめっき槽内に適切に配置することができる。

図１９から２５を用いて固定装置３Ａの詳細について説明する。
図１９は、図１８に示される部材変位機構および被めっき部材の固定装置の構造を概念的に示す正面図である。図２０は、図１９に示される被めっき部材の固定装置の構成を概念的に示す斜視図である。図２１は、図２０に示される被めっき部材の固定装置の主要部分を概念的に示す斜視図である。図２２は、図２１に示される被めっき部材の固定装置の棒状体駆動機構が作動して、第一の棒状体および第二の棒状体の他方の端部が離間する方向に各棒状体が移動した状態を概念的に示す斜視図である。図２３は、図２１に示される被めっき部材の固定装置の動作を概念的に示す斜視図であり、固定装置の下方に被めっき部材が配置された状態を示している。図２４は、図２１に示される被めっき部材の固定装置の動作を概念的に示す斜視図であり、図２３に示される状態から、固定装置と被めっき部材とが近位になるように固定装置が下方に移動して、被めっき部材の中空部内に第一および第二の棒状体の一方の端部が挿入された状態を示している。図２５は、図２１に示される被めっき部材の固定装置の動作を概念的に示す斜視図であり、図２４に示される状態から、棒状体駆動機構が作動して第一の棒状体および第二の棒状体の他方の端部が離間する方向に各棒状体が移動し、第一および第二の棒状体によって被めっき部材が保持された状態を示している。

図１９および２０に示されるように、門型のフレーム３０Ａの上面に、ステッピングモータにより駆動されるボールねじによる直動機構を２軸備える部材変位機構３が設けられ、これらの直動機構のうち、垂直方向の直動機構の下方端部に固定された門型部材３０Ｂによって、固定装置３Ａが保持されている。

固定装置３Ａは、いずれも少なくとも１つの開口を有する２つの中空部２Ａ，２Ｂを備える被めっき部材２を固定するための固定装置である。図１９および２０に示される被めっき部材２は、垂直方向と平行な方向の中心軸を有する２つの貫通孔２Ｃ，２Ｄを有し、この貫通孔２Ｃ，２Ｄの内部が、ぞれぞれ、上記の中空部２Ａ，２Ｂを画成している。

図２１に示されるように、固定装置３Ａは、被めっき部材２の中空部２Ａの内部にその中空部の開口、すなわち貫通孔の上方側の開口から一方の端部３１Ａを挿入可能とされる第一の棒状体３１と、被めっき部材２の中空部２Ｂの内部にその中空部の開口から一方の端部３２Ａを挿入可能とされる第二の棒状体３２とを備える。第一の棒状体３１および第二の棒状体３２は、被めっき部材２に圧接してこれを直接的に固定するためのものであるとともに、少なくともそれらの一方、好ましくは両方の中空部２Ａ，２Ｂにおける被めっき部材２への接触部が被めっき部材２に対する電気接点部をなすものである。したがって、第一の棒状体３１および第二の棒状体３２の少なくとも一方は導電性部材からなり、好ましくは双方が導電性部材からなる。

固定装置３Ａは、第一の棒状体３１が被めっき部材２の中空部２Ａの内部の少なくとも２か所に圧接するとともに、第二の棒状体３２が被めっき部材２の中空部２Ｂの内部の少なくとも２か所に圧接することにより、被めっき部材２が第一の棒状体３１および第二の棒状体３２により保持されるように、第一の棒状体３１および第二の棒状体３２が、それぞれの他方の端部３１Ｂ，３２Ｂを互いに近接する方向または互いに離間する方向に移動することを可能とするとともに、第一の棒状体３１の他方の端部３１Ｂおよび第二の棒状体３２の他方の端部３２Ｂを近接する向きまたは離間する向きに付勢した状態で保持する棒状体可動保持機構３３を備える。

図２１に示される固定装置３Ａが備える棒状体可動保持機構３３は、第一の棒状体３１および第二の棒状体３２がその内部を貫通した状態で移動可能とされるスリット３４Ｂを有するガイド部材３４、第一の棒状体３１を回動可能に保持するとともにガイド部材３４上を摺動する第一の摺動部材３５、第二の棒状体３２を回動可能に保持するとともにガイド部材３４上を摺動する第二の摺動部材３６、および第一の摺動部材３５と第二の摺動部材３６とをガイド部材上で離間する向きに移動させるとともに、第一の棒状体３１の他方の端部３１Ｂおよび第二の棒状体３２の他方の端部３２Ｂを互いに離間する向きに付勢した状態を保持する駆動機構を有する棒状体駆動機構３７を備える。

ガイド部材３４は、平面視が矩形の平板状である基材３４Ａに、その主面の長軸方向と平行な方向を長軸とし主面の法線方向に貫通するスリット３４Ｂを備える。このスリット３４Ｂの幅は、第一の棒状体３１および第二の棒状体３２がそのスリット３４Ｂを貫通するように配置され、その状態で第一の棒状体３１および第二の棒状体３２が安定的に摺動できる幅に設定される。また、ガイド部材３４の主面の一方には、その双方の長辺から突出するガイドレール３４Ｃ，３４Ｄが設けられている。

第一の摺動部材３５は、ガイド部材３４の基材３４Ａの短辺方向の移動をガイドレール３４Ｃ，３４Ｄにより規制されつつ基材３４Ａの長辺方向に基材３４Ａの一方の主面上の摺動可能であって平面視形状がコの字型である摺動フレーム３５Ａと、第一の棒状体３１の軸方向の所定の位置で第一の棒状体３１を保持しつつ水平面と平行な方向を中心軸として第一の棒状体３１を回動可能に摺動フレーム３５Ａに保持される回動保持部３５Ｂと、第二の摺動部材３６に近位な端部に設けられた棒状体駆動機構３７への接触部３５Ｃとを備える。

第二の摺動部材３６は、ガイド部材３４の基材３４Ａの短辺方向の移動をガイドレール３４Ｃ，３４Ｄにより規制されつつ基材３４Ａの長辺方向に基材３４Ａの二方の主面上の摺動可能であって平面視形状がコの字型である摺動フレーム３６Ａと、第二の棒状体３２の軸方向の所定の位置で第二の棒状体３２を保持しつつ水平面と平行な方向を中心軸として第二の棒状体３２を回動可能に摺動フレーム３６Ａに保持される回動保持部３６Ｂと、第二の摺動部材３６に近位な端部に設けられた棒状体駆動機構３７への接触部３６Ｃとを備える。

棒状体駆動機構３７は、基材３４Ａの一方の主面上において第一の摺動部材３５と第二の摺動部材３６との間に固定され、図２２に示されるように、基材３４Ａの長辺方向に平行な方向のそれぞれの端部に、接触部３５Ｃ，３６Ｃを離間させる向きに押圧可能な押出ピン３７Ａ，３７Ｂを備える。押出ピン３７Ａ，３７Ｂは、本例では圧空により駆動されている。

本実施形態に係る固定装置３Ａは次のように動作する。
まず、図２３に示されるように、被めっき部材２の貫通孔２Ｃの中心軸と第一の棒状体３１の中心軸とがほぼ同一軸上に位置し、被めっき部材２の貫通孔２Ｄの中心軸と第二の棒状体３２の中心軸とがほぼ同一軸上に位置し、さらに、被めっき部材２の中空部２Ａ（すなわち貫通孔２Ｃの中空部）および被めっき部材２の中空部２Ｂ（すなわち貫通孔２Ｄの中空部）を結ぶ水平面内の線が、第一の摺動部材３５および第二の摺動部材３６の摺動方向にほぼ平行となる、すなわち、スリット３４Ｂの長軸方向とほぼ平行となるように、被めっき部材２の上方に固定装置３Ａを配置する。このような配置を可能とするには、棒状体駆動機構３７の押出ピン３７Ａ，３７Ｂの押し出し量を調節すればよい。なお、被めっき部材２の貫通孔２Ｃの孔径は第一の棒状体３１の軸径よりも大きく、被めっき部材２の貫通孔２Ｄの孔径は第二の棒状体３２の軸径よりも大きいため、貫通孔２Ｃの内部に第一の棒状体３１を、貫通孔２Ｄの内部に第二の棒状体３２を挿入可能である。

次に、図２４に示されるように、図示しない部材変位機構３を動作させて、固定装置３Ａを被めっき部材２に近位になるように移動させ、第一の棒状体３１を貫通孔２Ｃの内部に、第二の棒状体３２を貫通孔２Ｄの内部に挿入する。図２４では、第一の棒状体３１の一方の端部３１Ａは貫通孔２Ｃを超えて、第二の棒状体３２の一方の端部３２Ａは貫通孔２Ｄを超えて、いずれも被めっき部材２外に突出している。これらの端部３１Ａ，３２Ａは、貫通孔２Ｃ，２Ｄの内部にあってもよい。

続いて、図２５に示されるように、棒状体駆動機構３７の押出ピン３７Ａ，３７Ｂを互いに離間するように突出させる。その結果、押出ピン３７Ａは第一の摺動部材３５の接触部３５Ｃを押し、押出ピン３７Ｂは第二の摺動部材３６の接触部３６Ｃを押し、第一の摺動部材３５と第二の摺動部材３６とは互いに離間するようにガイド部材３４上を摺動する。

すると、第一の棒状体３１および第二の棒状体３２はそれぞれの他方の端部３１Ｂ，３２Ｂが離間するように移動する。具体的には、第一の棒状体３１は、スリット３４Ｂの長軸方向に棒状体駆動機構３７から離間する向きに移動するが、第一の棒状体３１の一方の端部３１Ａは被めっき部材２の中空部２Ａ（すなわち貫通孔２Ｃの中空部）にあるため、その移動量は制限される。このため、第一の棒状体３１は、回動保持部３５Ｂの回転軸周りに、第一の棒状体３１の他方の端部３１Ｂが第二の棒状体３２の他方の端部３２Ｂから離間するように回転する。一方、第二の棒状体３２は、第一の棒状体３１の場合と同様に、回動保持部３６Ｂの回転軸周りに、第二の棒状体３２の他方の端部３２Ｂが第一の棒状体３１の他方の端部３１Ｂから離間するように回転する。

その結果、第一の棒状体３１は、その一方の端部３１Ａ側において、被めっき部材２の貫通孔２Ａの固体装置３Ａに対向する開口および貫通孔２Ｃの内部、すなわち中空部２Ａ内部の２か所で、被めっき部材２に接する。この際、第一の棒状体３１における回動保持部３５Ｂにより固定されている部分が力点、被めっき部材２の貫通孔２Ｃの固体装置３Ａに対向する開口に接する部分が支点、および貫通孔２Ｃの内部（中空部２Ａ）で接する部分が作用点となって、第一の棒状体３１は中空部２Ｃにて圧接される。

同様に、第二の棒状体３２は、その一方の端部３２Ａ側において、被めっき部材２の貫通孔２Ｄの固体装置３Ａに対向する開口および貫通孔２Ｄの内部、すなわち中空部２Ｂ内部の２か所で、被めっき部材２に接する。この際、第二の棒状体３２における回動保持部３６Ｂにより固定されている部分が力点、被めっき部材２の貫通孔２Ｄの固体装置３Ａに対向する開口に接する部分が支点、および貫通孔２Ｄの内部（中空部２Ｂ）で接する部分が作用点となって、第二の棒状体３２は中空部２Ｂにて圧接される。

この状態を棒状体駆動機構３７が保持することによって、具体的には、押出ピンによる３７Ａ，３７Ｂによる接触部３５Ｃ，３６Ｃの押圧を維持することによって、被めっき部材２は、第一の棒状体３１および第二の棒状体３２により固体装置３Ａに対して固定される。

固体装置３Ａに対する被めっき部材２の固定を解除する場合には、押出ピン３７Ａ，３７Ｂによる接触部３５Ｃ，３６Ｃの押圧を終了して、押出ピン３７Ａ，３７Ｂの一部が棒状体駆動機構３７の内部に戻りうるようにすればよい。その結果、力点をなす回動保持部３５Ｂの第一の棒状体３１を保持する部分における加圧が解除されるため、作用点をなす第一の棒状体３１の中空部２Ａ内の接触部分での中空部２Ａの加圧も解除される。同様に、力点をなす回動保持部３６Ｂの第二の棒状体３２を保持する部分における加圧が解除されるため、作用点をなす第二の棒状体３２の中空部２Ｂ内の接触部分での中空部２Ｂの加圧も解除される。こうして、被めっき部材２は固体装置３Ａから取り外し可能となる。具体的には、被めっき部材２の貫通孔２Ｃ，２Ｄから第一の棒状体３１および第二の棒状体３２が抜き取られるように、固定装置３Ａを上方に移動させればよい。

以上説明した実施形態は、本発明の理解を容易にするために記載されたものであって、本発明を限定するために記載されたものではない。したがって、上記実施形態に開示された各要素は、本発明の技術的範囲に属する全ての設計変更や均等物をも含む趣旨である。

１００…めっき装置
１…めっき槽
１Ａ…オーバフロー用仕切板
２…被めっき部材
３…部材変位機構
３Ａ…固定装置
３Ｂ…垂直方向直動摺動軸
３Ｃ…水平方向直動摺動軸
３Ｄ…摺動保持装置
４Ａ…固定アノード
４Ｂ…可動アノード
４Ｃ…ＮＡＵアノード
４Ｄ…ＮＡＵアノードの貫通孔
５…アノード変位機構
５Ａ…垂直方向直動摺動軸
５Ｂ…水平方向直動摺動軸
５Ｃ…摺動保持装置
６…循環機構
６Ａ…めっき液取り込み部
６Ｂ…往路配管
６Ｃ…ポンプ
６Ｄ…復路配管
６Ｅ…第一の復路配管
６Ｆ…固定めっき液噴出部
６Ｇ…第一の流量調整バルブ
６Ｈ…第二の復路配管
６Ｉ…第二の流量調整バルブ
６Ｊ…可動めっき液噴出部
６Ｋ…噴出孔
６Ｌ…第三の復路配管
６Ｍ…ＮＡＵ噴出部
６Ｎ…噴出孔
６Ｏ…第三の流量調整バルブ
７…噴出部変位機構
７Ａ…垂直方向直動摺動軸
７Ｂ…水平方向直動摺動軸
７Ｃ…摺動保持装置
８…アノード−ノズルユニット（ＮＡＵ）
９…ＮＡＵ変位機構
９Ａ…垂直方向直動摺動軸
９Ｂ…水平方向直動摺動軸
９Ｃ…摺動保持装置
１０…めっき電源
１０Ａ…陽極端子
１０Ｂ…陰極端子
１１Ａ…固定アノード用配線
１１Ｂ…可動アノード用配線
１１Ｃ…ＮＡＵの不溶性アノード用配線
１１Ｄ…被めっき部材用配線
１２Ａ…固定アノードへの配線上の測定機器
１２Ｂ…可動アノードへの配線上の測定機器
１２Ｃ…ＮＡＵのアノードへの配線上の測定機器
１３…制御装置
１３Ａ…信号入力部
１３Ｂ…電気出力制御装置
１３Ｃ…位置制御装置
１３Ｄ…循環制御装置
１４Ａ…ポンプ駆動装置
１４Ｂ…第一の流量調整装置
１４Ｃ…第二の流量調整装置
１４Ｄ…第三の流量調整装置
４１，４２，４３，４４…可動アノード
４１Ａ，４２Ａ，４３Ａ，４４Ａ…可動アノードの連結バー
８１，８２，８３，８４…筒型ＮＡＵ
８１Ａ…めっき液噴出部
８１Ｂ…噴出孔
８１Ｃ…不溶性アノード
８１Ｄ…不溶性アノードの貫通孔
８１Ｅ…不溶性アノードの第一の端部
８１Ｆ…不溶性アノードの筒状部分
８１Ｇ…不溶性アノードの第二の端部
８１Ｈ…不溶性アノードの板状部材
８１Ｉ…不溶性アノードの連結バー
８１Ｊ…めっき液噴出部の貫通孔
８１Ｋ…中空パイプ
８５，８６…箱型ＮＡＵ
８５Ａ，８６Ａ…箱型ＮＡＵの不溶性アノード
８５Ｂ…めっき液噴出部
８５Ｃ…不溶性アノードの貫通孔
８５Ｄ…不溶性アノードの連結バー
８５Ｅ…噴出孔
８５Ｆ…中空パイプ
５１…アノード変位機構
９１…ＮＡＵ変位機構
３０Ａ…門型のフレーム
３０Ｂ…門型部材
３１…第一の棒状体
３１Ａ…第一の棒状体の一方の端部
３１Ｂ…第一の棒状体の他方の端部
３２…第二の棒状体
３２Ａ…第二の棒状体の一方の端部
３２Ｂ…第二の棒状体の他方の端部
２Ａ，２Ｂ…被めっき部材の中空部
３３…棒状体可動保持機構
３４…ガイド部材
３４Ａ…ガイド部材の基材
３４Ｂ…スリット
３４Ｃ，３４Ｄ…ガイドレール
３５…第一の摺動部材
３５Ａ…摺動フレーム
３５Ｂ…回動保持部
３５Ｃ…接触部
３６…第二の摺動部材
３６Ａ…摺動フレーム
３６Ｂ…回動保持部
３６Ｃ…接触部
３７…棒状体駆動機構
３７Ａ，３７Ｂ…押出ピン

Claims (32)

1. めっき槽；
   前記めっき槽内に配置された不溶性アノード；
   前記不溶性アノードと被めっき部材との間に電圧を印加可能なめっき電源；
   前記不溶性アノードを前記めっき槽内で移動させること、および前記不溶性アノードを前記めっき槽内の所定の位置で保持することが可能なアノード変位機構；
   前記不溶性アノード変位機構の動作を制御するための制御信号を発生させること、およびその制御信号を前記アノード変位機構に出力することが可能なアノード位置制御装置を有する制御装置；
   めっき液取り込み部とポンプとめっき液噴出部とを有し前記めっき槽内のめっき液を循環させるための循環機構；
   前記制御装置が有するものであって、前記循環機構の動作を制御するための制御信号を発生させること、およびその制御信号を前記循環機構に出力することが可能な循環制御装置；
   前記めっき液噴出部を前記めっき槽内で移動させること、および前記めっき液噴出部を前記めっき槽内の所定の位置で保持することが可能な噴出部変位機構；および
   前記制御装置が有するものであって、前記噴出部変位機構の動作を制御するための制御信号を発生させること、およびその制御信号を前記噴出部変位機構に出力することが可能な噴出部位置制御装置
   を備えること
   を特徴とするめっき装置。
2. 前記めっき電源から電圧を印加しているときの前記不溶性アノードを流れる電流および前記不溶性アノードの前記被めっき部材に対する電位の少なくとも一方を測定することが可能な測定機器を備える請求項１に記載のめっき装置。
3. 前記制御装置は、前記測定機器により測定された結果に基づいて、前記不溶性アノードに印加する電流および電圧の少なくとも一方を制御するための制御信号を発生させること、およびその制御信号を前記めっき電源に出力することが可能な電気出力制御装置を備える請求項２に記載のめっき装置。
4. 前記アノード位置制御装置は、前記測定機器により測定された結果に基づいて、前記不溶性アノード変位機構の動作を制御するための制御信号を発生させること、およびその制御信号を前記アノード変位機構に出力することが可能である請求項２または３に記載のめっき装置。
5. 前記循環機構は、前記めっき液噴出部から噴出するめっき液噴出量を調整することが可能な噴出量調整機構を有し、
   前記循環制御装置は、前記噴出量調整機構の動作を制御するための制御信号を発生させること、およびその制御信号を前記噴出量調整機構に出力することが可能な噴出量制御装置を備える請求項１から４のいずれか一項に記載のめっき装置。
6. 前記噴出部位置制御装置は、前記測定機器により測定された結果に基づいて、前記噴出部位置制御機構の動作を制御するための制御信号を発生させること、およびその制御信号を前記噴出部変位機構に出力することが可能である請求項２から５のいずれか一項に記載のめっき装置。
7. 前記循環機構は、前記めっき液噴出部から噴出するめっき液噴出量を調整することが可能な噴出量調整機構を有し、
   前記循環制御装置は、前記測定機器により測定された結果に基づいて、前記噴出量調整機構の動作を制御するための制御信号を発生させること、およびその制御信号を前記噴出量調整機構に出力することが可能な噴出量制御装置を備える請求項２から６のいずれか一項に記載のめっき装置。
8. 被めっき部材を移動させることおよび前記被めっき部材の少なくとも一部が前記めっき槽内に配置されるような位置で前記被めっき部材を保持することが可能な部材変位機構；および
   前記制御装置が有するものであって、前記部材変位機構の動作を制御するための制御信号を発生させること、およびその制御信号を前記部材変位機構に出力することが可能な部材位置制御装置をさらに備える請求項１から７のいずれか一項に記載のめっき装置。
9. 前記部材位置制御装置は、前記不溶性アノードと前記被めっき部材との間に前記めっき電源から電圧が印加されている間も、前記部材変位機構の動作を制御するための制御信号を前記部材変位機構に出力可能である請求項８に記載のめっき装置。
10. 前記不溶性アノードは前記めっき液噴出部に対する相対位置が管理され、前記不溶性アノードの少なくとも一部は前記めっき液噴出部の噴出孔を臨む位置に配置され、前記噴出部変位機構と前記アノード変位機構とは統合され、前記噴出部位置制御装置と前記アノード位置制御装置とは統合されている請求項１から９のいずれか一項に記載のめっき装置。
11. 前記不溶性アノードは、前記めっき液噴出部の噴出孔を臨む位置に配置された部分が、前記めっき液噴出部から噴出するめっき液を所定の方向に導くことが可能なガイドの形状を有する請求項１０に記載のめっき装置。
12. 前記不溶性アノードは、前記めっき液噴出部の噴出孔を臨む位置に配置された部分が、貫通孔を有する板状部材から形成された構造体または板状部材を二次加工して得られる構造体の形状を有する請求項１０または１１に記載のめっき装置。
13. 前記部材位置制御装置が、前記被めっき部材の少なくとも一部がめっき液中に浸漬するように前記部材変位機構を動作させたことを条件として、
    前記制御装置が有する複数の位置制御装置の少なくとも一つは、当該少なくとも一つの位置制御装置によって制御される前記部材変位機構以外の変位機構の少なくとも一つを、当該少なくとも一つの変位機構により前記めっき槽内で移動可能とされる部材が前記被めっき部材に近位な向きに移動するように、動作させる請求項８または９に記載のめっき装置。
14. 前記制御装置が有する複数の位置制御装置の少なくとも一つが、当該少なくとも一つの位置制御装置によって制御される前記部材変位機構以外の変位機構の少なくとも一つを、当該少なくとも一つの変位機構により前記めっき槽内での移動可能とされる部材を前記被めっき部材から遠位な向きに移動するように、動作させたことを条件として、
    前記部材位置制御装置は、前記被めっき部材が前記めっき液中から取り出されるように前記部材変位機構を動作させる請求項１３に記載のめっき装置。
15. めっき槽内のめっき液に被めっき部材の少なくとも一部を浸漬させる部材配置工程；
    めっき槽内に配置される不溶性アノードを、前記めっき液中の前記被めっき部材に対してより近位となるように移動させ、前記不溶性アノードを第一の位置にて保持するアノード配置工程；
    前記被めっき部材と前記不溶性アノードとの間に電圧を所定の時間印加して前記被めっき部材上にめっき皮膜を形成する印加工程；
    前記不溶性アノードを、前記めっき皮膜が形成された前記被めっき部材からより遠位となるように移動させ、前記不溶性アノードを第二の位置にて保持するアノード退避工程；および
    前記めっき皮膜が形成された被めっき部材を前記めっき液から取り出し、当該部材をめっき部材として得る部材回収工程
    を備え、
    少なくとも前記印加工程は、めっき液取り込み部とポンプとめっき液噴出部とを備える循環機構により前記めっき槽内の前記めっき液を循環させながら行われ、
    前記部材配置工程の開始から前記印加工程の終了までの期間に開始される工程であって、前記めっき槽内に配置される前記めっき液噴出部を、前記めっき液中の前記被めっき部材に対してより近位となるように移動させ、前記めっき液噴出部を第三の位置にて保持する噴出部配置工程；および
    前記印加工程の開始から前記部材回収工程の終了までの期間に開始される工程であって、前記めっき液噴出部を、前記めっき皮膜が形成された被めっき部材からより遠位となるように移動させ、第四の位置にて保持する噴出部退避工程をさらに備えるめっき部材の製造方法。
16. 前記部材配置工程の終了前に前記アノード配置工程は開始される請求項１５に記載の製造方法。
17. 前記アノード退避工程の終了前に前記部材回収工程は開始される請求項１５または１６に記載の製造方法。
18. 前記第一の位置は、前記被めっき部材を前記めっき液から取り出すように移動させたときに前記被めっき部材が前記不溶性アノードと干渉する位置であり、前記第二の位置は、前記被めっき部材を前記めっき液から取り出すように移動させたときに前記被めっき部材が前記不溶性アノードと干渉しない位置である請求項１５から１７のいずれか一項に記載の製造方法。
19. 前記印加工程中に、前記被めっき部材の前記めっき槽内の配置および前記不溶性アノードの前記めっき槽内の配置の少なくとも一つを変更させる請求項１５から１８のいずれか一項に記載の製造方法。
20. 前記被めっき部材と前記不溶性アノードとの相対的な位置関係を管理しつつ、前記被めっき部材の前記めっき槽内の配置および前記不溶性アノードの前記めっき槽内の配置を変更させる請求項１９に記載の製造方法。
21. 前記第三の位置は、前記被めっき部材を前記めっき液から取り出すように移動させたときに前記被めっき部材が前記不溶性アノードおよび前記めっき液噴出部の少なくとも一方と干渉する位置であり、前記第四の位置は、前記被めっき部材を前記めっき液から取り出すように移動させたときに前記被めっき部材が前記不溶性アノードおよび前記めっき液噴出部のいずれとも干渉しない位置である請求項１５から２０のいずれか一項に記載の製造方法。
22. 前記印加工程中に、前記被めっき部材の前記めっき槽内の配置、前記不溶性アノードの前記めっき槽内の配置、前記めっき液噴出部の前記めっき槽内の配置および前記めっき液噴出部から噴出させるめっき液量の少なくとも一つを変更させる請求項１５から２１のいずれか一項に記載の製造方法。
23. 前記被めっき部材、前記不溶性アノードおよび前記めっき液噴出部の相対的な位置関係を管理しつつ、前記被めっき部材の前記めっき槽内の配置、前記不溶性アノードの前記めっき槽内の配置および前記めっき液噴出部の前記めっき槽内の配置を変更させる請求項２２に記載の製造方法。
24. 前記不溶性アノードは前記めっき液噴出部に対する相対位置が管理され、前記不溶性アノードの少なくとも一部は前記めっき液噴出部の噴出孔を臨む位置に配置され、前記アノード配置工程と前記噴出部配置工程とは統合され、前記アノード退避工程と前記噴出部退避工程とも統合されている請求項１５から２３のいずれか一項に記載の製造方法。
25. めっき液取り込み部から取り込んだめっき槽内のめっき液をポンプで循環させて前記めっき槽に戻すために前記めっき槽内に配置されるめっき液噴出部と、
    少なくともその一部が前記めっき液噴出部の噴出孔を臨む位置に配置された不溶性アノードとを備え、
    前記不溶性アノードは前記噴出孔に対する相対位置が管理されていること
    を特徴とするノズル−アノードユニット。
26. 前記不溶性アノードは、前記めっき液噴出部の噴出孔を臨む位置に配置された部分が、貫通孔を有する板状部材からなるまたは当該板状部材を二次加工して得られる構造体の形状を有する請求項２５に記載のノズル−アノードユニット。
27. 前記不溶性アノードは、前記めっき液噴出部の噴出孔を臨む位置に配置された部分が、前記めっき液噴出部から噴出するめっき液を所定の方向に導くガイドの形状を有する請求項２５または２６に記載のノズル−アノードユニット。
28. 前記不溶性アノードは、前記めっき液噴出部の噴出孔を臨む位置に一方の端部である第一の端部が配置された筒状体からなる部分を有し、前記めっき液噴出部の噴出孔から噴出しためっき液は前記筒状体からなる部分の内部を通って、めっき槽内へと供給される請求項２６または２７に記載のノズル−アノードユニット。
29. 前記筒状体からなる部分における前記第一の端部の反対側の端部である第二の端部は、当該第二の端部の開口の外接円よりも大きな直径の内接円を有する板状部材により閉塞され、
    前記めっき液噴出部は貫通孔を備え、当該貫通孔の一方の開口は前記めっき液の噴出孔であり、前記筒状体からなる部分は前記貫通孔の他方の開口側から貫装されて、前記第一の端部は前記めっき液の噴出孔を臨む位置に配置される請求項２８に記載のノズル−アノードユニット。
30. いずれも少なくとも１つの開口を有する２つの中空部を備える被めっき部材を固定するための固定装置であって、
    前記２つの中空部の一方の内部に当該中空部の前記開口から一方の端部を挿入可能とされる第一の棒状体；
    前記２つの中空部の他方の内部に当該中空部の前記開口から一方の端部を挿入可能とされる第二の棒状体；および
    前記第一の棒状体が前記一方の中空部の少なくとも２か所に圧接するとともに、前記第二の棒状体が前記他方の中空部の少なくとも２か所に圧接することにより、前記被めっき部材が前記第一の棒状体および前記第二の棒状体により保持されるように、前記第一の棒状体および前記第二の棒状体が、それぞれの他方の端部を互いに近接する方向および互いに離間する方向の双方に移動すること、および前記他方の端部が互いに近接する向きに付勢された状態および前記他方の端部が互いに離間する向きに付勢された状態の双方で保持されることを可能とする棒状体可動保持機構を備える被めっき部材の固定装置。
31. 前記第一の棒状体および前記第二の棒状体の少なくとも一方の前記中空部における前記被めっき部材への接触部が、前記被めっき部材に対する電気接点部をなす請求項３０に記載の固定装置。
32. 前記第一の棒状体の他方の端部および前記第二の棒状体の他方の端部を、互いに離間する向きおよび互いに近接する向きの双方に移動させることが可能であるとともに、前記第一の棒状体の他方の端部および前記第二の棒状体の他方の端部が移動した向きに付勢された状態を保持することが可能である駆動機構を有する棒状体駆動機構を備える請求項３０または３１に記載の固定装置。
    

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