JP6285199B2 - アノードホルダ及びめっき装置 - Google Patents
アノードホルダ及びめっき装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP6285199B2 JP6285199B2 JP2014023477A JP2014023477A JP6285199B2 JP 6285199 B2 JP6285199 B2 JP 6285199B2 JP 2014023477 A JP2014023477 A JP 2014023477A JP 2014023477 A JP2014023477 A JP 2014023477A JP 6285199 B2 JP6285199 B2 JP 6285199B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- anode
- anode holder
- holder
- plating
- valve
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 238000007747 plating Methods 0.000 title claims description 231
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 18
- 230000008569 process Effects 0.000 claims description 10
- 238000007789 sealing Methods 0.000 claims description 7
- 239000003014 ion exchange membrane Substances 0.000 claims description 5
- 239000012528 membrane Substances 0.000 claims description 5
- 230000007935 neutral effect Effects 0.000 claims description 4
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 90
- 239000000654 additive Substances 0.000 description 23
- 230000000996 additive effect Effects 0.000 description 22
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 12
- 238000003780 insertion Methods 0.000 description 10
- 230000037431 insertion Effects 0.000 description 10
- 238000005406 washing Methods 0.000 description 10
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 10
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 8
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 8
- 238000000354 decomposition reaction Methods 0.000 description 8
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 8
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 8
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 7
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 7
- 239000000725 suspension Substances 0.000 description 7
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 6
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 5
- 230000032258 transport Effects 0.000 description 5
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 4
- 238000005192 partition Methods 0.000 description 4
- 150000001768 cations Chemical class 0.000 description 3
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 3
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 3
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 3
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 3
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 238000007599 discharging Methods 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 238000009713 electroplating Methods 0.000 description 3
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 2
- 238000005868 electrolysis reaction Methods 0.000 description 2
- BHEPBYXIRTUNPN-UHFFFAOYSA-N hydridophosphorus(.) (triplet) Chemical compound [PH] BHEPBYXIRTUNPN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 2
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 2
- NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N novaluron Chemical compound C1=C(Cl)C(OC(F)(F)C(OC(F)(F)F)F)=CC=C1NC(=O)NC(=O)C1=C(F)C=CC=C1F NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910019142 PO4 Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000009471 action Effects 0.000 description 1
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 1
- 238000005341 cation exchange Methods 0.000 description 1
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 1
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 1
- 229910000365 copper sulfate Inorganic materials 0.000 description 1
- ARUVKPQLZAKDPS-UHFFFAOYSA-L copper(II) sulfate Chemical compound [Cu+2].[O-][S+2]([O-])([O-])[O-] ARUVKPQLZAKDPS-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 1
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 1
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 1
- 230000003028 elevating effect Effects 0.000 description 1
- 238000011049 filling Methods 0.000 description 1
- 239000012467 final product Substances 0.000 description 1
- 238000007667 floating Methods 0.000 description 1
- HTXDPTMKBJXEOW-UHFFFAOYSA-N iridium(IV) oxide Inorganic materials O=[Ir]=O HTXDPTMKBJXEOW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910021645 metal ion Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 150000002926 oxygen Chemical class 0.000 description 1
- 238000004806 packaging method and process Methods 0.000 description 1
- NBIIXXVUZAFLBC-UHFFFAOYSA-K phosphate Chemical compound [O-]P([O-])([O-])=O NBIIXXVUZAFLBC-UHFFFAOYSA-K 0.000 description 1
- 239000010452 phosphate Substances 0.000 description 1
- 238000007639 printing Methods 0.000 description 1
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 1
- 230000001737 promoting effect Effects 0.000 description 1
- 238000002791 soaking Methods 0.000 description 1
- 230000007480 spreading Effects 0.000 description 1
- 238000003892 spreading Methods 0.000 description 1
- 238000003756 stirring Methods 0.000 description 1
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 1
- 238000003466 welding Methods 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C25—ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PROCESSES; APPARATUS THEREFOR
- C25D—PROCESSES FOR THE ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PRODUCTION OF COATINGS; ELECTROFORMING; APPARATUS THEREFOR
- C25D17/00—Constructional parts, or assemblies thereof, of cells for electrolytic coating
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C25—ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PROCESSES; APPARATUS THEREFOR
- C25D—PROCESSES FOR THE ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PRODUCTION OF COATINGS; ELECTROFORMING; APPARATUS THEREFOR
- C25D17/00—Constructional parts, or assemblies thereof, of cells for electrolytic coating
- C25D17/001—Apparatus specially adapted for electrolytic coating of wafers, e.g. semiconductors or solar cells
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C25—ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PROCESSES; APPARATUS THEREFOR
- C25D—PROCESSES FOR THE ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PRODUCTION OF COATINGS; ELECTROFORMING; APPARATUS THEREFOR
- C25D17/00—Constructional parts, or assemblies thereof, of cells for electrolytic coating
- C25D17/002—Cell separation, e.g. membranes, diaphragms
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C25—ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PROCESSES; APPARATUS THEREFOR
- C25D—PROCESSES FOR THE ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PRODUCTION OF COATINGS; ELECTROFORMING; APPARATUS THEREFOR
- C25D17/00—Constructional parts, or assemblies thereof, of cells for electrolytic coating
- C25D17/02—Tanks; Installations therefor
- C25D17/04—External supporting frames or structures
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C25—ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PROCESSES; APPARATUS THEREFOR
- C25D—PROCESSES FOR THE ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PRODUCTION OF COATINGS; ELECTROFORMING; APPARATUS THEREFOR
- C25D17/00—Constructional parts, or assemblies thereof, of cells for electrolytic coating
- C25D17/06—Suspending or supporting devices for articles to be coated
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C25—ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PROCESSES; APPARATUS THEREFOR
- C25D—PROCESSES FOR THE ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PRODUCTION OF COATINGS; ELECTROFORMING; APPARATUS THEREFOR
- C25D17/00—Constructional parts, or assemblies thereof, of cells for electrolytic coating
- C25D17/10—Electrodes, e.g. composition, counter electrode
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/04—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer
- H01L21/18—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer the devices having semiconductor bodies comprising elements of Group IV of the Periodic Table or AIIIBV compounds with or without impurities, e.g. doping materials
- H01L21/28—Manufacture of electrodes on semiconductor bodies using processes or apparatus not provided for in groups H01L21/20 - H01L21/268
- H01L21/283—Deposition of conductive or insulating materials for electrodes conducting electric current
- H01L21/288—Deposition of conductive or insulating materials for electrodes conducting electric current from a liquid, e.g. electrolytic deposition
- H01L21/2885—Deposition of conductive or insulating materials for electrodes conducting electric current from a liquid, e.g. electrolytic deposition using an external electrical current, i.e. electro-deposition
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Metallurgy (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Electrochemistry (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Sustainable Development (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- Electroplating Methods And Accessories (AREA)
- Electrodes Of Semiconductors (AREA)
Description
図示のように、アノードホルダ110は、アノード105と、アノード105を収容するための空間を有するアノードホルダベース111と、アノードホルダベース111の前面に取り付けられたアノードマスク113と、アノードマスク113の前面に取り付けられた隔膜150と、アノード105の背面に接触する導電性の接触部材102と、接触部材102の背面から延びて図示しない外部電極へ接続される導電性の給電部材103と、を有する。
を有している。このアノードホルダ110がめっき液に浸漬されたとき、孔112を通過してアノード105が収容された空間にめっき液が流入し、アノード105がめっき液に浸漬される。接触部材102は、外部電極から給電部材103を介してアノード105に電流を供給することができる。これにより、アノードホルダ110がめっき液に浸漬されたときに、アノード105と基板とがめっき液を介して通電される。
部材に連結されるシャフトと、一端が前記シャフトに連結され、他端が前記操作部に連結される中間部材と、前記中間部材を回転可能に固定する枢軸と、を有し、前記操作部は、一端が前記把持部から突出し、他端が前記中間部材の前記他端に連結されるプッシュロッドであり、前記プッシュロッドが前記把持部の内部に押下されたとき、前記弁が前記付勢部材の付勢力の方向と逆方向に移動する。
図1は、第1の実施形態に係るめっき装置の全体配置図である。
図1に示すように、このめっき装置100には、半導体ウェハ等の基板を収納したカセット10を搭載する2台のカセットテーブル12と、基板のオリフラ(オリエンテーションフラット)やノッチなどの位置を所定の方向に合わせるアライナ14と、基板ホルダ18に対して基板の着脱を行うための基板着脱部20と、めっき処理後の基板を高速回転させて乾燥させるスピンドライヤ17とが備えられている。これらのユニットの略中央には、これらのユニット間で基板を搬送する、例えば搬送用ロボットである基板搬送装置16が配置されている。
パドル(図示せず)を駆動するパドル駆動装置36が配置されている。
図2に示すように、第1のトランスポータ42又は第2のトランスポータ44(以下、トランスポータ42,44という)は、支柱部46と、支柱部46から水平方向に延在するアーム45とを備えている。支柱部46及びアーム45は、ガイドレール43(図1参照)に沿って図中紙面奥行方向に移動可能である。従って、アーム45は、図1に示した各槽の上方を移動することができる。アーム45は、アノードホルダ60を把持する2つのチャック47a,47bを有する。チャック47a,47bは、同様に基板ホルダ18も把持することができる。
図示のように、ホルダ受け渡しユニット72は、めっき装置100の内部に位置する開口エリア78と、開口エリア78を閉鎖する一対の扉73と、アノードホルダ60(図2等参照)及び基板ホルダ18(図1参照)を吊り下げ保持する吊り下げバー75と、吊り下げバー75を水平方向にガイドする一対のリニアガイド74と、を備えている。
装置100の外側に向かって開く。これにより、開口エリア78は、めっき装置100の外部と連通可能となる。メンテナンスを行う作業者は、扉73を開き、吊り下げバー75をリニアガイド74に沿って手前側(めっき装置100外側)に向かって引き出すことで、ホルダ支持部77に吊り下げられた基板ホルダ18又はアノードホルダ60を容易に取り出すことができる。
図4に示すように、このめっき槽50は、添加剤を含むめっき液Qを収容するめっき処理槽52と、めっき処理槽52からオーバーフローしためっき液Qを受けて排出するめっき液排出槽54と、めっき処理槽52とめっき液排出槽54とを仕切る仕切り壁55と、を有する。
なお、図8においては便宜上、把持部64−2が透過した状態のアノードホルダ60が示されている。また、図7及び図8においては、便宜上、アノード40が取り外された状態のアノードホルダ60が示されている。
本明細書において、「上」及び「下」はアノードホルダ60がめっき槽50に鉛直に収容された状態における上方向及び下方向をいう。同様に、本明細書において、「前面」は、アノードホルダ60が基板ホルダと対向する側の面をいい、「背面」は前面と逆側の面をいう。
まで延在し、内部空間61に連通する孔71を有する。また、ホルダベース62は、その上部の把持部64−1,64−2間に、内部空間61の空気を排出するための空気排出口81を有する。ホルダベース62がめっき液に浸漬されたとき、めっき液が孔71から内部空間61に流入するとともに、内部空間61の空気が空気排出口81から排出される。また、アノード40として不溶性アノードを用いた場合、めっき処理中にアノード40から発生する酸素も、空気排出口81を通じて排出される。空気排出口81は、空気の排出を妨げないように形成された蓋83により閉止される。
持部材51−1(図2参照)に設けられる導電板と接触する。この導電板がめっき電源90の正極に接続されることで、電極端子82がめっき電源90(図4参照)と通電する。また、アノードホルダ60は、電極端子82から内部空間61の略中央部まで延在する給電部材89を有する。給電部材89は、略板状の導電部材であり、電極端子82と電気的に接続される。
図示のように、把持部64−2の上部には、ばね台座97aが設けられ、シャフト93の一端には、ばね台座97bが設けられる。ばね96は、一端がばね台座97aにより把持部64−2に固定され、他端がばね台座97bによりシャフト93に固定される。これにより、ばね96はシャフト93をその軸方向に付勢し、図8に示した弁91が孔71を封止するように、即ち弁91が閉じるように弁91を間接的に付勢することができる。
めのピン95aが形成される。
また、シャフト93の外周面には、中間部材94と連結するためのピン93aが形成される。
図2に示したトランスポータ42,44のチャック47a,47bは、把持部64−2を前面および背面から挟み込み、把持部64−2の下面のテーパ部を下から支えるように把持する。このとき、図10に示すように、把持部64−2から突出するプッシュロッド95は、チャック47a,47b(図2参照)のプッシュロッド95に対向する面により、把持部64−2の内部方向に押し込まれる。即ち、プッシュロッド95は、下方向に押下される。プッシュロッド95が下方向に押下されると、ピン95aが下方向に移動し、枢軸94aを中心として中間部材94が回転する。これに伴い、ばね96が圧縮されるとともに、ピン93a及びシャフト93が上方向(ばね96の付勢力の方向と逆方向)に移動する。これにより、シャフト93の他端に接続された弁91(図8参照)が上方向に移動し、孔71が開放される。
ホルダベース62は、弁91を受けるための弁座99を備える。弁座99は、孔71に挿入される挿入部99aと、ホルダベース62の下部に固定される固定部99bと、孔71と連通する孔99cとを有する。孔71は、孔99cを介して内部空間61(図8参照)とホルダベース62の外部とを連通させる。
図10に示したように、トランスポータ42,44のチャック47a,47b(図2参照)により把持部64−2が把持されると、シャフト93がアノードホルダ60の上方向に移動する。これに伴い、図12に示すように、弁91が上方向に移動して開き、孔71が開放される。孔71が開放されることにより、孔71は内部空間61と連通し、めっき液が内部空間61に流入することができる。
アノードホルダ60をめっき槽50に収容するときは、まず、図2に示したトランスポータ42,44のチャック47a,47bにより把持部64−1,64−2が把持される
。これにより、図10に示したように、プッシュロッド95が押下され、シャフト93がばね96の付勢方向と逆方向に移動する。また、弁91は、図12に示したように弁座99から離れ、孔71が開放される。
付勢部材)と、弁91が開いて孔71を開放するように弁91を操作するプッシュロッド95(操作部)を有する。これにより、通常時には弁91が孔71を封止することができるとともに、プッシュロッド95により孔71を容易に開放することができる。
アノードホルダ60は、アノード40の交換の便宜上、ホルダベース62に開口部69を設けているが、他の方法でアノード40を交換する場合は、この開口部69は設けなくともよい。
次に、第2の実施形態に係るめっき装置について説明する。なお、第2の実施形態に係るめっき装置は、第1の実施形態に係るめっき装置に比べて、めっき槽50及びアノードホルダ60が異なる。その他の構成は第1の実施形態と同様であるので、めっき槽50及びアノードホルダ60以外の構成は説明を省略する。
めっき槽50は、図示のように、側壁の上部に設けられた支持部材51−1,51−2によってアノードホルダ60の把持部64−1,64−2の下部を支持し、アノードホルダ60を収容するように構成される。支持部材51−1は、アノードホルダ60の電極端子82と接触する位置に、図4に示しためっき電源90の正極と接続した導電板53を備えている。したがって、アノードホルダ60がめっき槽50に収容されたとき、電極端子82と導電板53と接触することにより、アノードホルダ60がめっき電源90と通電する。
図示のように、アノードホルダ60は、第1の実施形態におけるプッシュロッド95、ばね96、シャフト93、弁91を備えていない。一方で、アノードホルダ60は、第1の実施形態と同様に、その下部の外表面から内部空間61まで延在し、内部空間61に連通する孔71を有する。
ホルダベース62は、図13に示した弁191を受けるための弁座199を備える。弁座199は、孔71に挿入される挿入部199aと、ホルダベース62の下部に固定される固定部199bと、孔71と連通する孔199cとを有する。孔71は、孔199cを介して内部空間61(図14参照)とホルダベース62の外部とを連通させる。
199cの外周に沿って設けられる。第6のシール部材196は、アノードホルダ60がめっき槽50(図13参照)に収容されたときに、弁191と接触する。これにより、孔71が封止される。
アノードホルダ60をめっき槽50に収容するときは、まず、図2に示したトランスポータ42,44のチャック47a,47bにより把持部64−1,64−2が把持される。トランスポータ42,44は、アーム45(図2参照)を下降させることで、孔71が開放された状態のアノードホルダ60をめっき槽50に収容する。アノードホルダ60のアーム部70−1,70−2は、めっき槽50の支持部材51−1,51−2(図2参照)により下方から支持される。アノードホルダ60はめっき液Qに浸漬され、めっき液Qは解放された孔71を通じて内部空間61に流入する。これと同時に内部空間61の空気は空気排出口81から排出され、内部空間61はめっき液Qで満たされる。
を備えているが、弁座199を設けず、第6のシール部材196がホルダベース62の下部に直接設けられてもよい。
12…カセットテーブル
14…アライナ
16…基板搬送装置
17…スピンドライヤ
18…基板ホルダ
20…基板着脱部
22…レール
24…載置プレート
26…ストッカ
28…プリウェット槽
30…プリソーク槽
32a…第1の水洗槽
32b…第2の水洗槽
34…ブロー槽
36…パドル駆動装置
40…アノード
41…基板ホルダ搬送装置
42…第1のトランスポータ
44…第2のトランスポータ
45…アーム
46…支柱部
47a…チャック
47b…チャック
50…めっき槽
51−1…支持部材
51−2…支持部材
52…めっき処理槽
53…導電板
54…めっき液排出槽
55…仕切り壁
56…めっき液供給口
57…めっき液排出口
58…めっき液循環装置
60…アノードホルダ
61…内部空間
62…ホルダベース
62−1…連結部
62−2…連結部
63…ホルダベースカバー
63a…開口
64−1…把持部
64−2…把持部
65−1…テーパ部
65−2…テーパ部
66…隔膜
67…アノードマスク
68…隔膜押え
69…開口部
70−1…アーム部
70−2…アーム部
71…孔
72…ホルダ受け渡しユニット
73…扉
74…リニアガイド
75…吊り下げバー
77…ホルダ支持部
78…開口エリア
81…空気排出口
82…電極端子
83…蓋
84…第1のシール部材
85…第2のシール部材
86…蓋
88…固定部材
89…給電部材
90…電源
91…弁
92…第3のシール部材
93…シャフト
93a…ピン
94…中間部材
94a…枢軸
95…プッシュロッド
95a…ピン
96…ばね
97a…ばね台座
97b…ばね台座
98…第4のシール部材
99…弁座
99a…挿入部
99b…固定部
99c…孔
100…めっき装置
191…弁
193…シャフト
196…第6のシール部材
198…第5のシール部材
199…弁座
199a…挿入部
199b…固定部
199c…孔
Q…めっき液
W…基板
W1…面
Claims (11)
- めっき装置に用いられるアノードを保持するためのアノードホルダであって、
前記アノードホルダの内部に形成され、前記アノードを収容するための内部空間と、
前記内部空間の前面を覆うように構成される隔膜と、
前記アノードホルダの外表面に形成され、前記内部空間に連通する孔と、
前記孔を封止するための弁と、を有する、
アノードホルダ。 - 請求項1に記載されたアノードホルダであって、
前記弁が閉じるように前記弁を付勢する付勢部材と、
前記弁が開くように前記弁を操作する操作部と、を有する
アノードホルダ。 - 請求項2に記載されたアノードホルダであって、
前記アノードホルダが搬送されるときに把持される把持部を有し、
前記操作部は、前記把持部に設けられる、
アノードホルダ。 - 請求項3に記載されたアノードホルダであって、
一端が前記弁に連結され、他端が前記付勢部材に連結されるシャフトと、
一端が前記シャフトに連結され、他端が前記操作部に連結される中間部材と、
前記中間部材を回転可能に固定する枢軸と、を有し、
前記操作部は、一端が前記把持部から突出し、他端が前記中間部材の前記他端に連結されるプッシュロッドであり、
前記プッシュロッドが前記把持部の内部に押下されたとき、前記弁が前記付勢部材の付勢力の方向と逆方向に移動する、
アノードホルダ。 - 請求項1ないし4のいずれか一項に記載されたアノードホルダであって、
前記隔膜と前記内部空間の前面との間を密閉するように構成される第1のシール部材を有する、
アノードホルダ。 - 請求項1ないし5のいずれか一項に記載されたアノードホルダであって、
前記内部空間の背面に連通する開口部と、
前記開口部を覆う蓋と、
前記開口部と前記蓋との間を密閉するように構成される第2のシール部材と、を有する、
アノードホルダ。 - 請求項1ないし6のいずれか一項に記載されたアノードホルダであって、
前記内部空間の空気を排出するための空気排出口を有する、
アノードホルダ。 - 請求項1ないし7のいずれか一項に記載されたアノードホルダであって、
前記隔膜は、イオン交換膜又は中性隔膜である、
アノードホルダ。 - 請求項1ないし8のいずれか一項に記載されたアノードホルダを収容するように構成されるめっき槽を備えためっき装置であって、
前記アノードホルダを搬送するためのトランスポータを有し、
前記アノードホルダの前記弁は、前記トランスポータが前記アノードホルダを把持した時に開き、把持を解除した時に閉じるように構成される、
めっき装置。 - めっき槽を有するめっき装置であって、
前記めっき槽は、めっき処理の間アノードホルダを収容する内部空間を有し、
前記アノードホルダは、前記アノードホルダの内部に形成され、アノードを収容するための内部空間と、前記アノードホルダの前記内部空間の前面を覆うように構成される隔膜と、前記アノードホルダの外表面に形成され、前記アノードホルダの前記内部空間と前記めっき槽の前記内部空間とを連通させる孔と、を有し、
前記めっき槽は、前記アノードホルダの前記孔を封止するための弁を備える、
めっき装置。 - 請求項10に記載されためっき装置であって、
前記弁は、前記アノードホルダが前記めっき槽に収容されたときに、前記アノードホルダの前記孔を封止するように構成される、
めっき装置。
Priority Applications (6)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014023477A JP6285199B2 (ja) | 2014-02-10 | 2014-02-10 | アノードホルダ及びめっき装置 |
US15/118,036 US10240247B2 (en) | 2014-02-10 | 2015-02-05 | Anode holder and plating apparatus |
KR1020167018253A KR102078121B1 (ko) | 2014-02-10 | 2015-02-05 | 애노드 홀더 및 도금 장치 |
PCT/JP2015/053178 WO2015119182A1 (ja) | 2014-02-10 | 2015-02-05 | アノードホルダ及びめっき装置 |
CN201580007863.4A CN105980612B (zh) | 2014-02-10 | 2015-02-05 | 阳极保持器及镀覆装置 |
TW104104018A TWI642813B (zh) | 2014-02-10 | 2015-02-06 | Anode holder and plating device |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014023477A JP6285199B2 (ja) | 2014-02-10 | 2014-02-10 | アノードホルダ及びめっき装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2015151553A JP2015151553A (ja) | 2015-08-24 |
JP6285199B2 true JP6285199B2 (ja) | 2018-02-28 |
Family
ID=53777983
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2014023477A Active JP6285199B2 (ja) | 2014-02-10 | 2014-02-10 | アノードホルダ及びめっき装置 |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US10240247B2 (ja) |
JP (1) | JP6285199B2 (ja) |
KR (1) | KR102078121B1 (ja) |
CN (1) | CN105980612B (ja) |
TW (1) | TWI642813B (ja) |
WO (1) | WO2015119182A1 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2020217796A1 (ja) * | 2019-04-26 | 2020-10-29 | 株式会社荏原製作所 | アノードホルダ、めっき装置、及びめっき方法 |
Families Citing this family (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6621377B2 (ja) * | 2016-06-07 | 2019-12-18 | 株式会社荏原製作所 | めっき装置、めっき方法、及び記録媒体 |
JP7014553B2 (ja) * | 2017-09-22 | 2022-02-01 | 株式会社荏原製作所 | めっき装置 |
WO2019130859A1 (ja) * | 2017-12-27 | 2019-07-04 | 株式会社カネカ | 光電変換素子の製造方法及びめっき用治具、めっき装置 |
CN109763166A (zh) * | 2019-03-07 | 2019-05-17 | 苏州热工研究院有限公司 | 适用于金属样品电解抛光的装置 |
JP7256042B2 (ja) * | 2019-03-20 | 2023-04-11 | 株式会社ユアサメンブレンシステム | 隔膜部材 |
JP7183111B2 (ja) * | 2019-05-17 | 2022-12-05 | 株式会社荏原製作所 | めっき方法、めっき用の不溶性アノード、及びめっき装置 |
JP7173932B2 (ja) * | 2019-06-10 | 2022-11-16 | 株式会社荏原製作所 | アノードホルダ、及びめっき装置 |
JP7316908B2 (ja) * | 2019-10-30 | 2023-07-28 | 株式会社荏原製作所 | アノード組立体 |
CN112746308B (zh) * | 2020-12-30 | 2022-03-25 | 杭州俊豪电镀有限公司 | 一种挂镀镀锌生产设备及工艺 |
KR102378307B1 (ko) * | 2021-02-22 | 2022-03-25 | 가부시키가이샤 에바라 세이사꾸쇼 | 도금 장치 |
Family Cites Families (23)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US2519945A (en) * | 1946-01-25 | 1950-08-22 | Gen Electric | Electroplating apparatus |
US3431187A (en) * | 1965-11-22 | 1969-03-04 | Lancy Lab | Gold recovery |
JPS5848691A (ja) * | 1981-08-26 | 1983-03-22 | Furukawa Electric Co Ltd:The | メツキ方法 |
JP2510422B2 (ja) | 1988-05-25 | 1996-06-26 | ペルメレック電極 株式会社 | プリント基板の銅メッキ方法 |
JP2510422Y2 (ja) | 1991-08-23 | 1996-09-11 | 本田技研工業株式会社 | 皮張り性塗料用貯蔵タンク |
JP3681791B2 (ja) * | 1995-07-25 | 2005-08-10 | 上村工業株式会社 | めっき装置のボール状アノード補給装置 |
JP2000087299A (ja) * | 1998-09-08 | 2000-03-28 | Ebara Corp | 基板メッキ装置 |
US6660139B1 (en) * | 1999-11-08 | 2003-12-09 | Ebara Corporation | Plating apparatus and method |
EP2017374A3 (en) | 2000-03-17 | 2011-04-27 | Ebara Corporation | Plating apparatus and method |
US6793794B2 (en) | 2000-05-05 | 2004-09-21 | Ebara Corporation | Substrate plating apparatus and method |
US7195696B2 (en) * | 2000-05-11 | 2007-03-27 | Novellus Systems, Inc. | Electrode assembly for electrochemical processing of workpiece |
US6576110B2 (en) * | 2000-07-07 | 2003-06-10 | Applied Materials, Inc. | Coated anode apparatus and associated method |
JP3328812B2 (ja) * | 2000-10-06 | 2002-09-30 | 株式会社山本鍍金試験器 | 電気めっき試験器の陰極カートリッジおよび陽極カートリッジ |
EP1516357A2 (en) * | 2002-06-21 | 2005-03-23 | Ebara Corporation | Substrate holder and plating apparatus |
US7247222B2 (en) * | 2002-07-24 | 2007-07-24 | Applied Materials, Inc. | Electrochemical processing cell |
US7128823B2 (en) * | 2002-07-24 | 2006-10-31 | Applied Materials, Inc. | Anolyte for copper plating |
US7374646B2 (en) * | 2003-01-31 | 2008-05-20 | Ebara Corporation | Electrolytic processing apparatus and substrate processing method |
CN101369533B (zh) * | 2003-03-11 | 2010-06-02 | 株式会社荏原制作所 | 镀覆装置 |
JP2007113082A (ja) * | 2005-10-21 | 2007-05-10 | Ebara Corp | めっき装置及びめっき方法 |
JP4942580B2 (ja) * | 2007-08-20 | 2012-05-30 | 株式会社荏原製作所 | アノードホルダ用通電ベルトおよびアノードホルダ |
JP5184308B2 (ja) * | 2007-12-04 | 2013-04-17 | 株式会社荏原製作所 | めっき装置及びめっき方法 |
JP5400408B2 (ja) | 2009-02-13 | 2014-01-29 | 株式会社荏原製作所 | アノードホルダ用通電部材およびアノードホルダ |
CN201400723Y (zh) * | 2009-04-09 | 2010-02-10 | 安得膜分离技术工程(北京)有限公司 | 一种管式阳极 |
-
2014
- 2014-02-10 JP JP2014023477A patent/JP6285199B2/ja active Active
-
2015
- 2015-02-05 US US15/118,036 patent/US10240247B2/en active Active
- 2015-02-05 KR KR1020167018253A patent/KR102078121B1/ko active IP Right Grant
- 2015-02-05 WO PCT/JP2015/053178 patent/WO2015119182A1/ja active Application Filing
- 2015-02-05 CN CN201580007863.4A patent/CN105980612B/zh active Active
- 2015-02-06 TW TW104104018A patent/TWI642813B/zh active
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2020217796A1 (ja) * | 2019-04-26 | 2020-10-29 | 株式会社荏原製作所 | アノードホルダ、めっき装置、及びめっき方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US10240247B2 (en) | 2019-03-26 |
JP2015151553A (ja) | 2015-08-24 |
US20160369421A1 (en) | 2016-12-22 |
KR102078121B1 (ko) | 2020-02-17 |
WO2015119182A1 (ja) | 2015-08-13 |
CN105980612A (zh) | 2016-09-28 |
TW201538803A (zh) | 2015-10-16 |
TWI642813B (zh) | 2018-12-01 |
CN105980612B (zh) | 2018-09-28 |
KR20160119760A (ko) | 2016-10-14 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6285199B2 (ja) | アノードホルダ及びめっき装置 | |
TWI624567B (zh) | 真空電鍍槽 | |
JP4664320B2 (ja) | めっき方法 | |
JP3979847B2 (ja) | めっき装置 | |
KR100564779B1 (ko) | 도금장치 | |
US6699380B1 (en) | Modular electrochemical processing system | |
KR100827809B1 (ko) | 도금장치 및 방법 | |
US20090301395A1 (en) | Plating apparatus and plating method | |
US20120255864A1 (en) | Electroplating method | |
US20110108415A1 (en) | Apparatus and method for plating a substrate | |
US20150090584A1 (en) | Plating apparatus and cleaning device used in the plating apparatus | |
US20120145552A1 (en) | Electroplating method | |
KR102565317B1 (ko) | 기판 세정 방법 | |
WO2020217796A1 (ja) | アノードホルダ、めっき装置、及びめっき方法 | |
JP2003277995A (ja) | 基板ホルダ及びめっき装置 | |
TWI698555B (zh) | 鍍覆裝置及鍍覆方法 | |
JP2002363794A (ja) | 基板ホルダ及びめっき装置 | |
JP4509968B2 (ja) | めっき装置 | |
JP5564171B2 (ja) | めっき装置及びめっき方法 | |
JP7093187B2 (ja) | 半導体基板を電気化学的に処理するための装置 | |
JP2002249896A (ja) | 液処理装置、液処理方法 | |
JP2002363793A (ja) | 基板ホルダ及びめっき装置 | |
JP2002363797A (ja) | 電気接点及びその製造方法、並びにめっき装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20161111 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20171115 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20171214 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20180104 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20180201 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6285199 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |