JPH11229196A - 電気めっき装置および電気めっき方法 - Google Patents
電気めっき装置および電気めっき方法Info
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- JPH11229196A JPH11229196A JP3022398A JP3022398A JPH11229196A JP H11229196 A JPH11229196 A JP H11229196A JP 3022398 A JP3022398 A JP 3022398A JP 3022398 A JP3022398 A JP 3022398A JP H11229196 A JPH11229196 A JP H11229196A
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- plating
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- H01L2924/0001—Technical content checked by a classifier
- H01L2924/0002—Not covered by any one of groups H01L24/00, H01L24/00 and H01L2224/00
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- Lead Frames For Integrated Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 生産性が高く、裏面の汚れを生じにくい電気
めっき装置および電気めっき方法を提供する。 【解決手段】 めっき液Ｍを収容可能なめっき槽４と、
一対の被めっき板Ｐをそれらの表面を外側に向け、両者
の裏面を間隔をあけて平行に対向させた状態で、両被め
っき板Ｐを着脱可能に保持するためのめっき治具１と、
電源６の陽極に接続可能かつ各被めっき板Ｐの各表面に
対向して配置される陽極３とを具備する。めっき治具１
は、互いに平行かつ間隔をあけて配置された一対の枠部
１０と、これら枠部１０にそれぞれ被めっき板Ｐを着脱
可能に固定するためのガイド１２とを具備する。
めっき装置および電気めっき方法を提供する。 【解決手段】 めっき液Ｍを収容可能なめっき槽４と、
一対の被めっき板Ｐをそれらの表面を外側に向け、両者
の裏面を間隔をあけて平行に対向させた状態で、両被め
っき板Ｐを着脱可能に保持するためのめっき治具１と、
電源６の陽極に接続可能かつ各被めっき板Ｐの各表面に
対向して配置される陽極３とを具備する。めっき治具１
は、互いに平行かつ間隔をあけて配置された一対の枠部
１０と、これら枠部１０にそれぞれ被めっき板Ｐを着脱
可能に固定するためのガイド１２とを具備する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、導電性を有する板
材に電気めっきを行うための電気めっき装置および電気
めっき方法に関する。
材に電気めっきを行うための電気めっき装置および電気
めっき方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】リードフレーム、プリント回路基板、半
導体素子と放熱体との固定構造などの電子電気用部品に
おいては、金属と樹脂との接合界面が数多く存在し、こ
のような接合界面は剥離し易いという問題を抱えてい
る。特に、樹脂として、エポキシ樹脂やポリイミド樹脂
などの熱硬化性樹脂、または成形温度の高い熱可塑性樹
脂を使用する場合には、これら樹脂を成形する際に部品
全体を２００〜３００℃という高温に曝す必要が生じる
が、樹脂と金属面との接合性が悪いと、金属面に吸着し
ていた水分が膨張して樹脂と金属面との剥離を助長し、
樹脂が割れたり、ブリスターと呼ばれる気泡を生じ、内
部の耐食性が損なわれるばかりか、部品内部の素子構造
を損傷するおそれもある。このため、信頼性の高い電子
電気部品を製造するには、金属と樹脂との接合性を高め
ることがきわめて重要である。
導体素子と放熱体との固定構造などの電子電気用部品に
おいては、金属と樹脂との接合界面が数多く存在し、こ
のような接合界面は剥離し易いという問題を抱えてい
る。特に、樹脂として、エポキシ樹脂やポリイミド樹脂
などの熱硬化性樹脂、または成形温度の高い熱可塑性樹
脂を使用する場合には、これら樹脂を成形する際に部品
全体を２００〜３００℃という高温に曝す必要が生じる
が、樹脂と金属面との接合性が悪いと、金属面に吸着し
ていた水分が膨張して樹脂と金属面との剥離を助長し、
樹脂が割れたり、ブリスターと呼ばれる気泡を生じ、内
部の耐食性が損なわれるばかりか、部品内部の素子構造
を損傷するおそれもある。このため、信頼性の高い電子
電気部品を製造するには、金属と樹脂との接合性を高め
ることがきわめて重要である。
【０００３】金属と樹脂との接合性を高める手段として
は、金属に穴や粗面を機械的に形成することも有効であ
るが、このような機械加工には多大なコストがかかる。
そこで、本発明者らは、特殊な表面構造を有するめっき
膜を金属板に形成することにより、樹脂との接合性を向
上できるのではないかとの観点から鋭意研究し、その結
果、クロム酸、ニオブ酸、ロジウム酸、バナジン酸、パ
ラジウム酸、ニッケル酸、およびこれらの塩類から選択
される１または２以上の物質とを含有するめっき液に、
少なくとも表面が金属で形成された基体を接触させ、前
記基体の表面が陰極となるようにめっき液との間で通電
することにより、前記基体の表面に、細かいクラックや
網目状をなす微細な鱗片状突起を有する金属化合物膜を
形成する手法を開発した。このよう金属化合物膜を形成
すると、樹脂との密着性を著しく高めることができ、電
子電気用部品の信頼性を高めることが可能である。
は、金属に穴や粗面を機械的に形成することも有効であ
るが、このような機械加工には多大なコストがかかる。
そこで、本発明者らは、特殊な表面構造を有するめっき
膜を金属板に形成することにより、樹脂との接合性を向
上できるのではないかとの観点から鋭意研究し、その結
果、クロム酸、ニオブ酸、ロジウム酸、バナジン酸、パ
ラジウム酸、ニッケル酸、およびこれらの塩類から選択
される１または２以上の物質とを含有するめっき液に、
少なくとも表面が金属で形成された基体を接触させ、前
記基体の表面が陰極となるようにめっき液との間で通電
することにより、前記基体の表面に、細かいクラックや
網目状をなす微細な鱗片状突起を有する金属化合物膜を
形成する手法を開発した。このよう金属化合物膜を形成
すると、樹脂との密着性を著しく高めることができ、電
子電気用部品の信頼性を高めることが可能である。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】ところで、電子電気用
部品では金属板の片面のみが樹脂と接合される場合が多
いが、このようなときには、金属板の片面をマスクしつ
つ、他の面にめっきをする必要がある。一般的なマスク
方法では、マスク体を金属板の裏面に当接した状態でめ
っきを行ったり、金属板の裏面にマスキングテープを貼
ってめっきを行うなどの方法が採られる。
部品では金属板の片面のみが樹脂と接合される場合が多
いが、このようなときには、金属板の片面をマスクしつ
つ、他の面にめっきをする必要がある。一般的なマスク
方法では、マスク体を金属板の裏面に当接した状態でめ
っきを行ったり、金属板の裏面にマスキングテープを貼
ってめっきを行うなどの方法が採られる。
【０００５】しかし、マスク体を金属板の裏面に当接し
た状態でめっきを行った場合には、マスク体と金属板の
裏面との間にめっき液が侵入し、この閉塞した間隙内で
分解を起こし、金属板の裏面に黒い汚れを生じる。ま
た、金属板の裏面にマスキングテープを貼ってめっきを
行う場合には、汚れは生じないものの、テープを貼った
り剥がしたりするための手間がかかり、生産性が悪くて
実用的ではなかった。
た状態でめっきを行った場合には、マスク体と金属板の
裏面との間にめっき液が侵入し、この閉塞した間隙内で
分解を起こし、金属板の裏面に黒い汚れを生じる。ま
た、金属板の裏面にマスキングテープを貼ってめっきを
行う場合には、汚れは生じないものの、テープを貼った
り剥がしたりするための手間がかかり、生産性が悪くて
実用的ではなかった。
【０００６】本発明は上記事情に鑑みてなされたもので
あり、生産性が高く、裏面の汚れを生じにくい電気めっ
き装置および電気めっき方法を提供することを課題とし
ている。
あり、生産性が高く、裏面の汚れを生じにくい電気めっ
き装置および電気めっき方法を提供することを課題とし
ている。
【０００７】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するた
め、本発明に係る第１の電気めっき装置は、めっき液を
収容可能なめっき槽と、電源陽極に接続可能かつ前記め
っき液に浸漬可能な陽極と、前記陽極に被めっき板の表
面を対向させた状態で前記被めっき板を保持するための
めっき治具とを具備し、前記めっき治具は、被めっき板
を着脱可能に保持するための保持部と、被めっき板の前
記裏面との間に間隙を空けて平行に対向配置される遮蔽
板と、前記被めっき板を電源陰極に接続するための通電
手段とを具備することを特徴とする電気めっき装置。
め、本発明に係る第１の電気めっき装置は、めっき液を
収容可能なめっき槽と、電源陽極に接続可能かつ前記め
っき液に浸漬可能な陽極と、前記陽極に被めっき板の表
面を対向させた状態で前記被めっき板を保持するための
めっき治具とを具備し、前記めっき治具は、被めっき板
を着脱可能に保持するための保持部と、被めっき板の前
記裏面との間に間隙を空けて平行に対向配置される遮蔽
板と、前記被めっき板を電源陰極に接続するための通電
手段とを具備することを特徴とする電気めっき装置。
【０００８】また、本発明に係る第２の電気めっき装置
は、めっき液を収容可能なめっき槽と、一対の被めっき
板をそれらの前記表面を外側に向け、両者の裏面を間隔
をあけて平行に対向させた状態で、両被めっき板を着脱
可能に保持するためのめっき治具と、電源陽極に接続可
能かつ前記各被めっき板の各表面に対向して配置される
陽極と、前記被めっき板を電源陰極に接続するための通
電手段とを具備することを特徴とする。前記めっき治具
は、互いに平行かつ間隔をあけて配置された一対の保持
部と、これら保持部にそれぞれ被めっき板を着脱可能に
固定するためのガイドとを具備していてもよい。
は、めっき液を収容可能なめっき槽と、一対の被めっき
板をそれらの前記表面を外側に向け、両者の裏面を間隔
をあけて平行に対向させた状態で、両被めっき板を着脱
可能に保持するためのめっき治具と、電源陽極に接続可
能かつ前記各被めっき板の各表面に対向して配置される
陽極と、前記被めっき板を電源陰極に接続するための通
電手段とを具備することを特徴とする。前記めっき治具
は、互いに平行かつ間隔をあけて配置された一対の保持
部と、これら保持部にそれぞれ被めっき板を着脱可能に
固定するためのガイドとを具備していてもよい。
【０００９】一方、本発明に係る第１の電気めっき方法
は、陽極をめっき液に浸漬し、前記陽極に被めっき板の
前記表面を対向させた状態で前記被めっき板をめっき液
に浸漬し、被めっき板の前記裏面との間に間隙を空けて
遮蔽板を平行に対向配置し、被めっき板と遮蔽板の間に
めっき液の流通を許容しながら、被めっき板を電源陰極
に、陽極を電源陽極にそれぞれ接続することを特徴とす
る。
は、陽極をめっき液に浸漬し、前記陽極に被めっき板の
前記表面を対向させた状態で前記被めっき板をめっき液
に浸漬し、被めっき板の前記裏面との間に間隙を空けて
遮蔽板を平行に対向配置し、被めっき板と遮蔽板の間に
めっき液の流通を許容しながら、被めっき板を電源陰極
に、陽極を電源陽極にそれぞれ接続することを特徴とす
る。
【００１０】また、本発明に係る第２の電気めっき方法
は、一対の被めっき板をそれらの前記表面を外側に向
け、両者の裏面を間隔をあけて平行に対向させた状態で
めっき液に浸漬し、各被めっき板の各表面に対向して陽
極を配置し、被めっき板同士の間にめっき液の流通を許
容しながら、被めっき板を電源陰極に、前記陽極を電源
陽極にそれぞれ接続することを特徴とする。
は、一対の被めっき板をそれらの前記表面を外側に向
け、両者の裏面を間隔をあけて平行に対向させた状態で
めっき液に浸漬し、各被めっき板の各表面に対向して陽
極を配置し、被めっき板同士の間にめっき液の流通を許
容しながら、被めっき板を電源陰極に、前記陽極を電源
陽極にそれぞれ接続することを特徴とする。
【００１１】
【発明の実施の形態】図１は、本発明に係る電気めっき
装置および電気めっき方法の一実施形態を示す側面図で
ある。この装置は、一対の被めっき板Ｐを保持するめっ
き治具１と、めっき治具１に給電するためのブスバー２
と、被めっき板Ｐとそれぞれ対向して配置された一対の
陽極板３と、めっき液Ｍを収容するめっき槽４と、ブス
バー２および陽極板３に電流を供給する電源６とを具備
している。なお、この装置では、一対の被めっき板Ｐを
同時にめっきする構成になっているが、本発明はこの実
施形態の構成に限定されるものではなく、例えば、Ｎ個
の陽極板３と、Ｎ−１個のめっき治具１を交互に間隔を
あけて配置することにより、２（Ｎ−１）枚の被めっき
板Ｐを同時にめっきする構成も可能である。
装置および電気めっき方法の一実施形態を示す側面図で
ある。この装置は、一対の被めっき板Ｐを保持するめっ
き治具１と、めっき治具１に給電するためのブスバー２
と、被めっき板Ｐとそれぞれ対向して配置された一対の
陽極板３と、めっき液Ｍを収容するめっき槽４と、ブス
バー２および陽極板３に電流を供給する電源６とを具備
している。なお、この装置では、一対の被めっき板Ｐを
同時にめっきする構成になっているが、本発明はこの実
施形態の構成に限定されるものではなく、例えば、Ｎ個
の陽極板３と、Ｎ−１個のめっき治具１を交互に間隔を
あけて配置することにより、２（Ｎ−１）枚の被めっき
板Ｐを同時にめっきする構成も可能である。
【００１２】めっき治具１は、図２〜図４に示すよう
に、一対の被めっき板Ｐを保持するための被めっき板保
持枠８と、この被めっき板保持枠８の上端に固定された
通電部材（通電手段）１８と、被めっき板保持枠８の両
面に固定されたガイド１２とを具備するものである。
に、一対の被めっき板Ｐを保持するための被めっき板保
持枠８と、この被めっき板保持枠８の上端に固定された
通電部材（通電手段）１８と、被めっき板保持枠８の両
面に固定されたガイド１２とを具備するものである。
【００１３】被めっき板保持枠８は、プラスチック等の
絶縁体で形成され、全体として板状をなし、通電部材１
８が固定される上端部を除く部分には四角形状の枠部
（保持部）１０が一対、互いに間隔をあけて平行に形成
されている。枠部１０同士の間には、スリット１４が形
成され、このスリット１４を通じて枠部１０同士の間に
めっき液Ｍが流通する。また、各枠部１０の中央には四
角い開口部１６が形成され、これら開口部１６は被めっ
き板Ｐよりも若干小さい大きさに設定され、被めっき板
Ｐの裏面の外周縁部の一定幅部分が枠部１０に接した状
態で保持されるようになっている。また、開口部１６の
上縁およびスリット１４の上縁の高さは、めっき液Ｍの
液面とほぼ同じ高さに設定されている。
絶縁体で形成され、全体として板状をなし、通電部材１
８が固定される上端部を除く部分には四角形状の枠部
（保持部）１０が一対、互いに間隔をあけて平行に形成
されている。枠部１０同士の間には、スリット１４が形
成され、このスリット１４を通じて枠部１０同士の間に
めっき液Ｍが流通する。また、各枠部１０の中央には四
角い開口部１６が形成され、これら開口部１６は被めっ
き板Ｐよりも若干小さい大きさに設定され、被めっき板
Ｐの裏面の外周縁部の一定幅部分が枠部１０に接した状
態で保持されるようになっている。また、開口部１６の
上縁およびスリット１４の上縁の高さは、めっき液Ｍの
液面とほぼ同じ高さに設定されている。
【００１４】被めっき板保持枠８の厚さは、めっき治具
１によって保持された一対の被めっき板Ｐ同士の間隙量
を規定する。被めっき板保持枠８の厚さは必ずしも限定
されないが、２〜１５ｍｍ程度が好ましく、より好まし
くは３〜１０ｍｍである。２ｍｍより薄いと、被めっき
板Ｐの裏面間においてめっき液Ｍが滞り、被めっき板Ｐ
の裏面に汚れが生じるおそれがある。また、１５ｍｍよ
り厚いと、被めっき板Ｐの裏面にめっき膜が形成される
おそれが生じる。
１によって保持された一対の被めっき板Ｐ同士の間隙量
を規定する。被めっき板保持枠８の厚さは必ずしも限定
されないが、２〜１５ｍｍ程度が好ましく、より好まし
くは３〜１０ｍｍである。２ｍｍより薄いと、被めっき
板Ｐの裏面間においてめっき液Ｍが滞り、被めっき板Ｐ
の裏面に汚れが生じるおそれがある。また、１５ｍｍよ
り厚いと、被めっき板Ｐの裏面にめっき膜が形成される
おそれが生じる。
【００１５】ガイド１２は、プラスチック等の絶縁体で
形成されたものであり、全体としてコ字状をなし、開口
部１６の下縁の全長および両側縁の下端から中央部まで
に沿って、枠部１０のそれぞれの外側面に固定されてい
る。これらガイド１２は断面Ｌ字状をなし、その上端か
ら被めっき板Ｐを垂直に差し込むことにより、被めっき
板Ｐが枠部１０とガイド１２との間隙に沿って着脱可能
に保持されるようになっている。
形成されたものであり、全体としてコ字状をなし、開口
部１６の下縁の全長および両側縁の下端から中央部まで
に沿って、枠部１０のそれぞれの外側面に固定されてい
る。これらガイド１２は断面Ｌ字状をなし、その上端か
ら被めっき板Ｐを垂直に差し込むことにより、被めっき
板Ｐが枠部１０とガイド１２との間隙に沿って着脱可能
に保持されるようになっている。
【００１６】通電部材１８は、銅、銅合金、チタン、チ
タン合金などの金属等の導電体で形成されたものであ
り、被めっき板保持枠８の上端に被せられた断面コ字状
の本体と、この本体の上面に間隔をあけて垂直に固定さ
れた、一対のＬ字鈎状をなす吊り金具２０とから構成さ
れている。そして、これら吊り金具２０は、図１に示す
ように、めっき槽４の上方において水平に掛け渡された
導電体製のブスバー２に引っかけられることにより、ブ
スバー２と通電部材１８との導通が確保されるようにな
っている。
タン合金などの金属等の導電体で形成されたものであ
り、被めっき板保持枠８の上端に被せられた断面コ字状
の本体と、この本体の上面に間隔をあけて垂直に固定さ
れた、一対のＬ字鈎状をなす吊り金具２０とから構成さ
れている。そして、これら吊り金具２０は、図１に示す
ように、めっき槽４の上方において水平に掛け渡された
導電体製のブスバー２に引っかけられることにより、ブ
スバー２と通電部材１８との導通が確保されるようにな
っている。
【００１７】通電部材１８の下端は、ガイド１２に差し
込まれた被めっき板Ｐの上端よりも下方へ達するように
寸法設定され、図３に示すように、クリップまたはクラ
ンプ等の締結手段２２で一対の被めっき板Ｐおよび通電
部材１８を挟むことにより、各被めっき板Ｐと通電部材
１８との導通が確保され、しかも通電部材１８ががたつ
き無く固定される。
込まれた被めっき板Ｐの上端よりも下方へ達するように
寸法設定され、図３に示すように、クリップまたはクラ
ンプ等の締結手段２２で一対の被めっき板Ｐおよび通電
部材１８を挟むことにより、各被めっき板Ｐと通電部材
１８との導通が確保され、しかも通電部材１８ががたつ
き無く固定される。
【００１８】陽極板３は、めっき治具１に保持された被
めっき板Ｐのそれぞれと平行に一定の間隔をあけてめっ
き槽４内に配置されている。被めっき板Ｐと陽極板３と
の間隔は限定されるものではないが、一般的には、５０
〜２００ｍｍ程度が好ましい。陽極板３の材質は限定さ
れないが、一般的には鉛、白金、Ｉｒ2Ｏ3被覆電極、チ
タン白金めっき板などの白金めっき金属板、および白金
合金などが好ましい。
めっき板Ｐのそれぞれと平行に一定の間隔をあけてめっ
き槽４内に配置されている。被めっき板Ｐと陽極板３と
の間隔は限定されるものではないが、一般的には、５０
〜２００ｍｍ程度が好ましい。陽極板３の材質は限定さ
れないが、一般的には鉛、白金、Ｉｒ2Ｏ3被覆電極、チ
タン白金めっき板などの白金めっき金属板、および白金
合金などが好ましい。
【００１９】被めっき板Ｐの材質は特に限定されず、そ
の少なくとも表面がニッケル、鉄、アルミニウム、チタ
ン、銅、またはそれらの合金など各種の金属で形成され
たものであればよい。すなわち、内部は非導電体、すな
わち樹脂やセラミックスなどで形成されていてもよい。
の少なくとも表面がニッケル、鉄、アルミニウム、チタ
ン、銅、またはそれらの合金など各種の金属で形成され
たものであればよい。すなわち、内部は非導電体、すな
わち樹脂やセラミックスなどで形成されていてもよい。
【００２０】次に、上記構成からなる電気めっき装置を
用いためっき方法の一例を具体的に説明する。なお、こ
の実施形態は、金属板の表面に樹脂との接合性を高める
ための粗面構造を有する金属化合物層を形成するもので
あるが、本発明はこの実施形態のみに限定されず、通常
の緻密な金属めっき層を形成する場合にも使用可能であ
る。
用いためっき方法の一例を具体的に説明する。なお、こ
の実施形態は、金属板の表面に樹脂との接合性を高める
ための粗面構造を有する金属化合物層を形成するもので
あるが、本発明はこの実施形態のみに限定されず、通常
の緻密な金属めっき層を形成する場合にも使用可能であ
る。
【００２１】樹脂との接合性を高めるための粗面を有す
る金属化合物層としては、例えば、クロム酸化物、クロ
ム水酸化物、ニオブ酸化物、ニオブ水酸化物、ロジウム
酸化物、ロジウム水酸化物、バナジウム酸化物、バナジ
ウム水酸化物、パラジウム酸化物、パラジウム水酸化
物、ニッケル酸化物、およびニッケル水酸化物から選択
される１種または２種以上を含有する金属化合物層が例
示できる。
る金属化合物層としては、例えば、クロム酸化物、クロ
ム水酸化物、ニオブ酸化物、ニオブ水酸化物、ロジウム
酸化物、ロジウム水酸化物、バナジウム酸化物、バナジ
ウム水酸化物、パラジウム酸化物、パラジウム水酸化
物、ニッケル酸化物、およびニッケル水酸化物から選択
される１種または２種以上を含有する金属化合物層が例
示できる。
【００２２】このような化合物層を形成するには、ま
ず、クロム酸、ニオブ酸、ロジウム酸、バナジン酸、パ
ラジウム酸、ニッケル酸、およびこれらの塩類から選択
される１または２以上の物質を含有するめっき液Ｍを、
めっき槽４に満たす。めっき液Ｍ中における前記金属酸
および／または塩類の濃度は限定されるものではない
が、合計で３００〜８００ｇ／ｌ程度であることが好ま
しく、より好ましくは４００〜６００ｇ／ｌとされる。
ず、クロム酸、ニオブ酸、ロジウム酸、バナジン酸、パ
ラジウム酸、ニッケル酸、およびこれらの塩類から選択
される１または２以上の物質を含有するめっき液Ｍを、
めっき槽４に満たす。めっき液Ｍ中における前記金属酸
および／または塩類の濃度は限定されるものではない
が、合計で３００〜８００ｇ／ｌ程度であることが好ま
しく、より好ましくは４００〜６００ｇ／ｌとされる。
【００２３】めっき液Ｍには、ストロンチウム塩を添加
しておいてもよい。めっき液Ｍにストロンチウム塩を添
加することは、本発明者らが新規に見いだした手法であ
り、これにより、析出した金属化合物層の表面に、微細
なクラックが生じる。ストロンチウム塩を添加しないめ
っき液Ｍによって金属化合物層をめっき形成した場合に
も、金属化合物層をかなり厚く形成すれば金属化合物層
にクラックを発生させることはできるが、こうして形成
されたクラックは粗く、深いものであり、金属化合物層
を貫通して金属基板に達する傾向を有する。このため、
各島状部分が脱落しやすく接合力の向上効果が相対的に
低減する。
しておいてもよい。めっき液Ｍにストロンチウム塩を添
加することは、本発明者らが新規に見いだした手法であ
り、これにより、析出した金属化合物層の表面に、微細
なクラックが生じる。ストロンチウム塩を添加しないめ
っき液Ｍによって金属化合物層をめっき形成した場合に
も、金属化合物層をかなり厚く形成すれば金属化合物層
にクラックを発生させることはできるが、こうして形成
されたクラックは粗く、深いものであり、金属化合物層
を貫通して金属基板に達する傾向を有する。このため、
各島状部分が脱落しやすく接合力の向上効果が相対的に
低減する。
【００２４】めっき液Ｍの好ましい組成を具体的に挙げ
ると以下の通りである。ただし、本発明はこれらの例に
限定されることはない。 ［クロム酸化物めっき液］ 無水クロム酸：４００ｇ／ｌ 酢酸（９９％）：５０ｍｌ／ｌ 二クロム酸ナトリウム：４０ｇ／ｌ 硼酸：０．５ｇ／ｌ 硝酸ナトリウム：２ｇ／ｌ 硅フッ化ナトリウム：５ｇ／ｌ 硫酸ストロンチウム：０．５ｇ／ｌ
ると以下の通りである。ただし、本発明はこれらの例に
限定されることはない。 ［クロム酸化物めっき液］ 無水クロム酸：４００ｇ／ｌ 酢酸（９９％）：５０ｍｌ／ｌ 二クロム酸ナトリウム：４０ｇ／ｌ 硼酸：０．５ｇ／ｌ 硝酸ナトリウム：２ｇ／ｌ 硅フッ化ナトリウム：５ｇ／ｌ 硫酸ストロンチウム：０．５ｇ／ｌ
【００２５】メルテックス社商品名「エコノクロムＢ
Ｋ」：４５０ｇ／ｌ 硫酸ストロンチウム：０．５ｇ／ｌ 無水クロム酸：４００ｇ／ｌ 酢酸（９９％）：５０ｍｌ／ｌ 二クロム酸ナトリウム：４０ｇ／ｌ 硫酸ストロンチウム：０．５ｇ／ｌ アトテックジャパン社製「Ｍ＆ＴクロムＢＣ−３５
Ｊ」：４５０ｇ／ｌ 同、「Ｍ＆ＴクロムＢＣ−３７」：１５ｍｌ／ｌ 同、「Ｍ＆ＴクロムＢＣ−３９Ｊ」：８ｍｌ／ｌ 同、「Ｍ＆ＴクロムＢＣ−４０Ｊ」：１０ｍｌ／ｌ 炭酸バリウム：１０ｇ／ｌ 硫酸ストロンチウム：０．５ｇ／ｌ
Ｋ」：４５０ｇ／ｌ 硫酸ストロンチウム：０．５ｇ／ｌ 無水クロム酸：４００ｇ／ｌ 酢酸（９９％）：５０ｍｌ／ｌ 二クロム酸ナトリウム：４０ｇ／ｌ 硫酸ストロンチウム：０．５ｇ／ｌ アトテックジャパン社製「Ｍ＆ＴクロムＢＣ−３５
Ｊ」：４５０ｇ／ｌ 同、「Ｍ＆ＴクロムＢＣ−３７」：１５ｍｌ／ｌ 同、「Ｍ＆ＴクロムＢＣ−３９Ｊ」：８ｍｌ／ｌ 同、「Ｍ＆ＴクロムＢＣ−４０Ｊ」：１０ｍｌ／ｌ 炭酸バリウム：１０ｇ／ｌ 硫酸ストロンチウム：０．５ｇ／ｌ
【００２６】装置のセットが完了したら、電源６を作動
させて、陽極板３に正、ブスバー２に負の電圧を供給
し、被めっき板Ｐの表面に金属化合物層を析出させる。
このときのめっき条件は限定はされないが、好ましくは
以下の通りである。 陰極電流密度：５〜５０Ａ／ｄｍ2 より好ましくは、１０〜１２Ａ／ｄｍ2 めっき温度：２０〜２５℃、常温でよい 攪拌：あり めっき時間は他のパラメータによって変化するが、通常
は１８０秒程度である。陰極電流密度およびめっき温度
が上記範囲から外れると、いずれもクラックの発生状態
に変化が生じる。
させて、陽極板３に正、ブスバー２に負の電圧を供給
し、被めっき板Ｐの表面に金属化合物層を析出させる。
このときのめっき条件は限定はされないが、好ましくは
以下の通りである。 陰極電流密度：５〜５０Ａ／ｄｍ2 より好ましくは、１０〜１２Ａ／ｄｍ2 めっき温度：２０〜２５℃、常温でよい 攪拌：あり めっき時間は他のパラメータによって変化するが、通常
は１８０秒程度である。陰極電流密度およびめっき温度
が上記範囲から外れると、いずれもクラックの発生状態
に変化が生じる。
【００２７】通電を行うことにより、被めっき板Ｐの表
面には、クロム酸、ニオブ酸、バナジン酸、ロジウム
酸、パラジウム酸、もしくはニッケル酸を主組成物とす
る酸化物および／または水酸化物からなる金属化合物層
が析出する。一方、被めっき板Ｐの裏面は、対向する他
方の被めっき板Ｐによって電界を遮蔽されつつも、スリ
ット１４を通じて自由にめっき液Ｍが流通する状態に保
たれる。このため、被めっき板Ｐの裏面には金属化合物
層が析出することはなく、しかも、めっき液Ｍの滞りに
起因する汚れが生じることもない。これにより、裏面の
状態が綺麗で、表面には所望のめっき層が形成された板
材を得ることができる。
面には、クロム酸、ニオブ酸、バナジン酸、ロジウム
酸、パラジウム酸、もしくはニッケル酸を主組成物とす
る酸化物および／または水酸化物からなる金属化合物層
が析出する。一方、被めっき板Ｐの裏面は、対向する他
方の被めっき板Ｐによって電界を遮蔽されつつも、スリ
ット１４を通じて自由にめっき液Ｍが流通する状態に保
たれる。このため、被めっき板Ｐの裏面には金属化合物
層が析出することはなく、しかも、めっき液Ｍの滞りに
起因する汚れが生じることもない。これにより、裏面の
状態が綺麗で、表面には所望のめっき層が形成された板
材を得ることができる。
【００２８】なお、本発明の電気めっき装置および電気
めっき方法は上記実施形態には限定されず、例えば図５
に示すような変形も可能である。この実施形態は、陽極
板３を一枚のみ使用して１枚の被めっき板Ｐをめっきす
るものであり、めっき治具１の構造が変更されている。
先の実施形態では、めっき治具１は一対の枠部１０を具
備していたが、この実施形態のめっき治具１では、一方
の枠部１０の代わりに、開口部１６を有しない遮蔽板２
４を具備している。遮蔽板２４は枠部１０と同程度の大
きさを有する単純な平板であり、絶縁体で形成され、ガ
イド１２も具備していない。他の構成は前記実施形態と
同様である。この装置を使用して電気めっきを行う方法
も、前記実施形態と同様でよい。
めっき方法は上記実施形態には限定されず、例えば図５
に示すような変形も可能である。この実施形態は、陽極
板３を一枚のみ使用して１枚の被めっき板Ｐをめっきす
るものであり、めっき治具１の構造が変更されている。
先の実施形態では、めっき治具１は一対の枠部１０を具
備していたが、この実施形態のめっき治具１では、一方
の枠部１０の代わりに、開口部１６を有しない遮蔽板２
４を具備している。遮蔽板２４は枠部１０と同程度の大
きさを有する単純な平板であり、絶縁体で形成され、ガ
イド１２も具備していない。他の構成は前記実施形態と
同様である。この装置を使用して電気めっきを行う方法
も、前記実施形態と同様でよい。
【００２９】図５の装置および方法によっても、被めっ
き板Ｐの裏面は、対向する遮蔽板２４によって電界を遮
蔽されつつも、スリット１４を通じて自由にめっき液Ｍ
が流通する状態に保たれる。このため、被めっき板Ｐの
裏面には金属化合物層が析出することはなく、しかも、
めっき液Ｍの滞りに起因する汚れが生じることもない。
これにより、裏面の状態が綺麗で、表面には所望のめっ
き層が形成された板材を得ることができる。
き板Ｐの裏面は、対向する遮蔽板２４によって電界を遮
蔽されつつも、スリット１４を通じて自由にめっき液Ｍ
が流通する状態に保たれる。このため、被めっき板Ｐの
裏面には金属化合物層が析出することはなく、しかも、
めっき液Ｍの滞りに起因する汚れが生じることもない。
これにより、裏面の状態が綺麗で、表面には所望のめっ
き層が形成された板材を得ることができる。
【００３０】
【実施例】次に、本発明に係る電気めっき装置および電
気めっき方法の一実施例を説明する。以下の組成からな
るクロム酸化物めっき液を調製した。 無水クロム酸：４００ｇ／ｌ 酢酸（９９％）：５０ｍｌ／ｌ 二クロム酸ナトリウム：４０ｇ／ｌ 硼酸：０．５ｇ／ｌ 硝酸ナトリウム：２ｇ／ｌ 硅フッ化ナトリウム：５ｇ／ｌ 硫酸ストロンチウム：０．５ｇ／ｌ
気めっき方法の一実施例を説明する。以下の組成からな
るクロム酸化物めっき液を調製した。 無水クロム酸：４００ｇ／ｌ 酢酸（９９％）：５０ｍｌ／ｌ 二クロム酸ナトリウム：４０ｇ／ｌ 硼酸：０．５ｇ／ｌ 硝酸ナトリウム：２ｇ／ｌ 硅フッ化ナトリウム：５ｇ／ｌ 硫酸ストロンチウム：０．５ｇ／ｌ
【００３１】このクロム酸化物めっき液を、図１に示す
装置にセットして電気めっきを行った。各条件および寸
法は以下の通りである。 陽極板３の材質：鉛 陽極板３の寸法：１０×１５ｃｍ 陽極板３と被めっき板Ｐの離間距離：１０ｃｍ スリット１４の幅：５ｍｍ 枠部１０の厚さ：３ｍｍ 被めっき板Ｐの材質：銅板 被めっき板Ｐの寸法：１０×１５ｃｍ めっき液Ｍの温度：１４℃ 陰極電流密度：１０Ａ／ｄｍ2 めっき温度：２０℃ めっき時間：１８０秒 めっき層厚さ：０．４μｍ
装置にセットして電気めっきを行った。各条件および寸
法は以下の通りである。 陽極板３の材質：鉛 陽極板３の寸法：１０×１５ｃｍ 陽極板３と被めっき板Ｐの離間距離：１０ｃｍ スリット１４の幅：５ｍｍ 枠部１０の厚さ：３ｍｍ 被めっき板Ｐの材質：銅板 被めっき板Ｐの寸法：１０×１５ｃｍ めっき液Ｍの温度：１４℃ 陰極電流密度：１０Ａ／ｄｍ2 めっき温度：２０℃ めっき時間：１８０秒 めっき層厚さ：０．４μｍ
【００３２】以上の条件でめっきを行った２枚の被めっ
き板Ｐでは、表面に均一なクロム化合物層が形成でき、
極めて微細なクラックが形成されていた。また、被めっ
き板Ｐの裏面には、クロム化合物層がほとんど形成され
ず、汚れも生じていなかった。
き板Ｐでは、表面に均一なクロム化合物層が形成でき、
極めて微細なクラックが形成されていた。また、被めっ
き板Ｐの裏面には、クロム化合物層がほとんど形成され
ず、汚れも生じていなかった。
【００３３】
【発明の効果】以上説明したように、本発明に係る電気
めっき装置および電気めっき方法によれば、被めっき板
の裏面側では、対向する他方の被めっき板または遮蔽板
によって電界を遮蔽されつつ、自由にめっき液が流通す
る状態に保たれる。このため、被めっき板の裏面にはめ
っき層が析出することはなく、しかも、めっき液の滞り
に起因する汚れが生じることもない。これにより、裏面
の状態が綺麗で、表面には所望のめっき層が形成された
板材を効率よく得ることができる。
めっき装置および電気めっき方法によれば、被めっき板
の裏面側では、対向する他方の被めっき板または遮蔽板
によって電界を遮蔽されつつ、自由にめっき液が流通す
る状態に保たれる。このため、被めっき板の裏面にはめ
っき層が析出することはなく、しかも、めっき液の滞り
に起因する汚れが生じることもない。これにより、裏面
の状態が綺麗で、表面には所望のめっき層が形成された
板材を効率よく得ることができる。
【図１】 本発明に係る電気めっき装置の一実施形態を
示す側面図である。
示す側面図である。
【図２】 同装置に使用するめっき治具の斜視図であ
る。
る。
【図３】 同めっき治具の正面図である。
【図４】 同めっき治具の側面図である。
【図５】 本発明に係る電気めっき装置の他の実施形態
を示す側面図である。
を示す側面図である。
１ めっき治具 ２ ブスバー ３ 陽極板 ４ めっき槽 ６ 電源 ８ 被めっき板保持枠 １０ 枠部 １２ ガイド １４ スリット １６ 開口部 １８ 通電部材 ２０ 吊り金具 ２２ 締結手段 ２４ 遮蔽板 Ｐ 被めっき板 Ｍ めっき液
フロントページの続き (72)発明者 夏目 官五 福島県会津若松市扇町128の７ 三菱伸銅 株式会社若松製作所内
Claims (6)
- 【請求項１】 被めっき板の裏面を除いて表面にのみめ
っき膜を形成するための電気めっき装置であって、めっ
き液を収容可能なめっき槽と、電源陽極に接続可能かつ
前記めっき液に浸漬可能な陽極と、前記陽極に被めっき
板の前記表面を対向させた状態で前記被めっき板を保持
するためのめっき治具とを具備し、前記めっき治具は、
被めっき板を着脱可能に保持するための保持部と、被め
っき板の前記裏面との間に間隙を空けて平行に対向配置
される遮蔽板と、前記被めっき板を電源陰極に接続する
ための通電手段とを具備することを特徴とする電気めっ
き装置。 - 【請求項２】 被めっき板の裏面を除いて表面にのみめ
っき膜を形成するための電気めっき装置であって、めっ
き液を収容可能なめっき槽と、一対の被めっき板をそれ
らの前記表面を外側に向け、両者の裏面を間隔をあけて
平行に対向させた状態で、両被めっき板を着脱可能に保
持するためのめっき治具と、電源陽極に接続可能かつ前
記各被めっき板の各表面に対向して配置される陽極と、
前記被めっき板を電源陰極に接続するための通電手段と
を具備することを特徴とする電気めっき装置。 - 【請求項３】 前記めっき治具は、互いに平行かつ間隔
をあけて配置された一対の保持部と、これら保持部にそ
れぞれ被めっき板を着脱可能に固定するためのガイドと
を具備することを特徴とする請求項２記載の電気めっき
装置。 - 【請求項４】 被めっき板の裏面を除いて表面にのみめ
っき膜を形成するための電気めっき方法であって、陽極
をめっき液に浸漬し、前記陽極に被めっき板の前記表面
を対向させた状態で前記被めっき板をめっき液に浸漬
し、被めっき板の前記裏面との間に間隙を空けて遮蔽板
を平行に対向配置し、被めっき板と遮蔽板の間にめっき
液の流通を許容しながら、被めっき板を電源陰極に、陽
極を電源陽極にそれぞれ接続することを特徴とする電気
めっき方法。 - 【請求項５】 被めっき板の裏面を除いて表面にのみめ
っき膜を形成するための電気めっき方法であって、一対
の被めっき板をそれらの前記表面を外側に向け、両者の
裏面を間隔をあけて平行に対向させた状態でめっき液に
浸漬し、各被めっき板の各表面に対向して陽極を配置
し、被めっき板同士の間にめっき液の流通を許容しなが
ら、被めっき板を電源陰極に、前記陽極を電源陽極にそ
れぞれ接続することを特徴とする電気めっき方法。 - 【請求項６】 前記めっき液としてクロム酸、ニオブ
酸、ロジウム酸、バナジン酸、パラジウム酸、ニッケル
酸、およびこれらの塩類から選択される１または２以上
の物質とを含有するめっき液を使用することを特徴とす
る請求項４または５記載の電気めっき方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3022398A JPH11229196A (ja) | 1998-02-12 | 1998-02-12 | 電気めっき装置および電気めっき方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3022398A JPH11229196A (ja) | 1998-02-12 | 1998-02-12 | 電気めっき装置および電気めっき方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11229196A true JPH11229196A (ja) | 1999-08-24 |
Family
ID=12297732
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3022398A Withdrawn JPH11229196A (ja) | 1998-02-12 | 1998-02-12 | 電気めっき装置および電気めっき方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH11229196A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009191303A (ja) * | 2008-02-13 | 2009-08-27 | Hitachi Aic Inc | プリント配線基板めっき用固定治具 |
| JP2010114451A (ja) * | 2009-12-04 | 2010-05-20 | Sumitomo Metal Mining Co Ltd | リードフレームの製造方法 |
| CN108588800A (zh) * | 2007-12-04 | 2018-09-28 | 株式会社荏原制作所 | 电镀装置及电镀方法 |
| US10858748B2 (en) | 2017-06-30 | 2020-12-08 | Apollo Energy Systems, Inc. | Method of manufacturing hybrid metal foams |
-
1998
- 1998-02-12 JP JP3022398A patent/JPH11229196A/ja not_active Withdrawn
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN108588800A (zh) * | 2007-12-04 | 2018-09-28 | 株式会社荏原制作所 | 电镀装置及电镀方法 |
| CN108588800B (zh) * | 2007-12-04 | 2020-07-07 | 株式会社荏原制作所 | 电镀装置及电镀方法 |
| JP2009191303A (ja) * | 2008-02-13 | 2009-08-27 | Hitachi Aic Inc | プリント配線基板めっき用固定治具 |
| JP2010114451A (ja) * | 2009-12-04 | 2010-05-20 | Sumitomo Metal Mining Co Ltd | リードフレームの製造方法 |
| US10858748B2 (en) | 2017-06-30 | 2020-12-08 | Apollo Energy Systems, Inc. | Method of manufacturing hybrid metal foams |
| US11274376B2 (en) | 2017-06-30 | 2022-03-15 | Apollo Energy Systems, Inc. | Device for manufacturing hybrid metal foams |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20050510 |